專利名稱：能防止粉塵吸附的廢氣輸送管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于廢氣輸送管，更詳細地說是關(guān)于廢氣特別是半導體生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣輸送到廢氣處理裝置時使用的具有防止粉塵吸附裝置的廢氣輸送管。
一般情況下，在生產(chǎn)半導體過程中產(chǎn)生的廢氣中含有較高濃度的有毒成分，因此排放之前必須消除有毒成分。廢氣先輸送到廢氣處理裝置中，經(jīng)過燃燒、淋濕或吸附等方法去除有毒成分。本發(fā)明中的廢氣處理裝置詳細記錄在美國專利登記第5、997、824號上。
用于把廢氣輸送到廢氣處理裝置的管道里經(jīng)過的廢氣中，含有毒性大的廢氣，因此管道的內(nèi)壁容易吸附有毒粉塵，嚴重時會堵塞管道。
以前為防止粉塵吸附在管道內(nèi)壁上，采用如

圖1所示的，在把廢氣輸送到廢氣處理裝置7的廢氣輸送管1的外圍卷上加熱線圈3，并在其外圍再加上絕熱層的方法，減少經(jīng)過廢氣溫度的變化。但，上述方法必須始終在管道上加熱，因此浪費能源，并且防止粉塵吸附的作用不太理想，需定期拆開管道清除內(nèi)部吸附的粉塵，另外設(shè)備也不簡便。
本發(fā)明的目的是提供一種能解決上述問題的同時結(jié)構(gòu)簡單、且防止粉塵吸附效果良好的廢氣輸送管。
為達到上述目的，本發(fā)明的廢氣輸送管內(nèi)設(shè)置有外徑和管道內(nèi)徑相同的彈簧，并且還設(shè)置有旋轉(zhuǎn)此彈簧用的電機；在管道彎曲的部位設(shè)置有中空的彎管接頭盒，并在其兩方向的管道端部設(shè)有電機；另外，還在不好設(shè)置彈簧的部位增設(shè)加熱線圈；前述防止粉塵吸附裝置可以設(shè)置在廢氣輸送管道的全長上，也可以只設(shè)在粉塵容易吸附的和廢氣處理裝置相連部位相近處。
使用時，本發(fā)明的廢氣輸送管在其內(nèi)部設(shè)置有被電機驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的彈簧，利用此彈簧和管道內(nèi)壁的磨擦防止粉塵的吸附。因此結(jié)構(gòu)非常簡單，大大提高了能量效率和防止粉塵吸附的效率。
下面參考附圖進行詳細說明。
圖1原有技術(shù)廢氣輸送管結(jié)構(gòu)的局部剖視圖。
圖2本發(fā)明第一實施例廢氣輸送管結(jié)構(gòu)的局部剖視圖。
圖3本發(fā)明第二實施例廢氣輸送管結(jié)構(gòu)的局部剖視圖。
符號的說明11a、11b、11c、21廢氣輸送管13a、13b、13c、23彈簧15a、15b彎管接頭盒17a、17b、17c、17d、27電機圖2是按照本發(fā)明的廢氣輸送管的第一實施例。如圖所示，廢氣輸送管11a、11b、11c的內(nèi)部設(shè)置有彈簧13a、13b、13c，這些彈簧被連在一端的電機17a、17b或17c、17d驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
前述的彈簧13a、13b、13c的外徑和管道11a、11b、11c的內(nèi)徑幾乎相等，因此在彈簧13a、13b、13 c旋轉(zhuǎn)時彈簧的外徑和管道11a、11b、11c的內(nèi)徑互相磨擦。
就這樣，本發(fā)明的廢氣輸送管11a、11b、11c利用管道內(nèi)壁和彈簧13a、13b、13c的外徑之間的磨擦作用防止粉塵吸附。
使用過程中會遇到需要把廢氣輸送管道彎曲90度以上的情況。此時在管道彎曲的部位設(shè)置中空的彎管接頭盒15a、15b、此彎管接頭盒15a、15b的兩方向管道11a、11b、11c的端部設(shè)有電機17a、17b、或17c、17d，各自帶動在管道11a、11b、11c內(nèi)部設(shè)置的彈簧13a、13b、13c旋轉(zhuǎn)。
另外，在連接管道11a、11b、11c中，其內(nèi)部不好設(shè)置彈簧的部位，比如說閥門(圖中沒有顯示)廢氣輸出口19等部位，可以局部設(shè)置加熱線圈。即本發(fā)明和原有技術(shù)一起作用起到補充完善的作用。
另，前述構(gòu)成的防止粉塵吸附的裝置可以在廢氣輸送管的全長上設(shè)置，也可以只設(shè)在粉塵容易吸附的部位，即廢氣輸送管和廢氣處理裝置7相連部位21相臨的部位。圖3就是采用這樣構(gòu)成的本發(fā)明的另一種實施例。
圖3只顯示了廢氣輸送管的端部21部位，彈簧23只設(shè)置在和廢氣處理裝置7相連接的廢氣輸送管內(nèi)，其彈簧23的一端連接有電機27，并驅(qū)動彈簧23旋轉(zhuǎn)，起防止粉塵吸附的作用。
如上所述構(gòu)成的本發(fā)明的具有防止粉塵吸附功能的廢氣輸送管的工作過程如下。
在生產(chǎn)半導體過程中產(chǎn)生的廢氣通過本發(fā)明的廢氣輸送管11a、11b、11c、21輸送到廢氣處理裝置7中，在廢氣經(jīng)過輸送管11a、11b、11c、21時，輸送管內(nèi)部的彈簧13a、13b、13c、23被電機驅(qū)動并旋轉(zhuǎn)，由此和管道的內(nèi)壁產(chǎn)生磨擦。因此，廢氣中的粉塵不被吸附在管道11a、11b、11c、21的內(nèi)壁上，和廢氣一起進入到廢氣處理裝置7中，廢氣在廢氣處理裝置中凈化。
如上構(gòu)成的本發(fā)明廢氣輸送管采用機械方法防止粉塵的吸附，因此結(jié)構(gòu)簡單、效率高。
因利用管道內(nèi)壁和彈簧外徑的磨擦方法，防止粉塵的吸附效果非常好，所以幾乎沒有必要進行清理作業(yè)，因此維修非常簡便。
以上只是說明了本發(fā)明的較理想的實施例，本發(fā)明并非局限于上述的本發(fā)明的實施例，在前述的本發(fā)明的權(quán)項范圍內(nèi)存在可以進行多種變化的實施方案的可能。
權(quán)利要求
1.一種能防止粉塵吸附的廢氣輸送管，其特征是其內(nèi)部設(shè)置有外徑和管道內(nèi)徑相等的彈簧，彈簧的一端與電機相連。
2.如權(quán)利要求1所述的廢氣輸送管，其特征是在輸送管彎曲的部位設(shè)置有中空彎管接頭盒，在其兩個方向的管道端部設(shè)置有電機。
3.如權(quán)利要求1所述的廢氣輸送管，其特征是在不容易設(shè)置彈簧裝置的部位設(shè)置加熱線圈。
4.如權(quán)利要求1所述的廢氣輸送管，其特征是彈簧設(shè)置在離廢氣輸送管和廢氣處理裝置相連部位較近處。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能防止粉塵吸附的廢氣輸送管。本發(fā)明中的廢氣輸送管是用于把廢氣輸送至廢氣處理裝置中,其內(nèi)部設(shè)有和管道內(nèi)徑相同外徑的彈簧,在此彈簧的端部設(shè)有用于旋轉(zhuǎn)此彈簧用的電機,用這樣的結(jié)構(gòu)防止粉塵的吸附。在管道彎曲的部位設(shè)有彎管接頭盒,其兩方向管道端部設(shè)有電機。在不好設(shè)置彈簧的部位增設(shè)加熱線圈。利用上述結(jié)構(gòu)的廢氣輸送管可以簡便,高效率地防止粉塵的吸附。
文檔編號B08B1/04GK1350137SQ0110396
公開日2002年5月22日 申請日期2001年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2000年10月24日
發(fā)明者金東秀 申請人:韓國M.A.T.有限公司