>[0020]所述配重塊7與氣浮塊3的直徑相同。
[0021]所述氣膜間隙調整墊片12為微米金屬化薄膜。
[0022]實施例2:如圖1-2所示，一種空氣靜壓導軌氣浮振動實驗平臺的檢測裝置，包括隔振平臺1、支撐平臺2、氣浮塊3、氣浮塊進氣管4、壓力調節(jié)閥5、壓力表6、配重塊7、位移傳感器8、壓膜傳感器9、振動傳感器I 10、振動傳感器II 11、氣膜間隙調整墊片12、壓片13、過渡板14、支架15、激光干涉儀16、180°反射鏡17、90°反射鏡18、基座19 ;
[0023]所述隔振平臺I安放于基座19上，支撐平臺2放置于水平的隔振平臺I上，壓膜傳感器9固定在支撐平臺2中心位置，壓力調節(jié)閥5和壓力表6安裝于氣浮塊進氣管4上，氣浮塊進氣管4安裝于氣浮塊3 —側，配重塊7放置于氣浮塊3上，過渡板14通過壓片13安裝于配重塊7上，振動傳感器I 10與振動傳感器II 11分別通過螺紋連接安裝于過渡板14的豎直與水平方向，位移傳感器8固定于支撐平臺2和氣浮塊3上，氣膜間隙調整墊片12放置于支撐平臺2已經刻畫好的位置，180°反射鏡17通過壓片13放置于配重塊7上，90°反射鏡18安裝于支架15上且位于180°反射鏡17正上方，激光干涉儀16安裝在90°反射鏡18 —側且激光干涉儀16接收器的位置與90°反射鏡18同高。
[0024]所述配重塊7與氣浮塊3的直徑相同。
[0025]所述氣膜間隙調整墊片12為微米金屬化薄膜。
[0026]實施例3:如圖1-2所示，一種空氣靜壓導軌氣浮振動實驗平臺的檢測裝置，包括隔振平臺1、支撐平臺2、氣浮塊3、氣浮塊進氣管4、壓力調節(jié)閥5、壓力表6、配重塊7、位移傳感器8、壓膜傳感器9、振動傳感器I 10、振動傳感器II 11、氣膜間隙調整墊片12、壓片13、過渡板14、支架15、激光干涉儀16、180°反射鏡17、90°反射鏡18、基座19 ;
[0027]所述隔振平臺I安放于基座19上，支撐平臺2放置于水平的隔振平臺I上，壓膜傳感器9固定在支撐平臺2中心位置，壓力調節(jié)閥5和壓力表6安裝于氣浮塊進氣管4上，氣浮塊進氣管4安裝于氣浮塊3 —側，配重塊7放置于氣浮塊3上，過渡板14通過壓片13安裝于配重塊7上，振動傳感器I 10與振動傳感器II 11分別通過螺紋連接安裝于過渡板14的豎直與水平方向，位移傳感器8固定于支撐平臺2和氣浮塊3上，氣膜間隙調整墊片12放置于支撐平臺2已經刻畫好的位置，180°反射鏡17通過壓片13放置于配重塊7上，90°反射鏡18安裝于支架15上且位于180°反射鏡17正上方，激光干涉儀16安裝在90°反射鏡18 —側且激光干涉儀16接收器的位置與90°反射鏡18同高。
[0028]所述支撐平臺2為大理石支撐平臺。
[0029]實施例4:如圖1-2所示，一種空氣靜壓導軌氣浮振動實驗平臺的檢測裝置，包括隔振平臺1、支撐平臺2、氣浮塊3、氣浮塊進氣管4、壓力調節(jié)閥5、壓力表6、配重塊7、位移傳感器8、壓膜傳感器9、振動傳感器I 10、振動傳感器II 11、氣膜間隙調整墊片12、壓片13、過渡板14、支架15、激光干涉儀16、180°反射鏡17、90°反射鏡18、基座19 ;
[0030]所述隔振平臺I安放于基座19上，支撐平臺2放置于水平的隔振平臺I上，壓膜傳感器9固定在支撐平臺2中心位置，壓力調節(jié)閥5和壓力表6安裝于氣浮塊進氣管4上，氣浮塊進氣管4安裝于氣浮塊3 —側，配重塊7放置于氣浮塊3上，過渡板14通過壓片13安裝于配重塊7上，振動傳感器I 10與振動傳感器II 11分別通過螺紋連接安裝于過渡板14的豎直與水平方向，位移傳感器8固定于支撐平臺2和氣浮塊3上，氣膜間隙調整墊片12放置于支撐平臺2已經刻畫好的位置，180°反射鏡17通過壓片13放置于配重塊7上，90°反射鏡18安裝于支架15上且位于180°反射鏡17正上方，激光干涉儀16安裝在90°反射鏡18 —側且激光干涉儀16接收器的位置與90°反射鏡18同高。
[0031]上面結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】作了詳細說明，但是本實用新型并不限于上述實施方式，在本領域普通技術人員所具備的知識范圍內，還可以在不脫離本實用新型宗旨的前提下作出各種變化。
【主權項】
1.一種空氣靜壓導軌氣浮振動實驗平臺的檢測裝置，其特征在于:包括隔振平臺(I)、支撐平臺(2)、氣浮塊(3)、氣浮塊進氣管(4)、壓力調節(jié)閥(5)、壓力表(6)、配重塊(7)、位移傳感器(8)、壓膜傳感器(9)、振動傳感器I (10)、振動傳感器II (11)、氣膜間隙調整墊片(12)、壓片(13)、過渡板(14)、支架(15)、激光干涉儀(16)、180°反射鏡(17)、90°反射鏡(18)、基座(19)； 所述隔振平臺(I)安放于基座(19)上，支撐平臺(2)放置于水平的隔振平臺(I)上，壓膜傳感器(9 )固定在支撐平臺(2 )中心位置，壓力調節(jié)閥(5 )和壓力表(6 )安裝于氣浮塊進氣管(4)上，氣浮塊進氣管(4)安裝于氣浮塊(3) 一側，配重塊(7)放置于氣浮塊(3)上，過渡板(14)通過壓片(13)安裝于配重塊(7)上，振動傳感器I (10)與振動傳感器II (11)分別通過螺紋連接安裝于過渡板(14)的豎直與水平方向，位移傳感器(8)固定于支撐平臺(2)和氣浮塊(3)上，氣膜間隙調整墊片(12)放置于支撐平臺(2)已經刻畫好的位置，180°反射鏡(17)通過壓片(13)放置于配重塊(7 )上，90 °反射鏡(18 )安裝于支架(15)上且位于180°反射鏡(17)正上方，激光干涉儀(16)安裝在90°反射鏡(18)—側且激光干涉儀(16)接收器的位置與90°反射鏡(18)同高。2.根據權利要求1所述的空氣靜壓導軌氣浮振動實驗平臺的檢測裝置，其特征在于:所述支撐平臺(2)為大理石支撐平臺。3.根據權利要求1或2所述的空氣靜壓導軌氣浮振動實驗平臺的檢測裝置，其特征在于:所述配重塊(7)與氣浮塊(3)的直徑相同。4.根據權利要求1或2所述的空氣靜壓導軌氣浮振動實驗平臺的檢測裝置，其特征在于:所述氣膜間隙調整墊片(12)為微米金屬化薄膜。
【專利摘要】本實用新型涉及一種空氣靜壓導軌氣浮振動實驗平臺的檢測裝置，屬于精密設備性能的檢測領域。本實用新型壓膜傳感器固定在支撐平臺中心位置，壓力調節(jié)閥和壓力表安裝于氣浮塊進氣管上，氣浮塊進氣管安裝于氣浮塊一側，配重塊放置于氣浮塊上，過渡板通過壓片安裝于配重塊上，振動傳感器Ⅰ與振動傳感器Ⅱ通過螺紋連接安裝于過渡板的豎直與水平方向，位移傳感器固定于支撐平臺和氣浮塊上，氣膜間隙調整墊片放置于支撐平臺已經刻畫好的位置，180°反射鏡通過壓片放置于配重塊上，90°反射鏡安裝于支架上且位于180°反射鏡正上方，激光干涉儀安裝在90°反射鏡一側。本實用新型便于實現不同的氣膜厚度的調節(jié)，氣膜厚度對微振動的影響實驗結果更加真實可靠。
【IPC分類】G01M13/00, G01M7/02
【公開號】CN205175641
【申請?zhí)枴緾N201520855893
【發(fā)明人】龍威, 公玲, 寧方偉, 凌在帥, 劉巖, 吳張永, 張曉龍, 魏鏡弢, 王庭有, 莫子勇
【申請人】昆明理工大學
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年10月29日