專利名稱：常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種常壓均勻冷等離子體對液晶顯示玻璃屏表面清洗設(shè)備，尤其是涉及一個由傳動系統(tǒng)帶動液晶顯示玻璃屏穿過常壓冷等離子體放電通道，使液晶顯示玻璃屏表面得到清洗和表面改性的裝置。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的清洗工藝一般是采用洗滌溶液清洗、酸清洗、去離子水清洗和超聲波清洗，這些清洗手段都不可避免會帶來清洗廢液的排放和清洗廢液的后續(xù)處理問題，這不但會造成環(huán)境污染，而且清洗成本較大。隨著常壓冷等離子體技術(shù)的突破和發(fā)展，一種綠色干化學(xué)清洗應(yīng)運而生，采用常壓冷等離子體進行表面清洗不但可以去除表面的有機物質(zhì)，而且可以實現(xiàn)對表面改性、改變其親水性和表面張力。
實用新型內(nèi)容考慮到現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種用常壓等離子體對液晶顯示玻璃屏進行表面清洗和改性的設(shè)備，包括一個殼體、射頻電源、供氣源、傳動系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、排氣口和放電通道主體，該設(shè)備包括一個殼體系統(tǒng)，該設(shè)備殼體上面設(shè)有一個長方體的放電通道主體，該放電通道主體由上下平行的金屬平板電極和兩側(cè)的絕緣材料構(gòu)成，上平板電極通過電纜與射頻源連接，叫射頻電極；下平板電極與地連接，叫地電極。在兩個電極上開有水冷通道，該水冷通道與外循環(huán)水連接。液晶玻璃通過傳動系統(tǒng)帶動由放電通道的一側(cè)進入，經(jīng)過通道內(nèi)等離子體清洗后，從另一側(cè)傳出，放電是在常壓下進行的。
所述的一種用常壓等離子體對液晶顯示玻璃屏進行表面清洗和改性的設(shè)備，該設(shè)備的傳動系統(tǒng)由一個電機、齒輪和傳動軸構(gòu)成，液晶顯示玻璃屏玻璃由多個傳動軸帶動通過等離子體的放電通道。
所述的一種用常壓等離子體對液晶顯示玻璃屏進行表面清洗和改性的設(shè)備，設(shè)備中的等離子體放電通道是由射頻電極、地電極以及兩側(cè)的絕緣介質(zhì)構(gòu)成，形成兩端開口的長方體形狀的放電通道，射頻電源的頻率為13.56MHz或27.12MHz。
所述的一種用常壓等離子體對液晶顯示玻璃屏進行表面清洗和改性的設(shè)備，其在射頻電極的下表面一側(cè)還開有多個與放電通道貫通的進氣孔，該多個進氣通孔的另一端與射頻電極內(nèi)部的一個大通氣孔貫通，該大通氣孔與進氣導(dǎo)管連通，該進氣導(dǎo)管與供氣源連接，該供氣源可以提供氦氣或氬氣，并可以加入氧氣、氮氣和CF4等反應(yīng)氣體。
該設(shè)備的電源、氣體流量計和步進電機等可以放置在殼體內(nèi)。
本實用新型是常壓等離子體液晶顯示玻璃屏表面清洗設(shè)備，其優(yōu)點是1、長方體的常壓低溫均勻冷等離子體放電通道的建立，可以實現(xiàn)干法綠色清洗。2、常壓冷等離子體無真空室限制，可以實現(xiàn)對液晶玻璃的連續(xù)清洗和處理。3、放電通道中所產(chǎn)生的射頻輝光等離子體，無電弧存在。4、等離子體放電通道不但可以清洗液晶玻璃表面的有機物，而且可以改變材料表面的親水性和表面張力。5、放電通道的中間部位開設(shè)有進氣孔，可以在等離子體通道內(nèi)引入不同的反應(yīng)氣體，從而可以產(chǎn)生不同成份的冷等離子體。6、通過控制電機的轉(zhuǎn)速可以改變液晶玻璃通過放電通道的時間。
本實用新型是利用大氣壓低溫冷等離子體放電通道，對液晶顯示玻璃屏、光學(xué)玻璃等進行表面改性的設(shè)備，不會帶來環(huán)境污染。


圖1為本實用新型實施例---常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備的正面剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例驅(qū)動軸結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例中殼體內(nèi)常壓低溫等離子體放電通道的正面剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例中殼體內(nèi)常壓低溫冷等離子體放電通道的側(cè)面剖視結(jié)構(gòu)示意圖；具體實施方式
下面參照附圖，結(jié)合具體的實施例對本實用新型進行詳細的描述。
參閱圖1，圖1中所示為根據(jù)本實用新型的實施例---常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備正面剖視結(jié)構(gòu)示意圖，包括一個殼體100，在設(shè)備的上部設(shè)有一個長方體的放電通道主體108，在該放電通道108的兩側(cè)設(shè)有多個傳動軸107，液晶顯示玻璃屏105放置在多個傳動軸上，液晶玻璃屏105通過多個傳動軸107帶動由放電通道108的一端進入，經(jīng)過通道108內(nèi)等離子體清洗后，從另一端傳出，放電是在常壓下進行。在放電通道主體108的上面設(shè)有一個排氣罩111，該排氣罩111上設(shè)有兩個排氣孔115，該排氣孔115可以排出由放電通道108排出的經(jīng)放電電離后的氣體。
參閱圖1和圖2，傳動系統(tǒng)包括一個可調(diào)速的步進電機200帶動多個傳動軸107，多個傳動軸107的一端通過軸承1071固定在殼體的一個側(cè)面上，另一端通過軸承固定在殼體的另一個側(cè)面上并與一個齒輪1072連接，多個傳動軸107的自轉(zhuǎn)是通過多個傳動軸107上各自的齒輪1072相互嚙合而傳動的。
參閱圖1、圖3和圖4，該設(shè)備放電通道主體由上下平行的金屬平板電極104和102和兩側(cè)密封的絕緣材料106構(gòu)成。上平板電極104通過電纜103與射頻電源101連接，下平板電極102連接殼體100并接地。參閱圖3，在上電極的下表面一側(cè)還開有多個與放電通道貫通的進氣孔201，該多個進氣孔201與上電極內(nèi)部的一個大通氣孔202貫通，該大通氣孔202通過進氣導(dǎo)管203以及氣體流量控制閥門204與供氣源205連接；參閱圖4，在射頻電極104和地電極102內(nèi)部分別開有水冷通道208，該水冷通道208與外循環(huán)水連接。
參閱圖1、圖2和圖3，該設(shè)備所使用的射頻電源101、氣體流量控制閥門204和可調(diào)速的步進電機200可以分別放置在殼體上114、112和113的位置。
射頻電極104、地電極102、傳動軸107可以由金屬材料，如不銹鋼，鋁等加工制成；絕緣體106可用陶瓷、玻璃、聚四氟乙烯等絕緣材料制成；排氣罩111可由塑料制成；殼體100可以由金屬材料，如不銹鋼或鋁材等加工制成。
當(dāng)射頻電壓加在電極104和電極102之間時，在射頻電極104和地電極102之間的氣體被擊穿電離形成低溫冷等離子體，放電是在常壓下進行的。根據(jù)實際需要調(diào)節(jié)射頻電源101的輸入功率和通過調(diào)節(jié)進氣量可以控制放電通道108中等離子體的狀態(tài)和活性物質(zhì)的濃度。
上面參考附圖結(jié)合具體的實施例對本實用新型進行了描述，然而，需要說明的是，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和范圍的情況下，可以對上述實施例作出許多改變和修改，這些改變和修改都落在本實用新型的權(quán)利要求限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備，包括一個殼體系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、傳動系統(tǒng)、放電通道主體和殼體排氣口，其特征在于在設(shè)備的上部設(shè)有一個長方體的放電通道主體，該放電通道主體由上下平行的金屬平板電極和兩側(cè)密封的絕緣材料構(gòu)成；上平板電極通過電纜與射頻電源連接，稱為射頻電極；下平板電極連接殼體并接地，稱為地電極；在上、下電極內(nèi)部分別開有水冷通道，該水冷通道與外循環(huán)水連接；在上電極的下表面一側(cè)還開有多個與放電通道貫通的進氣孔，該多個進氣孔與上電極內(nèi)部的一個大通氣孔連接，該大通氣孔通過進氣導(dǎo)管與供氣源連接；在地電極的兩側(cè)殼體上設(shè)有傳動系統(tǒng)，液晶玻璃屏通過傳動系統(tǒng)帶動由放電通道的一端進入，經(jīng)過通道內(nèi)等離子體清洗后，從另一端傳出，放電是在常壓下進行。
2.如權(quán)利要求1所述的常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備，其特征在于該設(shè)備所采用的射頻電源的頻率為13.56MHz或27.12MHz。
3.如權(quán)利要求1所述的常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備，其特征在于該射頻電極、地電極以及兩側(cè)的密封絕緣材料圍成一個兩端有開口的、長方體的放電通道，該射頻電極與地電極之間的間隔可調(diào)范圍為1～3.5毫米。
4.如權(quán)利要求1所述的常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備，其特征在于所述傳動系統(tǒng)，是在該設(shè)備放電通道主體的兩側(cè)設(shè)有多個傳動軸，該多個傳動軸在同一個平面上平行排列，多個傳動軸的一端通過一個軸承固定在殼體的一個側(cè)面上，另一端通過軸承與殼體另一側(cè)面固定，且固連一個齒輪，多個傳動軸中的一個齒輪與一個可調(diào)速的步進電機齒輪動連接，同時在該傳動軸齒輪與其它多個傳動軸齒輪之間相互嚙合，從而實現(xiàn)傳動軸同步自轉(zhuǎn)，液晶顯示玻璃屏放置在多個傳動軸上，從放電通道的一端進入，從另一端傳出。
5.如權(quán)利要求1所述的常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備，其特征在于該供氣源提供的工作氣體為氦氣或氬氣，或者加入氧氣、氮氣和CF4的反應(yīng)氣體。
6.如權(quán)利要求1所述的常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備，其特征在于在射頻電極和多個傳動軸上方設(shè)有一個排氣罩，在該排氣罩的兩側(cè)設(shè)有兩個排氣孔。
專利摘要本實用新型常壓等離子體清洗液晶顯示玻璃屏表面設(shè)備，包括殼體、電源、供氣、水冷、玻璃傳動系統(tǒng)和殼體排氣口，該設(shè)備有一個在常壓下能產(chǎn)生射頻均勻冷等離子體的長方體放電通道主體，主體是由兩個平行的、帶有進氣通孔和水冷通道的上下平板電極構(gòu)成，上平板電極與射頻電源連接，下平板電極與殼體和地連接，在兩個平板電極的兩側(cè)設(shè)有絕緣材料密封，傳動軸帶動液晶顯示玻璃屏由放電通道的一端進入，由另一端傳出。在通道中玻璃表面得到等離子體的清洗。放電采用頻率為13.56MHz的射頻電源，工作氣體是氬氣和氧氣。其能在大氣壓下產(chǎn)生穩(wěn)定放電的射頻氬氧冷等離子體通道，對穿過放電通道的各種玻璃或各種薄膜的表面進行表面清洗和表面改性。
文檔編號B08B11/00GK2785729SQ20052000147
公開日2006年6月7日 申請日期2005年1月25日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月25日
發(fā)明者王守國, 趙玲利 申請人:中國科學(xué)院光電研究院