專利名稱：異丙醇蒸汽清洗干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于玻璃片清洗干燥裝置，特別涉及一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置。
背景技術(shù)：
在對玻璃進(jìn)行濕法清洗之后，必須對玻璃進(jìn)行有效的干燥，以防止水或清洗液等 殘留物殘留在玻璃表面。目前常用的干燥技術(shù)是旋轉(zhuǎn)清洗干燥(SRD)、異丙醇或者馬蘭高尼 干燥。旋轉(zhuǎn)清洗干燥工藝中，使?jié)癫ＡЬA高速旋轉(zhuǎn)，通過利用離心力，將附著于玻璃晶圓 表面的水或清洗液從玻璃晶圓中心甩到玻璃晶圓的外部，并且進(jìn)一步脫離玻璃晶圓，在玻 璃晶圓中心作用在小液滴上的離心力小，則很難將玻璃晶圓中心的殘留物甩離玻璃晶圓， 因此這種方法在減少形成在玻璃晶圓表面的清洗液小液滴方面存在困難，且因為疏水性晶 片表面排斥水和水基(含水)清洗液，所以旋轉(zhuǎn)清洗干燥工藝難以對疏水性晶片表面進(jìn)行 干燥。
異丙醇干燥目前是通過將處理槽內(nèi)的純水從處理槽底部排出，使在處理槽內(nèi)的玻 璃露出來，由處理槽上部空間的異丙醇蒸汽與附著在玻璃的表面的水滴進(jìn)行置換，這樣來 干燥玻璃表面。另外，取代通過使處理槽內(nèi)的純水從處理槽底部排出、在處理槽內(nèi)露出玻璃片的 情況，也有通過將玻璃片從處理槽內(nèi)提起，在處理槽內(nèi)使玻璃片露出，并由處理槽上部空間 的異丙醇蒸汽與附著在玻璃片表面的水滴置換來進(jìn)行干燥的干燥裝置。然而，在上述構(gòu)造的裝置中，純水清洗玻璃片時產(chǎn)生的異物在處理槽的純水液面 附近呈浮游狀態(tài)，處理槽內(nèi)的純水從處理槽底部排出使在處理槽內(nèi)的玻璃片露出，由于有 異物微小顆粒浮游的純水在最后排除，就會在玻璃的表面附著有上述微小顆粒，造成玻璃 無法清洗干凈。另外，在上述構(gòu)造的裝置中，由于通過從處理槽底部排出純水使玻璃露出，在處理 槽內(nèi)含有微小顆粒的純水不會全部都排出，則在清洗液表面異丙醇的溶入量隨著時間的推 移而增大，則在清洗液表面的純水的異丙醇的濃度將增大并且異丙醇溶入層的厚度也將變 厚，這樣異丙醇蒸汽置換玻璃片表面水滴的效率就會下降，也就降低了干燥效率，并且會在 玻璃表面產(chǎn)生干燥斑紋。

發(fā)明內(nèi)容
為了彌補以上不足，本發(fā)明提供了一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，使 用方便，干燥效率高。本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝 置，包括氮氣供氣裝置、第一過濾器、第一減壓閥、第一氣動閥、第一流量計、異丙醇噴頭、第 二減壓閥、第二氣動閥、第二流量計、異丙醇槽、第三氣動閥、第二過濾器、第三流量計、第四 氣動閥、安全閥、工作腔、料盒、固定支架、加熱燈、異丙醇濃度檢測報警儀、排氣裝置和導(dǎo)流管，以使用方向為基準(zhǔn)，氮氣供氣裝置的出氣端與第一過濾器進(jìn)氣端連接，第一過濾器出氣 端分成兩條支路，第一條支路依次串聯(lián)了第一減壓閥、第一氣動閥和第一流量計，最終與異 丙醇噴頭的進(jìn)氣端連接，將設(shè)定壓力和流量的氮氣供給到異丙醇噴頭，另一條支路分別依 次串聯(lián)了第二減壓閥、第二流量計和第二氣動閥，最終與異丙醇槽的進(jìn)氣端連接，將異丙醇 槽內(nèi)的異丙醇液體壓出，異丙醇槽的出液端分別依次串聯(lián)了第三氣動閥、第二過濾器、第三 流量計和第四氣動閥，最終與異丙醇噴頭的進(jìn)液端連接，將異丙醇槽內(nèi)的異丙醇液體以設(shè) 定液壓和流量供給到異丙醇噴頭，異丙醇液體在異丙醇噴頭內(nèi)遇到設(shè)定壓力的氮氣，氮氣 將異丙醇液體打成霧狀噴出，異丙醇槽連接有一安全閥，當(dāng)異丙醇槽的進(jìn)氣壓力過大，超過 異丙醇槽的出液端設(shè)定液壓時，安全閥打開，釋放異丙醇槽內(nèi)過大氣壓，當(dāng)異丙醇槽的出液 端低于設(shè)定液壓時，安全閥關(guān)閉，停止釋放異丙醇槽內(nèi)氣壓；異丙醇噴頭和加熱燈固設(shè)于工作腔內(nèi)上端，異丙醇噴頭出氣端朝向工作腔內(nèi)側(cè)，料盒固設(shè)于固定支架上，固定支架可移動定位于工作腔內(nèi)，需要清洗干燥的玻璃晶圓可放 置于料盒內(nèi)，料盒在固定支架的帶動下分別置于異丙醇噴頭和加熱燈下方進(jìn)行清洗和加熱 干燥，工作腔內(nèi)固設(shè)有異丙醇濃度檢測報警儀和排氣裝置，當(dāng)工作腔內(nèi)的異丙醇超過設(shè)定 濃度后，異丙醇濃度檢測報警儀將發(fā)出報警信號，此時工作腔的排氣裝置則打開排氣，當(dāng)工 作腔內(nèi)的異丙醇低于設(shè)定濃度后，工作腔的排氣裝置則關(guān)閉停止排氣，這樣就保證了工作 腔內(nèi)異丙醇濃度的穩(wěn)定性及工作腔內(nèi)的工作安全性，工作腔體下方設(shè)有導(dǎo)流管，異丙醇蒸 汽冷卻后變成異丙醇小液滴，該小液滴可沿導(dǎo)流管排出工作腔外。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，工作腔上的排氣裝置由第五氣動閥和排氣管組成，當(dāng) 工作腔內(nèi)的異丙醇超過設(shè)定濃度后，異丙醇濃度檢測報警儀將發(fā)出報警信號，此時工作腔 的排氣裝置的第五氣動閥打開，則排氣管開始排氣，當(dāng)工作腔內(nèi)的異丙醇低于設(shè)定濃度后， 排氣裝置的第五氣動閥關(guān)閉則排氣管停止排氣。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，設(shè)有兩個異丙醇噴頭，第三氣動閥分兩路分別串聯(lián)有 第二過濾器、第三流量計和第四氣動閥，最終分別與一個與異丙醇噴頭的進(jìn)液端連接，兩個 異丙醇噴頭同時清洗使清洗效率高，清洗更均勻、更徹底。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，料盒固設(shè)于固定支架結(jié)構(gòu)為料盒上設(shè)有一把手，該把 手與固定支架上端固連，這樣很方便料盒的安裝與拆卸。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，加熱燈為紫外燈管。本發(fā)明的有益技術(shù)效果是本發(fā)明用設(shè)定壓力的氮氣將異丙醇液體打成蒸汽對需 要清洗的玻璃晶圓進(jìn)行清洗，然后再用加熱燈對清洗過的玻璃晶圓進(jìn)行干燥，此裝置結(jié)構(gòu) 簡單，操作方便，清潔效率高，玻璃晶圓表面清洗的均勻又徹底，玻璃晶圓清洗干燥后表面 無干燥紋。


圖1為本發(fā)明的示意圖。
具體實施例方式實施例一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置，包括氮氣供氣裝置1、第一過濾器2、第一 減壓閥3、第一氣動閥4、第一流量計5、異丙醇噴頭6、第二減壓閥7、第二氣動閥8、第二流量計9、異丙醇槽10、第三氣動閥11、第二過濾器12、第三流量計13、第四氣動閥14、安全閥15、工作腔16、料盒17、固定支架18、加熱燈19、異丙醇濃度檢測報警儀20、排氣裝置21和 導(dǎo)流管22，以使用方向為基準(zhǔn)，氮氣供氣裝置1的出氣端與第一過濾器2進(jìn)氣端連接，第一 過濾器2出氣端分成兩條支路，第一條支路依次串聯(lián)了第一減壓閥3、第一氣動閥4和第一 流量計5，最終與異丙醇噴頭6的進(jìn)氣端連接，將設(shè)定壓力和流量的氮氣供給到異丙醇噴頭 6，另一條支路分別依次串聯(lián)了第二減壓閥7、第二流量計9和第二氣動閥8，最終與異丙醇 槽10的進(jìn)氣端連接，將異丙醇槽10內(nèi)的異丙醇液體壓出，異丙醇槽10的出液端分別依次 串聯(lián)了第三氣動閥11、第二過濾器12、第三流量計13和第四氣動閥14，最終與異丙醇噴頭 6的進(jìn)液端連接，將異丙醇槽10內(nèi)的異丙醇液體以設(shè)定液壓和流量供給到異丙醇噴頭6，異 丙醇液體在異丙醇噴頭6內(nèi)遇到設(shè)定壓力的氮氣，氮氣將異丙醇液體打成霧狀噴出，異丙 醇槽10連接有一安全閥15，當(dāng)異丙醇槽10的進(jìn)氣壓力過大，超過異丙醇槽10的出液端設(shè) 定液壓時，安全閥15打開，釋放異丙醇槽10內(nèi)過大氣壓，當(dāng)異丙醇槽10的出液端低于設(shè)定 液壓時，安全閥15關(guān)閉，停止釋放異丙醇槽10內(nèi)氣壓；異丙醇噴頭6和加熱燈19固設(shè)于工作腔16內(nèi)上端，異丙醇噴頭6出氣端朝向工 作腔16內(nèi)側(cè)，料盒17固設(shè)于固定支架18上，固定支架18可移動定位于工作腔16內(nèi)，需要 清洗干燥的玻璃晶圓可放置于料盒17內(nèi)，料盒17在固定支架18的帶動下分別置于異丙醇 噴頭6和加熱燈19下方進(jìn)行清洗和加熱干燥，工作腔16內(nèi)固設(shè)有異丙醇濃度檢測報警儀 20和排氣裝置21，當(dāng)工作腔16內(nèi)的異丙醇超過設(shè)定濃度后，異丙醇濃度檢測報警儀20將 發(fā)出報警信號，此時工作腔16的排氣裝置21則打開排氣，當(dāng)工作腔16內(nèi)的異丙醇低于設(shè) 定濃度后，工作腔16的排氣裝置21則關(guān)閉停止排氣，這樣就保證了工作腔16內(nèi)異丙醇濃 度的穩(wěn)定性及工作腔內(nèi)16的工作安全性，工作腔16體下方設(shè)有導(dǎo)流管22，異丙醇蒸汽冷卻 后變成異丙醇小液滴，該小液滴可沿導(dǎo)流管22排出工作腔16外。所述工作腔16上的排氣裝置21由第五氣動閥211和排氣管212組成，當(dāng)工作腔 16內(nèi)的異丙醇超過設(shè)定濃度后，異丙醇濃度檢測報警儀20將發(fā)出報警信號，此時工作腔的 排氣裝置21的第五氣動閥211打開，則排氣管212開始排氣，當(dāng)工作腔16內(nèi)的異丙醇低于 設(shè)定濃度后，排氣裝置21的第五氣動閥211關(guān)閉則排氣管212停止排氣。所述設(shè)有兩個異丙醇噴頭6，第三氣動閥11分兩路分別串聯(lián)有第二過濾器12、第 三流量計13和第四氣動閥14，最終分別與一個與異丙醇噴頭6的進(jìn)液端連接，兩個異丙醇 噴頭同時清洗使清洗效率高，清洗更均勻、更徹底。所述料盒17固設(shè)于固定支架18結(jié)構(gòu)為料盒17上設(shè)有一把手171，該把手171與 固定支架18上端固連，這樣很方便料盒17的安裝與拆卸。所述加熱燈19為紫外燈管。本發(fā)明的工作過程是1)將需要清洗干燥的的產(chǎn)品放置于料盒內(nèi)，并將料盒固定到固定支架上；2)支架帶著料盒一起下降到工作腔底部，同時向工作腔內(nèi)注入純水；3)支架帶著料盒上升，使料盒內(nèi)的玻璃晶圓從純水中慢慢露出純水面，同時打開 異丙醇噴頭，氮氣將異丙醇噴頭內(nèi)的異丙醇液體打成異丙醇蒸汽噴向需要清潔的玻璃晶圓 表面，使異丙醇蒸汽與附著在玻璃晶圓表面的純水進(jìn)行置換；4)當(dāng)玻璃晶圓徹底離開純水，異丙醇蒸汽與純水置換完成后，支架帶有玻璃晶圓的料盒送至工作腔的加熱燈下方，加熱燈對玻璃晶圓進(jìn)行加熱干燥。5)排氣裝置打開，將工作腔內(nèi)異丙醇蒸汽排出 ；6)取出料盒。
權(quán)利要求
一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置，其特征為包括氮氣供氣裝置(1)、第一過濾器(2)、第一減壓閥(3)、第一氣動閥(4)、第一流量計(5)、異丙醇噴頭(6)、第二減壓閥(7)、第二氣動閥(8)、第二流量計(9)、異丙醇槽(10)、第三氣動閥(11)、第二過濾器(12)、第三流量計(13)、第四氣動閥(14)、安全閥(15)、工作腔(16)、料盒(17)、固定支架(18)、加熱燈(19)、異丙醇濃度檢測報警儀(20)、排氣裝置(21)和導(dǎo)流管(22)，以使用方向為基準(zhǔn)，氮氣供氣裝置(1)的出氣端與第一過濾器(2)進(jìn)氣端連接，第一過濾器(2)出氣端分成兩條支路，第一條支路依次串聯(lián)了第一減壓閥(3)、第一氣動閥(4)和第一流量計(5)，最終與異丙醇噴頭(6)的進(jìn)氣端連接，另一條支路分別依次串聯(lián)了第二減壓閥(7)、第二流量計(9)和第二氣動閥(8)，最終與異丙醇槽(10)的進(jìn)氣端連接，異丙醇槽(10)的出液端分別依次串聯(lián)了第三氣動閥(11)、第二過濾器(12)、第三流量計(13)和第四氣動閥(14)，最終與異丙醇噴頭(6)的進(jìn)液端連接，異丙醇槽(10)連接有一安全閥(15)；異丙醇噴頭(6)和加熱燈(19)固設(shè)于工作腔(16)內(nèi)上端，異丙醇噴頭(6)出氣端朝向工作腔(16)內(nèi)側(cè)，料盒(17)固設(shè)于固定支架(18)上，固定支架(18)可移動定位于工作腔(16)內(nèi)，工作腔(16)內(nèi)固設(shè)有異丙醇濃度檢測報警儀(20)和排氣裝置(21)，工作腔(16)體下方設(shè)有導(dǎo)流管(22)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置，其特征為工作腔(16)上的 排氣裝置(21)由第五氣動閥(211)和排氣管(212)組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置，其特征為設(shè)有兩個異丙醇 噴頭(6)，第三氣動閥(11)分兩路分別串聯(lián)有第二過濾器(12)、第三流量計(13)和第四氣 動閥(14)，最終分別與一個與異丙醇噴頭(6)的進(jìn)液端連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置，其特征為料盒固設(shè)于固定 支架結(jié)構(gòu)為料盒(17)上設(shè)有一把手(171)，該把手(171)與固定支架(18)上端固連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置，其特征為加熱燈(19)為紫 外燈管。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種異丙醇蒸汽清洗干燥裝置，氮氣供氣裝置輸出的氮氣經(jīng)過第一過濾器分成兩條支路，第一條支路依次經(jīng)過第一減壓閥、第一氣動閥和第一流量計，最終到達(dá)異丙醇噴頭，另一條支路分別依次經(jīng)過第二減壓閥、第二流量計和第二氣動閥，最終到達(dá)異丙醇槽，并將異丙醇槽內(nèi)的異丙醇液體通過第三氣動閥、第二過濾器、第三流量計和第四氣動閥，壓入異丙醇噴頭，異丙醇槽連接有一安全閥；異丙醇噴頭和加熱燈固設(shè)于工作腔內(nèi)，料盒固設(shè)于固定支架上，固定支架可移動定位于工作腔內(nèi)，工作腔內(nèi)還固設(shè)有異丙醇濃度檢測報警儀、排氣裝置和導(dǎo)流管，此裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，清潔效率高，玻璃晶圓表面清洗的均勻又徹底，干燥后表面無干燥紋。
文檔編號B08B3/00GK101844140SQ20091002950
公開日2010年9月29日 申請日期2009年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月23日
發(fā)明者吳高軍 申請人:昆山西鈦微電子科技有限公司