專利名稱：清洗設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種裝置，具體地說，涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的清洗設(shè)備。
背景技術(shù)：
晶圓在復(fù)雜的制造過程中，為了提高制程良率或者獲得性能優(yōu)良的芯片，有些工 站需要對(duì)其進(jìn)行酸洗，比如在曝光刻蝕完畢后，進(jìn)行下一步加工之前，需要將晶圓表面進(jìn)行 酸洗，用以去除表面的污染物。請(qǐng)參閱圖1，圖1為現(xiàn)有清洗設(shè)備的截面結(jié)構(gòu)示意圖，該酸洗設(shè)備包括化學(xué)反應(yīng)槽 1，在化學(xué)反應(yīng)槽1兩側(cè)設(shè)有側(cè)柜2，所述側(cè)柜2設(shè)有連接干燥空氣(CDA:clean dry air)的 管線30等，這些管線通過連接頭(pipe fitting) 31將其連接至酸洗設(shè)備內(nèi)的驅(qū)動(dòng)裝置如 氣缸等。在實(shí)際生產(chǎn)過程中，化學(xué)反應(yīng)槽1內(nèi)的化學(xué)液體在對(duì)晶圓進(jìn)行清洗時(shí)，部分揮發(fā)出 來，彌漫在化學(xué)反應(yīng)槽1內(nèi)，并進(jìn)入到兩側(cè)所述側(cè)柜2，腐蝕所述側(cè)柜2內(nèi)的金屬部件如連接 頭31，造成管線30內(nèi)的氣體泄漏，從而影響了酸洗設(shè)備的正常工作。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種清洗設(shè)備，防止揮發(fā)的化學(xué)液體與側(cè) 柜內(nèi)的金屬部件接觸。為解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的一種清洗設(shè)備，包括化學(xué)反應(yīng)槽以及在 化學(xué)反應(yīng)槽兩側(cè)的側(cè)柜，所述側(cè)柜上包含有管線組件，所述管線組件包括管線以及連接頭， 所述側(cè)柜上設(shè)有送氣系統(tǒng)，所述送氣系統(tǒng)包括進(jìn)氣口以及出氣口，所述進(jìn)氣口設(shè)置在所述 側(cè)柜的下方，所述出氣口設(shè)置在所述側(cè)柜的上方。進(jìn)一步的，所述送氣系統(tǒng)流經(jīng)的氣體為惰性氣體。進(jìn)一步的，所述送氣系統(tǒng)流經(jīng)的氣體為氮?dú)?。進(jìn)一步的，所述送氣系統(tǒng)還設(shè)有氣體壓力檢測(cè)裝置，所述氣體壓力檢測(cè)裝置位于 所述側(cè)柜的側(cè)壁上。進(jìn)一步的，所述清洗設(shè)備為酸洗設(shè)備。進(jìn)一步的，所述送氣系統(tǒng)的氣壓為正壓。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提出的清洗設(shè)備，通過在清洗裝置的側(cè)柜內(nèi)設(shè)置有 送氣系統(tǒng)，在所述側(cè)柜內(nèi)送入惰性氣體或者氮?dú)猓M(jìn)入側(cè)柜內(nèi)的酸霧難以與氮?dú)膺M(jìn)行反應(yīng)， 防止酸霧飄移至金屬部件表面，從而防止在側(cè)柜內(nèi)的金屬部件受到腐蝕，延長(zhǎng)了管線的使 用壽命，相應(yīng)增強(qiáng)了清洗設(shè)備的使用壽命，提高了通過連接頭(pipe fitting)將其連接至 酸洗設(shè)備內(nèi)的驅(qū)動(dòng)裝置的穩(wěn)定性。

圖1為現(xiàn)有清洗設(shè)備的截面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的清洗設(shè)備截面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的技術(shù)特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖與實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型 做進(jìn)一步的描述。請(qǐng)參閱圖2，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的清洗設(shè)備截面結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施例的清 洗設(shè)備包括化學(xué)反應(yīng)槽1以及在化學(xué)反應(yīng)槽兩側(cè)的側(cè)柜2，所述側(cè)柜2上設(shè)有管線組件3， 所述管線組件包括管線30以及連接頭31，在所述側(cè)柜2上設(shè)有送氣系統(tǒng)，所述送氣系統(tǒng)包 括進(jìn)氣口 40以及出氣口 41，所述進(jìn)氣口 40設(shè)置在所述側(cè)柜2的下方，所述出氣口 41設(shè)置 在所述側(cè)柜2的上方。為了更好的監(jiān)測(cè)該送氣系統(tǒng)，所述送氣系統(tǒng)還設(shè)有氣體壓力檢測(cè)裝 置42，所述氣體壓力檢測(cè)裝置42固定在所述側(cè)柜2的側(cè)壁上。所述清洗設(shè)備為酸洗設(shè)備，即在化學(xué)反應(yīng)槽1內(nèi)盛有清洗晶圓所需的化學(xué)液體， 比如HF/HN03混合液，清洗時(shí)，將晶圓放入所述化學(xué)反應(yīng)槽1內(nèi)，由于在清洗過程中，會(huì)有 部分混合液揮發(fā)出來，形成酸霧彌漫在化學(xué)反應(yīng)槽1，甚至進(jìn)入兩側(cè)所述側(cè)柜2內(nèi)，為了防 止酸霧腐蝕所述側(cè)柜2內(nèi)的金屬部件，通過所述送氣系統(tǒng)的進(jìn)氣口 40送入惰性氣體，比如 氦、氖、氬、氪、氙、氡等均可，或者送入氮?dú)猓捎诘獨(dú)馔ǔＴ诠S內(nèi)來源比較充足，本實(shí)施 例中，優(yōu)選用氮?dú)猓瑢⒌獨(dú)獬錆M所述側(cè)柜2內(nèi)。所述送氣系統(tǒng)的氣壓為正壓，并通過氣體壓力檢測(cè)裝置42實(shí)時(shí)檢測(cè)所述側(cè)柜2 內(nèi)氮?dú)獾膲簭?qiáng)，保證側(cè)柜2內(nèi)的壓強(qiáng)大于所述化學(xué)反應(yīng)槽1，進(jìn)入側(cè)柜2內(nèi)的酸霧難以與氮 氣進(jìn)行反應(yīng)，使得酸霧難以飄移至金屬部件表面，防止在側(cè)柜2內(nèi)的金屬部件受到腐蝕，從 而延長(zhǎng)了管線30的使用壽命，相應(yīng)增強(qiáng)了清洗設(shè)備的使用壽命，提高了通過連接頭(pipe fitting)31將其連接至酸洗設(shè)備內(nèi)的驅(qū)動(dòng)裝置的穩(wěn)定性。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行 業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不 脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn) 都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種清洗設(shè)備，包括化學(xué)反應(yīng)槽以及在化學(xué)反應(yīng)槽兩側(cè)的側(cè)柜，所述側(cè)柜上設(shè)有管線組件，所述管線組件包括管線以及連接頭，其特征在于所述側(cè)柜上設(shè)有送氣系統(tǒng)，所述送氣系統(tǒng)包括進(jìn)氣口以及出氣口，所述進(jìn)氣口設(shè)置在所述側(cè)柜的下方，所述出氣口設(shè)置在所述側(cè)柜的上方。
2.如權(quán)利要求1所述的清洗設(shè)備，其特征在于所述送氣系統(tǒng)流經(jīng)的氣體為惰性氣體。
3.如權(quán)利要求1所述的清洗設(shè)備，其特征在于所述送氣系統(tǒng)流經(jīng)的氣體為氮?dú)狻?br> 4.如權(quán)利要求1所述的清洗設(shè)備，其特征在于所述送氣系統(tǒng)還設(shè)有氣體壓力檢測(cè)裝 置，所述氣體壓力檢測(cè)裝置位于所述側(cè)柜的側(cè)壁上。
5.如權(quán)利要求1所述的清洗設(shè)備，其特征在于所述清洗設(shè)備為酸洗設(shè)備。
6.如權(quán)利要求1所述的清洗設(shè)備，其特征在于所述送氣系統(tǒng)的氣壓為正壓。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種清洗設(shè)備，包括化學(xué)反應(yīng)槽以及在化學(xué)反應(yīng)槽兩側(cè)的側(cè)柜，所述側(cè)柜上設(shè)有管線組件，所述管線組件包括管線以及連接頭，所述側(cè)柜上設(shè)有送氣系統(tǒng)，所述送氣系統(tǒng)包括進(jìn)氣口以及出氣口，所述進(jìn)氣口設(shè)置在所述側(cè)柜的下方，所述出氣口設(shè)置在所述側(cè)柜的上方。本實(shí)用新型提出的清洗設(shè)備，通過在清洗裝置的側(cè)柜上設(shè)置有送氣系統(tǒng)，在所述側(cè)柜內(nèi)送入惰性氣體或者氮?dú)猓沟眠M(jìn)入側(cè)柜內(nèi)的酸霧難以與氮?dú)膺M(jìn)行反應(yīng)，防止酸霧飄移至金屬部件表面，從而防止在側(cè)柜內(nèi)的金屬部件受到腐蝕，延長(zhǎng)了管線的使用壽命，相應(yīng)增強(qiáng)了清洗設(shè)備的使用壽命，提高了通過連接頭(pipe fitting)將其連接至酸洗設(shè)備內(nèi)的驅(qū)動(dòng)裝置的穩(wěn)定性。
文檔編號(hào)B08B3/08GK201681798SQ20102018074
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月29日
發(fā)明者何顯雙, 吳良輝, 榮昊, 高召軍 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;武漢新芯集成電路制造有限公司