專利名稱：洗滌液的供給系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于在半導(dǎo)體工藝、LCD工藝等中的洗滌液供給系統(tǒng)。
現(xiàn)有技術(shù)在半導(dǎo)體工藝、LCD工藝等中，在許多工序里進(jìn)行洗滌液的供給。
例如，如果要對(duì)在半導(dǎo)體晶片表面上涂敷光致抗蝕劑的情況進(jìn)行說明的話，首先要用洗滌液預(yù)先濕式洗滌半導(dǎo)體晶片的表面，以提高潤濕性。用洗滌液洗凈涂敷光致抗蝕劑的噴嘴的前端部。用洗滌液除去蔓延至涂敷后的半導(dǎo)體晶片背面的涂敷液。為防止噴嘴前端部干燥，將噴嘴的前端部置于洗滌液蒸汽氣氛下。進(jìn)而用洗滌液洗凈涂敷裝置的杯的內(nèi)面等。
一直以來，各洗滌工序中使用過的洗滌液都是未經(jīng)處理即廢棄了。但是，因僅僅使用1次，洗滌液沒有那麼污染，可以再次使用。因此，特開平10-294248號(hào)公報(bào)提出了將在基板邊緣洗滌中使用的洗滌液再次用于基板邊緣洗滌。
如前所述，雖然在半導(dǎo)體工藝、LCD工藝中有許多洗滌工序，但是，并非在全部工序中都要求用高質(zhì)量的洗滌液，反之也有必須只使用完全不污染的新液的工序。
雖然在上述現(xiàn)有技術(shù)中，只限于對(duì)相同基板的邊緣洗滌用洗滌液反復(fù)使用幾次，完全沒有考慮在不同洗滌工序間要求清潔度的不同，因此留下在洗滌液的有效利用方面必須改善的課題。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述課題，本發(fā)明的洗滌液的供給系統(tǒng)可以將未使用的洗滌液從新液貯存罐供給第一個(gè)洗滌位置，并將該第一個(gè)洗滌位置使用過的洗滌液回收至使用過的液貯存罐中，從該使用過的液貯存罐將使用過的的洗滌液供給第二個(gè)洗滌位置。
按這樣的構(gòu)成來操作，由于只在必須使用新液的洗滌位置使用新液，而在只用使用過的洗滌液就可以解決問題的洗滌位置，則只使用已用過的的洗滌液，所以，能夠以較高的效率使用洗滌液。
另外，在第二個(gè)洗滌位置，至少要準(zhǔn)備2個(gè)使用過的液貯存罐，在將洗滌液從一個(gè)使用過的液貯存罐供給第二個(gè)洗滌位置期間，將來自第二個(gè)洗滌位置的洗滌液回收到另一個(gè)使用過的液貯存罐中，之后，只要按照規(guī)定次數(shù)交替反復(fù)上述操作，就能夠更有效率的充分使用洗滌液。
可以考慮，在上述第一個(gè)洗滌位置進(jìn)行被處理基板的預(yù)先濕式洗滌或涂敷噴嘴的洗滌，另外在上述第二個(gè)洗凈位置進(jìn)行被處理基板的邊緣洗滌、涂敷裝置的杯內(nèi)的洗滌，或向防止涂敷噴嘴干燥用的貯留槽供給溶劑。
另外，作為上述洗滌液，可舉例有有機(jī)溶劑溶液、特別是沸點(diǎn)120℃或以上(9.87×10-6Pa下)的有機(jī)溶劑溶液。


圖1是在第一洗滌位置用新液進(jìn)行洗滌狀態(tài)的系統(tǒng)的整體圖。
圖2是將第一洗滌位置使用過的的洗滌液送入第二洗滌位置的一個(gè)使用過的液貯存罐狀態(tài)的系統(tǒng)的整體圖。
圖3是將洗滌液從一個(gè)使用過的液貯存罐通過第二位置送入另一個(gè)使用過的液貯存罐狀態(tài)的系統(tǒng)的整體圖。
圖4是將洗滌液從另一個(gè)使用過的液貯存罐通過第二位置送入前述的一個(gè)使用過的液貯存罐狀態(tài)的系統(tǒng)的整體圖。
圖中符號(hào)的說明1…新液貯存罐2、3…使用過的液貯存罐4…空氣或氮?dú)獾墓夤?、6、7…分支管V1、V2、V3、V5a、V6a、V11、V12、V22、V31、V32、V33…閥門5a、6a、7a…排氣管 10、11…新液供給管12…送液管 21、22…使用過的洗滌液供給管30…返回管 31、32…返回管的支管33…排液管具體實(shí)施方案以下根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1至圖4是說明各洗滌工序的圖，具體的說，圖1是在第一洗滌位置用新液進(jìn)行洗滌狀態(tài)的系統(tǒng)的整體圖，圖2是將第一洗滌位置使用過的的洗滌液送入第二洗滌位置的一個(gè)使用過的洗滌液貯存罐狀態(tài)的系統(tǒng)整體圖，圖3是將洗滌液從一個(gè)使用過的洗滌液貯存罐通過第二位置送入另一個(gè)使用過的洗滌液貯存罐狀態(tài)的系統(tǒng)的整體圖，圖4是將洗滌液從另一個(gè)使用過的洗滌液貯存罐通過第二位置送入前述的洗滌一個(gè)使用過的液貯存罐狀態(tài)的系統(tǒng)的整體圖。
若說明系統(tǒng)的概略，則該系統(tǒng)備有新液貯存罐1，使用過的液貯存罐2、3，在各貯存罐1、2、3中通過配管4供給空氣或氮?dú)?。即，在由配?的分支管5、6、7上設(shè)置有閥門V1、V2、V3，另外在由分支管5、6、7分支的排氣管5a、6a、7a上也設(shè)置有閥門V5a、V6a、V7a。
備有過濾器的新液供給管10連接新液貯存罐1，另外備有閥門V11的新液供給管11從新液貯存罐1連接至第一洗滌位置。
在第一洗滌位置，例如，作成進(jìn)行預(yù)先濕式洗滌或洗滌噴嘴的裝置，第一洗滌位置和使用過的液貯存罐2則用備有泵P及閥門V12的送給管12連接。
另一方面，在第二洗滌位置，例如，設(shè)計(jì)為對(duì)基板進(jìn)行邊緣洗滌、在涂敷裝置的杯內(nèi)進(jìn)行洗滌或向防止涂敷噴嘴干燥用貯留槽供給溶劑的裝置，分別用使用過的洗滌液供給管21連接上述使用過的液貯存罐2和第二洗滌位置，用使用過的洗滌液供給管22連接上述使用過的液貯存罐3和第二洗滌位置，在使用過的洗滌液供給管21上設(shè)置有閥門V21，在使用過的洗滌液供給管22上設(shè)置有閥門V22。
另外，在第二洗滌位置和使用過的液貯存罐2、3之間用備有泵和過濾器的返回管30連接。即返回管30分支為配管31、32，配管31備置有閥門V31，同時(shí)，與使用過的洗滌液的貯存罐2連接，配管32也在備置閥門V32的同時(shí)，與使用過的洗滌液的貯存罐3連接。
另外，從返回管30的管道中，分支有排液管33，在該排液管上設(shè)置有閥門V33。
雖然在該例中，是使用2個(gè)使用過的液貯存罐的場(chǎng)合，但是，根據(jù)第二洗滌位置的洗滌液的使用量、使用過的液貯存罐的容量，可以使用3個(gè)或以上使用過的液貯存罐，其供給系統(tǒng)與上述使用2個(gè)使用過的液貯存罐的場(chǎng)合是一樣的。
在上述系統(tǒng)中，在第一洗滌位置進(jìn)行洗滌時(shí)，首先將閥門5a開啟、在其它閥門全部關(guān)閉的狀態(tài)下，通過供給管10將未使用過的的洗滌液供給新液貯存罐1。作為洗滌液可用有機(jī)溶劑溶液。
作為這樣的有機(jī)溶劑，較好的可以舉出一縮二丙二醇一烷基醚、例如，一縮二丙二醇一甲醚、一縮二丙二醇一乙醚、一縮二丙二醇一丙醚、一縮二丙二醇一丁醚等，但是，在這些之中，由于一縮二丙二醇一甲醚在保護(hù)膜的除去性、安全性及干燥性等方面優(yōu)良，所以較適宜。既可單獨(dú)使用一縮二丙二醇一甲醚，也可組合2種以上使用。
另外，可以舉出這些有機(jī)溶劑與其它易揮發(fā)性有機(jī)溶劑的混合物、或特定的有機(jī)溶劑等。
作為上述易揮發(fā)性有機(jī)溶劑可以舉出乙酸正丙酯[沸點(diǎn)102℃，蒸汽壓25mmHg(20℃)]、乙酸異丙酯[沸點(diǎn)89℃，蒸汽壓43mmHg(20℃)]、乙酸正丁酯[沸點(diǎn)126℃，蒸汽壓10mmHg(20℃)]、乙酸異丁酯[沸點(diǎn)118℃，蒸汽壓13mmHg(20℃)]的乙酸低級(jí)烷基醚系溶劑，甲乙酮[沸點(diǎn)80℃，蒸汽壓71mmHg(20℃)]、甲丙酮[沸點(diǎn)102℃，蒸汽壓12mmHg(20℃)]、甲基異丁基酮[沸點(diǎn)116℃，蒸汽壓17mmHg(22℃)]的低級(jí)酮系溶劑以及丙二醇一甲基醚[沸點(diǎn)120℃，蒸汽壓8mmHg(20℃)]、乙二醇一甲基醚[沸點(diǎn)125℃，蒸汽壓6mmHg(20℃)]的低級(jí)烯烴二醇一低級(jí)烷基醚系溶劑等沸點(diǎn)75～130℃，20℃時(shí)蒸汽壓為5～75mmHg的有機(jī)溶劑。這些易揮發(fā)性有機(jī)溶劑既可單獨(dú)使用，此外，也可2種或以上混合使用。該場(chǎng)合下，這些其它易揮發(fā)性有機(jī)溶劑的混合量，相對(duì)于與一縮二丙二醇一烷基醚的合計(jì)量，選擇不超過35重量％的范圍為佳。該量超出35重量％時(shí)，在保護(hù)膜除去后的表面上會(huì)殘留保護(hù)膜的殘留物。從干燥性和抑制保護(hù)膜殘留物等出發(fā)，這些其它的易揮發(fā)性有機(jī)溶劑更佳的混合量對(duì)于與一縮二丙二醇一烷基醚的合計(jì)量是5～35重量％的范圍、特別是10～30重量％的范圍為佳。通過并用這樣的易揮發(fā)性有機(jī)溶劑，能夠提高除去液的干燥性。
另外，作為上述特定的有機(jī)溶劑有內(nèi)酯類、含氧苯衍生物、亞砜類及酰胺類等。其中作為特別適宜的有機(jī)溶劑(括弧內(nèi)為20℃時(shí)的表面張力)，有γ-丁內(nèi)酯(43.9dyne/cm)、茴香醚(35.2dyne/cm)、芐醇(38.94dyne/cm)、二甲基亞砜(42.8dyne/cm)、N-甲基吡咯烷酮(41dyne/cm)、甲酰胺(58.6dyne/cm)等。另外，作為可與這些特定的有機(jī)溶劑混合使用的有機(jī)溶劑例如有苯乙醚(32.85dyne/cm)。
在上述有機(jī)溶劑中特別是沸點(diǎn)在120℃或以上(9.87×10-6Pa下)的有機(jī)溶劑溶液為佳。
在它們當(dāng)中，使用從一縮二丙二醇一烷基醚、γ-丁內(nèi)酯、茴香醚、乙酸丁酯、丙二醇一甲醚、丙二醇一甲醚乙酸酯中選擇的至少一種為佳。其中，若采用一縮二丙二醇一烷基醚及乙酸丁酯的混合溶劑、γ-丁內(nèi)酯及茴香醚的混合溶劑，由于其回收、再利用的成本降低效果明顯，使得用本發(fā)明供給系統(tǒng)的效果高。
通過采用本發(fā)明的供給系統(tǒng)使這些有機(jī)溶劑多次循環(huán)利用成為可能。因此使得歷來系統(tǒng)中不能使用的高價(jià)的溶劑可以在本發(fā)明系統(tǒng)中可以使用。
如果將未使用的洗滌液充滿新液貯存罐1，如圖1所示，關(guān)閉閥門5a，打開閥門V1，對(duì)新液貯存罐1內(nèi)加壓，同時(shí)打開閥門V11。藉此，新液貯存罐1內(nèi)的未使用的洗滌液就會(huì)送到第一洗滌位置，可供預(yù)先濕式洗滌或噴嘴洗滌。
第一洗滌位置使用的洗滌液如圖2所示，通過驅(qū)動(dòng)送液管12的泵P，同時(shí)打開閥門12，而被送進(jìn)使用過的液貯存罐2中。還有，在這種場(chǎng)合下，打開閥門6a，直至洗滌液停留并積存于使用過的液貯存罐2內(nèi)，然后關(guān)閉閥門6a，同時(shí)打開閥門V2，對(duì)使用過的液貯存罐2內(nèi)進(jìn)行加壓。
其次，如圖3所示，打開閥門V2、閥門V21及閥門V32，關(guān)閉其它閥門。藉此，使用過的液貯存罐2內(nèi)的使用過的洗滌液通過供給管21被送到第二洗滌位置，供基板的邊緣洗滌、杯內(nèi)的洗滌或向防止涂敷噴嘴干燥用貯槽供給溶劑。而且，在第二洗滌位置使用過的洗滌液通過返回管30及分支配管32回收到使用過的液貯存罐3中。
其后，如圖4所示，打開閥門V3，向使用過的液貯存罐3內(nèi)加壓，同時(shí)打開閥門V22及閥門V31，關(guān)閉其它閥門。藉此，使用過的液貯存罐3內(nèi)的使用過的洗滌液通過供給管22再送到第二洗滌位置，供基板的邊緣洗滌、杯內(nèi)洗滌或向防止涂敷噴嘴干燥用貯槽供給溶劑。而且，在第二洗滌位置使用的洗滌液通過返回管30及分支配管31回收到使用過的液貯存罐2中。
如果使用過的洗滌液在以上的使用過的液貯存罐2、3間進(jìn)行幾次往復(fù)，洗滌液變臟，在第二洗滌位置也不能使用時(shí)，就在關(guān)閉閥門V31及閥門V32的同時(shí)打開排液管33的閥門V33，將使用過的的洗滌液回收到其它貯罐等中。
圖中所示的配管只是一個(gè)例子，只要采用能使第一洗滌位置使用的洗滌液在第二洗滌位置反復(fù)使用的構(gòu)成，對(duì)上述構(gòu)成就沒有限定。例如，不通過貯存罐2等的使用過的液貯存罐，而通過設(shè)置有過濾器及泵的配管將送液直接從第一位置送到第二位置，或者也可設(shè)置從新液貯存罐直接向第二位置進(jìn)行送液的配管。另外，也可在第二洗滌位置的下游側(cè)，設(shè)置第三洗滌位置，它使用在第二洗滌位置使用過的的洗滌液。
再有，使用過的洗滌液的連續(xù)使用次數(shù)，有按附設(shè)的計(jì)算機(jī)計(jì)數(shù)，一達(dá)到預(yù)先對(duì)每一溶劑設(shè)定的使用次數(shù)，就通過廢液管廢棄的方法等。另外，除此以外例如采用在圖1的配管21、22或30上安裝檢測(cè)裝置，對(duì)適宜的溶劑采樣、分析，當(dāng)發(fā)生一定水平以上的惡化時(shí)，通過廢液管廢棄的方法。作為這樣的檢測(cè)裝置，可考慮采用紫外線吸收測(cè)定、超聲波測(cè)定或者質(zhì)量分析測(cè)定等。
如以上說明那樣，按照本發(fā)明，在必須使用新液洗滌的預(yù)先濕式洗滌或涂敷噴嘴洗滌的第一洗滌位置，供給未使用的洗滌液，以使污物決不會(huì)附著在基板上，將來自上述第一洗滌位置的洗滌液供給即使使用已用過的的洗滌液也可以充分滿足基板的邊緣洗滌、涂敷裝置的杯內(nèi)的洗滌或向防止涂敷噴嘴干燥用貯留槽供給溶劑的第二洗滌位置，所以在半導(dǎo)體工藝或LCD工藝中能夠無浪費(fèi)地充分使用洗滌液直到最后用完洗滌液。
權(quán)利要求
1.洗滌液的供給系統(tǒng)，其特征在于，將未使用的洗滌液從新液貯存罐供給第一洗滌位置，將在該第一洗滌位置使用的洗滌液回收至使用過的液貯存罐中，將使用過的洗滌液從該使用過的液貯存罐供給第二洗滌位置。
2.權(quán)利要求1所述的洗滌液的供給系統(tǒng)，其特征在于，上述使用過的液貯存罐準(zhǔn)備至少2個(gè)，在將洗滌液從一個(gè)使用過的液貯存罐供給第二個(gè)洗滌位置期間，將來自第二個(gè)洗滌位置的洗滌液回收到另一個(gè)使用過的液貯存罐中，之后，使上述操作按規(guī)定次數(shù)交替反復(fù)進(jìn)行。
3.權(quán)利要求1所述的洗滌液的供給系統(tǒng)，其特征在于，在上述第一洗滌位置對(duì)被處理基板，進(jìn)行預(yù)先濕式洗滌或涂敷噴嘴的洗滌。
4.權(quán)利要求1所述的洗滌液的供給系統(tǒng)，其特征在于，在上述第二個(gè)洗凈位置進(jìn)行被處理基板的邊緣洗滌、涂敷裝置的杯內(nèi)的洗滌或向防止涂敷噴嘴干燥用貯槽供給溶劑。
5.權(quán)利要求1～4中任何一項(xiàng)所述的洗滌液的供給系統(tǒng)，其特征在于，上述洗滌液是有機(jī)溶劑溶液。
6.權(quán)利要求1～4中任何一項(xiàng)所述的洗滌液的供給系統(tǒng)，其特征在于，上述洗滌液是沸點(diǎn)為120℃或以上(9.87×10-6Pa下)的有機(jī)溶劑溶液。
全文摘要
提供一種能夠使洗滌液恰當(dāng)而且不浪費(fèi)的充分使用的供給系統(tǒng)。在第一洗滌位置使用的洗滌液通過送給管12送至使用過的液貯存罐2中。而且,使用過的液貯存罐2的使用過的洗滌液通過供給管21送至第二洗滌位置,供基板邊緣部洗滌或杯內(nèi)洗滌。此外,在第二洗滌位置使用的洗滌液則通過返回管30及分支配管32回收至使用過的液貯存罐3中。
文檔編號(hào)B08B3/04GK1343002SQ0113723
公開日2002年4月3日 申請(qǐng)日期2001年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月5日
發(fā)明者島井太, 越山淳, 平康充 申請(qǐng)人:東京広化工業(yè)株式會(huì)社