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      平移式基板清洗裝置的制作方法

      文檔序號:1547263閱讀:158來源:國知局
      專利名稱:平移式基板清洗裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種對平板物件的清洗裝置,尤其涉及一種適用于對平板狀的基板進(jìn) 行清洗的平移式基板清洗裝置。
      背景技術(shù)
      隨著各種半導(dǎo)體產(chǎn)品的廣泛應(yīng)用及半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的批量生產(chǎn)越 來越大規(guī)模,同時半導(dǎo)體產(chǎn)品的尺寸也越來越大,導(dǎo)致半導(dǎo)體工藝日趨復(fù)雜,而產(chǎn)品的生產(chǎn) 不僅要求高精度,也要求高效率及高自動化,因此,對生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)工 藝也提出了更高的要求,對于半導(dǎo)體制品,例如有機(jī)發(fā)光顯示器件、液晶顯示器件、非晶硅 太陽能電池板等,其生產(chǎn)都需要利用玻璃等作為基板,在基板上進(jìn)行多種工序進(jìn)而形成多 層薄膜,工藝步驟中涉及的鍍膜、光刻、蝕刻等工藝會產(chǎn)生粉塵附著在基板上,進(jìn)而影響基 板的清潔度,基板的清潔度對產(chǎn)品的質(zhì)量有著重大影響,因此,在于鍍膜、光刻及蝕刻等步 驟中必須貫穿有清洗步驟,以維持基板在生產(chǎn)過程中的表面清潔度。以0LED(0rganic Light-Emitting Diode,即有機(jī)發(fā)光二極管)為例,OLED 的制 造一般都在玻璃基板上進(jìn)行多次工藝步驟,進(jìn)而在基板上相繼沉積多層薄膜,其膜層主要 包括在玻璃基板上形成的透明陽極,在陽極上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、 電子傳輸層和電子注入層,最后是金屬陰極層;在各個工藝步驟中若基板上沉積有粉塵,在 下一膜層的形成過程中會將其覆蓋,進(jìn)而影響膜層的厚度和均勻性,影響后續(xù)的工藝質(zhì)量, 最終使OLED的質(zhì)量降低,可見基板的清潔起著舉足輕重的作用,因此需要一種基板清洗裝 置,對基板進(jìn)行高效清洗的同時也能保證基板的高清潔度。然而,現(xiàn)有用于清潔基板的裝置具有長方形的流體噴射區(qū),在該區(qū)域內(nèi)相隔預(yù)定 位置設(shè)置有多個噴射口,當(dāng)運(yùn)動的基板經(jīng)過時,噴射口內(nèi)噴射出清洗液進(jìn)而對基板進(jìn)行清 洗,但是由于各噴射口間具有閑置噴射區(qū)域,在該區(qū)域?qū)?yīng)的基板上或基板的邊緣位置處, 會出現(xiàn)清洗液噴射較少或噴射不均的現(xiàn)象,導(dǎo)致這些區(qū)域的清洗效果不佳,這種現(xiàn)象在較 大尺寸的基板中尤為明顯;為解決上述問題,通常會在噴射區(qū)域內(nèi)增加噴射口以達(dá)到大面 積噴射的目的,但這種結(jié)果不僅使裝置復(fù)雜,而且會造成清洗液的大量浪費(fèi),增加生產(chǎn)成 本。因此,急需一種結(jié)構(gòu)簡單、自動化程度高、清潔效率及清潔度高的平移式基板清洗
      直ο

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、自動化程度高、清潔效率及清潔度高的平 移式基板清洗裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種平移式基板清洗裝置,適用于 對平板狀的基板進(jìn)行清洗,所述平移式基板清洗裝置包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)及清洗機(jī)構(gòu),所述驅(qū)動 機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述清洗機(jī)構(gòu)對所述平板狀的基板進(jìn)行清洗,其中,所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座,所述固定座具有平行設(shè)置的上底板及下底板,所述上底板與所述下底 板之間形成安裝區(qū),所述往復(fù)座滑動地安裝于所述下底板上,所述電機(jī)安裝于所述上底板 上并位于所述安裝區(qū)內(nèi),所述偏心輪連接于所述電機(jī)與所述往復(fù)座之間并平行于所述上底 板及所述下底板,所述電機(jī)通過所述偏心輪驅(qū)動所述往復(fù)座作往復(fù)運(yùn)動;所述清洗機(jī)構(gòu)包 括固定架、輸入總管及安裝于所述固定架上的若干管道組,所述管道組等間距排列且分別 與所述輸入總管連通,所述管道組上設(shè)置有朝向基板的用于噴灑清洗液的噴嘴,所述固定 架與所述往復(fù)座固定連接,所述固定架懸置于基板上方并與所述基板平行。較佳地,所述固定座的下底板上開設(shè)有沿所述固定架方向延伸的導(dǎo)槽,所述往復(fù) 座的下端安裝有滑動卡設(shè)于所述導(dǎo)槽內(nèi)的第一軸承,所述往復(fù)座的上端開設(shè)有與所述導(dǎo)槽 相垂直的軸承槽,所述偏心輪上設(shè)置有第二軸承,所述第二軸承的中心軸平行于所述偏心 輪的軸向,所述第二軸承容置于所述軸承槽內(nèi)與所述軸承槽滾動連接,所述偏心輪通過所 述第二軸承驅(qū)動所述往復(fù)座沿所述導(dǎo)槽作直線往復(fù)運(yùn)動;更具體地,所述導(dǎo)槽的延伸方向 與所述基板的傳輸方向垂直。電機(jī)驅(qū)動偏心輪轉(zhuǎn)動,偏心輪通過第二軸承驅(qū)動往復(fù)座沿導(dǎo) 槽作直線往復(fù)運(yùn)動,往復(fù)座帶動固定架作直線往復(fù)運(yùn)動,使管道組將清洗液均勻充分地噴 灑在直線運(yùn)動的基板上,可對直線運(yùn)動中的基板進(jìn)行不間斷地清洗,提高基板的清洗效率, 同時使基板得到均勻充分的清洗,保持高清潔度。較佳地,所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括連接座,所述連接座固定連接于所述往復(fù)座與所述 固定架之間。電機(jī)通過偏心輪帶動往復(fù)座沿導(dǎo)槽作直線往復(fù)運(yùn)動,往復(fù)座通過連接座帶動 固定架作往復(fù)運(yùn)動,使往復(fù)座與固定座之間的連接簡便。較佳地,所述管道組包括分支管及噴嘴管,所述分支管的一端與所述輸入總管連 通,所述分支管的另一端與所述噴嘴管連通,所述噴嘴管與所述固定架固定連接,所述噴嘴 均勻設(shè)置于所述噴嘴管上,全部所述管道組的噴嘴管等間距排列且位于與所述基板平行的 一個面上。通過輸入總管統(tǒng)一控制清洗液的輸入量,并將清洗液均勻地分流到各分支管,再 通過噴嘴管上均勻設(shè)置的噴嘴噴灑在直線運(yùn)動的基板上,便于清潔液流量的控制,有效節(jié) 約清潔液。較佳地,所述平移式基板清洗裝置還包括引導(dǎo)架,所述引導(dǎo)架上設(shè)有與所述導(dǎo)槽 相平行的引導(dǎo)槽,所述引導(dǎo)架對稱設(shè)置于所述固定架的兩側(cè),所述固定架上設(shè)置有與所述 導(dǎo)槽相平行的連接桿,所述連接桿滑動地穿過所述引導(dǎo)架的引導(dǎo)槽;更具體地,所述引導(dǎo)架 包括支架及樞接于所述支架上的上導(dǎo)向輪及下導(dǎo)向輪,所述上導(dǎo)向輪與所述下導(dǎo)向輪之間 形成所述引導(dǎo)槽。固定架的連接桿滑動地穿過上導(dǎo)向輪與下導(dǎo)向輪之間形成的引導(dǎo)槽,使 固定架的運(yùn)動阻力大為減小,進(jìn)而使平移式基板清洗裝置使用較小功率的電機(jī)即可驅(qū)動固 定架作往復(fù)運(yùn)動,節(jié)約能源,并使結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉。與現(xiàn)有技術(shù)相比,由于本發(fā)明的驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座,所 述固定座具有平行設(shè)置的上底板及下底板,所述上底板與所述下底板之間形成安裝區(qū),所 述往復(fù)座滑動地安裝于所述下底板上,所述電機(jī)安裝于所述上底板上并位于所述安裝區(qū) 內(nèi),所述偏心輪連接于所述電機(jī)與所述往復(fù)座之間并平行于所述上底板及所述下底板,所 述電機(jī)通過所述偏心輪驅(qū)動所述往復(fù)座作往復(fù)運(yùn)動;所述清洗機(jī)構(gòu)包括固定架、輸入總管 及安裝于所述固定架上的若干管道組,所述管道組等間距排列且分別與所述輸入總管連 通,所述管道組上設(shè)置有朝向基板的噴灑清洗液的噴嘴,所述固定架與所述往復(fù)座固定連接,所述固定架懸置于基板上方并與所述基板平行;清洗時,清洗液通過輸入總管流入管道 組內(nèi),再通過管道組上的噴嘴噴灑到基板上進(jìn)而對基板進(jìn)行清洗,在此過程中,所述電機(jī)通 過偏心輪驅(qū)動往復(fù)座在下底板上作往復(fù)運(yùn)動,往復(fù)座帶動固定架往復(fù)運(yùn)動,進(jìn)而使清洗液 通過噴嘴均勻充分的噴灑在直線運(yùn)動的基板上,避免管道組之間的間隙或噴嘴之間的間隙 所對應(yīng)的區(qū)域噴灑到的清洗液不均或不充分,進(jìn)而使基板得到均勻充分的清洗,具有較高 的清潔度,并且將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)化為往復(fù)座及固定架的往復(fù)運(yùn)動,可連續(xù)對直線運(yùn)動 中的基板進(jìn)行不間斷的清洗,提高基板的清洗效率,同時,通過電機(jī)通過偏心輪帶動往復(fù)座 往復(fù)運(yùn)動,提高平移式基板清洗裝置的自動化程度,且結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉。


      圖1是本發(fā)明平移式基板清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1中驅(qū)動機(jī)構(gòu)的放大示意圖。圖3是本發(fā)明平移式基板清洗裝置的使用狀態(tài)示意圖。圖4是本發(fā)明平移式基板清洗裝置的另一狀態(tài)示意圖。
      具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例,附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。如圖1、圖2所示,本發(fā)明平移式基板清洗裝置1包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)10、清洗機(jī)構(gòu)20及 引導(dǎo)架30,清洗機(jī)構(gòu)20滑動地安裝于引導(dǎo)架30上,驅(qū)動機(jī)構(gòu)10設(shè)置于清洗機(jī)構(gòu)20的一側(cè) 并驅(qū)動清洗機(jī)構(gòu)20對直線運(yùn)動的基板進(jìn)行清洗。驅(qū)動機(jī)構(gòu)10包括固定座110、電機(jī)120、 偏心輪130及往復(fù)座140,固定座110具有平行設(shè)置的上底板111及下底板112,上底板111 與下底板112之間通過支柱115連接,上底板111與下底板112之間形成安裝區(qū)113,電機(jī) 120安裝于上底板111上且輸出軸位于安裝區(qū)113內(nèi);在下底板112上開設(shè)有沿清洗機(jī)構(gòu) 20方向延伸的導(dǎo)槽114,且導(dǎo)槽114的延伸方向與基板的傳輸方向垂直,往復(fù)座140的下端 安裝有滑動卡設(shè)于導(dǎo)槽114內(nèi)的第一軸承142,往復(fù)座140的上端開設(shè)有與導(dǎo)槽114相垂 直的軸承槽141 ;偏心輪130上設(shè)置有第二軸承131,且第二軸承131位于偏心輪130的下 方,第二軸承131的中心軸平行于偏心輪130的軸向,偏心輪130設(shè)置于往復(fù)座140與電機(jī) 120之間且與電機(jī)120的輸出軸連接,第二軸承131容置于往復(fù)座140上端的軸承槽141內(nèi) 與軸承槽141滾動連接,第二軸承131可在軸承槽141內(nèi)滑動,電機(jī)120驅(qū)動偏心輪130轉(zhuǎn) 動,偏心輪130通過第二軸承131帶動往復(fù)座140在導(dǎo)槽114上作直線往復(fù)運(yùn)動;清洗機(jī)構(gòu) 20包括固定架210、輸入總管220及安裝于固定架210上的若干管道組,固定架210懸置于 基板上方并與基板平行,管道組包括分支管230及噴嘴管240,分支管230的一端與輸入總 管210連通,分支管230的另一端與噴嘴管240連通,噴嘴管240與固定架210固定連接, 且所有噴嘴管240等間距排列并位于與基板平行的一個面上,噴嘴管240上均勻設(shè)置有朝 向基板的噴嘴250,噴嘴250用于噴灑清洗液,清洗液通過輸入總管220上的輸入口 221輸 入后,經(jīng)分支管230流入噴嘴管240內(nèi),再由噴射管240上均勻設(shè)置的噴嘴250噴灑到直線 運(yùn)動的基板上,清洗液由輸入總管220的輸入口 221統(tǒng)一控制輸入量,便于清潔液流量的控 制,有效節(jié)約清潔液。較佳者,驅(qū)動機(jī)構(gòu)10還包括連接座150,連接座150固定連接于往復(fù)座140與固定
      5架210之間;引導(dǎo)架30對稱設(shè)置于固定架210兩側(cè),引導(dǎo)架30包括支架310及樞接于支架 310上的上導(dǎo)向輪320及下導(dǎo)向輪330,上導(dǎo)向輪320與下導(dǎo)向輪330之間形成引導(dǎo)槽340, 且引導(dǎo)槽340與導(dǎo)槽114相平行,固定架210上設(shè)置有與導(dǎo)槽114相平行的連接桿211,連 接桿211滑動地穿過引導(dǎo)架310的引導(dǎo)槽340將固定架210樞接于導(dǎo)向架30上;固定架 210通過連接桿211滑動地安裝于上導(dǎo)向輪320與下導(dǎo)向輪330之間形成的引導(dǎo)槽340內(nèi), 使固定架210的運(yùn)動阻力大為減小,進(jìn)而使平移式基板清洗裝置1使用較小功率的電機(jī)即 可驅(qū)動固定架210往復(fù)運(yùn)動,節(jié)約能源,并使結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉。下面結(jié)合圖3、圖4,對本發(fā)明平移式基板清洗裝置1用于對直線運(yùn)動的基板2進(jìn) 行清洗的原理及過程進(jìn)行說明。如圖3所示,將進(jìn)入清洗工序的基板2送入平移式基板清洗裝置1,基板2沿圖中 a方向直線運(yùn)動?;?沿圖中a方向運(yùn)動過程中,清洗液從輸入總管220上的輸入口 221 加入到輸入總管220內(nèi),清洗液經(jīng)輸入總管220均勻地分流到各分支管230中,分支管230 中的清洗液流到噴嘴管240后,經(jīng)噴嘴管240上的噴嘴250噴灑到基板2的表面,進(jìn)而對基 板2進(jìn)行清洗;在清洗過程中,電機(jī)120驅(qū)動偏心輪130沿圖中箭頭方向轉(zhuǎn)動,如圖3所示, 偏心輪130沿箭頭方向轉(zhuǎn)動時產(chǎn)生動力,進(jìn)而通過第二軸承131帶動往復(fù)座140沿導(dǎo)槽114 滑動,即沿圖中c方向滑動,往復(fù)座140推動固定架210也沿c方向運(yùn)動,固定架210的運(yùn)動 方向與基板的傳輸方向垂直,往復(fù)座140沿c方向運(yùn)動過程中,第二軸承131在軸承槽141 內(nèi)滾動,進(jìn)而使第二軸承131從軸承槽141的一端向另一端滑動,當(dāng)偏心輪130轉(zhuǎn)過180° 時,往復(fù)座140滑動到導(dǎo)槽114的端點(diǎn)處,第二軸承131也滑動到軸承槽141的一端;電機(jī) 120繼續(xù)驅(qū)動偏心輪130轉(zhuǎn)動,這時,第二軸承131沿軸承槽141往回滑動,偏心輪130亦帶 動往復(fù)座140往回滑動,即沿圖中c方向相反的方向滑動,進(jìn)而拉動固定座110往回運(yùn)動; 這樣使固定架210在基板2上方作直線往復(fù)運(yùn)動,且固定架210的運(yùn)動方向與基板2的傳 輸方向垂直,使噴嘴管240內(nèi)的清洗液通過噴嘴250均勻充分地噴灑在直線運(yùn)動著的基板 2上,提高基板2的清潔度,并使平移式基板清洗裝置1具有較高的自動化程度;固定架210 通過連接桿211滑動地安裝于引導(dǎo)架30的上導(dǎo)向輪320與下導(dǎo)向輪330之間形成的引導(dǎo) 槽340內(nèi),使固定架210的運(yùn)動阻力大大減小,因此使用較小功率的電機(jī)120即可驅(qū)動固定 架210往復(fù)運(yùn)動,節(jié)約能源,并使結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉。由于本發(fā)明的驅(qū)動機(jī)構(gòu)10包括固定座110、電機(jī)120、偏心輪130及往復(fù)座140,固 定座110具有平行設(shè)置的上底板111及下底板112,上底板111與下底板112之間形成安 裝區(qū)113,往復(fù)座140滑動地安裝于下底板112上,電機(jī)120安裝于上底板111上并位于安 裝區(qū)113內(nèi),偏心輪130連接于電機(jī)120與往復(fù)座140之間并平行于上底板111及下底板 112 ;清洗機(jī)構(gòu)20包括固定架210、輸入總管220及安裝于固定架210上的若干管道組,管 道組包括分支管230及噴嘴管240,噴嘴管240固定安裝于固定架210上且等間距排列,分 支管230的一端與輸入總管220連通,分支管230的另一端與噴嘴管240連通,噴嘴管240 上設(shè)置有朝向基板的用于噴灑清洗液的噴嘴250,固定架210與往復(fù)座140固定連接,固定 架210懸置于基板上方并與所述基板平行;清洗液由輸入總管220輸入,由分支管230流入 噴嘴管240后,經(jīng)噴嘴管240上的噴嘴250噴灑在基板2上,實(shí)現(xiàn)對基板2的清洗;在清洗 過程中,電機(jī)120通過偏心輪130驅(qū)動往復(fù)座140沿導(dǎo)槽114作直線往復(fù)運(yùn)動,往復(fù)座140 帶動固定架210往復(fù)運(yùn)動,進(jìn)而使清洗液通過噴嘴250均勻充分地噴灑在直線運(yùn)動著的基板2上,避免噴嘴管240之間的間隙或噴嘴250之間的閑置區(qū)域所對應(yīng)的基板2上噴灑到 的清洗液不均勻或不充分,進(jìn)而使對基板2的清洗具有較高的清潔度,并可連續(xù)對直線運(yùn) 動中的基板2進(jìn)行不間斷地清洗,提高基板2的清洗效率,同時,通過電機(jī)120及偏心輪130 帶動往復(fù)座140往復(fù)運(yùn)動,將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)化為復(fù)座140及固定架210的往復(fù)運(yùn)動,提高平移 式基板清洗裝置1的自動化程度,且結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉。本發(fā)明平移式基板清洗裝置1不限于對平板狀的基板2進(jìn)行清洗,可根據(jù)實(shí)際需 要,用于相類似的平板物件的清洗。本發(fā)明平移式基板清洗裝置1的噴嘴管240及噴嘴250的數(shù)量及設(shè)置方式等均為 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知,在此不再做詳細(xì)的說明。以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已,當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍,因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化,仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
      權(quán)利要求
      一種平移式基板清洗裝置,適用于對平板狀的基板進(jìn)行清洗,所述平移式基板清洗裝置包括驅(qū)動機(jī)構(gòu)及清洗機(jī)構(gòu),所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述清洗機(jī)構(gòu)對所述平板狀的基板進(jìn)行清洗,其特征在于所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座,所述固定座具有平行設(shè)置的上底板及下底板,所述上底板與所述下底板之間形成安裝區(qū),所述往復(fù)座滑動地安裝于所述下底板上,所述電機(jī)安裝于所述上底板上并位于所述安裝區(qū)內(nèi),所述偏心輪連接于所述電機(jī)與所述往復(fù)座之間并平行于所述上底板及所述下底板,所述電機(jī)通過所述偏心輪驅(qū)動所述往復(fù)座作往復(fù)運(yùn)動;所述清洗機(jī)構(gòu)包括固定架、輸入總管及安裝于所述固定架上的若干管道組,所述管道組等間距排列且分別與所述輸入總管連通,所述管道組上設(shè)置有朝向基板的用于噴灑清洗液的噴嘴,所述固定架與所述往復(fù)座固定連接,所述固定架懸置于基板上方并與所述基板平行。
      2.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置,其特征在于所述固定座的下底板上開 設(shè)有沿所述固定架方向延伸的導(dǎo)槽,所述往復(fù)座的下端安裝有滑動卡設(shè)于所述導(dǎo)槽內(nèi)的第 一軸承,所述往復(fù)座的上端開設(shè)有與所述導(dǎo)槽相垂直的軸承槽,所述偏心輪上設(shè)置有第二 軸承,所述第二軸承的中心軸平行于所述偏心輪的軸向,所述第二軸承容置于所述軸承槽 內(nèi)與所述軸承槽滾動連接,所述偏心輪通過所述第二軸承驅(qū)動所述往復(fù)座沿所述導(dǎo)槽作直 線往復(fù)運(yùn)動。
      3.如權(quán)利要求2所述的平移式基板清洗裝置,其特征在于所述導(dǎo)槽的延伸方向與所 述基板的傳輸方向垂直。
      4.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置,其特征在于所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括連接 座,所述連接座固定連接于所述往復(fù)座與所述固定架之間。
      5.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置,其特征在于所述管道組包括分支管及 噴嘴管,所述分支管的一端與所述輸入總管連通,所述分支管的另一端與所述噴嘴管連通, 所述噴嘴管與所述固定架固定連接,所述噴嘴均勻設(shè)置于所述噴嘴管上,全部所述管道組 的噴嘴管等間距排列且位于與所述基板平行的一個面上。
      6.如權(quán)利要求1所述的平移式基板清洗裝置,其特征在于還包括引導(dǎo)架,所述引導(dǎo)架 上設(shè)有與所述導(dǎo)槽相平行的引導(dǎo)槽,所述引導(dǎo)架對稱設(shè)置于所述固定架的兩側(cè),所述固定 架上設(shè)置有與所述導(dǎo)槽相平行的連接桿,所述連接桿滑動地穿過所述引導(dǎo)架的引導(dǎo)槽。
      7.如權(quán)利要求6所述的平移式基板清洗裝置,其特征在于所述引導(dǎo)架包括支架及樞 接于所述支架上的上導(dǎo)向輪及下導(dǎo)向輪,所述上導(dǎo)向輪與所述下導(dǎo)向輪之間形成所述引導(dǎo) 槽。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種平移式基板清洗裝置,其驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括固定座、電機(jī)、偏心輪及往復(fù)座,固定座的上底板與下底板之間形成安裝區(qū),往復(fù)座滑動地安裝于下底板上,電機(jī)安裝于上底板上并位于安裝區(qū)內(nèi),偏心輪連接于電機(jī)與往復(fù)座之間并平行于上底板及下底板;清洗機(jī)構(gòu)包括固定架、輸入總管及等間距安裝于固定架上的若干管道組,管道組分別與輸入總管連通且設(shè)置有朝向基板的噴嘴,固定架與往復(fù)座固定連接且懸置于基板上方。清洗時,電機(jī)通過偏心輪帶動往復(fù)座往復(fù)運(yùn)動,往復(fù)座帶動固定架往復(fù)運(yùn)動,清洗液通過噴嘴均勻充分地噴灑在基板上,可對直線運(yùn)動中的基板進(jìn)行不間斷地清洗,提高清洗效率,具有較高的清潔度及自動化程度,且結(jié)構(gòu)簡單,成本低廉。
      文檔編號B08B11/04GK101954358SQ20101017112
      公開日2011年1月26日 申請日期2010年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月6日
      發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 王銀果, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
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