專利名稱：晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶圓清洗設(shè)備，特別涉及一種晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置。
背景技術(shù)：
參閱圖1與圖2，一種以往晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置1，包括一個(gè)長(zhǎng)向延伸且可被 帶動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的軸桿11、多個(gè)彼此間隔地安裝在該軸桿11外圍的滾輪單元12及多支分別將 滾輪單元12固定在軸桿11上的插銷13。每一滾輪單元12包括一個(gè)套置在該軸桿11外圍 的輪體121及二個(gè)分別嵌置在輪體121外圍的0型環(huán)122。每一支插銷13都緊配合地穿 插伸入輪體121與軸桿ll，借以將輪體121與軸桿11固定在一起。使用時(shí)，將上述滾輪裝 置架設(shè)在容裝有清洗液的晶圓清洗設(shè)備中，讓多片晶圓(圖未示)由滾輪單元12上輸送通 過(guò)，同時(shí)能一并清洗所述晶圓。 為了避免上述滾輪裝置與清洗液發(fā)生化學(xué)變化，所以軸桿11及輪體121都采用塑 膠材料制成，但是由于該軸桿11的長(zhǎng)度較長(zhǎng)，所以其剛性較差，使用時(shí)，軸桿11除了需要承 受滾輪單元12的重量以外，還須承受晶圓的重量，所以容易發(fā)生中央逐漸往下彎撓的變形 情況，無(wú)法平穩(wěn)地輸送晶圓，因而造成輸送制程時(shí)的準(zhǔn)確性及精密度不佳。上述固定用的插 銷13為一支細(xì)長(zhǎng)圓桿，緊配合地插入輪體121及軸桿ll，于插伸時(shí)容易發(fā)生斷裂或阻塞卡 死的情況，組裝上相當(dāng)麻煩不便。因此上述滾輪裝置1的設(shè)計(jì)仍有待改善。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種強(qiáng)度佳且不易彎撓變形，而能提升準(zhǔn)確性及精密度 的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置。 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，安裝在一晶圓清洗設(shè)備中，并包括 一轉(zhuǎn)軸單元及多個(gè)彼此間隔地安裝在該轉(zhuǎn)軸單元外圍的滾輪單元。該轉(zhuǎn)軸單元包括一呈長(zhǎng) 桿狀的芯棒及一包覆結(jié)合在該芯棒外圍的軸套。每一滾輪單元包括一套置在該軸套外圍的 輪體。 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，該滾輪裝置還包括多個(gè)分別將所述 滾輪單元固定在該轉(zhuǎn)軸單元上的鎖接單元。 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，每一個(gè)鎖接單元包括至少一支將該 輪體與該軸套螺接固定在一起的鎖接件。 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有多個(gè)對(duì)應(yīng)于 該輪體且彼此間隔設(shè)置的螺接部，每一螺接部具有二個(gè)相對(duì)設(shè)置的螺孔，每一滾輪單元的 輪體具有二個(gè)分別連通所述螺孔的穿孔，每一鎖接單元包括二支分別將該輪體與該軸套鎖 接在一起的鎖接件，每一鎖接件都是一支螺入所述穿孔與分別對(duì)應(yīng)所述穿孔的螺孔內(nèi)的螺 絲。 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有二個(gè)相對(duì)位 于該芯棒的兩相反端的端壁及一個(gè)軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。[0010] 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有二個(gè)相對(duì)位
于該芯棒的兩相反端的端壁及多個(gè)彼此相鄰串接地軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有二個(gè)相對(duì)位
于該芯棒的兩相反端的端壁及二個(gè)分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁，所述圍繞壁彼此相鄰連接。 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有二個(gè)相對(duì)位于該芯棒的兩相反端的端壁、二個(gè)分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁及至少一個(gè)連接所述圍繞壁且軸向套置在該芯棒周圍的管壁。[0013] 本實(shí)用新型所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，每一個(gè)滾輪單元的輪體具有二個(gè)左右間隔且分別形成在該輪體的外周面上的環(huán)槽，每一個(gè)滾輪單元還包括二個(gè)分別嵌置在該輪體的環(huán)槽內(nèi)的0型環(huán)。 本實(shí)用新型的有益效果在于通過(guò)在上述軸套內(nèi)埋藏一支芯棒，借其內(nèi)外雙層設(shè)計(jì)，可強(qiáng)化轉(zhuǎn)軸單元的剛性及筆直度，避免發(fā)生彎撓的情況，所以能提升輸送制程的準(zhǔn)確性及精密度。

圖圖圖
分解圖；圖圖
圖；圖
圖；圖圖。
-第一較佳實(shí)施例的一部分立體
-第二較佳實(shí)施例的一剖視示意-第三較佳實(shí)施例的一剖視示意-第四較佳實(shí)施例的一剖視示意
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。 為了方便說(shuō)明，以下的實(shí)施例，相同的元件以相同的標(biāo)號(hào)表示。 參閱圖3與圖4，本實(shí)用新型滾輪裝置的第一較佳實(shí)施例，安裝在一個(gè)晶圓清洗設(shè)
備中，并包括一個(gè)可被帶動(dòng)而繞著自身軸線旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)軸單元2、多個(gè)彼此間隔地安裝在該
轉(zhuǎn)軸單元2外圍的滾輪單元3及多個(gè)分別將滾輪單元3固定在轉(zhuǎn)軸單元2上的鎖接單元4。 該轉(zhuǎn)軸單元2包括一支呈長(zhǎng)桿狀且由非金屬材料制成的芯棒21及一個(gè)包覆結(jié)合
在芯棒21外圍且由塑膠材料制成的軸套22。本實(shí)施例的芯棒21為石墨或碳纖維材料制成，
當(dāng)然也可以選用其他堅(jiān)硬的非金屬材料，不以本實(shí)施例為限。該軸套22具有二個(gè)相對(duì)位于
芯棒21的兩相反端的端壁221、一個(gè)軸向套置在該芯棒21周圍且連接所述端壁221的管壁222及多個(gè)對(duì)應(yīng)于滾輪單元3且彼此間隔設(shè)置的螺接部223。本實(shí)施例的端壁221與管壁222間為熔接接合，當(dāng)然也可以利用焊接接合、相對(duì)螺接接合、卡接接合或緊配接合，其接合方式不限于本實(shí)施例。而每一螺接部223具有二個(gè)相對(duì)位于同一直線上且分別由一外周面徑向往內(nèi)凹陷的螺孔224，當(dāng)然所述螺孔224也可以分別由外周面徑向往內(nèi)直接連通至一內(nèi)周面，而且螺孔224的數(shù)量也不受限于本實(shí)施例。本實(shí)施例的軸套22由聚氯乙烯一體制成，當(dāng)然也可以選用聚四氟乙烯或聚偏二氟乙烯等塑膠材料，不以本實(shí)施例為限。[0026] 每一滾輪單元3包括一個(gè)套置在該軸套22外圍且對(duì)應(yīng)于設(shè)有螺接部223處的輪體31及二個(gè)分別嵌置在輪體31外圍的0型環(huán)32。該輪體31具有二個(gè)左右間隔且分別形成在外周面上以供0型環(huán)32嵌置的環(huán)槽311及二個(gè)分別連通螺孔224的穿孔312。本實(shí)施例的輪體31由塑膠材料制成，0型環(huán)32由橡膠材料制成。 每一鎖接單元4包括二支分別將輪體31與軸套22鎖接在一起的鎖接件41，每一鎖接件41都是一支螺入穿孔312與螺孔224內(nèi)的螺絲，而且本實(shí)施例的穿孔312為長(zhǎng)槽孔，于使用時(shí)可提供輪體31相對(duì)移動(dòng)裕度。鎖接件41的數(shù)量與螺孔224、穿孔312的數(shù)量相對(duì)應(yīng)，當(dāng)然設(shè)計(jì)上也可設(shè)置一組、三組或三組以上，所以其數(shù)量不以本實(shí)施例為限，此外，本實(shí)施例的鎖接件41由塑膠材料制成，當(dāng)然也可以由其他材料制成。 使用時(shí)，將上述滾輪裝置架設(shè)在容裝有清洗液的晶圓清洗設(shè)備中，讓多片晶圓(圖未示)分別由滾輪單元3外凸的0型環(huán)32上被輸送通過(guò)，用以清洗所述晶圓。由于轉(zhuǎn)軸單元2在中央軸心處埋藏有軸向延伸的芯棒21，通過(guò)該芯棒21堅(jiān)硬且呈長(zhǎng)桿狀的設(shè)計(jì)，可增加轉(zhuǎn)軸單元2的強(qiáng)度及筆直度，避免發(fā)生中央往下彎撓變形的情況，所以能平穩(wěn)地輸送晶圓，借以提升輸送制程的準(zhǔn)確性及精密度。此外，鎖接單元4通過(guò)二支鎖接件41來(lái)螺鎖固定輪體31與軸套22，不但長(zhǎng)度較短且其采用螺接的方式來(lái)結(jié)合，所以不會(huì)發(fā)生斷裂或阻塞的情況，組裝上較為簡(jiǎn)單容易。 參閱圖5，本實(shí)用新型晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置的第二較佳實(shí)施例，本實(shí)施例的構(gòu)造與第一實(shí)施例大致相同，該轉(zhuǎn)軸單元2的軸套22具有二個(gè)相對(duì)位于芯棒21的兩相反端的端壁221，不同的部分在于該轉(zhuǎn)軸單元2的軸套22具有二個(gè)彼此相鄰串接地軸向套置在該芯棒21周圍且連接所述端壁221的管壁222。也就是將第一實(shí)施例的管壁222分段設(shè)置，而后再連接在一起，所以可利于管壁222的制造，設(shè)計(jì)上也可以再增加管壁222的數(shù)量，當(dāng)然管壁222間的結(jié)合可以采用各種可行的組接手段，在此不再舉例說(shuō)明。[0030] 參閱圖6，本實(shí)用新型晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置的第三較佳實(shí)施例，本實(shí)施例的構(gòu)造與第一實(shí)施例大致相同，該轉(zhuǎn)軸單元2的軸套22具有二個(gè)相對(duì)位于芯棒21的兩相反端的端壁221，不同的部分在于該轉(zhuǎn)軸單元2的軸套22具有二個(gè)分別由所述端壁221的周緣同體往另一端壁221軸向延伸的圍繞壁225，所述圍繞壁225彼此相鄰連接且軸向套置在該芯棒21周圍，同樣地端壁221與圍繞壁225間以及所述圍繞壁225間的結(jié)合，也可以采
用各種可行的組接手段，本實(shí)施例為另一種實(shí)施態(tài)樣，可供廠商選擇使用。[0031] 參閱圖7，本實(shí)用新型晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置的第四較佳實(shí)施例，本實(shí)施例的構(gòu)造與第三實(shí)施例大致相同，該轉(zhuǎn)軸單元2的軸套22具有二個(gè)相對(duì)位于芯棒21的兩相反端的端壁221，二個(gè)分別由所述端壁221的周緣同體往另一端壁221軸向延伸的圍繞壁225，不同的部分在于該轉(zhuǎn)軸單元2的軸套22具有一個(gè)連接所述圍繞壁225的管壁222。所述圍繞壁225及管壁222軸向套置在該芯棒21周圍。在設(shè)計(jì)上管壁222的數(shù)量也可以增加，
5而且圍繞壁225的長(zhǎng)度也可以縮短，以便于制造。 綜上所述，本實(shí)用新型滾輪裝置在上述軸套22內(nèi)埋藏一支堅(jiān)硬的芯棒21，以成為一支具有內(nèi)外雙層的長(zhǎng)桿設(shè)計(jì)，還通過(guò)芯棒21強(qiáng)化轉(zhuǎn)軸單元2的剛性及筆直度，以避免發(fā)生彎撓變形的情況，并能提升準(zhǔn)確性及精密度，再加上鎖接單元4利用多支鎖接件41來(lái)螺接輪體31與軸套22，不但能縮短長(zhǎng)度、降低斷裂的機(jī)會(huì)，組裝上也更為簡(jiǎn)便，所以確實(shí)能達(dá)成本實(shí)用新型的目的。
權(quán)利要求一種晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，包括一個(gè)轉(zhuǎn)軸單元及多個(gè)彼此間隔地安裝在該轉(zhuǎn)軸單元外圍的滾輪單元；其特征在于，該轉(zhuǎn)軸單元包括一支呈長(zhǎng)桿狀的芯棒及一個(gè)包覆結(jié)合在該芯棒外圍的軸套，每一個(gè)滾輪單元包括一個(gè)套置在該軸套外圍的輪體。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，其特征在于，該滾輪裝置還包括多個(gè)分別將所述滾輪單元固定在該轉(zhuǎn)軸單元上的鎖接單元。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，其特征在于，每一個(gè)鎖接單元包括至少一支將該輪體與該軸套螺接固定在一起的鎖接件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，其特征在于，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有多個(gè)對(duì)應(yīng)于該輪體且彼此間隔設(shè)置的螺接部，每一螺接部具有二個(gè)相對(duì)設(shè)置的螺孔，每一滾輪單元的輪體具有二個(gè)分別連通所述螺孔的穿孔，每一鎖接單元包括二支分別將該輪體與該軸套鎖接在一起的鎖接件，每一鎖接件都是一支螺入所述穿孔與分別對(duì)應(yīng)所述穿孔的螺孔內(nèi)的螺絲。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，其特征在于，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有二個(gè)相對(duì)位于該芯棒的兩相反端的端壁及一個(gè)軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，其特征在于，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有二個(gè)相對(duì)位于該芯棒的兩相反端的端壁及多個(gè)彼此相鄰串接地軸向套置在該芯棒周圍且連接所述端壁的管壁。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，其特征在于，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有二個(gè)相對(duì)位于該芯棒的兩相反端的端壁及二個(gè)分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁，所述圍繞壁彼此相鄰連接。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，其特征在于，該轉(zhuǎn)軸單元的軸套具有二個(gè)相對(duì)位于該芯棒的兩相反端的端壁、二個(gè)分別由所述端壁的周緣同體往另一端壁軸向延伸且軸向套置在該芯棒周圍的圍繞壁及至少一個(gè)連接所述圍繞壁且軸向套置在該芯棒周圍的管壁。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，其特征在于，每一個(gè)滾輪單元的輪體具有二個(gè)左右間隔且分別形成在該輪體的外周面上的環(huán)槽，每一個(gè)滾輪單元還包括二個(gè)分別嵌置在該輪體的環(huán)槽內(nèi)的0型環(huán)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種晶圓清洗設(shè)備的滾輪裝置，包括一個(gè)轉(zhuǎn)軸單元及多個(gè)彼此間隔地安裝在該轉(zhuǎn)軸單元外圍的滾輪單元。該轉(zhuǎn)軸單元包括一支呈長(zhǎng)桿狀的芯棒及一個(gè)包覆結(jié)合在芯棒外圍的軸套。每一滾輪單元包括一個(gè)套置在該軸套外圍的輪體。通過(guò)在上述軸套內(nèi)埋藏有芯棒，可強(qiáng)化轉(zhuǎn)軸單元的剛性及筆直度，避免發(fā)生彎撓的情況，所以能提升輸送制程的準(zhǔn)確性及精密度。
文檔編號(hào)B08B13/00GK201482776SQ200920161218
公開(kāi)日2010年5月26日 申請(qǐng)日期2009年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月3日
發(fā)明者林志菁 申請(qǐng)人:林志菁