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      玻璃基板清洗用載具的制作方法

      文檔序號:1371217閱讀:229來源:國知局
      專利名稱:玻璃基板清洗用載具的制作方法
      技術領域
      本發(fā)明是關于一種玻璃基板清洗用載具。
      背景技術
      玻璃清洗為光學鍍膜制程的第一步,為提高鍍膜的品質,如何完整清洗成為重要的課題。玻璃基板上的污染多來自于研磨液及環(huán)境粉塵附著。為節(jié)省無塵室溫濕度的控制成本,玻璃基板清洗通常建立在非無塵室或者無塵室等級較差的環(huán)境中,但如此則導致清洗后的玻璃基板會重新受環(huán)境及設備內部粉塵的污染。
      請參照圖1,是一種現有技術玻璃基板清洗用載具1。其由一框架11組成,該框架11內部設有一載置臺111,該載置臺111用于放置玻璃基板13。清洗時先將玻璃基板13置于載置臺111,之后將框架11浸入清洗液(圖未示),按照既定時間清洗后將該框架11從清洗液中撈出即可。由于玻璃基板13清洗是在非無塵室或者無塵室等級較差的環(huán)境中進行,雖可節(jié)省成本,但也容易導致清洗后的玻璃基板13會重新受環(huán)境及設備內部粉塵的污染。

      發(fā)明內容為克服現有技術的玻璃基板清洗用載具容易使清洗后的玻璃基板重新被污染的問題,本發(fā)明提供一種清洗后的玻璃基板不會被重新污染的玻璃基板清洗用載具。
      本發(fā)明解決技術問題所采用的技術方案是提供一種玻璃基板清洗用載具,其由一框架組成,該框架的內部設有用于放置玻璃基板的載置臺,該載置臺的上下分別有一上蓋板和一下蓋板,該上蓋板和下蓋板由經過框架上梁的至少二根履帶相互連接,在清洗液中該上蓋板浮起,該下蓋板向下移動,在空氣中該上蓋板在重力作用下向載置臺的方向移動,在履帶的作用下該下蓋板向上移動。
      相較于現有技術,由于本發(fā)明玻璃基板清洗用載具的載置臺的上下分別有一上蓋板和一下蓋板,該上蓋板和下蓋板由經過框架上梁的至少二根履帶相互連接,在清洗液中該上蓋板浮起,該下蓋板向下移動,在空氣中該上蓋板在重力作用下向載置臺的方向移動,在履帶的作用下該下蓋板向上移動,形成對載置臺的上下蓋合,保證清洗后的玻璃基板不會被重新污染。

      圖1是現有技術玻璃基板清洗用載具的立體示意圖。
      圖2是本發(fā)明第一實施方式玻璃基板清洗用載具在空氣中的立體示意圖。
      圖3是本發(fā)明第一實施方式玻璃基板清洗用載具在清洗液中的立體示意圖。
      圖4是本發(fā)明第二實施方式玻璃基板清洗用載具在清洗液中的立體示意圖。
      具體實施方式請參閱圖2和圖3,分別是本發(fā)明第一實施方式玻璃基板清洗用載具在空氣中的立體示意圖和在清洗液中的立體示意圖。該玻璃基板清洗用載具3包括一框架31,該框架31的內部設有用于放置玻璃基板33的載置臺311,該載置臺311上方設有可上下移動的一上蓋板313,載置臺311的下方設有可上下移動的一下蓋板315,該上蓋板313和該下蓋板315由經過框架31上梁31a的至少兩根履帶317相互連接。該上蓋板313由可浮于清洗液的材料制成,因清洗液的不同,上蓋板313的材料也不盡相同。該履帶317在該框架31的左右兩側,每側至少有一根履帶317,一般采用每側兩根的排列方式。為減少履帶317的阻力,可以在框架31的上梁31a設置滾輪。根據所要清洗的玻璃基板的尺寸大小,該載置臺311上可以放置一個或多個玻璃基板33,在清洗尺寸較小的玻璃基板33時可以在載置臺311上放置多個玻璃基板33,在清洗尺寸較大的玻璃基板33時可放置一個玻璃基板33。
      清洗前將玻璃基板33置于載置臺311上,將載有玻璃基板33的玻璃基板清洗用載具3放入清洗液槽A中清洗,此時上蓋板313在清洗液浮力的作用下向上移動,下蓋板315在重力作用下向下移動,即上蓋板313和下蓋板315均遠離載置臺311,此舉有利于玻璃基板33的清洗,按照既定時間清洗后,將玻璃基板清洗用載具3從清洗液中撈出,此時上蓋板313在重力作用下向下移動,下蓋板315在履帶317的帶動下向上移動,即上蓋板313和下蓋板315均向玻璃基板33靠近并封住玻璃基板33,以此保護清洗后的玻璃基板33不會被重新污染。
      請參閱圖4,是本發(fā)明第二實施方式玻璃基板清洗用載具在清洗液中的立體示意圖。該玻璃基板清洗用載具5包括一框架51,該框架51的內部設有用于放置玻璃基板53的載置臺511,該載置臺511上方設有可上下移動的一上蓋板513,載置臺511的下方設有可上下移動的一下蓋板515,該上蓋板513和該下蓋板515由經過框架51上梁51a的至少兩根履帶517相互連接。將玻璃基板清洗用載具5放入清洗液槽B中清洗時,其動作原理和第一實施方式大致相同,其不同點在于,該載置臺511的周圍設有側蓋板5111。上蓋板513、下蓋板515及側蓋板5111形成一密封空間,保護其內的玻璃基板53,此舉可以更有效保護清洗過的玻璃基板53不會被重新污染。
      權利要求
      1.一種玻璃基板清洗用載具,其包括一框架,該框架的內部設有一用于放置玻璃基板的載置臺,其特征在于該框架具有一上梁,該載置臺的上方具有可上下移動的由可浮于清洗液的材料制成的上蓋板,該載置臺的下方具有可上下移動的下蓋板,該上蓋板和該下蓋板由經過框架上梁的履帶相互連接,在清洗液中該上蓋板在浮力作用下向上浮起,該下蓋板向下移動,在空氣中該上蓋板在重力作用下向載置臺的方向移動,并通過履帶使下蓋板向上移動,形成對載置臺的上下蓋合。
      2.如權利要求1所述的玻璃基板清洗用載具,其特征在于該履帶在該框架的左右兩相對側,且每側至少一根。
      3.如權利要求1所述的玻璃基板清洗用載具,其特征在于該框架的上梁設有滾輪,用于減少履帶的摩擦力。
      4.如權利要求1所述的玻璃基板清洗用載具,其特征在于該載置臺的周圍設有側蓋板。
      全文摘要
      本發(fā)明公開一種玻璃基板清洗用載具,其由一框架組成,該框架的內部設有用于放置玻璃基板的載置臺,該載置臺的上下分別有一上蓋板和一下蓋板,該上蓋板和下蓋板由經過框架上梁的至少二根履帶相互連接,在清洗液中該上蓋板浮起,該下蓋板向下移動,在空氣中該上蓋板在重力作用下向載置臺的方向移動,在履帶的作用下該下蓋板向上移動,形成對載置臺的上下蓋合,保證清洗后的玻璃基板不會被重新污染。
      文檔編號B08B3/04GK1796009SQ200410091860
      公開日2006年7月5日 申請日期2004年12月24日 優(yōu)先權日2004年12月24日
      發(fā)明者黃文正 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司
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