專利名稱：一種快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種清潔裝置，特別涉及一種針對快速熱處理機(jī)臺反射面板的清
潔裝置。
背景技術(shù)：
快速熱處理機(jī)臺的探測頭和反射面板用于探測腔室內(nèi)晶圓表面的溫度，采用光感原理對晶圓表面進(jìn)行探測。快速熱處理機(jī)臺進(jìn)行性能維護(hù)的時候，涉及對探針頭和反射面板的清洗，通常使用含50%異丙醇的清潔布對反射面板的表面順時針進(jìn)行擦拭。探測頭的位置處于反射面板的中間，由七個探測頭組成分別檢測晶圓的七個方位點，由于探測頭表面是鑲嵌在反射面板的表面，在擦拭反射面板表面的同時需要對探測頭進(jìn)行特別的擦拭， 因為探測頭的潔凈與否關(guān)系到監(jiān)測溫度的準(zhǔn)確性。在進(jìn)行清洗的過程，使用力度需要適中，過重容易造成反射面板劃傷，過輕容易使反射面板表面清潔度不夠。探測頭的擦拭和反射面板是一樣的，在擦拭反射面板的同時也對探測頭進(jìn)行清洗。但是探測頭表面是水晶制成，容易存留污跡，所以在清洗過程中需要著重對待。另外，如果擦拭不均勻，容易使反射面板的表面造成污染，影響下次的溫度測試結(jié)
^ ο

實用新型內(nèi)容本實用新型是為解決反射面板表面以及探測頭采用清潔布手動清洗引起力度把握不準(zhǔn)和擦拭不均勻的缺陷，其目的在于提出一種快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置， 反射面板由固定環(huán)固定在快速熱處理機(jī)臺上，該清潔裝置包括外盤與內(nèi)盤，該外盤與固定環(huán)匹配，該外盤通過外盤上的第一定位銷固定在固定環(huán)上；內(nèi)盤與反射面板匹配，內(nèi)盤的表面包裹清潔布，內(nèi)盤與外盤活動連接，內(nèi)盤與外盤之間設(shè)有第二定位銷。優(yōu)選地，該清潔布設(shè)有孔洞，清潔頭穿過孔洞安置在該孔洞處，該清潔頭的位置與反射面板上分布的探測頭的位置對應(yīng)。優(yōu)選地，該清潔頭的大小規(guī)格比探測頭大。優(yōu)選地，清潔布和清潔頭的材料采用高分子吸水材料。優(yōu)選地，內(nèi)盤內(nèi)部的底盤上固定電機(jī)，該電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上安裝有第一齒輪，該內(nèi)盤內(nèi)部還包括齒輪組，該齒輪組的輸入端與第一齒輪銜接。優(yōu)選地，該齒輪組中的各個齒輪相互銜接，并且該齒輪組的輸出端固定連接桿的一端，該連接桿的另一端安裝清潔頭。優(yōu)選地，第一定位銷分布于外盤下端邊緣。 優(yōu)選地，該內(nèi)盤與外盤通過軌道和滾珠活動連接。優(yōu)選地，遠(yuǎn)離反射面板的內(nèi)盤表面安裝有手柄，該手柄靠近內(nèi)盤的邊緣。根據(jù)該快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，旋轉(zhuǎn)手柄帶動內(nèi)盤轉(zhuǎn)動使安裝在內(nèi)盤表面的清潔布對反射面板的表面進(jìn)行順時針擦拭，力度把握均勻。
3[0014]進(jìn)一步地，該清潔裝置的清潔布還安置清潔頭，該清潔頭的位置與反射面板上分布的探測頭對應(yīng)。發(fā)動電機(jī)帶動齒輪使清潔頭旋轉(zhuǎn)起來，充分擦拭探測頭的表面。

參照附圖閱讀了本實用新型的具體實施方式
以后，將會更清楚地了解本實用新型的各個方面。其中，圖Ia為快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ib為快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ic為快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置仰視結(jié)構(gòu)示意圖；圖加為使用快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)前后的檢測時間對比表格；以及圖2b為使用快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)前后的檢測成功率對比表格。
具體實施方式
下面參照附圖，對本實用新型的具體實施方式
作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。在整個描述中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的部件。本實用新型提供的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，該裝置可以分別對反射面板和探測頭進(jìn)行清潔工作。既可以旋轉(zhuǎn)手柄對反射面板的表面進(jìn)行順時針擦拭，同時可以由電機(jī)帶動齒輪旋轉(zhuǎn)清潔頭，使清潔頭充分擦拭探測頭的表面。解決了反射面板表面以及探測頭采用潔凈布手動清洗引起力度把握不準(zhǔn)和擦拭不均勻的缺陷。該快速熱處理機(jī)臺反射面板由固定環(huán)固定在快速熱處理機(jī)臺上，圖Ia為快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ib為快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖Ic為快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置仰視結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖la，圖Ib以及圖lc，該快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置100包括外盤101與內(nèi)盤 102，該外盤101與固定環(huán)匹配，該外盤101通過外盤101上的第一定位銷107固定在固定環(huán)上；內(nèi)盤102與反射面板匹配，內(nèi)盤102的表面包裹清潔布，內(nèi)盤102與外盤101活動連接，內(nèi)盤102與外盤101之間設(shè)有第二定位銷108。第一定位銷107分布于外盤101下端邊緣。在本實施例中，該內(nèi)盤101與外盤102通過軌道110和滾珠111活動連接。遠(yuǎn)離反射面板的內(nèi)盤101表面安裝有手柄103，該手柄103靠近內(nèi)盤101的邊緣。清潔布設(shè)有孔洞，清潔頭109穿過孔洞安置在該孔洞處，該清潔頭109的位置與反射面板上分布的探測頭的位置對應(yīng)，并且清潔頭109的大小規(guī)格比探測頭大，便于對探測頭的清潔。清潔布和清潔頭109的材料采用高分子吸水材料。清潔布與清潔頭109隨時可以更換，省時省力。在本實施例中，高分子吸水材料為棉質(zhì)材料。內(nèi)盤102內(nèi)部的底盤上固定電機(jī)104，該電機(jī)104的轉(zhuǎn)軸112上安裝有第一齒輪 105，內(nèi)盤102內(nèi)部還包括齒輪組106，該齒輪組106的輸入端與第一齒輪105銜接。齒輪組106中的各個齒輪互相銜接，并且該齒輪組106的輸出端固定連接桿113的一端，，該連接桿113的另一端安裝清潔頭109。[0027]快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置100的第一定位銷107可以將外盤101固定在腔室中，內(nèi)盤102與反射面板接觸，內(nèi)盤102可以通過操作手柄103使內(nèi)盤102沿軌道 110進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，內(nèi)盤102表面包裹的清潔布對整個反射面板進(jìn)行擦拭。當(dāng)需要對分布在反射面板的探測頭進(jìn)行局部專門擦拭時，可以通過內(nèi)盤102和外盤101的第二定位削108，鎖住兩盤，啟動電機(jī)104，齒輪組106其中的一個齒輪與該第一齒輪105銜接，該齒輪組106的各個齒輪間相互銜接，在電機(jī)104的啟動下，第一齒輪105圍繞轉(zhuǎn)軸112轉(zhuǎn)動，從而帶動整個齒輪組106運作，使與齒輪組106的齒輪連接的連接桿109旋轉(zhuǎn)，帶動連接桿109上的清潔頭109旋轉(zhuǎn)對探測頭進(jìn)行擦拭。使用快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置100時，采用清潔布和清潔頭109的同時需配合使用50%異丙醇。該快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置100既可以對反射面板的表面進(jìn)行力度均勻的擦拭，又可以局部對分布在反射面板表面的探測頭進(jìn)行專門清潔。對反射面板的表面進(jìn)行擦拭時，旋轉(zhuǎn)手柄103帶動內(nèi)盤102轉(zhuǎn)動使包裹在內(nèi)盤102表面的清潔布對反射面板的整個表面進(jìn)行擦拭，當(dāng)需要對探測頭進(jìn)行專門擦拭時，電機(jī)104帶動齒輪旋轉(zhuǎn)連接桿 113，使連接桿113 —端安裝的清潔頭109充分擦拭探測頭的表面，完成對探測頭進(jìn)行的特別擦拭。圖加為使用快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)前后的檢測時間對比表格。參照圖加，分別對四臺機(jī)臺進(jìn)行檢測，使用該快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置100進(jìn)行性能維護(hù)所需的時間更短，大大提高了工作效率。圖2b為使用快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)前后的檢測成功率對比表格。參照圖2b，從2009年8月至2009年12月分別對四臺機(jī)臺進(jìn)行檢測，只有使用了本實用新型的清潔裝置進(jìn)行性能維護(hù)的機(jī)臺成功率每月均達(dá)100%，而其它三臺機(jī)臺均沒有每月都實現(xiàn)成功率100%。使用了本實用新型的清潔裝置有利于性能維護(hù)。上文中，參照附圖描述了本實用新型的具體實施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本實用新型的精神和范圍的情況下，還可以對本實用新型的具體實施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本實用新型權(quán)利要求書所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，所述反射面板由固定環(huán)固定在所述快速熱處理機(jī)臺上，所述清潔裝置包括外盤與內(nèi)盤，其特征在于，所述外盤與固定環(huán)匹配，所述外盤通過外盤上的第一定位銷固定在固定環(huán)上；所述內(nèi)盤與反射面板匹配，所述內(nèi)盤的表面包裹清潔布，所述內(nèi)盤與所述外盤活動連接，所述內(nèi)盤與所述外盤之間設(shè)有第二定位銷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述清潔布設(shè)有孔洞，清潔頭穿過所述孔洞安置在所述孔洞處，所述清潔頭的位置與所述反射面板上分布的探測頭的位置對應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述清潔頭的大小規(guī)格比所述探測頭大。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述清潔布和所述清潔頭的材料采用高分子吸水材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述內(nèi)盤內(nèi)部的底盤上固定電機(jī)，所述電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上安裝有第一齒輪，所述內(nèi)盤內(nèi)部還包括齒輪組，所述齒輪組的輸入端與所述第一齒輪銜接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述齒輪組中的各個齒輪相互銜接，并且所述齒輪組的輸出端固定連接桿的一端，所述連接桿的另一端安裝清潔頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述第一定位銷分布于外盤下端邊緣。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，其特征在于，所述內(nèi)盤與所述外盤通過軌道和滾珠活動連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，其特征在于，遠(yuǎn)離反射面板的內(nèi)盤表面安裝有手柄，所述手柄靠近所述內(nèi)盤的邊緣。
專利摘要本實用新型提供了一種快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置，反射面板由固定環(huán)固定在快速熱處理機(jī)臺上，該清潔裝置包括外盤與內(nèi)盤，外盤與固定環(huán)匹配，外盤通過外盤上的第一定位銷固定在固定環(huán)上；內(nèi)盤與反射面板匹配，內(nèi)盤的表面包裹清潔布，內(nèi)盤與外盤活動連接，內(nèi)盤與外盤之間設(shè)有第二定位銷。該清潔裝置可以分別對反射面板和分布在反射面板上的探測頭進(jìn)行清潔工作，清潔的力度均勻。
文檔編號B08B1/04GK201997505SQ20102026601
公開日2011年10月5日 申請日期2010年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月21日
發(fā)明者許鹖 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司