專利名稱：異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃超凈清潔方法，特別涉及一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔 方法。
背景技術(shù)：
在對玻璃進行濕法清洗之后，必須對玻璃進行有效的干燥，以防止水或清洗液等 殘留物殘留在玻璃表面。目前常用的干燥技術(shù)是旋轉(zhuǎn)清洗干燥(SRD)、異丙醇或者馬蘭高尼 干燥。旋轉(zhuǎn)清洗干燥工藝中，使?jié)癫ＡЬA高速旋轉(zhuǎn)，通過利用離心力，將附著于玻璃晶圓 表面的水或清洗液從玻璃晶圓中心甩到玻璃晶圓的外部，并且進一步脫離玻璃晶圓，在玻 璃晶圓中心作用在小液滴上的離心力小，則很難將玻璃晶圓中心的殘留物甩離玻璃晶圓， 因此這種方法在減少形成在玻璃晶圓表面的清洗液小液滴方面存在困難，且因為疏水性晶 片表面排斥水和水基(含水)清洗液，所以旋轉(zhuǎn)清洗干燥工藝難以對疏水性晶片表面進行 干燥。異丙醇干燥目前是通過將處理槽內(nèi)的純水從處理槽底部排出，使在處理槽內(nèi)的玻 璃露出來，由處理槽上部空間的異丙醇蒸汽與附著在玻璃的表面的水滴進行置換，這樣來 干燥玻璃表面。另外，取代通過使處理槽內(nèi)的純水從處理槽底部排出、在處理槽內(nèi)露出玻璃片的 情況，也有通過將玻璃片從處理槽內(nèi)提起，在處理槽內(nèi)使玻璃片露出，并由處理槽上部空間 的異丙醇蒸汽與附著在玻璃片表面的水滴置換來進行干燥的干燥裝置。然而，在上述構(gòu)造的裝置中，純水清洗玻璃片時產(chǎn)生的異物在處理槽的純水液面 附近呈浮游狀態(tài)，處理槽內(nèi)的純水從處理槽底部排出使在處理槽內(nèi)的玻璃片露出，由于有 異物微小顆粒浮游的純水在最后排除，就會在玻璃的表面附著有上述微小顆粒，造成玻璃 無法清洗干凈。另外，在上述構(gòu)造的裝置中，由于通過從處理槽底部排出純水使玻璃露出，在處理 槽內(nèi)含有微小顆粒的純水不會全部都排出，則在清洗液表面異丙醇的溶入量隨著時間的推 移而增大，則在清洗液表面的純水的異丙醇的濃度將增大并且異丙醇溶入層的厚度也將變 厚，這樣異丙醇蒸汽置換玻璃片表面水滴的效率就會下降，也就降低了干燥效率，并且會在 玻璃表面產(chǎn)生干燥斑紋。
發(fā)明內(nèi)容
為了彌補以上不足，本發(fā)明提供了一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法，其方 法簡單，操作方便，清潔效果優(yōu)良。本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈 清潔方法，該異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔在工作腔內(nèi)進行，工作腔包括下部的清潔室和 上部的干燥室，升降臺位于工作腔內(nèi)，其按如下步驟進行清潔步驟一將玻璃晶圓放置到料盒內(nèi)；
步驟二 將放置有玻璃晶圓的料盒固定到升降臺上；步驟三啟動升降臺，使其帶著料盒一起下降到清洗室底部；步驟四打開清洗室的純水閥和排氣閥，將純水注入清洗室內(nèi)，純水注水流量為 3L/min 6L/min ；步驟五清洗室設(shè)有溢流槽，當(dāng)在清洗室內(nèi)的純水注滿時，多余的純水從溢流槽排 出清洗室，此時關(guān)閉純水閥停止供給純水；步驟六升降臺帶著料盒以15mm/s 25mm/s的速度上升，使料盒內(nèi)的玻璃晶圓從 純水中慢慢露出純水面，同時打開干燥室的異丙醇噴頭，將異丙醇蒸汽以3CC/min 10cc/ min的流量水平噴到玻璃晶圓表面，使異丙醇蒸汽與附著在玻璃晶圓表面的純水進行置換， 當(dāng)玻璃晶圓豎直方向有三分之二露出純水面后，升降臺上升速度變更為3mm/s 7mm/s繼 續(xù)上升直至全部露出純水面，異丙醇蒸汽與玻璃晶圓上附著的純水置換時間為4s 10s， 異丙醇蒸汽溫度高于玻璃晶圓溫度5度 60度；步驟七當(dāng)異丙醇與附著在玻璃晶圓上的純水置換完成后，升降臺將帶有玻璃晶 圓的料盒送至干燥室，干燥室的加熱燈對玻璃晶圓進行加熱干燥，干燥時間為4s 10s。工作腔分為清潔室和干燥室，當(dāng)玻璃晶圓移送至干燥室進行干燥的時候，清潔室 就可以進行下一批的玻璃晶圓清潔，這樣節(jié)省了等待時間，提高了工作效率。作為本發(fā)明的進一步改進，異丙醇蒸汽是由設(shè)定氣壓的氣體將異丙醇液體從異丙 醇噴頭打成異丙醇蒸汽噴出噴頭的。作為本發(fā)明的進一步改進，將異丙醇液體打成異丙醇蒸汽的氣體為氮氣，異丙醇 蒸汽內(nèi)氮氣與異丙醇的比例為20 1。作為本發(fā)明的進一步改進，干燥室內(nèi)的加熱燈為紫外線燈。作為本發(fā)明的進一步改進，干燥室內(nèi)還設(shè)有自動排氣裝置、異丙醇濃度檢測儀、異 丙醇滅火裝置和加熱燈冷卻裝置，當(dāng)干燥室內(nèi)異丙醇濃度大于設(shè)定值后，異丙醇檢測儀將 發(fā)出報警信號，此時自動排氣裝置將開始排氣，若干燥室的異丙醇發(fā)生自燃，異丙醇滅火裝 置將會啟動并進行自動滅火，加熱燈對玻璃晶圓進行加熱時，加熱燈冷卻裝置循環(huán)排氣冷 卻加熱燈，可防止加熱燈管過熱老化，有效延長其使用壽命。作為本發(fā)明的進一步改進，干燥時10 20片為一組同時進行清洗干燥，清洗干燥 時間為20 30s。本發(fā)明的有益技術(shù)效果是本發(fā)明用設(shè)定壓力的氮氣將異丙醇液體打成蒸汽對需 要清洗的玻璃晶圓進行清洗，然后再用加熱燈對清洗過的玻璃晶圓進行干燥，此清潔方法 操作方便，清潔效率高，玻璃晶圓表面清洗的均勻又徹底，玻璃晶圓清洗干燥后表面無干燥 紋。
具體實施例方式實施例一清潔半徑100mm玻璃晶圓，其按如下步驟進行清潔步驟一將半徑100mm玻璃晶圓放置到料盒內(nèi)；步驟二 將放置有玻璃晶圓的料盒固定到升降臺上；步驟三啟動升降臺，使其帶著料盒一起下降到清洗室底部；
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步驟四打開清洗室的純水閥和排氣閥，將純水注入清洗室內(nèi)，純水注水流量為 4L/min ；步驟五清洗室設(shè)有溢流槽，當(dāng)在清洗室內(nèi)的純水注滿時，多余的純水從溢流槽排 出清洗室，此時關(guān)閉純水閥停止供給純水；步驟六升降臺帶著料盒以20mm/s的速度上升，使料盒內(nèi)的玻璃晶圓從純水中 慢慢露出純水面，同時打開干燥室的異丙醇噴頭，將異丙醇蒸汽以3CC/min的流量水平噴 到玻璃晶圓表面，使異丙醇蒸汽與附著在玻璃晶圓表面的純水進行置換，當(dāng)玻璃晶圓豎直 方向有三分之二露出純水面后，升降臺上升速度變更為5mm/s繼續(xù)上升直至全部露出純水 面，異丙醇蒸汽與玻璃晶圓上附著的純水置換時間為5s，異丙醇蒸汽溫度高于玻璃晶圓溫 度5度 60度；步驟七當(dāng)異丙醇與附著在玻璃晶圓上的純水置換完成后，升降臺將帶有玻璃晶 圓的料盒送至干燥室，干燥室的加熱燈對玻璃晶圓進行加熱干燥，干燥時間為5s。所述異丙醇蒸汽是由設(shè)定氣壓的氣體將異丙醇液體從異丙醇噴頭打成異丙醇蒸 汽噴出噴頭的。將異丙醇液體打成異丙醇蒸汽的氣體為氮氣，異丙醇蒸汽內(nèi)氮氣與異丙醇的比例 為 20 1。所述干燥室內(nèi)的加熱燈為紫外線燈。所述干燥室內(nèi)還設(shè)有自動排氣裝置、異丙醇濃度檢測儀、異丙醇滅火裝置和加熱 燈冷卻裝置，當(dāng)干燥室內(nèi)異丙醇濃度大于設(shè)定值后，異丙醇檢測儀將發(fā)出報警信號，此時自 動排氣裝置將開始排氣，若干燥室的異丙醇發(fā)生自燃，異丙醇滅火裝置將會啟動并進行自 動滅火，加熱燈對玻璃晶圓進行加熱時，加熱燈冷卻裝置循環(huán)排氣冷卻加熱燈。干燥時10片為一組同時進行清洗干燥，清洗干燥時間為20s。實施例二 清潔半徑100mm玻璃晶圓，其按如下步驟進行清潔步驟一將半徑100mm玻璃晶圓放置到料盒內(nèi)；步驟二 將放置有玻璃晶圓的料盒固定到升降臺上；步驟三啟動升降臺，使其帶著料盒一起下降到清洗室底部；步驟四打開清洗室的純水閥和排氣閥，將純水注入清洗室內(nèi)，純水注水流量為 5L/min ；步驟五清洗室設(shè)有溢流槽，當(dāng)在清洗室內(nèi)的純水注滿時，多余的純水從溢流槽排 出清洗室，此時關(guān)閉純水閥停止供給純水；步驟六升降臺帶著料盒以10mm/S的速度上升，使料盒內(nèi)的玻璃晶圓從純水中 慢慢露出純水面，同時打開干燥室的異丙醇噴頭，將異丙醇蒸汽以5CC/min的流量水平噴 到玻璃晶圓表面，使異丙醇蒸汽與附著在玻璃晶圓表面的純水進行置換，當(dāng)玻璃晶圓豎直 方向有三分之二露出純水面后，升降臺上升速度變更為5mm/s繼續(xù)上升直至全部露出純水 面，異丙醇蒸汽與玻璃晶圓上附著的純水置換時間為10s，異丙醇蒸汽溫度高于玻璃晶圓溫 度5度 60度；步驟七當(dāng)異丙醇與附著在玻璃晶圓上的純水置換完成后，升降臺將帶有玻璃晶 圓的料盒送至干燥室，干燥室的加熱燈對玻璃晶圓進行加熱干燥，干燥時間為5s。
所述異丙醇蒸汽是由設(shè)定氣壓的氣體將異丙醇液體從異丙醇噴頭打成異丙醇蒸 汽噴出噴頭的。將異丙醇液體打成異丙醇蒸汽的氣體為氮氣，異丙醇蒸汽內(nèi)氮氣與異丙醇的比例 為 20 1。所述干燥室內(nèi)的加熱燈為紫外線燈。所述干燥室內(nèi)還設(shè)有自動排氣裝置、異丙醇濃度檢測儀、異丙醇滅火裝置和加熱 燈冷卻裝置，當(dāng)干燥室內(nèi)異丙醇濃度大于設(shè)定值后，異丙醇檢測儀將發(fā)出報警信號，此時自 動排氣裝置將開始排氣，若干燥室的異丙醇發(fā)生自燃，異丙醇滅火裝置將會啟動并進行自 動滅火，加熱燈對玻璃晶圓進行加熱時，加熱燈冷卻裝置循環(huán)排氣冷卻加熱燈。干燥時15片為一組同時進行清洗干燥，清洗干燥時間為25s。
權(quán)利要求
一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法，其特征為該異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔在工作腔內(nèi)進行，工作腔包括下部的清潔室和上部的干燥室，升降臺位于工作腔內(nèi)，其按如下步驟進行清潔步驟一將玻璃晶圓放置到料盒內(nèi)；步驟二將放置有玻璃晶圓的料盒固定到升降臺上；步驟三啟動升降臺，使其帶著料盒一起下降到清洗室底部；步驟四打開清洗室的純水閥和排氣閥，將純水注入清洗室內(nèi)，純水注水流量為3L/min～6L/min；步驟五清洗室設(shè)有溢流槽，當(dāng)在清洗室內(nèi)的純水注滿時，多余的純水從溢流槽排出清洗室，此時關(guān)閉純水閥停止供給純水；步驟六升降臺帶著料盒以15mm/s～25mm/s的速度上升，使料盒內(nèi)的玻璃晶圓從純水中慢慢露出純水面，同時打開干燥室的異丙醇噴頭，將異丙醇蒸汽以3cc/min～10cc/min的流量水平噴到玻璃晶圓表面，使異丙醇蒸汽與附著在玻璃晶圓表面的純水進行置換，當(dāng)玻璃晶圓豎直方向有三分之二露出純水面后，升降臺上升速度變更為3mm/s～7mm/s繼續(xù)上升直至全部露出純水面，異丙醇蒸汽與玻璃晶圓上附著的純水置換時間為4s～10s，異丙醇蒸汽溫度高于玻璃晶圓溫度5度～60度；步驟七當(dāng)異丙醇與附著在玻璃晶圓上的純水置換完成后，升降臺將帶有玻璃晶圓的料盒送至干燥室，干燥室的加熱燈對玻璃晶圓進行加熱干燥，干燥時間為4s～10s。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法，其特征為異丙醇 蒸汽是由設(shè)定氣壓的氣體將異丙醇液體從異丙醇噴頭打成異丙醇蒸汽噴出噴頭的。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法，其特征為將異丙 醇液體打成異丙醇蒸汽的氣體為氮氣，異丙醇蒸汽內(nèi)氮氣與異丙醇的比例為20 1。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法，其特征為干燥室 內(nèi)的加熱燈為紫外線燈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法，其特征為干燥室 內(nèi)還設(shè)有自動排氣裝置、異丙醇濃度檢測儀、異丙醇滅火裝置和加熱燈冷卻裝置，當(dāng)干燥室 內(nèi)異丙醇濃度大于設(shè)定值后，異丙醇檢測儀將發(fā)出報警信號，此時自動排氣裝置將開始排 氣，若干燥室的異丙醇發(fā)生自燃，異丙醇滅火裝置將會啟動并進行自動滅火，加熱燈對玻璃 晶圓進行加熱時，加熱燈冷卻裝置循環(huán)排氣冷卻加熱燈。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法，其特征為干燥時 10 20片為一組同時進行清洗干燥，清洗干燥時間為20 30s。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種異丙醇蒸汽進行玻璃超凈清潔方法，先將放置有玻璃晶圓的料盒固定到升降臺上，然后啟動升降臺，使其帶著料盒一起下降到清洗室底部，將純水注入清洗室內(nèi)，注滿為止，使升降臺帶著料盒以15mm/s～25mm/s的速度上升使玻璃晶圓露出純水面，將異丙醇蒸汽以3cc/min～10cc/min的流量水平噴到玻璃晶圓表面與其表面的純水進行置換，當(dāng)玻璃晶圓有三分之二露出純水面后，升降臺以3mm/s～7mm/s的速度繼續(xù)上升至全部露出純水面，異丙醇蒸汽與玻璃晶圓上附著的純水置換時間為4s～10s，異丙醇與附著在玻璃晶圓上的純水置換完成后，升降臺將帶有玻璃晶圓的料盒送至干燥室進行加熱干燥4s～10s，本發(fā)明操作方便，清潔效率高，清潔均勻又徹底，玻璃晶圓清洗干燥后表面無干燥紋。
文檔編號B08B11/04GK101862744SQ200910030670
公開日2010年10月20日 申請日期2009年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月20日
發(fā)明者吳高軍 申請人:昆山西鈦微電子科技有限公司