專利名稱:一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及化學清洗裝置,特別是涉及一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu)。
背景技術(shù):
目前,硅材料的清洗過程中通常是將硅材料(棒材)放在一些支架上,然后把 它們放入相應的酸、堿、水槽中進行腐蝕和清洗,這些支架與硅材料接觸部分,由 于重力的作用往往很難得到腐蝕清洗,為了解決這個問題,有些設備會采用轉(zhuǎn)盤支 架的結(jié)構(gòu),將圓柱形的硅芯、硅棒分別水平的穿入開有很多圓孔的轉(zhuǎn)盤支架,整個 轉(zhuǎn)盤支架在腐蝕清洗過程中進行旋轉(zhuǎn),這樣圓柱形的硅芯、硅棒也隨之不斷的旋轉(zhuǎn),
在重量作用下,接觸部分能夠不斷的移動位置,從而改善清洗效果。但這種形式也 存在一些問題
1、 首先結(jié)構(gòu)比較復雜,要制作一個轉(zhuǎn)盤支架,并且還有一套滾動的傳動機構(gòu), 配有電機、鏈輪、鏈條,而且處于一個強酸環(huán)境,要對每個零部件都進行耐腐蝕處 理,不方便、成本高;
2、 其次操作麻煩, 一般的硅芯直徑8 10mm,長2.5m以上,要在一個轉(zhuǎn)盤支 架上穿入20多根是相當費力的一件事情,何況清洗完成后還要一個一個的抽出。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型所要解決的技術(shù)問題就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提 供一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu)。
本實用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn): 一種硅材料無盲點化學清洗 機構(gòu),其特征在于,包括至少一對靜橫梁和動橫梁、至少一對可交替接觸硅材料的 靜支架和動支架以及位于動橫梁兩側(cè)的驅(qū)動裝置,所述的靜支架、動支架分別固定 于靜橫梁、動橫梁上,所述的靜支架、動支架上均設有數(shù)個用于支撐硅材料的V 型槽,所述的驅(qū)動裝置與動橫梁傳動連接。所述的靜橫梁和動橫梁為兩對,所述的靜支架固定于兩根靜橫梁上,所述的動 支架固定于兩根動橫梁上。
所述的靜橫梁為金屬橫梁,其外設有耐腐蝕層。 所述的動橫梁為金屬橫梁,其外設有耐腐蝕層。 所述的靜支架和動支架均為耐腐蝕材料支架。 所述的驅(qū)動裝置為氣驅(qū)動裝置或電驅(qū)動裝置。 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型具有以下優(yōu)點
1、 結(jié)構(gòu)簡單,利用原來的靜支架和橫梁,只是增加了一組動支架和相應橫梁, 各部件方便進行防腐蝕保護,傳動部分位于兩側(cè),可以避開腐蝕性氣體,同時也便 于維護;
2、 操作方便,由于沒有轉(zhuǎn)盤支架,操作工只是需要把細長的工件依次放在水
平的靜支架的v型凹槽上就可以了,取出同樣方便。
圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2為本實用新型的靜支架、動支架的示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。
如圖l、 2所示, 一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu),包括至少一對靜橫梁l和 動橫梁2、至少一對可交替接觸硅材料的靜支架3和動支架4以及位于動橫梁兩側(cè) 的驅(qū)動裝置,所述的靜支架3、動支架4分別固定于靜橫梁1、動橫梁2上,所述 的靜支架3、動支架4上均設有數(shù)個用于支撐硅材料的V型槽5,所述的驅(qū)動裝置 與動橫梁2傳動連接。
所述的靜橫梁1和動橫梁2為兩對,所述的靜支架3固定于兩根靜橫梁1上, 所述的動支架4固定于兩根動橫梁2上,在腐蝕清洗的過程中,動、靜支架的輪流 錯位接觸,以達到無盲點的腐蝕清洗效果;所述的靜橫梁1為金屬橫梁,其外設有 耐腐蝕層;所述的動橫梁2為金屬橫梁,其外設有耐腐蝕層;所述的靜支架3和動 支架4均為耐腐蝕材料支架;所述的驅(qū)動裝置為氣驅(qū)動裝置或電驅(qū)動裝置。
本實施例的橫梁用于固定動、靜支架,該橫梁由外包耐腐蝕材料的金屬結(jié)構(gòu)件組成,既能夠承受較大的載荷,也能抵御腐蝕性氣體的腐蝕;動、靜支架用于放置 待清洗的材料,它們均由耐腐蝕材料制成;驅(qū)動裝置使動支架進行豎直方向的短行 程運動,使清洗的材料在動、靜支架之間交替接觸,這樣的豎直方向的傳動可以采 用氣動結(jié)構(gòu),也可以采用電動驅(qū)動。
靜橫梁1上固定靜支架3,在腐蝕清洗過程中相對靜止,而細長工件(晶芯) 等在操作工操作時人工放置在靜支架的V型槽5內(nèi)。工作時,動橫梁2帶動動支 架4向上運動L行程,使得工件脫離靜支架3,這時工件與靜支架相接觸的那些部 分也能夠得到腐蝕或清洗,如此往復運動,實現(xiàn)整個工件的無盲點清洗。
權(quán)利要求1.一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu),其特征在于,包括至少一對靜橫梁和動橫梁、至少一對可交替接觸硅材料的靜支架和動支架以及位于動橫梁兩側(cè)的驅(qū)動裝置,所述的靜支架、動支架分別固定于靜橫梁、動橫梁上,所述的靜支架、動支架上均設有數(shù)個用于支撐硅材料的V型槽,所述的驅(qū)動裝置與動橫梁傳動連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu),其特征在于,所 述的靜橫梁和動橫梁為兩對,所述的靜支架固定于兩根靜橫梁上,所述的動支架固 定于兩根動橫梁上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu),其特征在于, 所述的靜橫梁為金屬橫梁,其外設有耐腐蝕層。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu),其特征在于,所 述的動橫梁為金屬橫梁,其外設有耐腐蝕層。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu),其特征在于,所 述的靜支架和動支架均為耐腐蝕材料支架。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu),其特征在于, 所述的驅(qū)動裝置為氣驅(qū)動裝置或電驅(qū)動裝置。
專利摘要本實用新型涉及一種硅材料無盲點化學清洗機構(gòu),包括至少一對靜橫梁和動橫梁、至少一對可交替接觸硅材料的靜支架和動支架以及位于動橫梁兩側(cè)的驅(qū)動裝置,所述的靜支架、動支架分別固定于靜橫梁、動橫梁上,所述的靜支架、動支架上均設有數(shù)個用于支撐硅材料的V型槽,所述的驅(qū)動裝置與動橫梁傳動連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的一個優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單,它利用原來的靜支架和橫梁,只是增加了一組動支架和相應橫梁,各部件方便進行防腐蝕保護,傳動部分位于兩側(cè),可以避開腐蝕性氣體,同時也便于維護;第二個優(yōu)點是操作方便,由于沒有轉(zhuǎn)盤支架,操作工只是需要把細長的工件依次放在水平的靜支架的V型凹槽上就可以了,取出同樣方便。
文檔編號B08B3/08GK201394557SQ20092006961
公開日2010年2月3日 申請日期2009年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月30日
發(fā)明者倪黨生, 王亦天 申請人:上海思恩電子技術(shù)有限公司