4為氫原子、甲基、苯基、芐基、氯基、二氟甲基、三氟甲基或氰 基。其中，優(yōu)選氫原子、甲基、苯基。X可以為（CH2)n。其中，η為4~6的整數(shù)。X還可以 為（CH2)20(CH2)2或（CH2) 2S(CH2)2。構(gòu)成X的氫原子中的至少1個氫原子可以被上述通式 (1)中的烷基、烯基、炔基、芳烷基、烷氧基、烷氧基烷基、烷醇基、乙酰基、芳香族基團取代， 此外，還可以被羥基、鹵素原子、氨基、氰基等取代。
[0039] 通式（3)表示的單體：
[0041] 上述通式（3)中，R5為氫原子、甲基、苯基、芐基、氯基、二氟甲基、三氟甲基或氰基。 其中，優(yōu)選氫原子、甲基、苯基。r6、r7為選自氫原子、可以具有取代基的烷基、烯基、炔基、芳 烷基、烷氧基、烷氧基烷基、烷醇基、乙酰基及芳香族基團的基團。上述可以具有取代基的烷 基、烯基、炔基、芳烷基、烷氧基、烷氧基烷基、燒醇基及乙醜基的碳原子的總數(shù)為1~40 (優(yōu) 選1~24、更優(yōu)選1~14、進一步優(yōu)選1~10)，不包括取代基在內(nèi)的上述烷基、烯基、炔基、 芳烷基、烷氧基、烷氧基烷基、燒醇基及乙醜基的碳原子數(shù)為1~18 (優(yōu)選1~8、更優(yōu)選1~ 4)。上述可以具有取代基的烷基、烯基、炔基、芳烷基、烷氧基、烷氧基烷基、燒醇基及乙醜基 可以為鏈狀（直鏈狀或支鏈狀）或環(huán)狀，優(yōu)選為鏈狀。芳香族基團為可以具有取代基的芳 基。上述芳香族基團的碳原子的總數(shù)為6~60 (優(yōu)選6~36、更優(yōu)選6~24、進一步優(yōu)選 6~12)。上述烷基、烯基、炔基、芳烷基、烷氧基、烷氧基烷基、燒醇基、乙醜基及芳香族基團 可以具有的取代基包括：羥基；氯原子等鹵素原子；氰基。上述烷基、烯基、炔基、芳烷基、烷 氧基、烷氧基烷基、烷醇基及乙?；梢跃哂械娜〈€包含上述芳香族基團。芳香族基團 可以具有的取代基還包含上述的烷基、烯基、炔基、芳烷基、烷氧基、烷氧基烷基、烷醇基及 乙?；?。其中，R6、R7優(yōu)選氫原子、碳原子數(shù)1~8(例如1~4、典型的是1、2或3)的烷基。 烷基可以為直鏈狀也可以為支鏈狀。此外，R6、R7也優(yōu)選為烷氧基、烷氧基烷基、烷醇基或乙 ?；?。上述烷氧基優(yōu)選為碳原子數(shù)1~8(例如1~6、典型的是1~4)的烷氧基（例如甲 氧基）。此外，烷氧基烷基優(yōu)選為碳原子數(shù)1~8 (例如1~6、典型的是1~4)的烷氧基 烷基（例如甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、丁氧基甲基）。上述烷醇基優(yōu)選為碳原子 數(shù)1~8(例如1~6、典型的是1、2或3)的烷醇基（例如羥甲基、羥乙基、羥丙基）。R6、R7可以相同也可以不同。
[0042] 作為此處公開的聚合性單體a，例如可以列舉出丙烯酰胺的N-單取代體、N，N-二 取代體及它們的取代體（例如甲基丙烯酰胺的N-單取代體、N，N_二取代體）等丙烯酰 胺衍生物。作為上述N-單取代體的具體例，例如可以列舉出：N-甲基丙烯酰胺、N-乙基丙 烯酰胺、N-丙基丙烯酰胺、N-異丙基丙烯酰胺、N- 丁基丙烯酰胺、N-異丁基丙烯酰胺、N-叔 丁基丙烯酰胺、N-庚基丙烯酰胺、N-辛基丙烯酰胺、N-叔辛基丙烯酰胺、N-十二烷基丙烯 酰胺、N-十八烷基丙烯酰胺等N-單烷基丙烯酰胺；N-(2-羥乙基）丙烯酰胺、N-(l，1-二 甲基-2-羥乙基）丙烯酰胺、N-(l-乙基-羥乙基）丙烯酰胺、Ν-(2-氯乙基）丙烯酰胺、 Ν-(2,2,2_二氯-1-輕乙基）丙稀酰胺、Ν-(2_二甲基氨基乙基）丙稀酰胺、Ν-(3_二甲基氨 基丙基）丙烯酰胺、Ν-[3-雙（2-羥乙基）氨基丙基]丙烯酰胺、N-(l，l-二甲基-2-二甲 基氨基乙基）丙稀酰胺、Ν-(2_甲基_2_苯基_3_二甲基氨基丙基）丙稀酰胺、Ν_(2, 2-二 甲基-3-二甲基氨基丙基）丙烯酰胺、Ν-(2-嗎啉乙基）丙烯酰胺、Ν-(2-氨基-1,2-二氰 基乙基）丙烯酰胺等取代Ν-單烷基丙烯酰胺；Ν-烯丙基丙烯酰胺等Ν-單烯基丙烯酰胺； N-(l，1-二甲基丙炔基）丙烯酰胺等Ν-單炔基丙烯酰胺；Ν-苯基丙烯酰胺、Ν-芐基丙烯酰 胺、Ν-[4-(苯基氨基）苯基]丙烯酰胺等含芳香族基團的丙烯酰胺；Ν-羥甲基丙烯酰胺、 Ν-羥乙基丙烯酰胺、Ν-羥丙基丙烯酰胺等Ν-單烷醇基丙烯酰胺；Ν-甲氧基甲基丙烯酰胺、 Ν-乙氧基甲基丙烯酰胺、Ν- 丁氧基甲基丙烯酰胺、Ν-異丁氧基甲基丙烯酰胺等Ν-烷氧基 烷基丙烯酰胺；Ν-甲氧基丙烯酰胺、Ν-乙氧基丙烯酰胺、Ν-丙氧基丙烯酰胺、Ν- 丁氧基丙 烯酰胺等Ν-烷氧基丙烯酰胺；Ν-乙酰基丙烯酰胺；Ν-雙丙酮丙烯酰胺；Ν-甲基甲基丙烯 酰胺、Ν-乙基甲基丙烯酰胺、Ν-丙基甲基丙烯酰胺、Ν-異丙基甲基丙烯酰胺、Ν- 丁基甲基 丙烯酰胺、Ν-異丁基甲基丙烯酰胺、Ν-叔丁基甲基丙烯酰胺、Ν-庚基甲基丙烯酰胺、Ν-辛 基甲基丙烯酰胺、Ν-叔辛基甲基丙烯酰胺、Ν-十二烷基甲基丙烯酰胺、Ν-十八烷基甲基丙 烯酰胺等Ν-單烷基甲基丙烯酰胺；Ν-(2-羥乙基）甲基丙烯酰胺、N-(l，1-二甲基-2-羥 乙基）甲基丙烯酰胺、N-(l-乙基-羥乙基）甲基丙烯酰胺、Ν-(2-氯乙基）甲基丙烯酰 胺、Ν-(2, 2, 2-三氯-1-羥乙基）甲基丙烯酰胺、Ν-(2-二甲基氨基乙基）甲基丙烯酰胺、 Ν-(3-二甲基氨基丙基）甲基丙烯酰胺、Ν-[3-雙（2-羥乙基）氨基丙基]甲基丙烯酰胺、 N-(l，1-二甲基-2-二甲基氨基乙基）甲基丙烯酰胺、Ν-(2-甲基-2-苯基-3-二甲基氨基 丙基）甲基丙烯酰胺、Ν-(2, 2-二甲基-3-二甲基氨基丙基）甲基丙烯酰胺、Ν-(2-嗎啉乙 基）甲基丙烯酰胺、Ν-(2-氨基-1，2-二氰基乙基）甲基丙烯酰胺等取代Ν-單烷基甲基丙烯 酰胺；Ν-烯丙基甲基丙烯酰胺等Ν-單烯基甲基丙烯酰胺；N-(l，1-二甲基丙炔基）甲基丙 烯酰胺等Ν-單炔基甲基丙烯酰胺；Ν-苯基甲基丙烯酰胺、Ν-芐基甲基丙烯酰胺、Ν-[4-(苯 基氨基）苯基]甲基丙烯酰胺等含芳香族基團的甲基丙烯酰胺；Ν-羥甲基甲基丙烯酰胺、 Ν-羥乙基甲基丙烯酰胺、Ν-羥丙基甲基丙烯酰胺等Ν-單烷醇基甲基丙烯酰胺；Ν-甲氧基 甲基甲基丙烯酰胺、Ν-乙氧基甲基甲基丙烯酰胺、Ν- 丁氧基甲基甲基丙烯酰胺、Ν-異丁氧 基甲基甲基丙烯酰胺等Ν-烷氧基烷基甲基丙烯酰胺；Ν-甲氧基甲基丙烯酰胺、Ν-乙氧基甲 基丙烯酰胺、Ν-丙氧基甲基丙烯酰胺、Ν- 丁氧基甲基丙烯酰胺等Ν-烷氧基甲基丙烯酰胺； Ν-乙酰基甲基丙烯酰胺；Ν-雙丙酮甲基丙烯酰胺；等。
[0043] 上述Ν-單取代體還可以為例如：Ν，Ν-二甲基氨基乙基丙烯酰胺、Ν，Ν-二乙基氨基 乙基丙烯酰胺、Ν，Ν-二甲基氨基丙基丙烯酰胺、Ν，Ν-二乙基氨基丙基丙烯酰胺、Ν，Ν-二甲 基氨基乙基甲基丙烯酰胺、Ν，Ν-二乙基氨基乙基甲基丙烯酰胺、Ν，Ν-二甲基氨基丙基甲基 丙烯酰胺、Ν，Ν-二乙基氨基丙基甲基丙烯酰胺等二烷基氨基烷基（甲基）丙烯酰胺等。
[0044] 作為上述Ν，Ν-二取代體的具體例，可以列舉出：Ν，Ν-二甲基丙烯酰胺、Ν，Ν-二乙 基丙烯酰胺、Ν，Ν-二丙基丙烯酰胺、Ν，Ν-二異丙基丙烯酰胺、Ν，Ν-二丁基丙烯酰胺、Ν，Ν-二 異丁基丙烯酰胺、Ν，Ν-二叔丁基丙烯酰胺、Ν，Ν-二庚基丙烯酰胺、Ν，Ν-二辛基丙烯酰胺、 N，N-二叔辛基丙烯酰胺、N，N-雙十二烷基丙烯酰胺、N，N-雙十八烷基丙烯酰胺等N，N-二 烷基丙烯酰胺；N，N-雙（2-羥乙基）丙烯酰胺、N，N-雙（2-氰基乙基）丙烯酰胺等取代 N，N-二烷基丙烯酰胺；N，N-二烯丙基丙烯酰胺等N，N-二烯基丙烯酰胺；N，N-二苯基丙烯 酰胺、N，N-二芐基丙烯酰胺等含芳香族基團的丙烯酰胺；N，N-二羥甲基丙烯酰胺、N，N-二 羥乙基丙烯酰胺、N，N-二羥丙基丙烯酰胺等N，N-二烷醇基丙烯酰胺；N-甲基-N-甲氧基丙 烯酰胺、N-甲基-N-乙氧基丙烯酰胺、N-甲基-N-丙氧基丙烯酰胺、N-甲基-N- 丁氧基丙 稀酰胺、N-乙基-N-甲氧基丙稀酰胺、N-乙基-N-乙氧基丙稀酰胺、N-乙基-N- 丁氧基丙 烯酰胺、N-丙基-N-甲氧基丙烯酰胺、N-丙基-N-乙氧基丙烯酰胺、N- 丁基-N-甲氧基丙 稀酰胺、N- 丁基-N-乙氧基丙稀酰胺等N-烷氧基-N-烷基丙稀酰胺；N, N-二乙酰基丙稀酰 胺；N，N-雙丙酮丙烯酰胺；N，N-二甲基甲基丙烯酰胺、N，N-二乙基甲基丙烯酰胺、N，N-二 丙基甲基丙烯酰胺、N，N-二異丙基甲基丙烯酰胺、N，N-二丁基甲基丙烯酰胺、N，N-二異丁 基甲基丙烯酰胺、N，N-二叔丁基甲基丙烯酰胺、N，N-二庚基甲基丙烯酰胺、N，N-二辛基甲 基丙烯酰胺、N，N-二叔辛基甲基丙烯酰胺、N，N-雙十二烷基甲基丙烯酰胺、N，N-雙十八烷 基甲基丙烯酰胺等N，N-二烷基甲基丙烯酰胺；N，N-雙（2-羥乙基）甲基丙烯酰胺、N，N-雙 (2-氰基乙基）甲基丙烯酰胺等取代N，N-二烷基甲基丙烯酰胺；N，N-二烯丙基甲基丙烯酰 胺等N-二烯基甲基丙烯酰胺；N，N-二苯基甲基丙烯酰胺、N，N-二芐基甲基丙烯酰胺等含 芳香族基團的甲基丙烯酰胺；N，N-二羥甲基甲基丙烯酰胺、N，N-二羥乙基甲基丙烯酰胺、 N，N-二羥丙基甲基丙烯酰胺等N，N-二烷醇基甲基丙烯酰胺；N-甲基-N-甲氧基甲基丙烯 酰胺、N-甲基-N-乙氧基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-丙氧基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N- 丁 氧基甲基丙烯酰胺、N-乙基-N-甲氧基甲基丙烯酰胺、N-乙基-N-乙氧基甲基丙烯酰胺、 N-乙基-N- 丁氧基甲基丙烯酰胺、N-丙基-N-甲氧基甲基丙烯酰胺、N-丙基-N-乙氧基甲 基丙烯酰胺、N- 丁基-N-甲氧基甲基丙烯酰胺、N- 丁基-N-乙氧基甲基丙烯酰胺等N-烷氧 基-N-烷基甲基丙烯酰胺；N，N-二乙?；谆０罚籒，N-雙丙酮甲基丙烯酰胺；丙烯 ?；哙ぃ槐；鶈徇?；丙烯酰基硫代嗎啉；丙烯?；量┩榈?。上述聚合性單體a可以 單獨使用1種或組合使用2種以上。
[0045] 上述含酰胺基聚合物優(yōu)選為非離子性。換言之，優(yōu)選實質(zhì)上不包含陰離子性、陽離 子性的構(gòu)成單元的聚合物。這里，所謂實質(zhì)上不包含陰離子性、陽離子性的構(gòu)成單元，是指 這些構(gòu)成單元的摩爾比小于0.02% (例如小于0.001%)。通過使用包含非離子性的含酰 胺基聚合物的研磨用組合物，能夠適宜地發(fā)揮降低缺陷、霧度的效果。雖然沒有必要明確其 理由，但可以認為，非離子性的含酰胺基聚合物通過在研磨時適度吸附于磨粒、硅晶圓而有 助于降低霧度。此外，可以認為，上述適度的吸附適宜地抑制了清洗工序中的磨粒、研磨肩 的殘留而有助于減少缺陷。
[0046] 對上述含酰胺基聚合物的分子量沒有特別限定。例如含酰胺基聚合物的Mw典型 的是小于40X 104、優(yōu)選小于25X 104、更優(yōu)選小于20X 104、進一步優(yōu)選小于10X 104、特別 優(yōu)選小于5 X 104。此外，含酰胺基聚合物的Mw典型的是5 X 103以上，從降低霧度等觀點考 慮，優(yōu)選為IX 1〇4以上、更優(yōu)選為1. 5X 10 4以上。
[0047] 上述含酰胺基聚合物為在主鏈中具有來源于上述通式（1)表示的單體的構(gòu)成單 元A的含酰胺基聚合物（例如，上述通式（1)的R2、R3為碳原子數(shù)1~8的烷基或碳原子 數(shù)1~8 (例如1或2)的烷醇基的聚合物）時，從降低缺陷、霧度的觀點考慮，其Mw優(yōu)選小 于5X 104(例如小于4X 104、典型的是小于3X 104)。上述含酰胺聚合物為在主鏈中具有來 源于上述通式（2)或（3)表示的單體的構(gòu)成單元Α的含酰胺基聚合物時，其Mw例如小于 40X 104、優(yōu)選小于25X 104、更優(yōu)選小于20X 104、進一步優(yōu)選小于ΙΟΧ 104。
[0048] 對上述含酰胺基聚合物的重均分子量（Mw)和數(shù)均分子量（Μη)的關(guān)系沒有特別限 定。從防止聚集物產(chǎn)生等觀點考慮，例如可以優(yōu)選使用分子量分布（Mw/Mn)為5.0以下的 含酰胺基聚合物。從研磨用組合物的性能穩(wěn)定性等觀點考慮，含酰胺基聚合物的Mw/Mn優(yōu) 選為4. 0以下、更優(yōu)選為3. 5以下、進一步優(yōu)選為3. 0以下（例如2. 5以下）。
[0049] 需要說明的是，原理上，Mw/Mn為1. 0以上。從原料的獲取容易性、合成容易性的 觀點考慮