專利名稱：用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，離子注入技術(shù)是近30年來在國(guó)際上蓬勃發(fā)展和廣泛應(yīng)用的一 種材料表面改性高新技術(shù)。離子注入技術(shù)是把摻雜劑的原子引入固體中的一種材料改性 方法。離子注入的過程，就是在真空系統(tǒng)中，用經(jīng)過加速的，含有要摻雜的原子的離子 束照射(注入)固體材料，離子束與固體材料中的原子或分子將發(fā)生一系列物理的和化學(xué) 的作用，入射離子逐漸損失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、結(jié)構(gòu)和性 能發(fā)生變化，從而在所選擇的(即被注入的)區(qū)域形成一個(gè)具有特殊性質(zhì)的表面層(注入 層)，從而優(yōu)化材料表面性能，或獲得某些新的優(yōu)異性能。作為一種材料表面工程技術(shù)， 離子注入技術(shù)具有以下一些其它常規(guī)表面處理技術(shù)難以達(dá)到的獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)(1)它是一種 純凈的無公害的表面處理技術(shù)；(2)無需熱激活，無需在超高溫環(huán)境下進(jìn)行，因而不會(huì) 改變工件的外形尺寸和表面光潔度；(3)離子注入層由離子束與基體表面發(fā)生一系列物 理和化學(xué)相互作用而形成的一個(gè)新表面層，它與基體之間不存在剝落問題；(4)離子注 入后無需再進(jìn)行機(jī)械加工和熱處理。此項(xiàng)高新技術(shù)由于其獨(dú)特而突出的優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)在半 導(dǎo)體材料摻雜，金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應(yīng)用，取 得了巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。離子注入技術(shù)首先是作為一種半導(dǎo)體材料的摻雜技術(shù)發(fā)展起來的，它所取得的 成功是其優(yōu)越性的最好例證。在電子工業(yè)中，離子注入現(xiàn)在已經(jīng)成為了微電子工藝中的 一種重要的摻雜技術(shù)，也是控制MOSFET閾值電壓的一個(gè)重要手段。因此在當(dāng)代制造 大規(guī)模集成電路中，可以說是一種必不可少的手段。低溫?fù)诫s、精確的劑量控制、掩蔽 容易、均勻性好這些優(yōu)點(diǎn)，使得經(jīng)離子注入摻雜所制成的幾十種半導(dǎo)體器件和集成電路 具有速度快、功耗低、穩(wěn)定性好、成品率高等特點(diǎn)。對(duì)于大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路來 說，離子注入更是一種理想的摻雜工藝。如前所述，離子注入層是極薄的，同時(shí)，離子 束的直進(jìn)性保證注入的離子幾乎是垂直地向內(nèi)摻雜，橫向擴(kuò)散極其微小，這樣就有可能 使電路的線條更加纖細(xì)，線條間距進(jìn)一步縮短，從而大大提高集成度。此外，離子注入 技術(shù)的高精度和高均勻性，可以大幅度提高集成電路的成品率。隨著工藝上和理論上的 日益完善，離子注入已經(jīng)成為半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝之一。在制造半導(dǎo) 體器件和集成電路的生產(chǎn)線上，已經(jīng)廣泛地配備了離子注入機(jī)。離子注入是在一種叫做離子注入機(jī)的設(shè)備上進(jìn)行的。離子注入機(jī)是由于半導(dǎo)體 材料的摻雜需要而于上世紀(jì)60年代問世。雖然有一些不同的類型，但它們一般都由以下 幾個(gè)主要部分組成(1)離子源，用于產(chǎn)生和引出某種元素的離子束，這是離子注入機(jī) 的源頭；(2)加速器，對(duì)離子源引出的離子束進(jìn)行加速，使其達(dá)到所需的能量；(3)離子 束的質(zhì)量分析(離子種類的選擇)；(4)離子束的約束與控制；(5)靶室；(6)真空系統(tǒng)； 和(7)離子注入機(jī)臺(tái)，用于傳輸、放置晶圓，將所述晶圓放置在所述機(jī)臺(tái)上，所述機(jī)臺(tái)帶動(dòng)晶圓高速旋轉(zhuǎn)，是離子束能夠均勻注入晶圓。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，離子注入機(jī)臺(tái)通常采用多片傳輸方式，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中離子 注入機(jī)臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖1，所述機(jī)臺(tái)包括圓盤10、旋轉(zhuǎn)臺(tái)30以及多個(gè)熱傳導(dǎo)臺(tái) 20，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)30和熱傳導(dǎo)臺(tái)20位于所述圓盤10之上，所述多個(gè)熱傳導(dǎo)臺(tái)20固定于所 述旋轉(zhuǎn)臺(tái)30，所述熱傳導(dǎo)臺(tái)20用于放置晶圓，并且熱傳導(dǎo)臺(tái)20為熱傳導(dǎo)區(qū)域，用于給晶 圓加熱，在離子注入過程中，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)30帶動(dòng)熱傳導(dǎo)臺(tái)20高速旋轉(zhuǎn)，所述熱傳導(dǎo)臺(tái)20 給晶圓加熱，同時(shí)離子束打入晶圓。在離子束打入晶圓的同時(shí)，離子束還會(huì)打入在機(jī)臺(tái) 上，尤其是熱傳導(dǎo)臺(tái)外的區(qū)域，即在熱傳導(dǎo)臺(tái)20之間且位于圓盤10處會(huì)有累計(jì)大量的殘 余雜質(zhì)在所述機(jī)臺(tái)上。因?yàn)殡x子注入機(jī)機(jī)臺(tái)的作用非常關(guān)鍵，所以定期要對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行清 洗，1-2年對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行更換。然而在清洗過程中，通常采用IPA(Isopropenyl Acetylene， 異丙烯基乙炔)的潔凈布對(duì)機(jī)臺(tái)熱傳導(dǎo)臺(tái)20之間的圓盤10除進(jìn)行清洗，手工擦拭過程非 常費(fèi)時(shí)費(fèi)力，并且殘余雜質(zhì)清理不徹底。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，提供一種能夠?qū)﹄x子注入機(jī)臺(tái)圓盤局部的雜 質(zhì)清洗徹底、并便于使用的清洗裝置。為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，包括裝 置把手，與所述裝置把手固定相連的電動(dòng)馬達(dá)，與所述電動(dòng)馬達(dá)輸出軸相連的齒輪組， 與所述齒輪組固定相連的清洗柄，所述清洗柄內(nèi)部設(shè)有空腔，柄體設(shè)有多個(gè)吸附圓孔， 所述清洗柄的表面套有擦拭材料，所述清洗柄的尾端設(shè)有抽氣連接裝置。進(jìn)一步的，所述電動(dòng)馬達(dá)由外部電源供電。進(jìn)一步的，所述抽氣連接裝置與外部抽氣清掃裝置相連。進(jìn)一步的，所述齒輪組包括互相嚙合的小齒輪和大齒輪，所述小齒輪的軸心與 所述電動(dòng)馬達(dá)的輸出軸相連，所述大齒輪固定套在所述清洗柄上。較佳的，所述擦拭材料為纖維摩擦材料。較佳的，所述纖維摩擦材料為石棉纖維或海泡石。綜上所述，所述清洗柄在所述電動(dòng)馬達(dá)的帶動(dòng)下進(jìn)行自身旋轉(zhuǎn)，同時(shí)所述清洗 柄的表面套有擦拭材料，能夠進(jìn)行摩擦，所述清洗柄上設(shè)有吸附圓孔，通過所述清洗柄 內(nèi)部的空腔接外部抽氣裝置，能夠吸除雜質(zhì)，從而達(dá)到對(duì)離子注入機(jī)臺(tái)圓盤上熱傳導(dǎo)臺(tái) 周圍殘余雜質(zhì)徹底清洗的目的，并且所述清洗裝置操作簡(jiǎn)便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，可 持續(xù)使用。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中離子注入機(jī)臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為沿圖2中A-B方向的剖面圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所 熟知的一般替換也涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)例時(shí)， 為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。本實(shí)用新型的核心思想是通過提供一種清洗裝置，所述清洗裝置包括清洗 柄，所述清洗柄在電動(dòng)馬達(dá)的帶動(dòng)下進(jìn)行自身旋轉(zhuǎn)，同時(shí)所述清洗柄的表面套有擦拭材 料，能夠進(jìn)行摩擦，同時(shí)所述清洗柄上設(shè)有吸附圓孔，通過內(nèi)部空腔接外部抽氣裝置， 能夠吸除雜質(zhì)，從而達(dá)到對(duì)離子注入機(jī)臺(tái)圓盤上熱傳導(dǎo)臺(tái)周圍殘余雜質(zhì)徹底清洗的目 的。圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。參 考圖2，結(jié)合上述核心思想，本實(shí)用新型提供一種用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，包括裝 置把手109，與所述裝置把手109固定相連的電動(dòng)馬達(dá)107，與所述電動(dòng)馬達(dá)107輸出軸 相連的齒輪組105，與所述齒輪組105固定相連的清洗柄101，所述清洗柄101內(nèi)部設(shè)有 空腔，柄體設(shè)有多個(gè)吸附圓孔103，所述清洗柄101的表面套有擦拭材料，所述清洗柄的 尾端設(shè)有抽氣連接裝置111。在清洗過程中，操作人員手持所述裝置把手109，所述電動(dòng)馬達(dá)107在供電開啟 時(shí)馬達(dá)帶動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)107的輸出軸旋轉(zhuǎn)，所述電動(dòng)馬達(dá)107的輸出軸帶動(dòng)所述齒輪組105 轉(zhuǎn)動(dòng)，因?yàn)樗鳊X輪組105固定連接清洗柄101，故齒輪組105轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)清洗柄101自 身轉(zhuǎn)動(dòng)，在所述清洗柄101柄體上設(shè)有多個(gè)吸附圓孔103，同時(shí)在所述清洗柄101的表面 套有擦拭材料，則在清洗過程中，可以在所述清洗柄101自身旋轉(zhuǎn)過程中將殘余雜質(zhì)從 所述機(jī)臺(tái)上清掃下來，并通過吸附圓孔103吸收殘余雜質(zhì)，圖3為沿圖2中A-B方向的 剖面圖，參考圖3，所述清洗柄101內(nèi)部設(shè)有空腔，在清洗過程中氣體在所述清洗柄101 內(nèi)部流通。進(jìn)一步的，所述電動(dòng)馬達(dá)107由外部電源供電。與外部電源相連為較佳的選 擇，同時(shí)電動(dòng)馬達(dá)還可自帶電池等供電電源，方便攜帶和操作。進(jìn)一步的，所述抽氣連接裝置111與外部抽氣清掃裝置相連，外部抽氣清掃裝 置為常見抽氣裝置，將所述抽氣連接裝置111與外部抽氣清掃裝置連接后，外部抽氣清 掃裝置可以通過吸附圓孔103將所述機(jī)臺(tái)上的殘余雜質(zhì)吸除。進(jìn)一步的，所述齒輪組105包括互相嚙合的小齒輪105b和大齒輪105a，所述小 齒輪105b的軸心與所述電動(dòng)馬達(dá)107的輸出軸相連，所述大齒輪105a固定套在所述清洗 柄101上。較佳的，所述擦拭材料為纖維摩擦材料。所述纖維摩擦材料可以為石棉纖維或 海泡石或其他等。在清洗柄101自身旋轉(zhuǎn)過程中，所述纖維摩擦材料可以有效將機(jī)臺(tái)上 的殘余雜質(zhì)擦離機(jī)臺(tái)，并且纖維摩擦材料為常見材料，成本低廉，可以定期更換。本實(shí)用新型一實(shí)施例中所述用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置的使用方法為將所 述電動(dòng)馬達(dá)107接外部電源后開啟電動(dòng)馬達(dá)107，操作人員持裝置把手109，將清洗柄101 帶有吸附圓孔103的部分貼近離子注入機(jī)臺(tái)圓盤局部的位置需要清洗的部分進(jìn)行來回擦 拭，并通過外部抽氣清掃裝置將殘留雜質(zhì)吸除。綜上所述，本實(shí)用新型中所述清洗柄在所述電動(dòng)馬達(dá)的帶動(dòng)下進(jìn)行自身旋轉(zhuǎn)，同時(shí)所述清洗柄的表面套有擦拭材料，能夠進(jìn)行摩擦，所述清洗柄上設(shè)有吸附圓孔，通 過所述清洗柄內(nèi)部的空腔接外部抽氣裝置，能夠吸除雜質(zhì)，從而達(dá)到對(duì)離子注入機(jī)臺(tái)圓 盤上熱傳導(dǎo)臺(tái)周圍殘余雜質(zhì)徹底清洗的目的，并且所述清洗裝置操作簡(jiǎn)便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單， 成本低廉，可持續(xù)使用。 雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任 何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許 的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，其特征在于，包括裝置把手，與所述裝置把 手固定相連的電動(dòng)馬達(dá)，與所述電動(dòng)馬達(dá)的輸出軸相連的齒輪組，與所述齒輪組固定相 連的清洗柄，所述清洗柄內(nèi)部設(shè)有空腔，所述清洗柄的柄體設(shè)有多個(gè)吸附圓孔，所述清 洗柄的表面套有擦拭材料，所述清洗柄的尾端設(shè)有抽氣連接裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，其特征在于，所述電動(dòng)馬達(dá)由 外部電源供電。
3.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，其特征在于，所述抽氣連接裝 置與外部抽氣清掃裝置相連。
4.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，其特征在于，所述齒輪組包括 互相嚙合的小齒輪和大齒輪，所述小齒輪的軸心與所述電動(dòng)馬達(dá)的輸出軸相連，所述大 齒輪固定套在所述清洗柄上。
5.如權(quán)利要求1所述的用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，其特征在于，所述擦拭材料為 纖維摩擦材料。
6.如權(quán)利要求5所述的用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，其特征在于，所述纖維摩擦材 料為石棉纖維或海泡石。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于離子注入機(jī)臺(tái)的清洗裝置，包括裝置把手，與所述裝置把手固定相連的電動(dòng)馬達(dá)，與所述電動(dòng)馬達(dá)輸出軸相連的齒輪組，與所述齒輪組固定相連清洗柄，所述清洗柄內(nèi)部設(shè)有空腔，柄體設(shè)有多個(gè)吸附圓孔，所述清洗柄的表面套有擦拭材料，所述清洗柄的尾端設(shè)有抽氣連接裝置。所述清洗裝置能對(duì)離子注入機(jī)臺(tái)圓盤局部的殘余雜質(zhì)進(jìn)行徹底清洗，并且所述清洗裝置操作簡(jiǎn)便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，可持續(xù)使用。
文檔編號(hào)B08B7/04GK201799434SQ20102026131
公開日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2010年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月16日
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