專利名稱：高壓水噴射清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴射高壓水清洗液晶面板、等離子體面板、有機(jī)EL (electroluminance;場(chǎng)致發(fā)光)面板等FPD (平板狀面板顯示器)和玻璃、半導(dǎo)體 晶片等平坦板狀物體的高壓水噴射清洗裝置(亦稱噴水清洗機(jī))。詳細(xì)地說(shuō)，涉及在 液晶顯示器和半導(dǎo)體晶片等的制造工序中用噴射高壓水的方法去除玻璃基板表面的 微小顆粒、有機(jī)物、金屬雜質(zhì)之類的造成成品率低的污物的清洗裝置。
背景技術(shù)：
這種高壓水噴射清洗裝置，如圖25所示，是在噴嘴的中心具有一個(gè)噴嘴孔73的 7臺(tái)高壓水噴嘴72在噴嘴支架71的圓周方向上等間隔配置的裝置，作為使該噴嘴支 架71以其中心軸為中心旋轉(zhuǎn)(公轉(zhuǎn))進(jìn)行清洗的l組清洗槍(水槍)70構(gòu)成。圖25 (b)是表示利用上述一臺(tái)高壓水噴嘴72進(jìn)行清洗的清洗軌跡的正視圖。如圖24所 示，多臺(tái)這種清洗槍70 (例如十多臺(tái))以一定的間隔配置于框架74上的長(zhǎng)邊方向上， 使玻璃板等清洗對(duì)象X橫穿從所述各清洗槍70噴射出的高壓水以一定的速度移動(dòng)， 進(jìn)行清洗。圖24中的符號(hào)75表示驅(qū)動(dòng)裝置(例如伺服電動(dòng)機(jī))。
使用于上述高壓水噴射清洗裝置的清洗槍在例如外殼的前端具有設(shè)置高壓水噴 嘴的支架。該支架上連接高壓水管的高壓水噴射裝置，其特征在于，設(shè)置在所述外殼 內(nèi)部旋轉(zhuǎn)自如地支持的支持軸，在該支持軸上設(shè)置軸承面可搖動(dòng)的軸承，在該軸承上 旋轉(zhuǎn)自如地支持上述支架的基部側(cè)，在該支架的后端面與上述支持軸之間設(shè)置與該支 持軸一起旋轉(zhuǎn)，與該支架的后端面滑動(dòng)連接的斜板。
如果采用這種清洗槍，在設(shè)置于外殼內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)自如的支持軸的軸承上，旋轉(zhuǎn)自 如地支持設(shè)置高壓水噴嘴的支架的基部側(cè)，使該支架的后端面與支持軸之間設(shè)置的斜 板與支持軸一起旋轉(zhuǎn)，沿著該斜板傾斜的滑動(dòng)連接的支架的旋轉(zhuǎn)受到高壓水管的抑 制，作圓錐狀公轉(zhuǎn)。這時(shí)，支架的傾斜被軸承面的搖動(dòng)所抵消，因此能夠利用設(shè)置于 支架前端的高壓水噴嘴將高壓水圓錐狀噴射進(jìn)行高壓水噴射清洗工作。對(duì)于這樣的裝 置可以參考例如日本特許2705719號(hào)公報(bào)。
作為關(guān)于另一高壓水噴射清洗裝置的在先技術(shù)，具有對(duì)搭載于清洗輸送帶上被送 往清洗室內(nèi)的被清洗構(gòu)件噴射高壓水用的多個(gè)噴嘴的高壓噴嘴頭，該高壓噴嘴頭設(shè)置 于所述清洗輸送帶的上方，形成該高壓水噴嘴頭一邊旋轉(zhuǎn)一邊從各噴嘴噴射高壓水的 結(jié)構(gòu)，這樣的清洗裝置是公知的。這種裝置設(shè)置多個(gè)高壓水噴嘴頭，同時(shí)分別獨(dú)立對(duì) 各高壓水噴嘴頭進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的各電動(dòng)機(jī)設(shè)置于與上述清洗室保持距離的位置。對(duì)于 這樣的裝置可以參照例如日本特許公開(kāi)公報(bào)第特開(kāi)2002—166235號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
但是在上述已有的高壓水噴射清洗裝置中，由于以下所述理由，不能夠應(yīng)對(duì)所要 求的清潔程度、高速化、清洗均勻化等要求。
又，每一清洗槍上都安裝一臺(tái)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)。因此，軸承、齒輪皮帶等旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部、 也就是發(fā)生塵埃的要素位于清洗區(qū)域內(nèi)。各清洗槍主要是旋轉(zhuǎn)密封部發(fā)出灰塵，因此 難以應(yīng)對(duì)例如液晶面板的生產(chǎn)線上的IO.級(jí)(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D，下同)左右的清潔 度要求。
各噴嘴支架(高壓水噴嘴)的旋轉(zhuǎn)速度為1500rpm。而且高壓噴射的水的軌跡如 圖25 (b)所示，在清洗區(qū)域的寬度方向(也就是長(zhǎng)邊方向)上產(chǎn)生濃淡情況，清洗 強(qiáng)度存在不均勻，而且在洗凈程度上留下不均勻的部分。另一方面，液晶面板由于在 玻璃面上安裝電路基板，因此如果是在清洗上，特別是清洗用高壓噴射的水的強(qiáng)度有 不均勻的情況下，有可能對(duì)電路基板等造成損傷。圖25 (b)是一個(gè)噴嘴噴射的清洗 用噴射水的軌跡，這是利用噴嘴的臺(tái)數(shù)部分重疊的寬度(清洗寬度)進(jìn)行清洗。
由于需要在各清洗槍中組裝伺服電動(dòng)機(jī)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，妨礙了成本的降低。而且在 清洗區(qū)域內(nèi)設(shè)置裝置進(jìn)行配管配線工作費(fèi)工時(shí)。
日本特許公開(kāi)公報(bào)第特開(kāi)2002—166235號(hào)公報(bào)中記載的裝置是清洗腳手架、腳 手框架等建筑用架設(shè)構(gòu)件用的清洗裝置與本發(fā)明作為對(duì)象的清洗物體清洗對(duì)象不同， 而且也不是要求洗凈程度高的清洗。
本發(fā)明是鑒于上述存在問(wèn)題而作出的，本發(fā)明的課題是，在高壓水噴射清洗裝置 中，實(shí)現(xiàn)下述目的，即能夠容易地應(yīng)對(duì)生產(chǎn)線要求的清潔度、能夠均勻清洗、使結(jié)構(gòu) 簡(jiǎn)單，能夠謀求降低成本、以及減小清洗時(shí)裝置的振動(dòng)。而且也將同時(shí)提供高壓水噴 射清洗方法作為課題。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置，是一邊使清洗對(duì)象相對(duì)于清 洗裝置主體以一定的速度移動(dòng)一邊從清洗裝置主體的高壓水噴嘴向所述清洗對(duì)象噴 射高壓水對(duì)其進(jìn)行清洗的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，該裝置形成如下所述的 結(jié)構(gòu)，即在具有橫穿清洗對(duì)象的長(zhǎng)度以上的長(zhǎng)度的共同的(一個(gè))支持框架的一個(gè)面
上，將多個(gè)高壓水噴嘴向著所述清洗對(duì)象而且保持相互間隔排列，分別通過(guò)垂直于該 支持框架的所述一個(gè)面或其延長(zhǎng)面的偏心旋轉(zhuǎn)軸和軸承部可偏心旋轉(zhuǎn)地對(duì)所述支持 框架的兩側(cè)的延長(zhǎng)端部加以支持，同時(shí)利用驅(qū)動(dòng)裝置使所述偏心驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，以此使 所述支持框架作旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)；沿著所述支持框架對(duì)所述各高壓水噴嘴提供高 壓水，對(duì)恒速移動(dòng)的所述清洗對(duì)象從進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的各高壓水噴嘴進(jìn)行噴射。
具有上述結(jié)構(gòu)的高壓水噴射清洗裝置，將多個(gè)高壓水噴嘴排列于共同的一個(gè)支持 框架的一個(gè)面上，用其兩側(cè)的延長(zhǎng)端部可偏心旋轉(zhuǎn)地加以支持，用驅(qū)動(dòng)裝置使其偏心 旋轉(zhuǎn)。多個(gè)噴嘴所處的清洗區(qū)域的外側(cè)能夠配置偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部，因此在清洗區(qū)域不 存在產(chǎn)生塵埃的構(gòu)件，從而能夠?qū)崿F(xiàn)洗凈程度高的清洗。因此容易應(yīng)對(duì)FPD、半導(dǎo)體 晶片等要求極高的洗凈程度(10 100以下)的清洗。多個(gè)高壓水噴嘴排列于共同的 支持框架的一個(gè)面上， 一邊使其作旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)(以某一中心位置為中心以偏心量(半徑)r描畫(huà)著正圓地旋轉(zhuǎn)) 一邊向清洗對(duì)象噴射高壓水進(jìn)行清洗，因此通過(guò)例如將多 個(gè)噴嘴等間隔排列，從各噴嘴成一直線地(straight)噴射高壓水，能夠?qū)η逑磳?duì)象 進(jìn)行清洗強(qiáng)度一定的均勻的清洗。因此在清洗玻璃基板那樣的要求均勻清洗的構(gòu)件時(shí) 也能夠保持一定的清洗能力，又沒(méi)有損傷清洗對(duì)象的危險(xiǎn)。而且與用驅(qū)動(dòng)裝置分別驅(qū) 動(dòng)各噴嘴旋轉(zhuǎn)(使其旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng))進(jìn)行清洗的結(jié)構(gòu)相比結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單，裝置容易組裝， 配管和配線工作不費(fèi)事，能夠謀求降低成本。
最好是使包含所述支持框架的兩側(cè)延長(zhǎng)端上的所述驅(qū)動(dòng)裝置的偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部 位于所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域的外側(cè)。
通過(guò)形成這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在清洗區(qū)域外側(cè)配置有可能生成塵埃的偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 部，因此能夠容易地充分滿足提高清洗區(qū)域內(nèi)的洗凈度的要求。
可以在所述各高壓水噴嘴的中心位置穿孔，并且使其垂直于該噴嘴前端面，在所 述噴嘴孔的基端一側(cè)連接沿著所述支持框架配置的高壓水供給路徑的一端，將所述高 壓水供給路徑的另一端通過(guò)可撓性金屬配管連接于高壓水源。
通過(guò)形成這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)?lái)自高壓水源的高壓水通過(guò)金屬配管均勻提供給旋 轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的各噴嘴，而且能夠避免同樣進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的清洗裝置主體的位移的 影響均勻提供高壓水。能夠?qū)⒏邏核畬?duì)整個(gè)清洗對(duì)象均勻噴射，高效率地進(jìn)行清洗。
最好是在所述支持框架的，與所述高壓水噴嘴相反的面上，夾著支持框架的中心 軸線安裝能夠與所述高壓水噴嘴的總質(zhì)量平衡的平衡錘。
通過(guò)形成這樣的結(jié)構(gòu)，能夠使裝置主體的重心位于支持框架的，高壓水噴嘴與相 反面之間的中心軸線上，因此高壓水噴射清洗裝置運(yùn)行時(shí)，特別是裝置主體旋轉(zhuǎn)圓周 運(yùn)動(dòng)時(shí)能夠謀求裝置主體的平衡，防止在裝置主體上發(fā)生不需要的力矩，能夠減少向 外部(特別是偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部)傳遞振動(dòng)，因此能夠減少裝置總體的振動(dòng)。
所述偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部具備將所述偏心旋轉(zhuǎn)軸可成一整體旋轉(zhuǎn)地連接于偏心位置 上的旋轉(zhuǎn)軸偏心部、以及作為可旋轉(zhuǎn)地支持該旋轉(zhuǎn)軸偏心部的周圍的所述軸承部的軸 承外殼；該軸承外殼可以通過(guò)連結(jié)板成一整體地連接于所述支持框架的一端。
由于這樣構(gòu)成，在清洗裝置主體的兩側(cè)延長(zhǎng)端由偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部發(fā)生偏心旋轉(zhuǎn) 力，因此具備多個(gè)噴嘴的清洗裝置主體能夠順利進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)。
所述偏心旋轉(zhuǎn)軸可成一整體旋轉(zhuǎn)地連接于偏離通過(guò)軸承可旋轉(zhuǎn)地配置于所述軸 承外殼內(nèi)的圓柱狀的旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心位置的偏心位置上。
由于這樣構(gòu)成，確保相對(duì)于圓柱體狀的旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心位置比較大的偏心量 是容易的。而且在通過(guò)軸承外殼可旋轉(zhuǎn)地支持旋轉(zhuǎn)軸偏心部的周圍的狀態(tài)下將旋轉(zhuǎn)軸 (偏心旋轉(zhuǎn)軸)的旋轉(zhuǎn)力傳遞到旋轉(zhuǎn)軸偏心部，使其偏心旋轉(zhuǎn)，因此旋轉(zhuǎn)軸偏心部能 夠順利旋轉(zhuǎn)，使清洗裝置主體能夠作進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)。
最好是在夾著所述偏心旋轉(zhuǎn)軸和所述軸承外殼上下對(duì)稱的位置上，可與所述驅(qū)動(dòng) 軸成一整體旋轉(zhuǎn)地安裝平衡錘，使其能夠以各所述旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心軸線為中心， 與所述支持框架的旋轉(zhuǎn)方向?qū)ΨQ地平衡該支持框架的離心力。
由于這樣構(gòu)成，裝置的主體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)，在裝置的主體上能夠抑制基礎(chǔ)反作用力的發(fā)生。
用清洗室包圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)的端壁上分別設(shè) 置所述連結(jié)板的插通口，能夠在皮腔狀的密封構(gòu)件的兩端開(kāi)口的周邊部將各插通口的 開(kāi)口的周邊部與從所述各插通口突出的所述連結(jié)板的一部分的周圍加以連接。
由于這樣構(gòu)成，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的清洗裝置主體的連結(jié)板的位移被密封構(gòu)件的 變形抵消，能夠?qū)Σ逋谶M(jìn)行可靠的密封。
用清洗室包圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)的端壁上分別設(shè) 置所述連結(jié)板的插通口，在各插通口外側(cè)設(shè)置包含所述各插通口，包圍從所述各插通 口突出的所述連結(jié)板的一部分的密封室，在各密封室側(cè)端壁上設(shè)置一系列能夠與所述 插通口插通的所述連結(jié)板的第2插通口，同時(shí)在所述各密封室的上壁設(shè)置排氣口，在 所述各密封室內(nèi)，所述插通口和所述第2插通口近旁，對(duì)置地設(shè)置一對(duì)形成U字形的
板彈簧形狀的密封構(gòu)件，將其一端固定于所述密封室內(nèi)壁，所述開(kāi)放端一側(cè)能夠與所 述連結(jié)板的兩個(gè)側(cè)面滑動(dòng)連接。
由于這樣構(gòu)成，雖然與上述密封機(jī)構(gòu)相比構(gòu)造變得復(fù)雜，但是能夠?qū)Σ迦肟谶M(jìn)行 密封。
以所述清洗室包圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)的端壁上分 別設(shè)置所述連結(jié)板的插通口，在長(zhǎng)邊方向上連續(xù)具有對(duì)應(yīng)于該插通口的開(kāi)口，將兩端 開(kāi)口的內(nèi)筒和與該內(nèi)筒保持間隔圍繞著周圍，將一端開(kāi)口的外筒形成雙層筒結(jié)構(gòu)的固
定式密封室構(gòu)成，該密封室的所述內(nèi)筒上穿設(shè)許多小孔，同時(shí)在所述外筒上穿設(shè)許多 小孔，將所述密封室的外筒的開(kāi)口端一側(cè)接連設(shè)置于所述清洗室端壁，使其連通該插 通口與內(nèi)筒的開(kāi)口。
由于這樣構(gòu)成，與上述密封機(jī)構(gòu)不同，不需要可動(dòng)的也就是會(huì)磨損的構(gòu)件，而且 在結(jié)構(gòu)上也可以簡(jiǎn)化。
為了解決如上所述的課題，本發(fā)明的另一高壓水噴射清洗裝置，是一邊使清洗對(duì) 象相對(duì)于清洗裝置主體以一定的速度移動(dòng)一邊從所述清洗裝置主體的高壓水噴嘴向 所述清洗對(duì)象的兩個(gè)面上噴射高壓水對(duì)其進(jìn)行清洗的高壓水噴射清洗裝置，其特征在 于，該裝置形成如下所述的結(jié)構(gòu)，即在具有橫跨所述清洗對(duì)象的長(zhǎng)度以上的長(zhǎng)度，夾 著所述裝置主體的厚度方向的中心軸線平行配置的一對(duì)支持框架的對(duì)置面上，使多個(gè) 高壓水噴嘴對(duì)置且相互保持間隔地配置，將所述各支持框架的兩端部(兩側(cè)部)接合 形成一整體，同時(shí)從兩端(兩側(cè))接合部分別沿著所述裝置主體的中心軸線向兩側(cè)分 別延伸設(shè)置連結(jié)板，通過(guò)與其一個(gè)面垂直的偏心旋轉(zhuǎn)軸以及軸承部可偏心旋轉(zhuǎn)地支持 所述各連結(jié)板的端部，同時(shí)利用驅(qū)動(dòng)裝置使所述偏心驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，以此使所述支持框 架作旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，沿著所述各支持框架對(duì)所述各高壓水噴嘴提供高壓水，對(duì) 恒速移動(dòng)的所述清洗對(duì)象的兩個(gè)面從進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的各高壓水噴嘴進(jìn)行噴射。
如果采用具有上述結(jié)構(gòu)的高壓水噴射清洗裝置，除了實(shí)現(xiàn)與上述本發(fā)明的高壓水
噴射清洗裝置相同的作用效果外，能夠同時(shí)對(duì)清洗對(duì)象的兩個(gè)面進(jìn)行清洗，而且由于 清洗裝置主體夾著中心軸線謀求平衡，所以不需要上述平衡錘，能夠進(jìn)一步簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。最好是使包含所述兩側(cè)的連結(jié)板的端部的所述驅(qū)動(dòng)裝置的偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部位于 所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域的外側(cè)。
由于這樣構(gòu)成，能夠?qū)⒂锌赡墚a(chǎn)生塵埃的偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部配置于清洗區(qū)域外，因 此能夠容易而且充分地提高清洗區(qū)域內(nèi)的洗凈程度。
可以在所述各高壓水噴嘴的中心位置上形成噴嘴孔，并且使其垂直于該噴嘴前端 面，在所述噴嘴孔的基端一側(cè)連接沿著所述支持框架配置的高壓水供給路徑的一端， 將所述高壓水供給路徑的另一端通過(guò)可撓性金屬配管連接于高壓水源。
由于這樣構(gòu)成，能夠利用金屬配管從高壓水源，在抵消做旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的清洗裝 置主體的位移的同時(shí)，均勻地將高壓水提供給同樣作旋轉(zhuǎn)(描畫(huà)出圓的旋轉(zhuǎn))圓周運(yùn) 動(dòng)的各噴嘴，將高壓水總體上均勻地向清洗對(duì)象噴射，能夠高效率地進(jìn)行清洗。
所述偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部具備將所述偏心旋轉(zhuǎn)軸可成一整體旋轉(zhuǎn)地連接于偏心位置 上的旋轉(zhuǎn)軸偏心部、以及作為可旋轉(zhuǎn)地支持該旋轉(zhuǎn)軸偏心部的周圍的所述軸承部的軸 承外殼；該軸承外殼通過(guò)連結(jié)板成一整體地連接于所述支持框架的一端。
由于這樣構(gòu)成，在清洗裝置主體的兩側(cè)延長(zhǎng)端由偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分別產(chǎn)生偏心旋 轉(zhuǎn)力，因此各噴嘴與清洗裝置主體同時(shí)平滑地做旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)。
所述偏心旋轉(zhuǎn)軸可成一整體旋轉(zhuǎn)地連接于偏離通過(guò)所述軸承外殼內(nèi)的軸承可旋 轉(zhuǎn)地配置的圓柱狀的旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心位置的偏心位置上。
由于這樣構(gòu)成，容易確保相對(duì)于圓柱狀的旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心位置有較大的偏心 量。而且由于在通過(guò)軸承外殼可旋轉(zhuǎn)地支持旋轉(zhuǎn)軸偏心部的周圍的狀態(tài)下將旋轉(zhuǎn)軸 (偏心旋轉(zhuǎn)軸)的旋轉(zhuǎn)力傳遞到旋轉(zhuǎn)軸偏心部使其偏心旋轉(zhuǎn)，因此旋轉(zhuǎn)偏心部旋轉(zhuǎn)平 滑能夠使清洗裝置主體實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)。
在夾著所述偏心旋轉(zhuǎn)軸和所述軸承外殼上下對(duì)稱的位置上，可與所述驅(qū)動(dòng)軸成一 整體旋轉(zhuǎn)地安裝平衡錘，使其能夠以各所述旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心軸線為中心，與所述 支持框架的偏心方向?qū)ΨQ地平衡該支持框架的離心力。
由于這樣構(gòu)成，裝置主體作旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)，在整個(gè)裝置上能夠抑制主要反作用 力的發(fā)生。
可以用清洗室包圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)壁上分別設(shè) 置所述連結(jié)板的插通口，在皮腔狀的密封構(gòu)件的兩端開(kāi)口的周邊部將各插通口的開(kāi)口 的周邊部與從所述各插通口突出的所述連結(jié)板的一部分的周圍加以連接。
由于這樣構(gòu)成，密封構(gòu)件變形抵消旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的清洗裝置主體的連結(jié)板的位 移，能夠可靠地對(duì)插通口進(jìn)行密封。
可以用清洗室包圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)壁上分別設(shè) 置各所述連結(jié)板的插通口，在各插通口外側(cè)設(shè)置包含所述各插通口，包圍從所述各插 通口突出的所述連結(jié)板的一部分的密封室，在各密封室側(cè)壁上設(shè)置一系列所述連結(jié)板 的第2插通口，同時(shí)在所述各密封室的上壁設(shè)置排氣口，在所述各密封室內(nèi)的所述插 通口和所述第2插通口近旁，分別對(duì)置地設(shè)置一對(duì)形成U字形的板彈簧形狀的密封構(gòu) 件，使所述開(kāi)放端一側(cè)能夠與所述連結(jié)板的兩個(gè)側(cè)面滑動(dòng)連接，并且將其另一端固定于所述密封室內(nèi)壁上。
由于這樣構(gòu)成，與上述密封機(jī)構(gòu)相比，結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，但是密封構(gòu)件變形抵消偏 心旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的清洗裝置主體的連結(jié)板的位移，能夠?qū)Σ逋谶M(jìn)行密封。
可以以所述清洗室包圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)的端壁 上分別設(shè)置所述連結(jié)板的插通口，在長(zhǎng)邊方向上連續(xù)具有對(duì)應(yīng)于該插通口的開(kāi)口，將 兩端開(kāi)口的內(nèi)筒和與該內(nèi)筒保持間隔圍繞著周圍，將一端開(kāi)口的外筒形成雙層筒結(jié)構(gòu) 的固定式密封室構(gòu)成，該密封室的所述內(nèi)筒上穿設(shè)許多小孔，同時(shí)在所述外筒上穿設(shè) 許多小孔，將所述密封室的外筒的開(kāi)口端一側(cè)接連設(shè)置于所述清洗室端壁，使其連通 該插通口與內(nèi)筒的開(kāi)口。
由于這樣構(gòu)成，與上述各密封機(jī)構(gòu)不同，不需要可動(dòng)也就是有磨損的密封構(gòu)件， 而且在結(jié)構(gòu)上也比較簡(jiǎn)單。
本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置，由于具有如上所述的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)如下所述的 優(yōu)良效果。也就是在一邊使清洗對(duì)象相對(duì)于清洗裝置主體以一定的速度移動(dòng)一邊從清 洗裝置主體的高壓水噴嘴中例如一齊(或間歇地)對(duì)清洗對(duì)象的一個(gè)面或兩個(gè)面噴射 高壓水進(jìn)行清洗的高壓水噴射清洗裝置中，容易應(yīng)對(duì)生產(chǎn)線要求的洗凈度，能夠?qū)崿F(xiàn) 清洗強(qiáng)度總體上保持一定的均勻清洗，與以往的一般的高壓水噴射清洗裝置相比，結(jié) 構(gòu)可以做得更簡(jiǎn)單，能夠謀求降低成本，同時(shí)能夠減小清洗時(shí)整個(gè)裝置的振動(dòng)，能夠 長(zhǎng)期實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的清洗工作。


圖1是表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第1實(shí)施形態(tài)的， 一部分用剖面表示 的正視圖。
圖2是表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第1實(shí)施形態(tài)的平面圖。 圖3是表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第1實(shí)施形態(tài)的仰視圖。 圖4是圖2的C一C剖面圖。
圖5是圖1的高壓水噴射清洗裝置的放大表示的左側(cè)視圖。
圖6 (a)是圖1是左側(cè)的支持臺(tái)及其近旁的放大表示的正視圖，圖6 (b)是取 出旋轉(zhuǎn)軸偏心部與上下的旋轉(zhuǎn)軸概略表示的說(shuō)明圖，圖6 (c)是圖6 (b)的平面圖。 圖7是圖6的平面圖。
圖8是放大表示圖1的清洗裝置主體的一部分的中央縱剖面圖。
圖9是圖8的A — A剖面圖。
圖10是圖8的平面圖。
圖11是表示圖10的噴嘴頭的仰視圖。
圖12 (a)表示噴嘴頭的一部分的放大的仰視圖，圖12 (b)是圖12 (a)的B — B縱剖面圖。
圖13 (a)是在構(gòu)成清洗室的兩個(gè)側(cè)壁上設(shè)置的，中空框架6的延長(zhǎng)部(連結(jié)板) 的插通口的密封機(jī)構(gòu)的實(shí)施例的概略表示的俯視剖面圖。圖13 (b)為其側(cè)視剖面圖。圖14 (a)是在構(gòu)成清洗室的兩個(gè)側(cè)壁上設(shè)置的，中空框架6的延長(zhǎng)部(連結(jié)板) 的插通口的密封機(jī)構(gòu)的另一實(shí)施例的概略表示的俯視剖面圖。圖14 (b)為其側(cè)視剖 面圖。
圖15是更具體地表示圖14所示的密封機(jī)構(gòu)的一方插通口一側(cè)的密封機(jī)構(gòu)的，切 除一部分?jǐn)嗝姹硎镜牧Ⅲw圖。
圖16 (a) (c)是在構(gòu)成清洗室的兩個(gè)側(cè)壁上設(shè)置的，中空框架6的延長(zhǎng)部(連 結(jié)板)的插通口的密封機(jī)構(gòu)的又一實(shí)施例的概略表示，圖16 (a)為側(cè)面圖，圖16 (b) 為平面圖，圖16 (c)為圖16 (b)的C一C剖面圖。
圖17 圖22表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第2實(shí)施形態(tài)，圖17為表示本 發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第2實(shí)施形態(tài)的用剖面表示一部分的正視圖。
圖18為表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第2實(shí)施形態(tài)的平面圖。
圖19為表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第2實(shí)施形態(tài)的左側(cè)視圖。
圖20是圖17的A — A剖面圖。
圖21是圖17的B — B剖面圖。
圖22是圖17的C —C剖面圖。
圖23 (a)是噴嘴頭的仰視圖和表示旋轉(zhuǎn)圓運(yùn)動(dòng)的說(shuō)明圖，圖23 (b)是表示圖 23 (a)的噴嘴噴射的清洗用水的軌跡的說(shuō)明圖。還有，圖23 (b)兩側(cè)部分是清洗對(duì) 象從清洗區(qū)域露出的部分(非清洗部)。
圖24是在總體上表示已有的高壓水噴射清洗裝置的正視圖。 圖25 (a)是噴嘴頭的仰視圖和表示旋轉(zhuǎn)圓運(yùn)動(dòng)的說(shuō)明圖，圖25 (b)是表示圖 25 (a)的一個(gè)噴嘴頭產(chǎn)生的清洗軌跡的說(shuō)明圖。還有，對(duì)清洗裝置進(jìn)行清洗時(shí)，圖 25 (a)的噴嘴頭形成多個(gè)并排的狀態(tài)，因此圖25 (b)的清洗軌跡有部分重疊，形成 5個(gè)集合的狀態(tài)的清洗軌跡。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)圖1 圖15對(duì)本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第l實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。 圖1是表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第1實(shí)施形態(tài)的， 一部分用剖面表示 的正視圖。圖2為其平面圖，圖3為其仰視圖，圖4是圖2的C一C剖面圖。圖5是 圖1的高壓水噴射清洗裝置的放大表示的左側(cè)視圖，圖6 (a)是圖1是左側(cè)的支持臺(tái) 及其近旁的放大表示的正視圖，圖6 (b)是取出旋轉(zhuǎn)軸偏心部與上下的旋轉(zhuǎn)軸概略表 示的說(shuō)明圖，圖6 (c)是圖6 (b)的平面圖。圖7是圖6的平面圖。圖8是放大表 示圖1的清洗裝置主體的一部分的中央縱剖面圖。圖9是圖8的A—A剖面圖。圖10 是圖8的平面圖。圖11是表示圖10的噴嘴頭的仰視圖。圖12 (a)表示噴嘴頭的一 部分的放大的仰視圖，圖12 (b)是圖12 (a)的B — B縱剖面圖。
如這些圖所示，本例的高壓水噴射清洗裝置1在橫穿清洗室30下方的機(jī)框2的 兩側(cè)部具備支持臺(tái)3、 3。各支持臺(tái)3具備支柱3a，兩側(cè)的支柱3a的上部之間用橫梁18連接。在支柱3a的上部正面上通過(guò)從側(cè)面看來(lái)大致為"- "字形的托架3b和支持 板3c，利用螺桿3d、 3e可旋轉(zhuǎn)地支持清洗裝置主體5，清洗裝置主體5跨越兩側(cè)的 支持臺(tái)3支持著。又，在橫梁18的長(zhǎng)度方向上保持間隔，如圖4所示，左右成對(duì)向 下，凹狀的保護(hù)框19包圍著清洗裝置主體5的上部安裝。
清洗裝置主體5，如圖9所示，具備由扁平棒構(gòu)成的方筒體狀的中空支持框架(以 下稱為"中空框架6")，在該中空框架6的下表面突出設(shè)置安裝托架8。而且，將 多個(gè)高壓水噴嘴7a等間隔地成兩列配置于板狀的噴嘴支架7b上形成鋸齒狀配置的噴 嘴頭7，用螺桿8a向下地固定于上述安裝托架8上。在各噴嘴7a上，如圖8、圖9、 圖12所示，垂直于前端(下端)面的中心位置逐個(gè)穿孔設(shè)置噴嘴孔7c。在噴嘴支架 7b和噴嘴頭7上，沿著長(zhǎng)邊方向穿設(shè)高壓水供給路徑9a、 9b。如圖8所示，具有可 撓性的螺旋狀金屬配管10從高壓水箱10a連接到噴嘴支架7b的高壓水供給路徑9b 的一側(cè)。從該高壓水供給路徑9b通過(guò)噴嘴頭7的高壓水供給路徑9a向各噴嘴7a的 噴嘴孔7c提供高壓水，從各噴嘴7a成一直線狀噴射高壓水。還有，金屬配管10如 果具備可撓性，則也可以不形成螺旋狀。例如也可以形成直線狀而使配管整體彎曲。
在本例的情況下，清洗對(duì)象X為玻璃板，這種玻璃板X(qián)利用例如輥式輸送器40 等輸送裝置以一定的速度輸送從噴嘴頭7的下方通過(guò)。因此，使噴嘴頭7的長(zhǎng)度比玻 璃板X(qián)的寬度方向的長(zhǎng)度稍長(zhǎng)，以便不留下未經(jīng)洗凈的地方，而且安裝噴嘴頭7的中 空框架6的長(zhǎng)度比噴嘴頭7稍長(zhǎng)。
在中空框架6的兩端用螺桿llc將分別固定于連結(jié)板11的一端的安裝板lib連 接成一體。在各連結(jié)板11上為了實(shí)現(xiàn)輕量化，在厚度方向上貫通設(shè)置圓形開(kāi)口 lla。 在各連結(jié)板11的另一端(外端) 一側(cè)，成一整體地形成環(huán)狀的軸承外殼(軸承部) 12，在各軸承外殼12內(nèi)，通過(guò)軸承13可旋轉(zhuǎn)地裝配圓柱體狀的旋轉(zhuǎn)軸偏心部14。另 一方面，在旋轉(zhuǎn)軸偏心部14的上下可旋轉(zhuǎn)地將旋轉(zhuǎn)軸(也稱為偏心旋轉(zhuǎn)軸)15支持 于軸承外殼16內(nèi)，上下各旋轉(zhuǎn)軸15成一整體可旋轉(zhuǎn)地連接于從旋轉(zhuǎn)軸偏心部14的 中心軸線S'向一方(圖6中的左側(cè))偏心例如數(shù)臓到10多mm的位置上。又，在左 右各支持臺(tái)3的上端面配置伺服電動(dòng)機(jī)17，該伺服電動(dòng)機(jī)17的驅(qū)動(dòng)軸17a上可成一 整體旋轉(zhuǎn)地連接旋轉(zhuǎn)軸15的上端。
借助于此，能夠使左右伺服電動(dòng)機(jī)17大致同步(一方追隨另一方)旋轉(zhuǎn)，如圖6 (b) (c)所示，偏心旋轉(zhuǎn)軸15其中心軸線S相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸偏心部14的中心軸線S' 偏心地旋轉(zhuǎn)，因此，與中空框架6偏心旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)同時(shí)，噴嘴頭7進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)(搖 動(dòng)旋轉(zhuǎn))。也就是說(shuō)，由于旋轉(zhuǎn)軸15的旋轉(zhuǎn)，圓柱狀的旋轉(zhuǎn)軸偏心部14偏心旋轉(zhuǎn)， 通過(guò)軸承外殼(包含軸承13) 12使清洗裝置主體5 (中空框架6和噴嘴頭7)進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)。這種關(guān)系恰好接近于曲柄機(jī)構(gòu)。另一方面，作為例如驅(qū)動(dòng)裝置的伺服電 動(dòng)機(jī)17只在一方設(shè)置的情況下， 一旦使一方的旋轉(zhuǎn)軸15旋轉(zhuǎn)，由于清洗裝置主體5 的停止?fàn)顟B(tài)，即使想要使旋轉(zhuǎn)軸15開(kāi)始旋轉(zhuǎn)，也有可能無(wú)法使清洗裝置主體5進(jìn)行 旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)。但是在像本實(shí)施例這樣左右具備伺服電動(dòng)機(jī)17，能夠大致同時(shí)將驅(qū)動(dòng) 力傳遞給旋轉(zhuǎn)軸15的結(jié)構(gòu)的情況下，就沒(méi)有上述可能。與此同時(shí)，從各噴嘴7a的噴嘴孔7c直線狀噴射高壓水，在被清洗物體的清洗面上生成23 (b)所示的高壓水軌跡 進(jìn)行清洗。還有，如圖23 (a)所示，在本實(shí)施例中，將噴嘴7a配置為兩列，而且相 互之間保持等間隔配置為鋸齒狀，在整個(gè)清洗面保持均勻。而且逐個(gè)穿設(shè)垂直于各噴 嘴7a的前端面的中心位置的噴嘴孔7c。然后，在該狀態(tài)下，各噴嘴7a—邊描畫(huà)著正 圓形旋轉(zhuǎn)一邊從各噴嘴孔7c直線狀噴射高壓清洗液體(超純水和藥劑等)，因此描 繪圖23 (b)所示的清洗用水的軌跡，實(shí)現(xiàn)清洗強(qiáng)度沒(méi)有波動(dòng)的清洗工作。還有，清 洗用液體的噴射壓力和噴嘴頭7的旋轉(zhuǎn)速度能夠調(diào)整，能夠根據(jù)清洗對(duì)象將清洗條件 設(shè)定于最合適的狀態(tài)。
但是，在本高壓水噴射清洗裝置1中，清洗裝置主體5 (包含噴嘴頭7和中空框 架6)描畫(huà)著正圓地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)(搖動(dòng)旋轉(zhuǎn))，因此謀求高壓水噴射清洗裝置 1總體平衡(包含中空框架6的清洗裝置主體5本身的平衡以及包含中空框架6的清 洗裝置主體5旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)相對(duì)于兩側(cè)支持臺(tái)3的平衡)是很重要的。在不能夠充分得 到這些平衡的情況下，整個(gè)高壓水噴射清洗裝置l發(fā)生振動(dòng)，清洗工作有可能發(fā)生混 亂。因此在本例中，為了謀求將通過(guò)中空框架6的厚度方向的中間位置的長(zhǎng)邊方向的 中心軸線M (參照?qǐng)D9)夾在中心，取得與噴嘴頭7 (與其高壓水供給路徑9a、 9b) 的質(zhì)量(以及力矩)的平衡，用螺桿22a將扁平狀的平衡錘21安裝于以一定間隔突 出設(shè)置于中空框架6的上表面的多個(gè)托架22上。
結(jié)果，清洗裝置主體5 (包含中空框架6)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)，清洗裝置主體5 (包含中空框架6)本身沒(méi)有發(fā)生無(wú)用的力矩，各噴嘴7a平滑地以描畫(huà)出正圓的狀態(tài) 旋轉(zhuǎn)。
又，夾著旋轉(zhuǎn)軸偏心部14對(duì)上下旋轉(zhuǎn)軸15分別可成一整體旋轉(zhuǎn)地安裝半圓板狀 的平衡綞25，以抵消清洗裝置主體5在旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的力矩。也就是說(shuō)，夾著 旋轉(zhuǎn)軸15的中心軸線S在與清洗裝置主體5的搖動(dòng)旋轉(zhuǎn)方向?qū)ΨQ的位置上安裝平衡 錘25，相對(duì)左右旋轉(zhuǎn)軸15，平衡錘25配置在相同的方向上。其結(jié)果是，旋轉(zhuǎn)軸15 旋轉(zhuǎn)時(shí)，平衡錘25向夾著中心軸線S與清洗裝置主體5的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)稱的位置位 移，抵消清洗裝置主體5在旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)要發(fā)生的力矩。因此，包含兩側(cè)的支持臺(tái) 3，整個(gè)高壓水噴射清洗裝置l上不發(fā)生無(wú)用的力矩，不產(chǎn)生振動(dòng)。
圖13 (a)是大概表示在構(gòu)成清洗室的兩側(cè)側(cè)壁上設(shè)置的中空框架6的延長(zhǎng)部(連 結(jié)板)的插通口的密封機(jī)構(gòu)的實(shí)施例的俯視剖面圖，圖13 (b)是同一側(cè)觀察的剖面 圖。
如圖13所示，在包圍清洗區(qū)域的清洗室30的兩側(cè)壁30a上分別形成與連接中空 框架6的連結(jié)板11的剖面形狀對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)方形狀的插通口 31。連結(jié)板11與中空框架6 成一整體偏心旋轉(zhuǎn)，因此在連結(jié)板11的寬度方向上，插通口 31與連結(jié)板11之間每 一側(cè)留出偏心量+a (例如12mrn)的間隙，又在連結(jié)板11的厚度方向上，在插通口 31與連結(jié)板ll之間留出數(shù)mm大小的間隙。因此，為了防止粉末等從這些間隙侵入， 將皮腔狀的密封構(gòu)件32的一個(gè)開(kāi)口邊緣32a覆蓋著連結(jié)板11的周圍安裝，另一開(kāi)口 邊緣32b覆蓋著插通口 31的周邊部附近安裝。圖14 (a)是大概表示設(shè)置于構(gòu)成清洗室的兩側(cè)壁上的中空框架6的延長(zhǎng)部(連 結(jié)板)的插通口的密封機(jī)構(gòu)的另一實(shí)施例的俯視剖面圖，圖14 (b)是對(duì)其從側(cè)方觀 察的剖面圖，圖15是更具體地表示一方的插通口側(cè)的密封機(jī)構(gòu)的，部分切開(kāi)用剖面 表示的立體圖。
如圖14、圖15所示，在清洗室30的兩側(cè)壁30a上分別形成對(duì)應(yīng)于中空框架6上 連接的連結(jié)板11的剖面形狀的長(zhǎng)方形插通口 31。在本例的情況下，箱形的密封室33 包圍著各插通口 31成一整體地形成于清洗室30的兩側(cè)壁30a上。又，在密封室33 的端壁33a上也形成一連串與插通口 31相同形狀的第2插通口 34。而且在密封室33 內(nèi)，如圖15所示，底板33a配置于插通口 31與插通口 34的各下端開(kāi)口邊緣的近旁， 同時(shí)沿著插通口 31與插通口 34的各上端開(kāi)口邊緣，所規(guī)定寬度的挾持版35， 36各 內(nèi)向方向被固定。插通口31的近旁的挾持板35與底板33a之間的空間部，相對(duì)配置 U字形的板彈簧狀的一對(duì)密封構(gòu)件37，使其開(kāi)放端一側(cè)與連結(jié)板11的兩個(gè)側(cè)面滑動(dòng) 接觸地相對(duì)配置。而且，將各密封構(gòu)件37的另一端固定于底板33b與挾持板35上。 又，在第2插通口 34近旁的挾持板35與底板33a之間的空間部，配置U字形的板狀 彈簧狀的一對(duì)密封構(gòu)件38，使其開(kāi)放端與連結(jié)板11的兩側(cè)面滑動(dòng)接觸地相對(duì)配置。 而且，各密封構(gòu)件38的另一端固定于底板31b與挾持板35上。而且在密封室33的 頂板33c的大致中央部形成排氣口 39。然后，將密封室33內(nèi)的壓力設(shè)定得比清洗室 30內(nèi)的壓力稍低，以使空氣從清洗室30內(nèi)流向密封室33內(nèi)。
借助于此，各密封構(gòu)件37、 38在它們的開(kāi)放端一側(cè)與連結(jié)板11的兩個(gè)側(cè)面接觸 的狀態(tài)下一邊伴隨清洗裝置主體5的旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)發(fā)生彈性變形一邊將連結(jié)板11的 兩側(cè)面密封。又，對(duì)于連結(jié)板的上下兩個(gè)面，挾持板35、 36分別靠近，幾乎沒(méi)有間 隙。而且在清洗室30內(nèi)通常引入干凈的空氣，該空氣從插通口 31通過(guò)與連結(jié)板11 之間的間隙流入密封室33內(nèi)，從排氣口 39排出。又利用該空氣流從第2插通口 34 通過(guò)與連結(jié)板11的間隙將外部空氣吸入密封室33內(nèi)，再?gòu)呐艢饪?39排出。因此， 清洗室30的插通口 31處于與外部(第2插通口) 34斷開(kāi)的狀態(tài)，保持清洗室30內(nèi) 的氣密封性。
圖16 (a) (c)表示構(gòu)成清洗室的兩個(gè)側(cè)壁上設(shè)置的中空框架6的延長(zhǎng)部(連 結(jié)板)的插通口的密封機(jī)構(gòu)的再一實(shí)施例的概略圖，圖16 (a)為其側(cè)面圖，圖16 (b) 為其平面圖，圖16 (c)為圖16 (b)的C一C剖面圖。
本例的密封機(jī)構(gòu)是不具備可動(dòng)或可撓性的密封構(gòu)件固定室密封機(jī)構(gòu)，包圍著各插 通口 31在清洗室30的兩個(gè)側(cè)壁30a上分別連續(xù)設(shè)置內(nèi)外筒雙層方形筒結(jié)構(gòu)的密封室 40。該密封室40在長(zhǎng)邊方向上連續(xù)具有與清洗室30的插通口 31相同形狀的橫向長(zhǎng) 的插通開(kāi)口43，兩端開(kāi)口的內(nèi)筒44與在整個(gè)一周上保持一定間隔包圍該內(nèi)筒44， 一 端開(kāi)口的外筒41形成一整體。包含內(nèi)筒44的兩端開(kāi)口的開(kāi)口剖面形狀與插通開(kāi)口 43 相同。如圖16(b) (c)所示，在內(nèi)筒44的上下兩面和兩側(cè)面上穿設(shè)多個(gè)排氣口 45， 又在外筒41的兩側(cè)壁上也穿設(shè)排氣口 46。內(nèi)筒44的插通開(kāi)口 43與插通口 31相同， 如圖16 (c)所示形成允許連結(jié)板11進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的大小，清洗室30內(nèi)的加壓空氣從各排氣口 45、 46流出，阻止從外部流入。從而，清洗室30的插通口 31處于 與外部(內(nèi)筒44的外側(cè)的開(kāi)口)斷開(kāi)的狀態(tài)，保持清洗室30內(nèi)的氣密封性。本例的 密封機(jī)構(gòu)不同于上述兩個(gè)實(shí)施例，不具備可動(dòng)(換句話說(shuō)，有摩擦損耗)的密封構(gòu)件。 還有，圖16中的符號(hào)42表示外筒一端(外側(cè))的端壁。
如上所述構(gòu)成本發(fā)明第1實(shí)施形態(tài)的高壓水噴射清洗裝置，下面說(shuō)明其清洗工作 的狀態(tài)。
首先，在清洗室30內(nèi)，清洗對(duì)象X為例如玻璃基板X(qián)的情況下，該清洗對(duì)象X 被送入，放置在輥式輸送器40上，從搬入場(chǎng)所以一定的速度向清洗裝置主體5的下 方輸送。輸送開(kāi)始時(shí)，在清洗室30內(nèi)引入正常的空氣，保持清潔氣氛，在這里，左 右伺服電動(dòng)機(jī)17開(kāi)始驅(qū)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)軸15旋轉(zhuǎn)，由于該旋轉(zhuǎn)軸15的旋轉(zhuǎn)，圓柱體的旋 轉(zhuǎn)軸偏心部14偏心旋轉(zhuǎn)，通過(guò)軸承外殼13，清洗裝置主體5進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)。接 著，從高壓水箱10a通過(guò)可撓性金屬配管10將高壓清洗用液體通過(guò)高壓水供給路徑 9b和噴嘴頭7的高壓水供給路徑9a提供給各噴嘴7a。各噴嘴7a —邊旋轉(zhuǎn)著描畫(huà)正 圓形一邊從各噴嘴孔7c直線狀噴射高壓清洗用液體。另一方面，由輥式輸送器40將 玻璃基板X(qián)以一定的速度向清洗裝置主體5的下方送來(lái)。在這種狀態(tài)下， 一齊向玻璃 基板X(qián)的一個(gè)面噴射高壓的清洗用液體，描畫(huà)如圖23 (b)所示的清洗液體的軌跡， 完成清洗強(qiáng)度沒(méi)有波動(dòng)的清洗作業(yè)。
圖17 圖22表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第2實(shí)施形態(tài)，在下面對(duì)其進(jìn) 行說(shuō)明。
圖17為表示本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置的第2實(shí)施形態(tài)的用剖面表示一部分 的正視圖。圖18為其平面圖，圖19為其左側(cè)視圖，圖20是圖17的A — A剖面圖， 圖21是圖17的B — B剖面圖，圖22是圖17的C一C剖面圖。
如這些圖所示，本實(shí)施形態(tài)的高壓水噴射清洗裝置1'與上述第l實(shí)施形態(tài)的高 壓水噴射清洗裝置1的不同點(diǎn)如下所述，也就是說(shuō)，
上述清洗裝置1具有對(duì)清洗對(duì)象X的一個(gè)面(上表面)進(jìn)行清洗的結(jié)構(gòu)，而本實(shí) 施形態(tài)的清洗裝置l'是能夠同時(shí)對(duì)清洗對(duì)象X的兩個(gè)面進(jìn)行清洗的結(jié)構(gòu)。因此以構(gòu) 成清洗裝置主體5'的方筒狀，保持間隔而且上下平行地相對(duì)地配置中空支持框架6 的一對(duì)。而且將上下支持框架6、 6的兩側(cè)部分別成一整體地用板狀的連接構(gòu)件51連 接，從各連接構(gòu)件51的上下方向的中間位置向側(cè)方(外方)成一整體地延伸設(shè)置連 結(jié)板11。
如圖18所示，設(shè)置長(zhǎng)圓形的開(kāi)口lla，謀求輕量化。又如圖17所示，在各連結(jié) 板11的一端(外端)成一整體連接環(huán)狀的軸承外殼12，該軸承外殼12內(nèi)通過(guò)軸承可 旋轉(zhuǎn)地裝配圓柱狀旋轉(zhuǎn)軸偏心部14。又，在從旋轉(zhuǎn)軸偏心部14的中心位置偏心的位 置上，可成一整體旋轉(zhuǎn)地在支持臺(tái)3上連接通過(guò)軸承外殼16可旋轉(zhuǎn)地支持的上下旋 轉(zhuǎn)軸15 (圖6)，分別利用伺服電動(dòng)機(jī)17使其大致同步地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)使清洗裝置 主體5進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)，以此使各噴嘴7a描畫(huà)正圓地旋轉(zhuǎn)。
在上下支持框架6、 6的相對(duì)置的面上，安裝相互等間隔地鋸齒狀地將噴嘴7a配置為兩列的噴嘴頭7在本例的情況下如圖17所示，在上下噴嘴7a的前端面之間，設(shè) 置清洗對(duì)象X通過(guò)而且能夠?qū)η逑磳?duì)象(未圖示)的兩個(gè)面噴射高壓水進(jìn)行清洗的間 隙t。對(duì)于該間隙t數(shù)值沒(méi)有限定，但是如果例如清洗對(duì)象是半導(dǎo)體晶片等厚度較薄 的平坦板狀物體，則該間隙t為10mm 10多誦左右即可，又，如圖16和圖18 20 所示，由于夾著清洗裝置主體5'的中心軸線M對(duì)稱地配置支持框架6、噴嘴頭7等 質(zhì)量相同的構(gòu)件，因此在上述高壓水噴射清洗裝置1中，為謀求清洗裝置主體5本身 的平衡的平衡錘21和其安裝用的托架22等是不需要的。但是在清洗裝置主體5進(jìn)行 偏心圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)，產(chǎn)生的力矩被抵消，因此需要夾著圓盤(pán)部14安裝在上下驅(qū)動(dòng)軸15 上的平衡錘25。又，在上下成對(duì)的各橫梁18的長(zhǎng)邊方向上保持間隔，左右成對(duì)的凹 狀的保護(hù)框19分別包圍著清洗裝置主體5的上部和下部，上下相對(duì)地安裝。
對(duì)于其他結(jié)構(gòu)，由于與上述第l實(shí)施形態(tài)的高壓水噴射清洗裝置l相同，對(duì)相同 的構(gòu)件標(biāo)以相同的符號(hào)表示在附圖上其說(shuō)明省略。又，對(duì)于使用于上述第1實(shí)施形態(tài) 的高壓水噴射清洗裝置1中使用的清洗室30和插通口 31的密封機(jī)構(gòu)，由于也能夠原 封不動(dòng)使用于第2實(shí)施形態(tài)的高壓水噴射清洗裝置1'，所以其說(shuō)明和圖示。
如上所述，對(duì)于本發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置，表示出兩個(gè)實(shí)施形態(tài)(實(shí)施例)， 但是不限定于這些，例如可以如下所述實(shí)施。
可以取代像上述實(shí)施形態(tài)的裝置那樣具備兩臺(tái)伺服電動(dòng)機(jī)17，而只在一方具備伺 服電動(dòng)機(jī)17，形成用傳動(dòng)帶等將驅(qū)動(dòng)力傳動(dòng)到另一驅(qū)動(dòng)軸15進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
在上述實(shí)施形態(tài)中， 一邊使清洗對(duì)象X水平移動(dòng)， 一邊噴射高壓水進(jìn)行清洗，但 是清洗對(duì)象X的配置能夠應(yīng)對(duì)水平狀態(tài)到垂直(鉛直)狀態(tài)。
在上述實(shí)施例中，將支持框架做成斷面為方筒狀的中空框架以謀求輕量化，但是 也可以做成例如板狀的框架。
也可以將本申請(qǐng)的發(fā)明的高壓水噴射清洗裝置1或1'與已有的例如日本特許
2705719號(hào)公報(bào)中記載的那樣的清洗槍組合構(gòu)成高壓水噴射清洗裝置。
權(quán)利要求
1. 一種高壓水噴射清洗裝置，是一邊使清洗對(duì)象相對(duì)于清洗裝置主體以一定的速度移動(dòng)一邊從清洗裝置主體的高壓水噴嘴向所述清洗對(duì)象噴射高壓水對(duì)其進(jìn)行清洗的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，該裝置形成如下所述的結(jié)構(gòu)，即在具有橫穿清洗對(duì)象的長(zhǎng)度以上的長(zhǎng)度的共同的支持框架的一個(gè)面上，將多個(gè)高壓水噴嘴向著清洗對(duì)象而且保持相互間隔排列，分別通過(guò)垂直于該支持框架的所述一個(gè)面或其延長(zhǎng)面的偏心旋轉(zhuǎn)軸和軸承部可偏心旋轉(zhuǎn)地對(duì)所述支持框架的兩側(cè)的延長(zhǎng)端部加以支持，同時(shí)利用驅(qū)動(dòng)裝置使所述偏心驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，以此使所述支持框架作旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，沿著所述支持框架對(duì)所述各高壓水噴嘴提供高壓水，對(duì)恒速移動(dòng)的所述清洗對(duì)象從進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的各高壓水噴嘴進(jìn)行噴射。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，使包含所述支持框架的兩側(cè)延長(zhǎng)端上的所述驅(qū)動(dòng)裝置的偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部位于所述清洗對(duì)象的清洗區(qū) 域的外側(cè)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，在所述各高 壓水噴嘴的中心位置穿孔，并且使其垂直于該噴嘴前端面，在所述噴嘴孔的基端一側(cè) 連接沿著所述支持框架配置的高壓水供給路徑的一端，將所述高壓水供給路徑的另一 端通過(guò)可撓性金屬配管連接于高壓水源。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，在所述支持 框架的，與所述高壓水噴嘴相反的面上，夾著支持框架的中心軸線安裝能夠與所述高 壓水噴嘴的總重量平衡的平衡錘。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，所述偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū) 動(dòng)部具備將所述偏心旋轉(zhuǎn)軸可成一整體旋轉(zhuǎn)地連接于偏心位置上的旋轉(zhuǎn)軸偏心部、以及作為可旋轉(zhuǎn)地支持該旋轉(zhuǎn)軸偏心部的周圍的所述軸承部的軸承外殼；該軸承外殼通 過(guò)連結(jié)板成一整體地連接于所述支持框架的一端。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，所述偏心旋轉(zhuǎn)軸 可成一整體旋轉(zhuǎn)地連接于偏離通過(guò)軸承可旋轉(zhuǎn)地配置于所述軸承外殼內(nèi)的圓柱狀的 旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心位置的偏心位置上。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，在夾著所述偏心 旋轉(zhuǎn)軸和所述軸承外殼上下對(duì)稱的位置上，可與所述驅(qū)動(dòng)軸成一整體旋轉(zhuǎn)地安裝平衡 錘，使其能夠以各所述旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心軸線為中心，與所述支持框架的偏心方向 對(duì)稱地平衡該支持框架的離心力。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，用清洗室包圍所 述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)的端壁上分別設(shè)置所述連結(jié)板的插通 口 ，在皮腔狀的密封構(gòu)件的兩端開(kāi)口的周邊部將各插通口的開(kāi)口的周邊部與從所述各 插通口突出的所述連結(jié)板的一部分的周圍加以連接。
9. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，用清洗室包圍所 述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)的端壁上分別設(shè)置所述連結(jié)板的插通 口，在各插通口外側(cè)設(shè)置包含所述各插通口，包圍從所述各插通口突出的所述連結(jié)板 的一部分的密封室，在各密封室側(cè)端壁上設(shè)置一系列能夠與所述插通口插通的所述連 結(jié)板的第2插通口，同時(shí)在所述各密封室的上壁設(shè)置排氣口，在所述各密封室內(nèi)，所 述插通口和所述第2插通口近旁，對(duì)置地設(shè)置一對(duì)形成U字形的板彈簧形狀的密封構(gòu)件，將其一端固定于所述密封室內(nèi)壁，所述開(kāi)放端一側(cè)能夠與所述連結(jié)板的兩個(gè)側(cè)面 滑動(dòng)連接。
10. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，以所述清洗室包 圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)的端壁上分別設(shè)置所述連結(jié)板的 插通口，在長(zhǎng)邊方向上連續(xù)具有對(duì)應(yīng)于該插通口的開(kāi)口，將兩端開(kāi)口的內(nèi)筒和與該內(nèi) 筒保持間隔圍繞著周圍，將一端開(kāi)口的外筒形成雙層筒結(jié)構(gòu)的固定式密封室構(gòu)成，該密封室的所述內(nèi)筒上穿設(shè)許多小孔，同時(shí)在所述外筒上穿設(shè)許多小孔， 將所述密封室的外筒的開(kāi)口端一側(cè)接連設(shè)置于所述清洗室端壁，使其連通該插通 口與內(nèi)筒的開(kāi)口。
11. 一種高壓水噴射清洗裝置，是一邊使清洗對(duì)象相對(duì)于清洗裝置主體以一定的 速度移動(dòng)一邊從清洗裝置主體的高壓水噴嘴向所述清洗對(duì)象的兩個(gè)面噴射高壓水對(duì) 其進(jìn)行清洗的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，該裝置形成如下所述的結(jié)構(gòu)，即在具有橫跨所述清洗對(duì)象的長(zhǎng)度以上的長(zhǎng)度，夾 著所述裝置主體的厚度方向的中心軸線平行配置的一對(duì)支持框架的對(duì)置面上，使多個(gè) 高壓水噴嘴對(duì)置且相互保持間隔地配置，將所述各支持框架的兩端部接合形成一整體，同時(shí)從兩端接合部分別沿著所述裝 置主體的中心軸線向兩側(cè)分別延伸設(shè)置連結(jié)板，通過(guò)與其一個(gè)面垂直的偏心旋轉(zhuǎn)軸以及軸承部可偏心旋轉(zhuǎn)地支持所述各連結(jié)板 的端部，同時(shí)利用驅(qū)動(dòng)裝置使所述偏心驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，以此使所述支持框架作旋轉(zhuǎn)圓周 運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，沿著所述各支持框架對(duì)所述各高壓水噴嘴提供高壓水，對(duì)恒速移動(dòng)的所述清洗對(duì) 象的兩個(gè)面從進(jìn)行旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的各高壓水噴嘴進(jìn)行噴射。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，使包含所述兩 側(cè)的連結(jié)板的端部的所述驅(qū)動(dòng)裝置的偏心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部位于所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域 的外側(cè)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，在所述各 高壓水噴嘴的中心位置上形成噴嘴孔，并且使其垂直于該噴嘴前端面穿設(shè)，在所述噴 嘴孔的基端一側(cè)連接沿著所述支持框架配置的高壓水供給路徑的一端，將所述高壓水 供給路徑的另一端通過(guò)可撓性金屬配管連接于高壓水源。
14. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，所述偏心旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動(dòng)部具備將所述偏心旋轉(zhuǎn)軸可成一整體旋轉(zhuǎn)地連接于偏心位置上的旋轉(zhuǎn)軸偏心部、以及作為可旋轉(zhuǎn)地支持該旋轉(zhuǎn)軸偏心部的周圍的所述軸承部的軸承外殼；該軸承外殼 通過(guò)連結(jié)板成一整體地連接于所述支持框架的一端。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，所述偏心旋轉(zhuǎn) 軸可成一整體旋轉(zhuǎn)地連接于偏離通過(guò)軸承可旋轉(zhuǎn)地配置于所述軸承外殼內(nèi)的圓柱狀 的旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心位置的偏心位置上。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，在夾著所述偏 心旋轉(zhuǎn)軸和所述軸承外殼上下對(duì)稱的位置上，可與所述驅(qū)動(dòng)軸成一整體旋轉(zhuǎn)地安裝平 衡錘，使其能夠以各所述旋轉(zhuǎn)軸偏心部的中心軸線為中心，與所述支持框架的偏心方 向?qū)ΨQ地平衡該支持框架的離心力。
17. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，用清洗室包圍 所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)壁上分別設(shè)置所述連結(jié)板的插通 口 ，在皮腔狀的密封構(gòu)件的兩端開(kāi)口的周邊部將各插通口的開(kāi)口的周邊部與從所述各 插通口突出的所述連結(jié)板的一部分的周圍加以連接。
18. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于， 用清洗室包圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)壁上分別設(shè)置各所述連結(jié)板的插通口，在各插通口外側(cè)設(shè)置包含所述各插通口 ，包圍從所述各插通口突出的所述連結(jié)板 的一部分的密封室，在各密封室側(cè)壁上設(shè)置一系列所述連結(jié)板的第2插通口，同時(shí)在 所述各密封室的上壁設(shè)置排氣口 ，在所述各密封室內(nèi)的所述插通口和所述第2插通口近旁，分別對(duì)置地設(shè)置一對(duì)形 成U字形的板彈簧形狀的密封構(gòu)件，使所述開(kāi)放端一側(cè)能夠與所述連結(jié)板的兩個(gè)側(cè)面 滑動(dòng)連接，并且將其另一端固定于所述密封室內(nèi)壁上。
19. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的高壓水噴射清洗裝置，其特征在于，以所述清洗室 包圍所述清洗對(duì)象的清洗區(qū)域，同時(shí)在該清洗室的兩側(cè)的端壁上分別設(shè)置所述連結(jié)板 的插通口，在長(zhǎng)邊方向上連續(xù)具有對(duì)應(yīng)于該插通口的開(kāi)口，將兩端開(kāi)口的內(nèi)筒和與該 內(nèi)筒保持間隔圍繞著周圍，將一端開(kāi)口的外筒形成雙層筒結(jié)構(gòu)的固定式密封室構(gòu)成， 該密封室的所述內(nèi)筒上穿設(shè)許多小孔，同時(shí)在所述外筒上穿設(shè)許多小孔，將所述密封室的外筒的開(kāi)口端一側(cè)接連設(shè)置于所述清洗室端壁，使其連通該插通 口與內(nèi)筒的開(kāi)口。
全文摘要
本發(fā)明的課題是，在高壓水噴射清洗裝置中，實(shí)現(xiàn)下述要求，即容易應(yīng)對(duì)生產(chǎn)線要求的清潔度、能夠均勻清洗、使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠謀求降低成本、以及減小清洗時(shí)裝置的振動(dòng)。解決的手段是，采用一邊使清洗對(duì)象相對(duì)于清洗裝置主體以一定的速度移動(dòng)，一邊從高壓水噴嘴一齊向所述清洗對(duì)象噴射高壓水對(duì)其進(jìn)行清洗的清洗裝置，該裝置形成如下所述的結(jié)構(gòu)，即在具有橫跨清洗對(duì)象的長(zhǎng)度以上的長(zhǎng)度的支持框架(6)的一個(gè)面上，將多個(gè)高壓水噴嘴(7a)向著清洗對(duì)象而且保持間隔排列，通過(guò)垂直于其延長(zhǎng)面的驅(qū)動(dòng)軸(15)可偏心旋轉(zhuǎn)地對(duì)支持框架的兩端的延長(zhǎng)部(11)加以支持，同時(shí)利用驅(qū)動(dòng)裝置(17)使驅(qū)動(dòng)軸(15)旋轉(zhuǎn)，以此使支持框架(6)偏心旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，從作旋轉(zhuǎn)圓周運(yùn)動(dòng)的各高壓水噴嘴(7a)一齊噴射出高壓水。
文檔編號(hào)B08B13/00GK101422781SQ20081017519
公開(kāi)日2009年5月6日 申請(qǐng)日期2008年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月30日
發(fā)明者久下守正, 田中秀幸, 納富英二, 辻田京史, 野村充 申請(qǐng)人:川崎成套設(shè)備股份有限公司