專利名稱：：用于多孔墊的模塑可旋轉(zhuǎn)基體的制作方法用于多孔墊的模塑可旋轉(zhuǎn)基體本發(fā)明專利申請要求2005年12月6日提交的美國臨時專利申請No.60/742641以及2006年7月10日提交的美國臨時專利申請No.60/819605的優(yōu)先權(quán)，其中這些專利申請全文結(jié)合在此引作參考。在清潔、涂覆或蝕刻處理的過程中橫貫基板的均勻流體分布可以改進在清潔處理過程中從基板去除微粒、改進在涂覆操作中橫貫基板施加的膜的均勻性、或改進在蝕刻操作中從基板去除的膜層的均勻性?？尚D(zhuǎn)基體或刷具芯體可被用于橫貫基板而分布流體，其中所述可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體具有泡沫刷具，所述泡沫刷具覆蓋所述可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體。在制造用于多孔墊的可旋轉(zhuǎn)基體中，并且尤其在基體具有支承墊的基體的每單位面積的高比例的開口表面面積，在注射成型加工中或在后模塑機加工過程中基體對于高溫的暴露可導(dǎo)致可旋轉(zhuǎn)基體的尺寸誤差或尺寸穩(wěn)定性的損失。需要便宜的、輕重量的、尺寸穩(wěn)定的可旋轉(zhuǎn)基體部件，其中所述基體部件在模塑并且精修操作過程中保持尺寸穩(wěn)定性。需要便宜的、輕重量的、尺寸穩(wěn)定的可旋轉(zhuǎn)基體部件，其中所述基體部件支承多孔墊，所述墊與基體中的一個或多個空隙(void)互鎖，其中基體在用于清潔諸如晶片或平板顯示器的基板的過程中表現(xiàn)出尺寸穩(wěn)定性。本發(fā)明的實施例包括可旋轉(zhuǎn)基體或可旋轉(zhuǎn)刷具芯體，以及用于制造可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的方法，其中所述可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體在基板擦洗、清潔或涂覆操作中與覆蓋的海綿刷具或其它泡沫材料一起使用?；蹇梢允侨魏位?，所述基板需要承受這樣的操作以完成清潔操作、涂覆、蝕刻操作、或其它基板表面制備操作。例如，基板可以是半導(dǎo)體晶片、盤、平坦面板、或有益于可旋轉(zhuǎn)基體的任何其它類型的工件，其中所述可旋轉(zhuǎn)基體可沿可旋轉(zhuǎn)基體的整個長度或一部分將均勻控制的量的流體傳輸經(jīng)過刷具材料?？尚D(zhuǎn)基體或刷具芯體具有中央孔或?qū)Ч埽渲兴鲋醒肟谆驅(qū)Ч芫哂性诘谝欢瞬颗c第二端部之間延伸的長度。第一端部具有通到孔中的開口，所述孔由沿孔的內(nèi)側(cè)長度延伸的可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面限定。各開口將可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面與外側(cè)表面流體連通，并且各開口可具有這樣的軸線，所述軸線大致或基本上平行于形成開口的模板的徑向分離軸線，模板的徑向分離軸線基本上將所述模板一分為二。在一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體包括多個開口，所述開口分別具有軸線，其中所述軸線大致或基本上平行于將可旋轉(zhuǎn)基體劃分成兩個半圓柱形殼或部分的平面的Z軸線，所述平面包括可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的旋轉(zhuǎn)軸線?？尚D(zhuǎn)基體中的開口可以沿基體的一個半圓柱形殼部分設(shè)置，而第二孔口可沿基體的第二半圓柱形殼部分設(shè)置。每個半殼中的孔口或開口提供了可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面或孔與可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面之間的流體連通。在本發(fā)明的一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體中的開口可以是部分地或完全地充滿諸如多孔材料的泡沫或海綿，其包括或形成覆蓋可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的刷具。在一些實施例中，多孔材料在可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的孔中形成溝槽或芯體，沿可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的長度分布液體。在其它實施例中，覆蓋基體的刷具通過機械結(jié)合、粘合、化學(xué)結(jié)合或任何這些的組合的方式與可旋轉(zhuǎn)基體互鎖。在一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體是由具有封閉單元結(jié)構(gòu)的模塑的非多孔熱塑性材料形成?？尚D(zhuǎn)基體或刷具芯體可具有與刷具接觸的每面積的高開口面積或開口空隙容積與可旋轉(zhuǎn)基體的容積的高比例。在一些實施例中，起泡劑為高空隙容積基體提供了硬度和/或提供了結(jié)合表面，以便多孔墊或泡沫澆注到可旋轉(zhuǎn)基體的一個或多個表面上。本發(fā)明的一個實施例是用于多孔墊的可旋轉(zhuǎn)基體，其中，可旋轉(zhuǎn)基體具有一個或多個開口，以便流體從可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)經(jīng)過多孔墊流到可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)上?？尚D(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面與外側(cè)表面之間的開口可被劃分成一組或多組開口，每組開口位于由外側(cè)基體表面和基體的旋轉(zhuǎn)軸線限定的圓弧中。這組中的各開口具有這樣的軸線，所述軸線大致平行于將針對該組的圓弧一分為二的線?？尚D(zhuǎn)基體中的一個或多個開口提供從可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)至多孔墊的內(nèi)側(cè)的流體的均勻的分布?？尚D(zhuǎn)基體中的一個或多個開口提供了流體從可旋轉(zhuǎn)基體至多孔墊的外側(cè)的均勻分布的壓降?？尚D(zhuǎn)基體的表面中的各開口可提供每可旋轉(zhuǎn)基體材料容積的高空隙容積的開口?？尚D(zhuǎn)基體開口可提供具有減小的或最小化的壓降的每基體材料容積的高空隙容積。在一些實施例中，多孔墊與基體中的一個或多個開口互鎖?；w可提供通過帶有芯體的多孔泡沫材料的液體的流量平衡和分布，其中所述材料例如為聚乙烯醇縮醛，包括與基體互鎖的材料。在一些實施例中，多孔泡沫材料與基體機械互鎖。有利地，待處理的基板與基體上的多孔墊設(shè)有與設(shè)于基板的面基本相同的化學(xué)成分，而與沿多孔墊或刷具的長度的位置無關(guān)或與多孔墊或刷具的旋轉(zhuǎn)位置無關(guān)。本發(fā)明的另一實施例是用于多孔墊的模塑的可旋轉(zhuǎn)基體，提供了液體到待處理的基板的流量平衡和分布。在一些實施例中，模塑的可旋轉(zhuǎn)基體包括模塑的多孔墊，所述墊與基體中的開口互鎖，并可選地具有多孔芯體。在一些實施例中，模塑的基體由兩件式模具形成，并可包括包含拔模角度的開口。拔模角度提供了在基體的面積內(nèi)經(jīng)過多孔墊的基本均勻的流體或液體流，并有助于模板從模塑的基體取出。在一些實施例中，用于形成可旋轉(zhuǎn)基體的模具可包括兩個或多個部件。在其它實施例中，用于形成可旋轉(zhuǎn)基體的模具包括兩個半部，以在可旋轉(zhuǎn)基體中形成開口。模塑的基體可包括開口，所述開口橫貫或經(jīng)過基體的外側(cè)表面到達基體的內(nèi)側(cè)表面，各開口可包括拔模角度，以有助于從模具取出模塑的基體。模塑的可旋轉(zhuǎn)基體可比可旋轉(zhuǎn)基體的機加工部件更便宜地制造。模塑允許降低可旋轉(zhuǎn)基體的加工成本，而并不犧牲基體的其它方面，例如強度、壓降、橫貫所述可旋轉(zhuǎn)基體的流量平衡或大致均勻的流量分布。本發(fā)明的一個實施例是澆注到模塑的可旋轉(zhuǎn)基體上的多孔墊，其中在所述基體中具有一個或多個開口，所述開口包括拔模角度，各開口為可旋轉(zhuǎn)基體提供了每基體單元容積的高空隙容積?？蛇x地，基體的材料、其尺寸例如長度、壁厚、內(nèi)徑、外徑、空隙容積(voidvolume)、或可旋轉(zhuǎn)基體中開口的數(shù)量可被選擇成向可旋轉(zhuǎn)基體提供用于清潔或涂覆加工的足夠的機械特性，并且提供經(jīng)過墊的基本上均勻的流，而具有減小的或最小化的壓降。參照附圖、權(quán)利要求書將清楚本發(fā)明的其它部分、其它方面、特定、優(yōu)勢和優(yōu)點，并且在附圖中圖1是本發(fā)明的實施例的可旋轉(zhuǎn)基體的透視圖；圖2是沿本發(fā)明的實施例的可旋轉(zhuǎn)基體的長度的透視剖視圖；圖3是本發(fā)明的實施例的基體的剖切透視圖，示出了沿y軸線的基體的x-z平面和旋轉(zhuǎn)軸線；圖4是可旋轉(zhuǎn)基體的實施例的剖視圖；圖5是沿本發(fā)明的實施例的長度的剖切透視圖，示出了與可旋轉(zhuǎn)基體互鎖的多孔墊；圖6是在沿可旋轉(zhuǎn)基體的長度的點垂直于可旋轉(zhuǎn)基體的長度的剖視圖，示出了澆注在可旋轉(zhuǎn)基體的開口中的多孔墊，所述可旋轉(zhuǎn)基體可由兩板式模具制成；圖7A至7B示出了與(澆注在可旋轉(zhuǎn)基體中的多孔墊)本發(fā)明的實施例中的可旋轉(zhuǎn)基體的長度垂直的剖視圖，這些圖還示出了由兩板式模具制成的基體的各方面；圖8示出了本發(fā)明的實施例，基體內(nèi)的一個或多個槽具有很小的或沒有壁角度，槽的形狀為矩形或其它合適的形狀；圖9示出了設(shè)有一個或多個內(nèi)側(cè)凸緣的本發(fā)明的實施例，其中所述內(nèi)側(cè)凸緣從驅(qū)動端部凸緣和基體流體入口凸緣偏離；圖IO示出了模塑有開口流體入口端部的本發(fā)明的實施例，其中各種不同的流體入口接頭可結(jié)合至所述端部；圖11示出了利用兩板式模具模塑可旋轉(zhuǎn)基體的剖視圖，其中模具銷分別包括大致平行于將位于相連的模具半部之間的平面的z軸線的軸線。在說明本發(fā)明的成分和方法之前，應(yīng)該理解的是，本發(fā)明并不限于所述具體的成分、部分、方法或協(xié)議，它們還可以改變。還應(yīng)該理解的是，在說明書中所使用的術(shù)語僅僅是出于描述具體的形式或?qū)嵤├哪康?，并且將不限制本發(fā)明的范圍，其中所述范圍僅僅由權(quán)利要求書限定。還必須清楚的是，正如在此所用以及在權(quán)利要求書中，單數(shù)形式"一個"、"一"和"所述"包括多個標記，除非上下文清楚地表明了區(qū)別。因而，例如，"開口"的標記是一個或多個開口及其本
技術(shù)領(lǐng)域：
公知的等同物等的標記。除非以其它方式限定，在此所用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有通常由本
技術(shù)領(lǐng)域：
人員所知的相同的意思。類似于或等同于那些在此所述的不同的方法和材料被用在本發(fā)明的實施例的實踐或測試中。在此所述的所有出版物結(jié)合在此引作參考。這些并不能認為，本發(fā)明并不限于現(xiàn)有技術(shù)的這種公開。"可選的"或"可選地"意味著隨后說明的事件或環(huán)境可以或不可以出現(xiàn)，并且說明書包括事件出現(xiàn)的情況和其并不出現(xiàn)的實施例。本發(fā)明的實施例可包括或包含細長的可旋轉(zhuǎn)基體，其中所述基體具有內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面，所述可旋轉(zhuǎn)基體可被劃分成圓柱體的一個或多個部分，其中所述各部分可以是相同的或不同的。例如，可旋轉(zhuǎn)基體可由第一半圓柱體和第二半圓柱體限定，它們可被平面分離，例如可通過兩部件式模具被形成；第一和第二半部可具有相同或不同布置結(jié)構(gòu)的開口或其它結(jié)構(gòu)，例如凸緣、用于驅(qū)動端部或流體入口的安裝件、驅(qū)動端部或流體入口接頭?？尚D(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面形成可旋轉(zhuǎn)基體內(nèi)的孔，所述孔由內(nèi)側(cè)表面包圍并包括位于內(nèi)側(cè)表面與外側(cè)表面之間的一個或多個開口。各開口流體連通(fluidlyconnect)內(nèi)側(cè)和外側(cè)基體表面。在一些實施例中，各開口由軸線限定，所述軸線基本上或大致平行于用于形成開口的模板的徑向分離軸線，模板的徑向分離軸線基本上將模板一分為二。在其它實施例中，每個開口具有這樣的軸線，所述軸線基本上或大致平行于這樣的平面的z軸線，其中所述平面將可旋轉(zhuǎn)基體劃分成兩個半圓柱形殼體或部分，所述平面可以是將兩部件式或兩板式模具分離的平面。在一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體中的一個或多個開口至少部分地填充有澆注到開口內(nèi)的泡沫或海綿材料；在一些實施例中，該泡沫或海綿材料也澆注到可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面上。在另一些實施例中，泡沬或海綿材料與可旋轉(zhuǎn)基體互鎖，以形成位于可旋轉(zhuǎn)基體的孔內(nèi)的海綿或泡沫材料的芯體。本發(fā)明的一個實施例是這樣一種裝置，所述裝置包括或包含熱塑性材料的可旋轉(zhuǎn)基體，所述可旋轉(zhuǎn)基體具有封閉的單元結(jié)構(gòu)(closedcellstructure)。可旋轉(zhuǎn)基體具有驅(qū)動端部、流體入口端部、內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面；所述基體的內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面通過一個或多個開口互連，其中所述開口有助于液體從基體的內(nèi)側(cè)表面到達基體的外側(cè)表面。開口和基體可通過兩個或多個模板由熱塑性材料形成。所述模板具有一個或多個模具銷，以形成基體中的開口，并且所述模具銷具有這樣的軸線，所述軸線大致平行于每個模板的分離軸線。本發(fā)明的一個實施例是用于多孔墊或刷具的可旋轉(zhuǎn)基體?？尚D(zhuǎn)基體具有開口表面面積與支承多孔墊的基體的面積的高比例。多孔墊可與基體的開口互鎖；在一些實施例中，多孔墊與開口或溝槽互鎖，并且多孔墊還可形成基體內(nèi)的通道或芯體。開口表面面積與基體的面積的高比例有利地允許流體沿基體均勻分布至基板。開口表面面積與基體的面積的高比例有利地允許流體或液體沿基體和墊減小的或未受限制的分布至基板。圖1示出了本發(fā)明實施例的可旋轉(zhuǎn)基體100的透視圖?？尚D(zhuǎn)基體可包括驅(qū)動端部120、流體入口端部110、內(nèi)側(cè)表面(未示出)和外側(cè)表面128?；w100的內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面128通過一個或多個溝槽或開口例如126、130或134被流體互連(fluidlyinterconnect),其中所述溝槽或開口將液體從基體100的內(nèi)側(cè)表面分布至基體100的外側(cè)表面128。可旋轉(zhuǎn)基體還可包括驅(qū)動端部凸緣124和入口凸緣102，它們將多孔墊(未示出)支承并定位在基體100上，以及驅(qū)動端部120，以將可旋轉(zhuǎn)基體連接至可旋轉(zhuǎn)所述可旋轉(zhuǎn)基體100的加工工具的驅(qū)動部分。液體入口110可連接至來自加工工具的液體的源。在本發(fā)明的一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體的驅(qū)動端部可被模塑為在兩端上的開放導(dǎo)管，例如，基體并未模塑有驅(qū)動端部120、并未模塑有凸緣124、或并未模塑有入口凸緣102。單獨的驅(qū)動端部接頭和或入口接頭(未示出)可隨后通過熱學(xué)、熔合、蒸氣、粘合劑或其它技術(shù)結(jié)合至可旋轉(zhuǎn)基體的端部，以提供驅(qū)動端部120以及凸緣124和入口凸緣102。這種制造可旋轉(zhuǎn)基體的方法可用于構(gòu)成用于各種不同加工工具的可旋轉(zhuǎn)基體，其具有不同的驅(qū)動端部或入口，同時使用基本模具以制造沒有接頭、凸緣或支件(offset)的基體的部分。圖2是沿本發(fā)明實施例的可旋轉(zhuǎn)基體的長度的透視剖視圖，示出了沿這樣的平面的圖1的可旋轉(zhuǎn)基體的一個半殼部分200，其中所述平面包括可旋轉(zhuǎn)基體的旋轉(zhuǎn)軸線。該平面(為了清楚未示出)定位在兩板式模具的兩個半部之間，其中所述模具可用于制造可旋轉(zhuǎn)基體或可旋轉(zhuǎn)刷具芯體。如圖所示，可旋轉(zhuǎn)基體的半殼部分200包括開口，這些開口例如但并不限于開口226(沒有拔模角度)、開口230(包括拔模角度)或開口234(包括拔模角度)，其中所述開口繞第一圓柱形半殼部分200設(shè)置，并且將外側(cè)基體表面228與內(nèi)側(cè)基體表面214流體互連。可以使用開口的其它組合以及不同的形狀。如圖2所示，內(nèi)側(cè)表面214限定了可旋轉(zhuǎn)基體的孔218的半部，其中所述孔允許液體從具有可選凸緣202的入口端部210流至遠端端部，其中所述遠端端部在該視圖中可選地包括芯體銷定位部222、凸緣224和驅(qū)動端部220。兩個半殼部分例如200形成可旋轉(zhuǎn)基體。在本發(fā)明的一些實施例中，半殼部分200可單獨地被模塑并通過熔解結(jié)合、熔化結(jié)合或通過其它合適的技術(shù)被連接在一起，以形成如圖1所示的整個可旋轉(zhuǎn)基體100?；w的內(nèi)側(cè)表面214可被用于密封至加工工具的圓形環(huán)、墊圈或其它密封表面，并經(jīng)由入口210將流體或液體傳輸至多孔墊(未示出)的芯體或在某些實施例中傳輸至可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面214。可選的芯體銷定位部222可用于在一些實施例中提供多孔材料的芯體?；w可包括驅(qū)動端部220以及可選的凸緣224，驅(qū)動端部將基體與工具心軸相連。基體可包括流體端部210，其中所述流體端部還可包括可選的凸緣202。圖3是垂直于本發(fā)明實施例的可旋轉(zhuǎn)基體300的長度的橫截面的透視圖，所述可旋轉(zhuǎn)基體300具有流體端部凸緣302和流體入口310。基體具有內(nèi)側(cè)表面314和外側(cè)基體表面328，其中所述表面形成可旋轉(zhuǎn)基體300的孔318。附圖示出了止擋邊緣如316和316a，其中所述止擋邊緣可由模具銷(moldpin)被形成或者通過機加工的方式被形成。在一些實施例中，包括起泡劑的熱塑性材料可被機加工以形成可旋轉(zhuǎn)基體。具有拔模角度的不同的開口330和334以及沒有拔模角度的一個或多個開口326被示出。本發(fā)明的實施例包括具有至少一個拔模角度的開口。這些開口可利用兩件式模具或兩板式模具或通過機加工的方式被制造。圖3示出了具有平面358的xyz坐標系統(tǒng)，其中所述平面基本上將可旋轉(zhuǎn)基體分成第一半部和第二半部。平面可定位在如圖所示的x-y平面內(nèi)，可旋轉(zhuǎn)基體的旋轉(zhuǎn)軸線沿y軸線設(shè)置并位于x-y平面內(nèi)。x-z平面包含旋轉(zhuǎn)軸線投影通過的平面，所述x-z平面垂直于x-y平面。圖4是從芯體銷定位部端朝向流體入口端部觀看的、沿圖3的x-z平面的可旋轉(zhuǎn)基體400的實施例的剖視圖。可旋轉(zhuǎn)基體400如圖所示具有基體壁454和流體端部凸緣402、外側(cè)基體表面428和形成孔418的內(nèi)側(cè)基體表面414。內(nèi)側(cè)基體表面414封閉孔，并且具有內(nèi)側(cè)表面開口430a，其中所述內(nèi)側(cè)表面開口連接至相對于基體400的外側(cè)表面428的具有拔模角度的開口430。開口430示出了模具止擋邊緣416。內(nèi)側(cè)表面414與外側(cè)表面428之間的其它開口包括但不限于沒有拔模角度的那些開口426、具有拔模角度和縮窄壁434a的那些開口434。平面458如圖所示劃分可旋轉(zhuǎn)基體的橫截面。圖5是沿具有多孔墊的可旋轉(zhuǎn)基體500的實施例的長度的透視剖視圖，示出了與可旋轉(zhuǎn)基體554互鎖的多孔墊550的非限制性實施例。多孔墊可包括外側(cè)表面546和突出部或突結(jié)(nodule)548?？尚D(zhuǎn)基體554可具有較高的空隙容積以及由開口占據(jù)的外側(cè)基體表面面積的較大部分。基體開口552中的多孔墊與基體554的孔中的多孔墊或泡沫材料的芯體512—起被示出?；w可由兩板式模具被模塑，其中所述模具形成具有拔模角度的一個或多個開口；可選地，模塑的可旋轉(zhuǎn)基體可包括驅(qū)動端部520和凸緣524以及流體入口510。可旋轉(zhuǎn)基體提供了流體從流體入口510改進地分布通過芯體518并經(jīng)由可旋轉(zhuǎn)基體554中的開口進入泡沫或多孔材料550中。液體可被分布至外側(cè)墊表面546和突出部548，在那里，液體可被分布到待處理的基板或其它表面上。圖6是圖1的可旋轉(zhuǎn)基體在沿長度的第一點上的剖視圖，示出了澆注到可旋轉(zhuǎn)基體654的實施例上的具有可選的突出部648的多孔墊650。視圖示出了模塑至基體654的多孔墊形成多孔墊或泡沫材料的芯體612。多孔墊如圖所示處于基體654的一個或多個溝槽或開口626中；基體可由兩板式模具被模塑。圖7A至7B示出了沿基體的長度的第二點的圖1中的可旋轉(zhuǎn)基體的橫截面視圖。該橫截面視圖示出了具有一個或多個突出部748的泡沫或多孔墊材料750充滿例如但不限于附圖標記726和730的一個或多個開口，其中所述開口通過厚度為WT的可旋轉(zhuǎn)基體壁754將外側(cè)基體表面728與內(nèi)側(cè)基體表面714互連。可選地，多孔墊材料750形成沿內(nèi)側(cè)基體表面714的芯體712?？稍诨w內(nèi)形成的例如具有各種不同拔模角度(A、B、C)的開口例如726和730相對于切向于基體的外側(cè)表面的線L和丁2以及平行于開口的壁的線P。P2和P3被示出。更具體地講，非限制性拔模角度B可相對于線T^和P2被限定。圖7B示出了假想的平面758，其中所述平面將可旋轉(zhuǎn)基體劃分成兩個半部，開口730和726分別具有諸如752和752a的軸線，所述軸線相應(yīng)地大致平行于與平面758垂直的z軸線758a。開口730和726具有相對于軸線限定的形狀和壁斜坡，其中所述軸線大致平行于兩個模板(未示出)的徑向分離軸線，其中所述徑向隔離軸線沿758a分布，其中所述模板可用于形成各開口。z軸線758a基本上將所述模板一分為二。圖8示出了本發(fā)明的實施例800，其中在基體中具有不同形狀的一個或多個槽或開口，其中所述槽或開口具有很小的或沒有拔模角度，例如但不限于826或826a。槽或開口的形狀可以是矩形或其它合適的形狀，例如由連接的直線和彎曲線的組合形成。還示出了具有壁角度的、基體800的外側(cè)表面828中的一個或多個開口830、830a或834，其中開口的形狀是矩形其它合適的形狀，例如由連接的直線和彎曲線的組合形成。圖8的實施例示出了流體入口810、入口多孔墊凸緣802、驅(qū)動端部多孔墊凸緣824和驅(qū)動端部820。在圖8中沿基體800的線(a)至(e)示出了在此所述的基體中的相鄰行的開口之間的開口的接近度。圖9示出了本發(fā)明的實施例900，其具有表面928，所述表面可設(shè)有一個或多個可選的內(nèi)側(cè)墊或海綿凸緣924a和902a，它們分別從驅(qū)動端部凸緣924和基體流體入口凸緣902偏置。內(nèi)側(cè)凸緣902a和924a可用于限定多孔墊材料，其中所述多孔墊材料與基體900中的一個或多個開口互鎖，以選定內(nèi)側(cè)凸緣之間的基體的區(qū)域。內(nèi)側(cè)凸緣的位置可基于以下因素被選擇，待處理的基板的清潔或涂覆要求、基板的尺寸以及工具的幾何形狀?；w的偏置區(qū)域卯4a和904b可選地可由多孔墊材料覆蓋；偏置區(qū)域并不包括通至可旋轉(zhuǎn)基體的孔的開口。圖9的實施例示出具有基體表面928中的一個或多個槽或開口926或926a，所述槽或開口可具有很小或沒有壁角度，形狀為矩形926或其它合適的曲線形狀926a;同樣示出的是具有壁角度的、基體內(nèi)的一個或多個開口，其形狀為矩形930或其它合適的曲線形狀930a。具有壁角度與縮窄側(cè)部934的組合的開口也被示出。圖9中的實施例具有流體入口910和可選的驅(qū)動端部920。圖10是本發(fā)明實施例的示意圖，具有橢圓形開口1030，所述開口流體連通基體1000的外側(cè)表面1028和內(nèi)側(cè)表面(未示出)?？尚D(zhuǎn)基體1000的開口1030示出可選地被對正；在其它實施例中，各開口可以是相同的或不同的，并且可不被對正。圖10的開口為位于多孔墊材料或其它泡沫材料下方的可旋轉(zhuǎn)基體的全部表面面積的大約9%，其中所述多孔墊材料或其它泡沬材料覆蓋可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面1028(墊未示出)。限定開口和連接孔(未示出)的開口1030與外側(cè)表面1028之間的距離的尺寸和形狀以及孔與基體的外側(cè)表面之間的壁的減小的厚度減小了這樣的需求，即在可旋轉(zhuǎn)基體的表面中形成具有孔口的表面溝槽或具有孔口的矩陣溝槽，從而將液體從芯體分布至基體。圖10示出了本發(fā)明的實施例可在沒有驅(qū)動端部和或入口接頭的情況下被模塑。在圖10中，可旋轉(zhuǎn)基體形成有模塑的驅(qū)動端部接頭1024和流體入口端部1006。獨立的流體入口接頭1002隨后可通過熱學(xué)、熔接、蒸氣、粘合劑的方式結(jié)合或鎖扣到可旋轉(zhuǎn)基體的流體入口端部1006處的諸如1008的開口中，以提供一體的驅(qū)動端部1024和流體入口凸緣1002。該方法可被用于構(gòu)造用于多種加工工具的可旋轉(zhuǎn)基體，其具有不同的驅(qū)動端部和或流體入口，同時使用單個模具以制造沒有驅(qū)動端部接頭、凸緣或偏置部的基體的部分。圖11示出了可旋轉(zhuǎn)基體或可旋轉(zhuǎn)刷具芯體1154的橫截面視圖，其中具有模具銷1164、1170和1176、模具半部1180和1184、和中央心軸1190，它們可用于形成可旋轉(zhuǎn)刷具芯體1154中的諸如但非限制性1126或1130的開口或開口區(qū)域。圖11是在本發(fā)明實施例中所用的兩件式或兩板式模具的視圖，其制造具有開口或開口區(qū)域的可旋轉(zhuǎn)基體，其中所述開口或開口區(qū)域用于可旋轉(zhuǎn)刷具芯體的孔與表面之間的流體流動。一些開口可具有由附圖標記1116所示的模具止擋部。開口1126或1130可具有一個或多個帶角度或縮窄的側(cè)壁，所述側(cè)壁由P4和P5線(例如Ps與丁5之間的角度D并不等于90°)表示，其中所述P4和Ps線分別平行于由銷U64和176形成的開口的側(cè)壁。如圖所示，每個模具銷、以及因此每個開口具有諸如1164a、1170a或1176a的軸線，其中所述軸線大致平行于將兩個模板一分為二的分離軸線。在圖11中，模板分離軸線沿平面1158的z軸線1158z分布；在模板1184的情況中，分離軸線沿線1176a設(shè)置。如圖所示，每個模具銷、并因此每個開口具有諸如1164a、1170a或1176a的軸線，其中所述軸線大致平行于針對模板1180和1184的徑向分離軸線。盡管圖11示出了具有模具銷的兩板式模具，其中所述銷的軸線大致平行于模板分離軸線，但是本發(fā)明的實施例可具有兩個或多個模板。本發(fā)明的實施例可解決通過可旋轉(zhuǎn)基體上多孔墊的增加流體流量的問題。例如，在類似的供給壓力的狀態(tài)下，與多孔墊互鎖的現(xiàn)有技術(shù)的可旋轉(zhuǎn)基體可傳輸每分鐘大約1.8升的5psi供給壓力的水流，本發(fā)明的實施例可傳輸每分鐘大約3升的5psi供給壓力的水。此外，本發(fā)明的實施例解決了與在制造過程中用形成泡沫或多孔墊的材料均勻填充可旋轉(zhuǎn)基體開口有關(guān)的問題。在多孔墊或泡沫前體成分澆注可旋轉(zhuǎn)基體的過程中，用粘質(zhì)的多孔試劑材料對可旋轉(zhuǎn)基體開口和表面的不完全填充和或濕潤可導(dǎo)致基體的一部分上的不完全墊覆蓋，并需要打碎(scrapping)可旋轉(zhuǎn)基體。通過在可旋轉(zhuǎn)基體的壁中設(shè)置較大的開口，這些粘質(zhì)的形成墊的材料可在可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面與外側(cè)表面之間更容易地流動。本發(fā)明的實施例解決了以下問題，提供開口表面面積與可旋轉(zhuǎn)基體的較高之比，同時為可旋轉(zhuǎn)基體提供足夠的剛度，從而維持清潔或涂覆均勻性，同時通過使用模塑技術(shù)減小成本。所期望的是，因為可旋轉(zhuǎn)基體中的開口被制造得較大，從而基體的尺寸穩(wěn)定性將受到影響。本發(fā)明的實施例提供了一種模塑的可旋轉(zhuǎn)基體，其具有針對晶片涂覆或清潔的足夠的尺寸誤差和穩(wěn)定性?？尚D(zhuǎn)基體的一些形式是由形成有起泡劑的熱塑性材料制成，這進一步提供了開口的較高表面面積；通過使用兩件式模具可以制造基體。此外，通過使用起泡劑，在可旋轉(zhuǎn)基體上形成帶紋理的表面，這樣增加了表面面積，以將多孔墊或泡沫與基體互鎖。在一些實施例中，開口的壁部分可具有這樣的壁厚，其中所述壁厚小于可旋轉(zhuǎn)基體的壁厚。這種結(jié)構(gòu)提供了開口的高空隙容積，同時起泡劑有助于為基體提供硬度和強度。開口的空隙容積或表面面積較高的可旋轉(zhuǎn)基體的實施例可以被模塑成，基體的外側(cè)表面與內(nèi)側(cè)表面之間的開口可以定位成相鄰的開口和或開口的這樣的部分之間具有間隔，其中對于所述開口的這樣的部分而言，開口的一部分的壁厚小于可旋轉(zhuǎn)基體的壁厚。例如，如圖3所示，表面330b與外側(cè)表面328之間的開口330的壁厚小于內(nèi)側(cè)表面314與外側(cè)表面328之間的可旋轉(zhuǎn)基體壁Wt的厚度。如圖3所示，可旋轉(zhuǎn)基體的表面中的開口可具有這樣的壁部分，其中所述壁部分更薄和或更縮向厚度小于可旋轉(zhuǎn)基體的壁厚的區(qū)域；這種開口可提供基體內(nèi)的開口的較高的空隙容積。圖3還示出了由標記線327所表明的開口326與334之間的基體壁區(qū)域可以比壁wt的厚度更薄，在一些實施例中，該區(qū)域可以小于壁厚的50%、在一起情況中小于40%或更小。在非限制性的實施例中，該區(qū)域的厚度在一個實施例中是大約0.2cm，而可旋轉(zhuǎn)基體壁厚是大約0.5cm。意料之外的是，模塑的可旋轉(zhuǎn)基體可形成有如本發(fā)明的實施例詳細所述的開口的空隙容積或表面面積，具有足夠的尺寸誤差和穩(wěn)定性，以便涂覆或清潔晶片。意料之外的是,由起泡劑所形成的具有增加的表面結(jié)合面積的模塑的可旋轉(zhuǎn)基體可形成為具有大約6%與40%之間的空隙容積或表面面積開口的可旋轉(zhuǎn)基體，其具有足夠的尺寸誤差和穩(wěn)定性，以便涂覆或清潔晶片。本發(fā)明的實施例中的開口的另一貢獻在圖8的非限制性視圖中被示出。在圖8中，刷具芯體或可旋轉(zhuǎn)基體的表面中的開口進入可旋轉(zhuǎn)基體的孔中提供了沿可旋轉(zhuǎn)基體的長度的開口，其中來自一行的開口與相鄰行的開口間隔一行或一條封閉的表面828，其中所述表面可小于可旋轉(zhuǎn)基體的表面上的最小開口的寬度。例如，行(a)的開口與行(c)中的開口隔離一窄條的封閉表面，其中所述封閉表面沿線(b)設(shè)置，所述封閉表面的寬度小于最小的結(jié)構(gòu)826的寬度。類似地，行(c)的開口與行(e)中的孔口隔離一窄條的封閉表面(d)，其中所述封閉表面的寬度小于最小的結(jié)構(gòu)826的寬度。沿可旋轉(zhuǎn)基體的開口的緊密靠近有助于在制造的過程中將粘質(zhì)的多孔墊或泡沫試劑澆注到基體上，并且還有助于流體從基體的內(nèi)側(cè)表面上分布和流動到多孔墊的外側(cè)表面上。在本發(fā)明的實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的足夠的尺寸誤差、抗扭穩(wěn)定性、直線性或其它方面涉及可與多孔墊或泡沫材料組合的可旋轉(zhuǎn)基體或可旋轉(zhuǎn)刷具芯體，并且最終的物品可用于清潔測試晶片，并在從大約IO秒至大約10分鐘范圍的時間段后提供橫貫晶片表面的大于85%的微粒去除效率，并且在一些實施例中微粒去除效率大于98%。基體上的開口的表面面積、壁厚、起泡劑的量、可旋轉(zhuǎn)基體的尺寸、泡沫或海綿材料、或可旋轉(zhuǎn)基體的其它特征的改變可參照本申請實現(xiàn)?？尚D(zhuǎn)基體壁的厚度可以改變，并且可取決于用于制造基體的材料、液體流速以及可旋轉(zhuǎn)基體的總長度。在一些實施例中，基體的壁厚WT可以是從大約0.1英寸至大約0.5英寸厚。在一些實施例中，壁厚是從大約0.13至大約0.26英寸厚?；谟糜谛纬苫w的材料，壁的厚度和開口的面積可以被選擇成為可旋轉(zhuǎn)基體提供足夠的強度和剛度。可旋轉(zhuǎn)基體可被制造有預(yù)定數(shù)量的開口，從而多孔墊與基體的組件可用于在設(shè)定供給壓力下將流體流提供至基板，其中所述基板足以用于其所期望的用途以及應(yīng)用均勻性(橫貫基板的清潔均勻性、橫貫基板的蝕刻均勻性、橫貫基板的涂覆均勻性)。這些要求針對不同的基板和加工是不同的，可相應(yīng)地選擇用于基體的材料。基體可由任何化學(xué)上惰性的聚合材料、包括聚合物、共聚物；以及在CMP清潔處理中可用的其它材料等被制成。在CMP清潔處理中可用的化學(xué)上惰性的聚合材料可用于可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體。這可包括各種不同的熱塑性聚合材料。在一些實施例中，熱塑性材料可以是聚烯烴。聚烯烴指的是任何聚合的烯烴，其可以是直線型的、分支型的、環(huán)型的、脂肪族的、芳香族的、取代的(substituded)或未取代的(unsubstituded)。在一些實施例中，聚烯烴可以但不限于是聚乙烯(PE)，例如高密度聚乙烯(HDPE)、中密度聚乙烯；低密度聚乙烯(LDPE);聚碳酸酯(PC);聚丙烯(PP);聚丙烯共聚物(PPCO);聚異質(zhì)同晶體(polyallomer)(乙烯-丙烯共聚物或PA);聚甲基戊烯(PMP);聚酮(PK);包括定向PET(orientedPET)的聚對苯二甲酸乙二酯(PET)。在一些實施例中，聚烯烴是聚丙烯或包括聚丙烯的混合物。包含諸如陶瓷微粒或碳纖維的填料的熱塑性材料的成分也可以用在本發(fā)明的可旋轉(zhuǎn)基體的實施例中。在一些實施例中，用于可旋轉(zhuǎn)基體的聚合物可包括這樣的可注射成型的熱塑性材料，其可包含起泡劑以在熱塑性聚合物內(nèi)形成封閉的單元結(jié)構(gòu)。在一些實施例中，包括起泡劑的熱塑性材料可以是聚烯烴，在其它實施例中，包括起泡劑的聚烯烴是聚丙烯或包括聚丙烯的混合物。用在本發(fā)明中的起泡劑并不限于任何具體的類型。起泡劑將不使得樹脂變質(zhì)或在樹脂上產(chǎn)生負面影響，例如增加微粒脫落或增加可萃取的離子?？捎玫钠鹋輨┑膶嵤├砂ǖ幌抻谥T如二氧化碳、氮、氬、氖氦(neonhelium)和氧的無機氣體，以及諸如氟里昂的有機氣體或它們的混合物。起泡劑向聚合物或樹脂提供了封閉的單元結(jié)構(gòu)，其中所述聚合物或樹脂用于制造可旋轉(zhuǎn)基體。泡沫化的聚合物材料可通過以下方式被制造，將物理起泡劑引入到熔解的聚合物流中、將起泡劑與聚合物混合、并將混合物注射成型到模具中，例如圖ll橫截面視圖中所示的模具中。成核劑可被用于控制熱塑性材料中的單元尺寸以及均勻性。在本發(fā)明的實施例中，起泡劑可向可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的表面提供表面粗糙度或帶紋理的表面結(jié)構(gòu)，這增加了用于結(jié)合并將刷具材料與可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體互鎖的表面面積。這些模塑的表面結(jié)構(gòu)可以是形狀不規(guī)則的，并且尺寸級別為在可旋轉(zhuǎn)基體的壁內(nèi)形成的封閉的單元結(jié)構(gòu)。這些表面結(jié)構(gòu)的尺寸和形狀可通過以下方式被調(diào)整，控制起泡劑和或成核劑在模塑可旋轉(zhuǎn)基體中被利用的狀態(tài)。在一些實施例中，起泡劑可以是混合有諸如聚丙烯的聚合物的固體。起泡劑可以以重量為從大約0.25%至大約5%的量、并且在一些實施例中、以從大約1%至大約2%的量與聚合物和成型的混合物被混合。起泡劑的量被選擇成提供在其長度內(nèi)具有很少或沒有氣泡的基體。在一些實施例中，模塑的可旋轉(zhuǎn)基體的起泡量可通過以下方式被確定，將基體安置在平坦基準表面上，并且沿基體的長度測量基體表面與基準表面之間的偏差距離。在一些實施例中，15英寸(38.1cm)的基體的偏差量小于大約0.04英寸(0.1cm)，在一些實施例中，偏差量小于大約0.01英寸(0.025cm)。在一些實施例中，其中基體利用起泡劑被形成，15英寸(38.1cm)的基體的偏差量小于大約0.04英寸(0.1cm)，在一些實施例中，偏差量小于大約0.01英寸(0.025cm)。本發(fā)明的實施例提供了用于互鎖的多孔墊或刷具的可旋轉(zhuǎn)基體，所述基體具有每基體面積的高比例的表面開口面積，并且對于注射成型加工或后續(xù)成型機加工過程中所使用的溫度是穩(wěn)定的。在一些實施例中，多孔墊或刷具通過開口以機械的方式與基體互鎖、通過芯體以機械的方式被互鎖、或者通過任何這些組合以機械的方式互鎖至可旋轉(zhuǎn)基體。本發(fā)明的實施例防止了在模塑基體的過程中或之后的尺寸誤差的損失、基體的直線性或尺寸穩(wěn)定性的損失。本發(fā)明的實施例體現(xiàn)了成型和或后續(xù)成型機加工過程中以及之后改進的直線性以及抗扭或抗曲穩(wěn)定性。本發(fā)明的實施例可以比機加工的刷具芯體更加便宜地被制造。此外，各實施例是重量輕的、尺寸穩(wěn)定的可旋轉(zhuǎn)基體部件，其中所述部件支承與基體中的一個或多個空隙互鎖的多孔墊，其中所述基體表現(xiàn)出在用于諸如半導(dǎo)體晶片或平面顯示器的清潔基板中的過程中的直線性、抗扭或抗曲穩(wěn)定性。參照圖2，在可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體200的剖視透視圖中所示的芯體218指的是中央的中空體或溝槽，其長度大體在可旋轉(zhuǎn)基體的第一端部210與第二端部222(可打開或關(guān)閉)之間延伸，并由內(nèi)側(cè)基體表面214限定。如圖2局部所示，第一端部210可以是流體入口，其通到由可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面214限定的孔中，其中所述內(nèi)側(cè)表面沿孔218的內(nèi)側(cè)長度延伸至可以是芯體銷定位部的第二端部。本發(fā)明實施例中的可旋轉(zhuǎn)基體的芯體是這樣的孔，其中所述孔已經(jīng)部分地或完全地填充有刷具或海綿材料，以形成如圖5中特征512所示的芯體?？尚D(zhuǎn)基體或刷具芯體中的開口指的是諸如開口226、230或234的結(jié)構(gòu)，其中所述結(jié)構(gòu)(開口)將可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面214與可旋轉(zhuǎn)基體200的外側(cè)表面228流體互連。在本發(fā)明的一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體中的開口可具有繞可旋轉(zhuǎn)基體的圓周的這樣的尺寸，所述尺寸可大于可旋轉(zhuǎn)基體的圓周的大約1/50、在一些實施例中大于大約1/25、并在一些實施例中大于大約1/12。較大的開口提供了從芯體至刷具的外側(cè)表面的液體的降低的壓降以及增加的分布。在一些實施例中，各開口可具有從可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面延伸至內(nèi)側(cè)表面的縮窄的形狀。這種結(jié)構(gòu)由圖4中的用于開口434的表面434a示出，并還由圖3中的開口334示出?？s窄的開口334與直壁的開口326的各種不同的組合可用在本發(fā)明的實施例中。與從刷具一個端部延伸至另一端部的未填充的壁的柵格式結(jié)構(gòu)、槽矩陣或溝槽相比，縮窄的開口例如334或434可為泡沫或刷具材料提供更好的支承。在本發(fā)明的實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體中的各開口充滿多孔刷具材料或泡沫。填充的開口為覆蓋的泡沫材料提供了支承，并防止可在其它刷具芯體中出現(xiàn)的松垂，即泡沫坐靠在開口溝槽上、開口柵格(openwaffle)等上。本發(fā)明的實施例中的開口中的泡沫支承覆蓋的泡沫。在可旋轉(zhuǎn)基體具有泡沫芯體的實施例中，開口和芯體中的泡沫支承覆蓋的刷具。在可旋轉(zhuǎn)基體具有從外側(cè)表面向內(nèi)側(cè)表面縮窄的開口的實施例中，縮窄部還可支承覆蓋的刷具。具有厚度WT的可旋轉(zhuǎn)基體的空隙容積可取決于壓降以及可旋轉(zhuǎn)基體的流體分布要求被改變。在一些實施例中，與可旋轉(zhuǎn)基體的孔流體連通的可旋轉(zhuǎn)基體壁的開口的空隙容積范圍從基體容積的大約6%至大約40%。在其它實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體壁的開口的空隙容積范圍可從大約8%至大約30%，并且在一些其它實施例中，從基體容積的大約20%至大約35%?？障度莘e指的是從可旋轉(zhuǎn)基體去除的、覆蓋刷具或泡沫的材料的容積，可旋轉(zhuǎn)基體的空隙容積可以充滿泡沫或海綿材料。與可旋轉(zhuǎn)基體的孔流體連通的可旋轉(zhuǎn)基體的表面中的開口其范圍為與墊接觸的可旋轉(zhuǎn)基體的總表面面積的大約6%至大約40%。在其它實施例中，開口的表面面積的范圍可以是從與墊接觸的基體的總表面面積的大約8%至大約30°/。、在一些其它實施例中從大約20%至大約35%。例如，在如圖9所示的實施例中，開口的表面面積占有刷具或海綿材料接觸的封閉外側(cè)表面928的大約25%。在如圖10所示的實施例中，開口的表面面積可以是封閉外側(cè)表面1028的大約9%。開口表面面積的量越大，則壓降就越低并且從芯體或基體的孔通過覆蓋泡沫至基板表面的液體分布就越好。通過改變開口表面面積以及泡沫的特性、例如多孔性，可以調(diào)整從可旋轉(zhuǎn)基體的孔流至基板的液體流動。在本發(fā)明的實施例中，與多孔墊或泡沫接觸的表面中的一些開口繞可旋轉(zhuǎn)基體的中央旋轉(zhuǎn)軸線徑向設(shè)置。這些開口具有沿半徑設(shè)置的軸線，其中所述半徑從基體的旋轉(zhuǎn)軸線發(fā)出。在基體被模塑的情況中，這些開口可具有沿用于制造可旋轉(zhuǎn)基體的模板的徑向分離軸線設(shè)置的軸線。本發(fā)明的實施例中，與多孔墊或泡沫接觸的表面中的其它開口并不是沿徑向設(shè)置的。對于模塑的可旋轉(zhuǎn)基體而言，這些開口可具有這樣的軸線，其中所述軸線與模板的徑向分離軸線大致平行。例如，圖9中諸如926和926a的開口沿徑向設(shè)置，而諸如330的開口并不是。在其它實施例中，圖3中諸如326的開口沿徑向設(shè)置，同時諸如330的開口并不是。本發(fā)明的實施例可具有這樣設(shè)置的開口的任何組合，可旋轉(zhuǎn)基體可由具有兩個模板的模具制成，并且在一些實施例中，所述模具具有不止兩個模板。不像具有通至孔的僅徑向設(shè)置的開口的以及必須被機加工或由具有側(cè)向作用(sideaction)的模具被模塑的其它刷具芯體，本發(fā)明的實施例可由并不需要側(cè)向作用的模具制成。可旋轉(zhuǎn)基體可通過以下方式形成，將心軸安置在具有兩個或多個模板的模具中央，并且將可選包含起泡劑的熱塑性材料注射到模具中。模具可被取出并且可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體隨后用在第二模塑過程中，其中刷具或海綿材料被澆注并與基體互鎖。在一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體安置在如國際專利申請No.PCT/US2004/022350所述的模具中，其中所述國際專利申請全文結(jié)合在此引作參考，并且泡沫或海綿被用于填充可旋轉(zhuǎn)基體中的開口。在一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體安置在模具中，并且泡沫刷具澆注在可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面上，而泡沬填充一部分開口；在一些實施例中，泡沫或海綿在可旋轉(zhuǎn)基體的孔中形成芯體，并且將泡沫與可旋轉(zhuǎn)基體互鎖。在具有柵格式結(jié)構(gòu)的刷具芯體中，壁結(jié)構(gòu)將具有通至孔的孔口的柵格式結(jié)構(gòu)與不具有孔口的柵格式結(jié)構(gòu)隔離，并且可限制液體流。此外，因為柵格式結(jié)構(gòu)是空的，所以它們并不可均勻地支承覆蓋的高度適應(yīng)的刷具或泡沬。具有沿長度溝槽的且是空的刷具芯體也并不均勻支承覆蓋的高度適應(yīng)的泡沫，其中所述泡沫在使用的過程中可被壓縮，進一步限制沿刷具芯體的溝槽的長度的液體分布。在這些現(xiàn)有技術(shù)的裝置中，泡沫或海綿并不占據(jù)孔口或突出部進入芯體中，實際上泡沫或海綿坐靠在孔口的頂部上或柵格式結(jié)構(gòu)的頂部上或外側(cè)刷具芯體表面上。在這些現(xiàn)有技術(shù)的刷具芯體中，可能的是，在旋轉(zhuǎn)的過程中，沒有開口沿刷具芯體的長度設(shè)置在基板上。本發(fā)明的可旋轉(zhuǎn)基體的實施例可沒有刷具芯體的壁中的柵格式結(jié)構(gòu)、或芯體的壁中的成行的溝槽或矩陣槽。本發(fā)明的實施例提供了來自孔的液體到達每個表面凹部或開口，并且由于較大的表面面積開口，壓縮的海綿并不顯著防止來自芯體或孔的液體流到與基板接觸的海綿表面。此外，在芯體是泡沫材料的本發(fā)明的實施例中，內(nèi)側(cè)泡沫芯體可在開口內(nèi)為接觸基板的覆蓋泡沫刷具提供支承。芯體或基體可被機加工或模塑。在一個實施例中，基體是由單個兩件式模具形成。多孔墊可以是任何材料，其中所述材料可安置在可旋轉(zhuǎn)基體上。在一些實施例中，多孔墊模塑在基體上，從而與基體互鎖。在一些實施例中，多孔墊澆注在可旋轉(zhuǎn)基體中的一個或多個開口中，多孔墊與一個或多個基體開口的至少一部分互鎖。在一些實施例中，多孔墊在可旋轉(zhuǎn)基體中形成芯體?；w可包括或包含各種不同的開口，例如但不限于溝槽、槽或其它封閉形狀，其中所述其它封閉形狀包括但不限于橢圓形、矩形、多邊形、圓角矩形、橢圓、封閉樣條曲線形(closedspline)、圓弧或包括這些組合的任何封閉的形狀。這些開口繞可旋轉(zhuǎn)基體的表面設(shè)置，并從基體的外側(cè)表面經(jīng)過基體壁延伸至基體的內(nèi)側(cè)表面。開口的形狀包括側(cè)壁的角度以及基體的內(nèi)側(cè)與外側(cè)表面上的開口的形狀可選擇成提供液體從開口中的墊至待處理的基板的均勻的流。在本發(fā)明的模塑或機加工實施例中，各開口可具有相對于軸線限定的形狀和壁斜坡，其中所述軸線大致或基本上平行于模板的徑向分離軸線，所述模板可用于形成開口。模板的徑向分離軸線基本上將模板一分為二。在一些模塑的實施例中，各開口具有這樣的形狀和壁，其斜坡被選擇成允許由兩件式或兩板式模具模塑具有一個或多個開口的可旋轉(zhuǎn)基體。這些斜坡壁的角度可以指的是拔模角度。本發(fā)明的實施例包括具有兩個模板的模具，在一些實施例中具有兩個或多個模板，模具具有用于制造具有一個或多個開口的可旋轉(zhuǎn)基體的銷，其中所述開口具有拔模角度；各開口提供了從可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)至可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面上的多孔墊的液體的基本上均勻的流、以及在一些實施例中的未受限制的流。在本發(fā)明的一些實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體包括多個開口，其中所述開口可形成可旋轉(zhuǎn)基體中的不同的拔模角度，這些開口分別具有這樣的軸線，所述軸線大致或基本上平行于這樣的平面的z軸線，其中所述平面將可旋轉(zhuǎn)基體劃分成兩個半圓柱形殼或部分。該平面包括可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的旋轉(zhuǎn)軸線?？尚D(zhuǎn)基體中的第一多個開口沿基體的一個半圓柱形殼指向，而第二多個孔口沿基體的第二半圓柱形殼指向。在每半殼中的孔口或開口提供了可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面或孔與可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面之間的流體連通?？障度莘e是開口面積乘以基體的長度或厚度。在一些實施例中，各開口的空隙容積被選擇成最大化開口面積，同時最小化基體的長度或厚度，這可選地充滿多孔墊材料，其中液體流經(jīng)或橫貫所述材料。在一些實施例中，基體的壁厚(Wt)被選擇成最小化由基體的壁所占據(jù)的多孔材料的量。這可用于最大化可旋轉(zhuǎn)基體的開口面積并最小化橫貫與基體互鎖的多孔墊的液體壓降。本發(fā)明的一個實施例是具有一個或多個模板的模具，其中所述模具可用于形成可旋轉(zhuǎn)基體。模板可包括具有一個或多個模具銷的內(nèi)側(cè)表面，所述模具銷具有大致平行于分離軸線的軸線，其中所述分離軸線將所述模具一分為二。模板可組合成模具，以制造可旋轉(zhuǎn)基體，其中所述可旋轉(zhuǎn)基體具有驅(qū)動端部、流體端部、內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面；基體的內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面通過由模具銷形成的一個或多個開口被互連。各開口有助于液體從基體的內(nèi)側(cè)表面至基體的外側(cè)表面。本發(fā)明的實施例可以通過模塑、機加工或這些操作的組合被制成。大體上，可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面與外側(cè)表面之間的開口可被劃分成一組或多組開口，每組開口位于通過外側(cè)基體表面和基體的旋轉(zhuǎn)軸線限制的圓弧內(nèi)。這組開口具有這樣的軸線，其中所述軸線大致平行于將針對這組的圓弧一分為二的線。由圓弧所限定的各部分可具有相同或不同的角度。在基體的圓弧的表面中的一組開口可具有這樣的軸線，所述軸線大致平行于將針對可旋轉(zhuǎn)基體的該部分的圓弧一分為二的直線。例如，在如圖ll所示的實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體中的各開口可劃分成兩組，每組限定了相對于旋轉(zhuǎn)軸線(1158與1158z的交點)的圓弧。開口1130處于由繞基體1154的0。與180°之間的圓弧限定的組中。該組開口具有這樣的軸線，其中所述軸線大致平行于線1158z，其中所述線1158z將沿所述基體的0°與180。之間的圓弧一分為二。開口1126處于由繞基體1154的180°與360°之間的圓弧限定的另一組中。該組開口具有這樣的軸線，所述軸線大致平行于線1158z，其中所述線1158z將沿圓形的180°與360。之間的圓弧一分為二。在另一非限制性實施例中，可旋轉(zhuǎn)基體可劃分成由圓弧包圍的三個相同組的開口，例如0°與120。之間的圓弧、120°與240°之間的圓弧、以及240°與360°之間的圓弧。第一組中的各開口可具有這樣的軸線，其中所述軸線大致平行于將60。的圓弧一分為二的線，第二圓弧中的各開口具有這樣的軸線，其中所述軸線大致平行于將180°的第二圓弧一分為二的線，第三圓弧中的第三組的開口具有這樣的軸線，其中所述軸線大致平行于將300°的第三圓弧一分為二的線。用于可旋轉(zhuǎn)基體的模具可具有中央心軸，以形成模具銷可接觸的孔。模具銷可具有相同或不同的形狀。模具可具有兩個或多個模板，并且模具的每個模板可具有模具銷；每個模板形成可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的圓柱形殼體的一部分。在本發(fā)明的實施例中，形成可旋轉(zhuǎn)基體的表面與孔之間的開口的模板中的模具銷具有這樣的軸線，其中所述軸線大致或基本上平行于將模板一分為二且沿這樣的線設(shè)置的軸線，其中所述線允許模板沿徑向彼此分離；該軸線是模板的徑向分離軸線。模板的銷的軸線大致平行于模板的徑向分離軸線。對于模具半部沿限定可旋轉(zhuǎn)基體的橫截面的圓形在0。和180。彼此接觸的兩板式模具，將模板一分為二并允許模板彼此徑向分離的軸線大致沿在90°和270°經(jīng)過圓形的線設(shè)置。在圖11中示出了兩板式模具，其中將模板一分為二的徑向分離軸線沿圖11中的z軸線1158z設(shè)置。對于每個板的模具銷具有這樣的軸線，其中所述軸線大致平行于該z軸線或徑向分離軸線。在三板式模具的情況中，其中模板沿限定可旋轉(zhuǎn)基體橫截面的圓形在90°、210°和330。彼此相互接觸，將模板一分為二并允許三個模板徑向彼此分離的徑向分離軸線大致沿在30°、150°和270。經(jīng)過圓形的線設(shè)置。對于三個模板中的一個模板，模具銷將具有大致平行于30°模板徑向分離軸線的銷軸線，另兩個模板具有大致平行于150°和270°模板徑向分離軸線的銷軸線。具有四個或多個模板的模具還可類似地被構(gòu)造并用在本發(fā)明的實施例中。取決于熱塑性材料的柔性以及模具銷材料的柔性，可出現(xiàn)模具銷的軸線相對于徑向分離軸線的平行指向的一些改變；在一些實施例中，這種改變可相對于平行方向小于10度，在其它實施例中，小于4度，并在另一些實施例中，小于1度。改變越小，則模具的壽命越長，并且可旋轉(zhuǎn)基體的流特征的再現(xiàn)性就越好。在兩板式模具的情況中，用于可旋轉(zhuǎn)基體的模具具有模具銷可接觸的中央心軸。模具銷可具有相同或不同的形狀。模具的每側(cè)形成可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的半圓柱形殼。形成開口的每個模具中的銷具有這樣的軸線，其中所述軸線大致或基本上平行于將用于可旋轉(zhuǎn)基體的模具的兩個部分劃分或分離的平面的Z軸線。該平面包括可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體的旋轉(zhuǎn)軸線。模具銷可形成可旋轉(zhuǎn)基體的壁中的具有和未具有拔模角度的開口，并且本發(fā)明的實施例可包括具有和未具有拔模角度的開口的任何組合，其中所述開口利用兩件式模具在可旋轉(zhuǎn)基體或刷具芯體中制成。各開口的軸線可由兩件式模具和熱塑性材料被形成。取決于熱塑性材料的柔性以及模具銷材料的柔性，可以出現(xiàn)模具銷的軸線相對于z軸線或徑向分離軸線的平行指向的一些改變；在一些實施例中，這種改變可相對于平行方向小于10度，在其它實施例中，小于4度，并在另一些實施例中，小于1度。改變越小，則模具的壽命越長，并且可旋轉(zhuǎn)基體的流特征的再現(xiàn)性就越好。開口的拔模角度有助于模板從可旋轉(zhuǎn)基體分離并且將流體從孔分布至正被處理的基板。在圖7A至7B中示出了可在可旋轉(zhuǎn)基體的實施例中形成的各種不同的拔模角度(A、B、C)的實施例。拔模角度可相對于大致切向于基體中的開口的外側(cè)表面的線被限定。例如，T,和T2是分別切向于可旋轉(zhuǎn)基體開口726和730的線。線P2和P3平行于諸如730或726的開口的壁。非限制性拔模角度B相對于線L和P2被示出，并且B^9(T。非限制性拔模角度C相對于線L和Pi被示出，并且C^90。。非限制性拔模角度A相對于線丁2和P3被示出，并且拔模角度A是大約90°。本發(fā)明的實施例包括具有至少一個拔模角度的開口。拔模角度可沿可旋轉(zhuǎn)基體的圓周改變，在圖3中由不同的開口示出。在圖7A中，線PpP2和P3如圖所示以直角與平面758交叉。在其它實施例中，線P"P2和P3可以是平行的、非平行的或它們的任何組合。在圖11中諸如P4的線平行于壁開口的情況中，該線可以以除了90。以外的角度交叉平面1158。針對圖7A至7B或圖11中的這些開口的軸線基本上平行于諸如758a或1158z的z軸線，其中所述z軸線垂直于如圖所示的平面758或1158。具有拔模角度的開口的一個特征是這些開口可具有這樣的壁部分，所述壁部分的厚度小于由圖7B中的開口730的壁部分729表示的可旋轉(zhuǎn)基體745的壁厚WT。薄壁部分允許在可旋轉(zhuǎn)基體的表面中形成較大的開口，將起泡劑結(jié)合到形成基體的材料中向用于結(jié)合的部件和表面紋理提供了剛度。如圖ll所示，來自模具780的一個半部的諸如770和764的銷在可旋轉(zhuǎn)基體754的第一半部中形成開口，并且來自模具784的第二半部的諸如776的銷可在可旋轉(zhuǎn)基體754的第二半部中形成開口。模具的第一與第二半部上的開口可彼此相互對正、交錯或偏置。盡管圖1和圖9示出了具有沿圓周的一種或多種形狀的開口，各開口并不限于這些視圖并且可以是相同的或不同的。本發(fā)明的實施例的流均勻性可通過以下方式被確定，將流體施加至裝置的入口，而其中多孔墊滑動或澆注到基體上，并且將壓力施加至流體。可旋轉(zhuǎn)基體可被水平地設(shè)置，并且在其下方等距設(shè)置的容器用于收集經(jīng)過基體的開口、經(jīng)過多孔墊、并進入容器中的流體。多個容器可被用在可旋轉(zhuǎn)基體的下方，其中所述容器可取決于基體的尺寸以及所獲得流測量值的分辨率而改變。在基體包括流體接頭或沒有開口的基體的一部分的情況中，一組容器可用于確定經(jīng)過與基體互鎖的多孔墊的流體的分布、均勻性和流限制。大體上在圓柱形基體的情況中的基體可以被旋轉(zhuǎn)，并且在相對于圓柱形的基準點的諸如0°、90°、180°和270°的不同的角度進行測量。可以確定橫貫容器的以及還有針對不同位置的流量的平均值。在本發(fā)明的一些實施例中，均勻或大致均勻的液體流量偏差小于在橫貫可旋轉(zhuǎn)基體的一個或多個基準點或成組的點的測量的平均流量的大約士30%;在本發(fā)明的一些實施例中，均勻或大致均勻的液體流量偏差小于在橫貫可旋轉(zhuǎn)基體的一個或多個基準點或成組的點的測量的平均流量的大約±20%。盡管本發(fā)明的實施例已經(jīng)說明了多孔墊、泡沫或海綿材料，其中所述材料與基體的一個或多個開口互鎖，所述材料是聚乙烯醇縮醛基材料，但是本發(fā)明并不限于這種材料?？蓾沧⒒蚰Ｋ茉诰哂虚_口的可旋轉(zhuǎn)基體上的其它常用的泡沫或海綿材料可用在本發(fā)明的實施例中。泡沫或海綿材料被選擇成將液體分布至基板，并且具有較少的微粒物質(zhì)和或其它可萃取的污染物。泡沫或海綿可具有可在整個容積內(nèi)分布的選擇的孔隙尺寸或孔隙尺寸范圍。可使用的各種不同類型的泡沫材料包括但不限于聚乙烯醇縮醛、聚氨酯、聚異氰酸酯、聚苯乙烯、聚烯烴等。有利地，本發(fā)明的實施例可使用這樣的模具被模塑，其中所述模具并不需要側(cè)向作用以從模具取出可旋轉(zhuǎn)基體。具有多個模板和側(cè)向作用的模具是昂貴的并且比過去所用或者可以用于制造本發(fā)明的實施例的那些成本更高。本發(fā)明的模塑的可旋轉(zhuǎn)基體的另一優(yōu)點是可以制造驅(qū)動接頭和流體接頭，其中所述接頭并不伸入芯體中，否則這可導(dǎo)致在基體的端部處的更不均勻的流體流。此外，可旋轉(zhuǎn)基體中的較大開口有助于形成粘質(zhì)泡沫的前體混合物和試劑通過可旋轉(zhuǎn)基體中的開口并進入形成刷具的模具的不同的部分中的流與分布。這提供了均勻的模具填充并且防止由于空隙和不完全的填充導(dǎo)致的打碎。將參照以下非限制性實施例說明本發(fā)明的不同的方面。實施例1該實施例示出了通過多孔墊(PVA)的液體的平衡的(equalized)或大致均勻的流量，其中所述多孔墊澆注到通過兩件式模具模塑的可旋轉(zhuǎn)基體上。流的均勻性通過以下方式被確定，其中將流體施加至裝置的入口，而其中多孔墊澆注到模塑的可旋轉(zhuǎn)基體上，其中所述基體具有高空隙容積的開口(如實施例2所示，基體l)，并且將壓力施加至流體。該裝置被水平安置，并且容器以特定的距離安置在裝置的下方，以收集流經(jīng)多孔墊和可旋轉(zhuǎn)基體并進入容器中的流體。在表1中，時間以秒表示，壓力以psig表示，并且容器的相對位置沿裝置設(shè)置(1至7)。流體流量對于室溫的水以ml/min單位被測量。測試的結(jié)果也被用于計算中央五個容器點(點2至6)(的壓力、平均值、平均值的標準偏差百分比)。對于表中的數(shù)據(jù)的計算結(jié)果分別是(0.52、96.8、5.4);(0.42、95.2、8.10);(0.61、95.2、17.2);(0.60、99.2、13.8);(1.42、118.1、18.1);(1.40、121.9、25.9);和(1.04、107.5、18.6)。這些結(jié)果示出了對于橫貫基體的開口面積的流體流量的很少的或沒有的限制。這些結(jié)果也示出了，可旋轉(zhuǎn)基體中的一個或多個開口提供了流體從可旋轉(zhuǎn)基體至多孔墊的外側(cè)的均勻的分布。模塑的可旋轉(zhuǎn)基體中的一個或多個開口提供了流體從可旋轉(zhuǎn)基體至多孔墊的外側(cè)的均勻的和未限制的分布。彬<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>實施例2該實施例示出了用于本發(fā)明的不同的實施例計算的空隙容積。表2的這些結(jié)果示出了范圍從大約8°/。至大約30%的不同的可旋轉(zhuǎn)基體的評估的空隙容積。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>實施例3該實施例示出了從多孔墊在可旋轉(zhuǎn)基體上的流分布?？尚D(zhuǎn)基體具有通孔以及驅(qū)動接頭和流體接頭，其中所述接頭伸入芯體中。利用實施例2的方法，對于0.204英寸壁厚，該裝置具有5%的大致計算的空隙容積。計算表3中的中央五個容器的平均值給出了分別對于2.02psi、1.15psi和0.5psi的液體水壓的132.7、123和104.2ml/min的流量平均值。針對三個壓力，作為中央五個容器的平均值的百分比的標準偏差是25.7、26.3禾P25.9。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>實施例4該實施例示出了通過澆注在模塑的可旋轉(zhuǎn)基體上的多孔墊(PVA)的液體的平衡的或大致均勻的流量(類似于圖9的實施例)。流均勻性帳<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>通過以下方式被確定，將流體施加至裝置的入口，而其中多孔墊澆注到具有高空隙容積的開口的基體上，并且將壓力施加至流體。所述裝置被水平定位，并且六個容器以特定的距離安置在裝置下方，以收集流經(jīng)多孔墊和可旋轉(zhuǎn)基體并進入容器中的流體。在表4中，時間以秒表示，液體水壓以psig表示，并且容器的相對位置沿裝置設(shè)置(l至6)。流體流量對于室溫的水以ml/min單位被測量。如圖9中的實施例所示，基體的基體流體入口與驅(qū)動端部部分上的凸緣(沒有開口)之間的基體表面將導(dǎo)致減小的或沒有的液體流量。因此，對于該實施例的流量數(shù)據(jù)對于沿基體設(shè)置的四個中央收集容器被平均處理。表中的這些結(jié)果示出了分別在1.63psi、1.52psi、3.37psi和3.76psi壓力的橫貫基體(沒有端點收集容器流量)的開口部分的平均流量208、216、326和323ml/min。作為平均流量的的百分比的標準偏差范圍是從百分之大約9至大約32。這些結(jié)果示出了，沿具有開口的基體的長度具有很少的流阻力。這些結(jié)果還示出了，具有拔模角度開口的模塑的可旋轉(zhuǎn)基體中的一個或多個開口提供了從可旋轉(zhuǎn)基體至多孔墊的外側(cè)的流體的均勻的分布?？尚D(zhuǎn)基體中的一個或多個開口提供了從可旋轉(zhuǎn)基體至多孔墊的外側(cè)的流體的大致均勻的和未受限制的分布。實施例5該實施例示出了通過澆注在機加工的具有一個或多個開口的可旋轉(zhuǎn)基體上的多孔墊(PVA)的液體的平衡的或大致均勻的流。流均勻性通過以下方式被確定，將流體施加至裝置的入口，而其中多孔墊澆注到具有高空隙容積的開口的機加工的基體上，并且將壓力施加至流體。裝置被水平定位，并且六個容器以特定的距離安置在裝置的下方，以收集流經(jīng)多孔墊和可旋轉(zhuǎn)基體并進入容器的流體。測試結(jié)果在表5中總結(jié)，其中，時間以秒表示，壓力以psig表示，并且容器的相對位置沿裝置設(shè)置(1至6)。流體流量對于室溫的水以ml/min單位被測量。由于在該實施例中所使用的入口流體接頭和沒有孔口的基體的端部的可能的效果，該實施例的流量數(shù)據(jù)針對沿基體定位的四個中央收集容器被平均化。表中的結(jié)果示出了分別在1.4psi、1.42psi和1.38psi三個壓力的橫貫基體開口部分(沒有端點收集容器流量)的平均流量為大約236、221和188ml/min。作為平均值百分比的標準偏差范圍從百分之13至大約20。彬<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>這些結(jié)果示出了，沿具有開口的基體的長度具有很少或沒有流阻力。因此，權(quán)利要求書的精神和范圍并不限于本說明書以及在本申請中所述包含的優(yōu)選的實施例。權(quán)利要求1.一種裝置，包括熱塑性材料制成的、具有封閉單元結(jié)構(gòu)的可旋轉(zhuǎn)基體，所述可旋轉(zhuǎn)基體包含第一端部、第二端部、內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面；所述基體的所述內(nèi)側(cè)表面與外側(cè)表面由一個或多個開口互連，其中所述開口將液體從所述基體的內(nèi)側(cè)表面分布至所述基體的外側(cè)表面；所述開口和基體以所述熱塑性材料通過兩個或多個模板被形成，所述模板具有一個或多個模具銷，其中所述模具銷形成所述開口，并且所述模具銷具有這樣的軸線，所述軸線大致平行于每個所述模板的分離軸線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括多孔墊，其中所述多孔墊與所述可旋轉(zhuǎn)基體互鎖。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括多孔墊，其中所述多孔墊澆注到所述基體的一個或多個開口上并與所述基體互鎖。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述基體中的所述開口由兩個模板形成。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括位于所述第一端部上的驅(qū)動端部接頭以及位于所述第二端部上的流體入口接頭。6.—種方法，包括由包含起泡劑的可模塑的熱塑性材料利用模具模塑出可旋轉(zhuǎn)基體，所述模具具有一個或多個模板，所述模板具有一個或多個模具銷，以形成所述可旋轉(zhuǎn)基體的表面中的一個或多個開口，所述可旋轉(zhuǎn)基體具有第一端部、第二端部、內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面；所述基體的內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面由所述一個或多個開口互連，所述開口將流體從所述可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面分布至所述可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面，所述模具銷具有這樣的軸線，所述軸線大致平行于每個所述模板的分離軸線。.7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述模塑是注射成型加工。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，一個或多個基體開口包括拔模角度。9.一種裝置，包括具有一個或多個模板的模具，所述模板包含具有一個或多個模具銷的內(nèi)側(cè)表面，所述模具銷具有這樣的軸線，所述軸線大致平行于將每個所述模板一分為二的分離軸線，所述模板組合以形成模具，從而制造具有第一端部、第二端部、內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面的可旋轉(zhuǎn)基體；所述基體的內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面由一個或多個開口互連，其中所述開口由所述模具銷形成，所述開口將液體從所述基體的內(nèi)側(cè)表面分布至所述基體的外側(cè)表面。10.—種方法，包括將基板接觸來自多孔墊的液體，所述多孔墊與由熱塑性材料形成的可旋轉(zhuǎn)基體互鎖，所述可旋轉(zhuǎn)基體具有驅(qū)動端部、流體端部、內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面；所述基體的內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面由具有拔模角度的一個或多個開口互連，具有拔模角度的所述開口將液體從所述基體的內(nèi)側(cè)表面分布至所述基體的外側(cè)表面；并且旋轉(zhuǎn)與可旋轉(zhuǎn)基體互鎖的多孔墊，其中所述可旋轉(zhuǎn)基體與所述基板接觸。11.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述液體涂覆所述基板o12.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述液體和與所述可旋轉(zhuǎn)基體互鎖的多孔墊從所述基板去除微粒。13.—種物品，包括熱塑性材料制成的可旋轉(zhuǎn)基體，所述可旋轉(zhuǎn)基體具有旋轉(zhuǎn)軸線、外側(cè)表面、內(nèi)側(cè)表面和孔；所述孔在所述可旋轉(zhuǎn)基體的第一端部與第二端部之間延伸，所述可旋轉(zhuǎn)基體的所述第一端部具有通入所述孔中的開口，所述孔由所述可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面包圍；所述可旋轉(zhuǎn)基體包括位于所述可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面與內(nèi)側(cè)表面之間的一個或多個開口，所述可旋轉(zhuǎn)基體的內(nèi)側(cè)表面與外側(cè)表面之間的開口可被劃分成一組或多組開口，每組開口位于由外側(cè)基體表面和所述基體的旋轉(zhuǎn)軸線限定的圓弧中，每組中的開口具有這樣的軸線，其中所述軸線大致平行于將針對所述組的圓弧一分為二的直線。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)基體中的開口充滿泡沫。15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，所述泡沫在所述可旋轉(zhuǎn)基體的孔內(nèi)形成芯體。16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，所述泡沫與所述可旋轉(zhuǎn)基體互鎖。17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)基體是具有封閉單元結(jié)構(gòu)的模塑的熱塑性材料。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，所述封閉單元結(jié)構(gòu)在所述可旋轉(zhuǎn)基體上提供一個或多個糙化表面。19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)基體通過兩板式模具由包含熱塑性材料的成分形成。20.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)基體通過兩板式模具由包含熱塑性材料和起泡劑的成分形成。21.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，一個或多個所述開口具有壁部分，所述壁部分的厚度小于所述可旋轉(zhuǎn)基體的壁厚。22.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，在所述可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面與內(nèi)側(cè)表面之間的所述一個或多個開口的總表面面積是所述總外側(cè)表面面積的6%與40%之間。23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的可旋轉(zhuǎn)基體，其特征在于，在所述可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面與內(nèi)側(cè)表面之間的所述一個或多個開口的總表面面積是在總外側(cè)表面面積的6%與40%之間。24.—種裝置，包括熱塑性材料制成的、具有封閉單元結(jié)構(gòu)的可旋轉(zhuǎn)基體，所述可旋轉(zhuǎn)基體包含驅(qū)動端部、流體入口端部、內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面；所述基體的內(nèi)側(cè)表面和外側(cè)表面由一個或多個開口互連，其中所述開口將液體從所述基體的內(nèi)側(cè)表面分布至所述基體的外側(cè)表面；在所述可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面與內(nèi)側(cè)表面之間的所述一個或多個開口的總表面面積是在總外側(cè)表面面積的6%與40%之間。25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的裝置，其特征在于，還包括與所述可旋轉(zhuǎn)基體互鎖的多孔墊。26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的裝置，其特征在于，還包括澆注到所述基體的一個或多個開口上的并與所述基體互鎖的多孔墊。27.根據(jù)權(quán)利要求24所述的裝置，其特征在于，所述一個或多個開口包括拔模角度。28.根據(jù)權(quán)利要求24所述的裝置，其特征在于，還包括驅(qū)動端部接頭和流體入口接頭。29.根據(jù)權(quán)利要求24所述的裝置，其特征在于，在所述可旋轉(zhuǎn)基體的外側(cè)表面與內(nèi)側(cè)表面之間的所述一個或多個開口的總表面面積是在總外側(cè)表面面積的20%與35%之間。全文摘要一種用于多孔墊(500)的可旋轉(zhuǎn)基體(100)包括開口(126、130、134)，其中所述開口提供了橫貫基板的基體(100)中的液體的改進的流分布?？尚D(zhuǎn)基體(100)可由兩件式模具被形成，并且開口(126、130、134)可具有拔模角度以有助于模塑過程。文檔編號B08B11/00GK101336142SQ200680052347公開日2008年12月31日申請日期2006年11月21日優(yōu)先權(quán)日2005年12月6日發(fā)明者C·瓦戈,T·勒布朗申請人:安格斯公司