專利名稱：傾斜型搬運裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是關于一種在大型玻璃基板的清洗中，用于搬運玻璃基板的基板搬 運裝置，更詳細地說，本發(fā)明是關于一種具有傾斜型搬運機構的傾斜型搬運裝
置。 ，
背景技術：
隨著圖像機器的多樣化，顯示用的玻璃基板的形狀也正在大型化、多樣化。 為了利用一臺清洗裝置而應對該大型且形狀不同的基板的清洗，需要一種作業(yè) 來對照該基板的大小而再次設定基板搬運滾子的滾子位置。然而，因為在清洗 裝置中設置有多個基板搬運滾子，所以該作業(yè)需要較長時間，而且，會由于調 整錯誤而成為基板破損等故障產生的要因。
為了解決上述問題，在專利文獻1中記載有一種對寬度不同的基板，可不 進行滾子位置等的操作而實施搬運的、具有傾斜型搬運部的基板清洗裝置。圖
2所示為專利文獻1的基板清洗裝置的搬運部的正面圖。在圖2中，是在旋轉 軸3上以一定的間隔安裝有支持滾子6和保持滾子7，其中，該支持滾子6是 使直徑大的大滾子6a和直徑小的小滾子6b組合且使斷面略呈T字形，該保持 滾子7是與小滾子6b為相同的直徑。旋轉軸3是以支持滾子6為支點并使保 持滾子7側朝向上方而傾斜設置著。
基板5的側邊是與成為傾斜的下方的支持滾子的大滾子6a的側面確實地 抵接著，并利用該支持滾子6及該保持滾子7的旋轉而沿一定方向被搬運。因 為基板的定位只利用該支持滾子6來進行，所以能夠與基板5的寬度的種類沒 有關系地來與多種基板進行對應。
而且，在引用文獻2中記述有一種薄板構件的液體處理裝置，該液體處理 裝置為了在工件的液體處理中防止于工件的表面上形成液膜，須使對搬運工件 的旋轉軸進行支承的支持板，沿著與工件的搬運方向直行的方向而固定地設置在角度傾斜的傾斜基座上。圖3為專利文獻2的液體處理裝置的搬運要部的擴
大圖。在圖3中，于旋轉軸13上所安裝的滾子14的一側上連接設置有鍔部14b， 且工件1的末端由該鍔部14b來引導。
專利文獻l:日本專利實開平5 — 79976號公報
專利文獻2:日本專利特開平7 — 204547號公報
然而，因為圖2的基板5的側邊總是與成為傾斜的下方的支持滾子的大滾 子6a的側面確實地抵接著，所以基板5的側邊和大滾子6a的側面存在著因摩 擦而相互擦碰，并產生粉塵而形成污染源的問題。而且，因為基板只是利用自 重而載置在支持滾子6及保持滾子7上，所以存在著當清洗中因某些原因而使 基板產生振動等時，該振動將增加而使搬運產生障礙的問題。即使在圖3的工 件I的末端，因為是與鍔部14b接觸并被引導，所以也存在著因摩擦而擦碰， 并產生粉塵而形成污染源的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明是為了解決上述問題而形成的，其目的是提供一種傾斜型的基板搬 運裝置，能夠防止搬運中的粉塵產生，并可利用簡易的搬運機構而穩(wěn)定地搬運 大型玻璃基板。
本發(fā)明的基板搬運裝置為一種在大型玻璃基板的清洗中，用于搬運玻璃基 板的傾斜型搬運裝置，其特征在于，包括第1旋轉軸，其具有多個支持搬運 滾子，該支持搬運滾子以規(guī)定的角度傾斜設置著，并與玻璃基板的下面相接， 以用于搬運驅動玻璃基板；第2旋轉軸，其具有定位搬運滾子，該定位搬運滾 子與傾斜的第1旋轉軸的兩側對向設置著，并與玻璃基板的端面相接，以將玻 璃基板進行定位，且搬運驅動玻璃基板；以及第3旋轉軸，其具有基板面按壓 搬運滾子，該基板面按壓搬運滾子與傾斜的第1旋轉軸的兩側對向設置著，并 與第1旋轉軸兩端的支持搬運滾子對向且與玻璃基板的上面相接，以用于搬運 驅動玻璃基板。
本發(fā)明的基板搬運裝置的特征在于借由使兩側中的某一側的、第2旋轉 軸及第3旋轉軸具有沿著第1旋轉軸的軸方向自動地使設置位置變更的位置變 更部，或借由第2旋轉軸的某一個具有沿著第1旋轉軸的軸方向自動地使設置位置變更的位置變更部，且使該同一側的第3旋轉軸由具有與第2旋轉軸的位 置變更長度相符的軸長的第3旋轉軸所替換，從而應對于玻璃基板的形狀的變 更。
如利用本發(fā)明，則可防止搬運中的粉塵的產生，并利用簡易的搬運機構而 穩(wěn)定地搬運大型玻璃基板，所以能夠構成一種維護容易且收獲率良好的傾斜型 基板搬運裝置。而且，能夠提供一種借由將多個該傾斜型的基板搬運裝置進行 組合，從而可穩(wěn)定地進行搬運的大型玻璃基板清洗裝置。


圖1所示為本發(fā)明的實施例的傾斜型搬運裝置的構成的裝置構成圖。 圖2所示為專利文獻1的基板清洗裝置的搬運部的正面圖。 圖3所示為專利文獻2的液處理裝置的搬運要部的擴大圖。 符號的說明
1:工件 3:旋轉軸 5:基板 6:支持滾子 6a:大滾子 6b:小滾子
7:保持滾子
10:第1旋轉軸 13:旋轉軸 14:滾子 14b:鍔部
15—1 3:支持搬運滾子
20—1、 20 — 2:第2旋轉軸
25 — 2、 25 — 2:定位搬運滾子
30—1、 30 — 2:第3旋轉軸
35—1、 35 — 2:基板面按壓搬運滾子50—1、 50 — 2:旋轉驅動部 60:玻璃基板
100:傾斜型搬運裝置
a:第l旋轉軸的設置傾斜角度
具體實施例方式
關于本發(fā)明的實施形態(tài)，利用圖示來進行說明。圖l所示為本發(fā)明的實施
例的傾斜型搬運裝置的構成的裝置構成圖。在圖i中，傾斜型搬運裝置ioo的 第1旋轉軸10支持著玻璃基板60的下面并搬運玻璃基板60，所以在第1旋轉 軸10的規(guī)定的位置上具有多個支持搬運滾子15—1 3。
第2旋轉軸20—i、 20 — 2分別具有定位搬運滾子25—1、 25 — 2，該定位 搬運滾子25—1、 25 — 2是與傾斜的第1旋轉軸IO的兩側對向設置著，并與玻 璃基板60的端面相接，以對玻璃基板60進行定位，且搬運驅動玻璃基板60。 第3旋轉軸30—1、 30 — 2分別具有基板面按壓搬運滾子35—1、 35 — 2，該基 板面按壓搬運滾子35—1、 35 — 2是與傾斜的第l旋轉軸IO的兩側對向設置 著，并與第l旋轉軸IO兩端的支持搬運滾子15—1、 15 —3對向且與玻璃基 板60的上面相接，以用于搬運驅動玻璃基板60。
第1旋轉軸10對水平軸朝例如右上方具有角度a ，且右側上方的軸端 是與旋轉驅動部50 — 2連接，左側下方的軸端是與旋轉驅動部50—1連接。 第1旋轉軸10和第3旋轉軸30—1、 30 — 2是借由從旋轉驅動部50—1、 50 一2而得到旋轉驅動力，以沿著例如箭頭方向而旋轉。借此，玻璃基板60在 由支持搬運滾子15—1、 15 — 3和基板面按壓搬運滾子35—1、 35 —2挾持的 狀態(tài)下，從兩方被搬運驅動而向圖示的靠近閱圖者這方向搬運。
而且，第2旋轉軸20—1、 20 — 2的對定位搬運滾子25—1、 25 —2的相 反側的軸端，是與旋轉驅動部50—1、 50 — 2分別連接著(未圖示)而得到旋 轉驅動力。借此，使玻璃基板60在由定位搬運滾子25—1、 25 — 2挾持的狀 態(tài)下，從兩方借由朝向箭頭方向的旋轉而被搬運驅動，以向著圖中的靠近閱 圖者這方向搬運。支持搬運滾子15—1、 15 — 3和基板面按壓搬運滾子35—1、 35 — 2也可不必對向。而且，定位搬運滾子25—1、 25 —2也可不必對向。如使玻璃基板60大型化，則有時在清洗中會因某些原因而產生振動等，
且該振動容易增大而在玻璃基板60上產生位置偏離。然而，因為玻璃基板 60由定位搬運滾子25—1、25 — 2進行挾持，且由基板面按壓搬運滾子35—1、 35 — 2和支持搬運滾子15—1、 15 — 3迸行挾持，所以振動不會放大而是會衰 減，總是可進行穩(wěn)定的搬運。而且，即使玻璃基板60大型化，也可利用這6 個搬運滾子的驅動力而穩(wěn)定地進行搬運。
另外，第2旋轉軸20—1、 20 — 2及第3旋轉軸30—1、 30 — 2的兩側中 的某一側，具有沿著第1旋轉軸的軸方向而自動地變更設置位置的位置變更 部(未圖示)。例如，在圖1中，支持搬運滾子15—1、 15 — 3是依據(jù)搬運的 玻璃基板的最大尺寸而進行設定，且在第2旋轉軸20 — 2及第3旋轉軸30 — 2側具有位置變更部。在這種情況下，在支持搬運滾子15—1、 15 — 3之間， 除了支持搬運滾子15 — 2以外，還設置有多個支持搬運滾子。
借此，在搬運形狀小的玻璃基板60的情況下，是按照玻璃基板60的形 狀，而使第2旋轉軸20 — 2及第3旋轉軸30 —2的位置變更部，自動地變更 第2旋轉軸20 — 2及第3旋轉軸30 — 2的位置。而且，采用一種使多個支持 搬運滾子的某1個與進行了位置變更的第3旋轉軸30 — 2的基板面按壓搬運 滾子35 — 2對向而設置的構成。借此，能夠靈活地對應于玻璃基板的形狀的 變更。而且，第2旋轉軸25 — 2、 25 — 2的某一個具有沿著第1旋轉軸10的 軸方向自動地使設置位置變更的位置變更部，且該同側的第3旋轉軸30—1 或30 — 2也可替換為具有與第2旋轉軸25— 1或25 — 2的位置的變更長度相 符的軸長的第3旋轉軸，
如利用以上所說明的本發(fā)明的傾斜型搬運裝置，則可防止在搬運中產生 粉塵，并利用簡易的搬運機構而穩(wěn)定地進行大型玻璃基板的搬運，所以能夠 構成一種維護容易且收獲率良好的傾斜型的基板搬運裝置。而且，借由組裝 多個這種傾斜型的基板搬運裝置，可提供一種能夠穩(wěn)定地進行搬運、且與玻 璃基板的寬度種類沒有關系地、與多種基板相對應的大型玻璃基板清洗裝置。
權利要求
1.一種傾斜型搬運裝置，為一種在大型玻璃基板的清洗中，用于搬運所述玻璃基板的傾斜型搬運裝置，其特征在于，包括第1旋轉軸，其具有多個支持搬運滾子，該支持搬運滾子以規(guī)定的角度傾斜設置著，并與所述玻璃基板的下面相接，用于搬運驅動所述玻璃基板；第2旋轉軸，其具有定位搬運滾子，該定位搬運滾子與所述傾斜的第1旋轉軸的兩側對向設置著，并與所述玻璃基板的端面相接，將所述玻璃基板進行定位，且搬運驅動所述玻璃基板；以及第3旋轉軸，其具有基板面按壓搬運滾子，該基板面按壓搬運滾子與所述傾斜的第1旋轉軸的兩側對向設置著，并與所述第1旋轉軸兩端的支持搬運滾子對向且與所述玻璃基板的上面相接，以用于搬運驅動所述玻璃基板。
2. 如權利要求1所述的傾斜型搬運裝置，其特征在于， 借由使所述兩側中的某一側的、所述第2旋轉軸及所述第3旋轉軸具有沿著所述第1旋轉軸的軸方向自動地使設置位置變更的位置變更部，或借由所述第2旋轉軸的某一個具有沿著所述第1旋轉軸的軸方向自動地 使設置位置變更的位置變更部，且使該同一側的所述第3旋轉軸由具有與所述 第2旋轉軸的位置變更長度相符的軸長的第3旋轉軸所替換， 從而應對于所述玻璃基板的形狀的變更。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠防止搬運中產生粉塵，并可利用簡易的搬運機構而穩(wěn)定地進行大型玻璃基板的搬運的傾斜型的基板搬運裝置。本基板搬運裝置包括第1旋轉軸(10)，其具有多個支持搬運滾子，該支持搬運滾子以規(guī)定的角度傾斜設置著，并與玻璃基板(60)的下面相接，以用來進行搬運驅動；第2旋轉軸，其具有定位搬運滾子，該定位搬運滾子與傾斜的第1旋轉軸(10)的兩側對向設置著，并與玻璃基板(60)的端面相接而定位且進行搬運驅動；以及第3旋轉軸，其具有基板面按壓搬運滾子，該基板面按壓搬運滾子與傾斜的第1旋轉軸(10)的兩側對向設置著，并與第1旋轉軸(10)兩端的支持搬運滾子對向且與玻璃基板(60)的上面相接，以進行搬運驅動。
文檔編號B08B3/02GK101287336SQ200710152949
公開日2008年10月15日 申請日期2007年9月25日 優(yōu)先權日2007年4月13日
發(fā)明者北川賢一, 渋谷節(jié)男, 片岡辰雄, 石神敬志, 米田尚史, 長瀨明, 青島博行 申請人:島田理化工業(yè)株式會社