專(zhuān)利名稱：一種真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及磁約束聚變裝置領(lǐng)域，磁約束聚變裝置運(yùn)行過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一些雜質(zhì)， 很容易沉積在第一鏡表面形成塵埃雜質(zhì)層，影響光學(xué)診斷設(shè)備正常工作。本發(fā)明尤其涉及一種托卡馬克第一鏡表面沉積的塵埃雜質(zhì)層的快速去除，恢復(fù)鏡面的反射率，且不引進(jìn)新的雜質(zhì)的方法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
在磁約束聚變研究中，紫外線、可見(jiàn)光、紅外線等診斷系統(tǒng)都將通過(guò)第一鏡觀測(cè)等離子體，這些等離子體診斷所用的反射鏡必須安裝在真空室內(nèi)，直接面對(duì)著等離子體。光學(xué)診斷需要鏡面擁有較為廣闊的視角，這樣第一鏡不得不廣角度地暴露給等離子體。在ITER 中，第一鏡將受到高達(dá)500KW · m_2的紫外線和χ射線輻射、8W · cm_3的中子輻射以及伽馬射線和粒子流的作用。另外它還遭受到來(lái)自偏濾器和第一壁材料的沉積污染，造成其光學(xué)性能的下降，從而導(dǎo)致診斷工作參數(shù)的失實(shí)，嚴(yán)重時(shí)甚至導(dǎo)致整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)無(wú)法工作。在 ITER的設(shè)計(jì)中第一鏡要求在各種輻射下保持良好的光學(xué)性能，即仍有較高的反射率，能較準(zhǔn)確地傳達(dá)工作參數(shù)，因此第一鏡受到污染后清洗問(wèn)題就成為了當(dāng)前ITER急需解決的課題之一。從高效清除第一鏡表面塵埃雜質(zhì)層的角度出發(fā)，我們需要快速便捷清洗方法，同時(shí)不引進(jìn)新的雜質(zhì)，并且能夠保證清洗處理后的第一鏡樣品光學(xué)參數(shù)合格。傳統(tǒng)的清洗方法主要有機(jī)械清洗法、化學(xué)清洗法、超聲波清洗法等。工業(yè)上這些清洗方法主要是用來(lái)清除以銹跡和油脂為主的混有顆粒的表面污染物。但是在磁約束核聚變實(shí)驗(yàn)中受到受污染的第一鏡清洗過(guò)程中，這些清洗技術(shù)的應(yīng)用受到很大的限制。機(jī)械清洗法清洗過(guò)程中很容易在第一鏡樣品表面產(chǎn)生劃痕，通過(guò)原子力顯微鏡等手段可以觀察到這些刮痕深度可能達(dá)幾十納米，這種傷害顯而易見(jiàn)是不可恢復(fù)的，同時(shí)機(jī)械清洗法對(duì)于某些特殊形狀的第一鏡樣品清洗效率更不理想。化學(xué)清洗法和超聲波清洗法或多或少會(huì)引入新的雜質(zhì)，并且清洗效果并不理想，由于方法自身的局限性這兩種清洗方法在清洗過(guò)程中并不是局部可控的。核聚變裝置運(yùn)行時(shí)腔內(nèi)溫度非常高，化學(xué)清洗法和超聲波清洗法所引入的雜質(zhì)及其容易蒸發(fā)， 給整個(gè)可控核聚變裝置放電腔室引入新的雜質(zhì)，使本來(lái)就較為復(fù)雜的光學(xué)分析變得更加困難，嚴(yán)重的話有可能會(huì)影響整個(gè)裝置的運(yùn)行。激光技術(shù)自20世紀(jì)60年代問(wèn)世以來(lái)，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于科學(xué)、文教、醫(yī)療衛(wèi)生、工農(nóng)業(yè)、國(guó)防等領(lǐng)域。從20世紀(jì)80年代起激光清洗理論模型研究開(kāi)始進(jìn)入人們視野，隨著時(shí)代的發(fā)展在技術(shù)應(yīng)用方面也取得了一些令人矚目的進(jìn)步。激光消融技術(shù)具有傳統(tǒng)清洗技術(shù)所無(wú)法比擬的優(yōu)勢(shì)
1)激光清洗是非接觸式的，不會(huì)在第一鏡表面產(chǎn)生機(jī)械劃痕。2)激光清洗可以選擇性地清洗第一鏡表面的污物，控制好激光能量就可以實(shí)現(xiàn)只清除塵埃雜質(zhì)層，對(duì)第一鏡表面所鍍金屬不會(huì)產(chǎn)生傷害。3)能有效清除微米級(jí)及更小尺寸的污染微粒。
4)不需要化學(xué)溶液，因此沒(méi)有化學(xué)清洗后的殘留物，不會(huì)對(duì)放電腔室產(chǎn)生污染。5)清除的廢料基本上都是固體粉末、體積小、易于收集。現(xiàn)如今，國(guó)內(nèi)外已有多篇有關(guān)激光清洗技術(shù)的相關(guān)報(bào)道，西班牙專(zhuān)利ES2237231A1 將激光清洗應(yīng)用到建筑材料的油漆去除。日本專(zhuān)利JP2004193267A采用脈沖激光清洗裝置作用于建筑物水泥表面，去除核電站和微量分析用的核輻射殘留。世界知識(shí)產(chǎn)權(quán)組織公布的W09007988A將激光清洗應(yīng)用在藝術(shù)品和文物保護(hù)方面。歐洲專(zhuān)利EP0792731A 2 用激光清洗硫化模具，用于橡膠制品尤其汽車(chē)輪胎模具，不必解體即可清洗。日本專(zhuān)利 JP2002159926A則是側(cè)重于應(yīng)用在對(duì)半導(dǎo)體封裝模具的清洗。這些應(yīng)用在產(chǎn)業(yè)上取得的成效是其它清洗方式所無(wú)法替代的。同時(shí)國(guó)內(nèi)也有相關(guān)專(zhuān)利出現(xiàn)，例如《水浴激光消融和激光加工的方法》專(zhuān)利號(hào)031四608，《高壓水浴激光消融和加工方法》專(zhuān)利號(hào)200310108772，用于集成電路等微電子基板清洗的專(zhuān)利《瓦級(jí)全固態(tài)紫外激光清洗機(jī)及激光清洗方法》專(zhuān)利號(hào)200810056852，以及針對(duì)道路、廣告牌等物體表面的污垢進(jìn)行有效清除的專(zhuān)利《便攜式激光清洗系統(tǒng)》專(zhuān)利號(hào)20061006M07等。本專(zhuān)利采用激光消融的方法清除第一鏡上的塵埃雜質(zhì)沉積層，通過(guò)控制激光器的輸出能量，使作用于第一鏡樣品表面的準(zhǔn)分子激光束的能量密度處于雜質(zhì)沉積層的清洗閾值與第一鏡表面金屬的損傷閾值之間，清除雜質(zhì)的同時(shí)不會(huì)傷到第一鏡表面金屬材料。經(jīng)研究，人們普遍認(rèn)為清洗機(jī)制已知的有4種，熱膨脹、燒蝕、光化學(xué)分解、能量傳輸介質(zhì)爆發(fā)性蒸騰，其中熱膨脹機(jī)制研究較為透徹也和實(shí)驗(yàn)符合較好。在激光與塵埃雜質(zhì)層相互作用過(guò)程中，不同頻率的激光，清除效果不盡相同，當(dāng)清洗激光頻率越大，單光子能量就越高， 清除效率更高。波長(zhǎng)為193nm的激光與波長(zhǎng)為355nm、532nm、1064nm的激光相比，激光與材料相互作用過(guò)程中燒蝕效應(yīng)更小，對(duì)第一鏡金屬表面的熱灼傷效應(yīng)更小。用上述四個(gè)波長(zhǎng)的激光做消融實(shí)驗(yàn)，在其他實(shí)驗(yàn)參數(shù)相同的條件下，可以發(fā)現(xiàn)193nm激光消融后第一鏡樣品表面均勻性最好，塵埃清洗的最干凈，效果最理想。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提出一種真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法及裝置以取代傳統(tǒng)第一鏡清洗方法的真空紫外激光去除第一鏡表面塵埃的方法及裝置。采用的技術(shù)方案提供一種真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法，包括以下步驟
激光束發(fā)射步驟激光器電源及計(jì)算機(jī)控制準(zhǔn)分子激光器以特定的功率密度、頻率輸出激光束，所述激光束經(jīng)石英窗口進(jìn)入充有氮?dú)獾拿芊夤馇粋鞑?，然后從密封光腔另一?cè)石英窗口射出，經(jīng)可調(diào)光闌、真空腔室的石英窗口射入真空腔室，最后通過(guò)聚焦透鏡聚焦直接加載于安裝在工作臺(tái)上的第一鏡樣品的塵埃層表面；
吹送保護(hù)氣體步驟與第一步同步，計(jì)算機(jī)通過(guò)質(zhì)量流量計(jì)控制模塊控制吹氣管吹氣， 控制激光與第一鏡樣品表面塵埃雜質(zhì)層相互作用所產(chǎn)生的等離子體羽形狀，使等離子體羽向側(cè)方傾斜。其中，所述真空紫外激光清洗第一鏡的方法進(jìn)一步包括
檢測(cè)反射率步驟每個(gè)清洗脈沖輻照后，檢測(cè)激光器發(fā)出一束脈沖激光，經(jīng)第一鏡清洗位置反射給光電轉(zhuǎn)換模塊轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，供分析電路換算出真空紫外激光脈沖清洗后的第一鏡反射率；如果反射率小于設(shè)定閾值，即未達(dá)到清洗要求，則繼續(xù)加載真空紫外激光脈沖，如果反射率大于于設(shè)定閾值，即達(dá)到清洗要求，則分析電路將合格信號(hào)反饋給計(jì)算機(jī)， 計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)控制工作臺(tái)夾帶著第一鏡樣品做進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，到達(dá)新的位置進(jìn)行清洗工作。其中，所述真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法進(jìn)一步包括
檢測(cè)進(jìn)給步驟當(dāng)工作臺(tái)夾帶著第一鏡樣品向左做橫向運(yùn)動(dòng)使真空紫外激光作用點(diǎn)到達(dá)樣品右側(cè)邊框處時(shí)，檢測(cè)激光束經(jīng)夾具表面反射后不能入射到光電轉(zhuǎn)換模塊中，光電轉(zhuǎn)換模塊輸出電流值為零，這時(shí)分析電路根據(jù)該信號(hào)判斷出第一鏡樣品已經(jīng)運(yùn)到邊框位置， 同時(shí)將信號(hào)反饋給計(jì)算機(jī)，相應(yīng)計(jì)算控制系統(tǒng)會(huì)發(fā)出指令控制可調(diào)光闌關(guān)閉，清洗激光束被暫時(shí)阻斷，工作臺(tái)帶動(dòng)第一鏡樣品上移一個(gè)光斑直徑的距離，并根據(jù)指令并使樣品向右移動(dòng)，檢測(cè)系統(tǒng)繼續(xù)工作，探測(cè)第一鏡樣品表面的反光率，直至清洗激光作用點(diǎn)位于第一鏡樣品左邊框處時(shí)，檢測(cè)系統(tǒng)輸出的激光會(huì)照射在樣品夾具上，此時(shí)光電探測(cè)模塊探測(cè)不到光信號(hào)，輸出信號(hào)變?yōu)榱?，控制系統(tǒng)根據(jù)這一信息斷定第一鏡樣品已經(jīng)運(yùn)動(dòng)到合適的位置， 計(jì)算機(jī)發(fā)出指令控制工作臺(tái)帶動(dòng)第一鏡樣品左移一個(gè)光斑直徑的距離后重新開(kāi)啟可調(diào)光闌開(kāi)始新一行的清洗工作，重復(fù)上述過(guò)程逐行清洗，當(dāng)清洗完最后一個(gè)點(diǎn)，進(jìn)給系統(tǒng)帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊輸出電信號(hào)為零，進(jìn)給系統(tǒng)根據(jù)程序帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊輸出的電信號(hào)仍然為零，計(jì)算機(jī)根據(jù)上述連續(xù)為零的檢測(cè)信號(hào)來(lái)斷定整個(gè)清洗任務(wù)的完成，然后控制系統(tǒng)控制其他系統(tǒng)停止工作。其中，所述準(zhǔn)分子激光器輸出的激光束波長(zhǎng)為193nm。本發(fā)明另提供了一種真空紫外激光清洗第一鏡的裝置，所述真空紫外激光清洗第一鏡的裝置包括控制系統(tǒng)、清洗激光系統(tǒng)、吹氣系統(tǒng)和機(jī)架；控制系統(tǒng)分別與清洗激光系統(tǒng)、吹氣系統(tǒng)相連接，根據(jù)時(shí)序指令，控制清洗激光系統(tǒng)、吹氣系統(tǒng)按一定時(shí)序協(xié)同工作。所述控制系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)、質(zhì)量流量計(jì)控制模塊、激光控制系統(tǒng)組成；其作用發(fā)出控制時(shí)序指令協(xié)調(diào)各部分系統(tǒng)之間的正常運(yùn)行。所述吹氣系統(tǒng)由氣瓶、質(zhì)量流量計(jì)、吹氣管組成，控制系統(tǒng)發(fā)出時(shí)序指令控制吹氣系統(tǒng)以一定流速向激光與材料相互作用區(qū)吹入保護(hù)氣體，控制激光清洗第一鏡塵埃層的溫度、雜質(zhì)等離子體羽的方向，保護(hù)第一鏡樣品，同時(shí)防止激光與材料相互作用過(guò)程中蒸發(fā)塵埃物質(zhì)再沉積所造成的二次污染。所述清洗激光系統(tǒng)由清洗激光器連接入射激光束光路而成，清洗激光器為氟化氬氣體準(zhǔn)分子激光器，充滿氮?dú)獾拿芊夤馇粚?zhǔn)分子激光器的輸出端口與真空腔室的激光輸入端口相連接。 所述支架用于將上述各系統(tǒng)連接起來(lái)。其中，所述真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的裝置進(jìn)一步包括樣品進(jìn)給系統(tǒng)。所述樣品進(jìn)給系統(tǒng)由驅(qū)動(dòng)模塊、導(dǎo)線、真空電極法蘭、真空導(dǎo)線、帶進(jìn)給系統(tǒng)的工作臺(tái)及第一鏡樣品組成；帶進(jìn)給系統(tǒng)的工作臺(tái)由二維步進(jìn)電機(jī)平臺(tái)、樣品夾具，支架，清洗雜質(zhì)收集裝置所組成；第一鏡樣品通過(guò)樣品夾具安裝在工作臺(tái)上的二維步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)平臺(tái)上，夾具的表面與第一鏡樣品表面存在一定角度，供檢測(cè)分析所用。其中，所述真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的裝置進(jìn)一步包括檢測(cè)系統(tǒng)。所述檢測(cè)系統(tǒng)由檢測(cè)激光器、光電轉(zhuǎn)換器、真空電極法蘭、分析電路組成；檢測(cè)激光器根據(jù)控制時(shí)序，在兩次清洗激光脈沖中間空閑時(shí)間內(nèi)發(fā)出激光脈沖，探測(cè)清洗樣品表面反光率，探測(cè)激光束經(jīng)過(guò)第一鏡樣品表面后反射到光電轉(zhuǎn)換器中，轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，通過(guò)真空電極法蘭傳入分析電路，通過(guò)換算后得到準(zhǔn)分子激光脈沖清洗后的第一鏡樣品反光率信息；控制系統(tǒng)可以根據(jù)這個(gè)信息調(diào)整清洗激光束參數(shù)，同時(shí)控制系統(tǒng)根據(jù)反光率信息判斷樣品進(jìn)給系統(tǒng)做進(jìn)給運(yùn)動(dòng)時(shí)是否到達(dá)樣品邊框，當(dāng)激光束清洗完水平線最后一個(gè)點(diǎn)后，進(jìn)給系統(tǒng)帶動(dòng)第一鏡樣品繼續(xù)向左移動(dòng)，這樣激光光斑就會(huì)照射到樣品夾具上，此時(shí)沒(méi)有激光信號(hào)能夠反射到光電轉(zhuǎn)換器上，采集到的反射率信號(hào)降為零，以此判斷激光束已經(jīng)掃描到樣品邊框，控制系統(tǒng)發(fā)出指令使樣品進(jìn)給系統(tǒng)夾帶第一鏡樣品進(jìn)行下一行的掃描，當(dāng)清洗完最后一個(gè)點(diǎn)，進(jìn)給系統(tǒng)帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊輸出電信號(hào)為零，進(jìn)給系統(tǒng)根據(jù)程序帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊輸出的電信號(hào)仍然為零，計(jì)算機(jī)根據(jù)上述連續(xù)為零的檢測(cè)信號(hào)來(lái)斷定整個(gè)清洗任務(wù)的完成，然后控制系統(tǒng)控制其他系統(tǒng)停止工作。其中，所述準(zhǔn)分子激光器輸出的激光束波長(zhǎng)為193nm。本發(fā)明與現(xiàn)有的托卡馬克第一鏡清洗方法相比，有下列優(yōu)點(diǎn)
(1)自動(dòng)化非接觸式清除方式，高效快速，與第一鏡表面沒(méi)有任何接觸，在清洗過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生表面劃痕。(2)激光與塵埃雜質(zhì)層之間的相互作用可以精確控制，通過(guò)程序控制進(jìn)給系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)路線可以快速實(shí)現(xiàn)特殊形狀第一鏡樣品的清洗工作。(3)激光作用機(jī)理明顯，簡(jiǎn)潔。采用真空紫外激光作為清洗光源，光子可直接打破分子或晶格之間的結(jié)合鍵，通過(guò)熱膨脹、燒蝕、光化學(xué)分解、等離子體化等作用實(shí)現(xiàn)雜質(zhì)清除。(4)不需要預(yù)處理過(guò)程，清洗過(guò)程不引入新的雜質(zhì)。第一鏡樣品作為可控核聚變?cè)O(shè)備診斷裝置的一部分，這種清洗方式十分利于第一鏡的重復(fù)利用。(5)清除的廢料基本上都是固體粉末、體積小、易于收集，方便自動(dòng)化設(shè)備運(yùn)行。


圖1本發(fā)明具體實(shí)施例真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖2本發(fā)明具體實(shí)施例真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的裝置的進(jìn)給系統(tǒng)工作臺(tái)示意圖。圖3本發(fā)明具體實(shí)施例真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法第一鏡樣品表面塵埃層薄膜吸收超過(guò)其消融剝離閾值能量示意圖。圖4本發(fā)明具體實(shí)施例真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法塵埃層薄膜吸收激光能量進(jìn)行光化學(xué)分解和熱分解階段示意圖。圖5本發(fā)明具體實(shí)施例真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法激光消融產(chǎn)生的雜質(zhì)等離子體噴射階段示意圖。圖6本發(fā)明具體實(shí)施例真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法用準(zhǔn)分子激光束清洗后第一鏡樣品表面的SEM照片(左上部分為清洗后，右下部分為未處理)
附圖標(biāo)識(shí)1、真空腔室；2、真空泵；3、準(zhǔn)分子激光器；4、密封光腔；5、6、8、石英窗口 ；7、可調(diào)光闌；9、聚焦透鏡；10、聚焦光束；11、第一鏡樣品；12、工作臺(tái)；13、吹氣管；14、轉(zhuǎn)接法蘭；15、質(zhì)量流量計(jì)；16氣瓶；17、真空電極法蘭；18、驅(qū)動(dòng)模塊；19、質(zhì)量流量計(jì)控制模塊；20、計(jì)算機(jī)；21、檢測(cè)激光器；22、光電轉(zhuǎn)換模塊；23、真空電極法蘭；24、分析電路；25、 第一鏡樣品表面塵埃層；26、第一鏡樣品基底；27、等離子體羽；28、吹氣管；29、樣品夾具； 30、支架；31、二維步進(jìn)電機(jī)；32、樣品夾具。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明的原理如下
該方法的特征在于以連續(xù)加載的脈沖真空紫外激光束通過(guò)入射激光束光路直接加載于第一鏡雜質(zhì)塵埃層表面，通過(guò)熱膨脹、燒蝕、光化學(xué)分解、能量傳輸介質(zhì)爆發(fā)性蒸騰、等離子體化等作用，對(duì)第一鏡表面的塵埃沉積層進(jìn)行剝蝕加工，使第一鏡表面的塵埃顆粒清洗干凈，徹底恢復(fù)第一鏡的工作參數(shù)。同時(shí)，進(jìn)給系統(tǒng)夾帶著清洗樣品按著“E型”路線做進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，這樣在入射激光束固定的條件下，就可以完成對(duì)整個(gè)第一鏡樣品的清洗工作。該方法涉及的裝置由控制系統(tǒng)、清洗激光系統(tǒng)、樣品進(jìn)給系統(tǒng)、吹氣系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)和機(jī)架組成?？刂葡到y(tǒng)分別與樣品進(jìn)給系統(tǒng)、清洗激光系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)、吹氣系統(tǒng)相連接， 根據(jù)時(shí)序指令，控制上述四個(gè)系統(tǒng)按一定時(shí)序協(xié)同工作。清洗激光系統(tǒng)由清洗激光器連接入射激光束光路而成，清洗激光器為氟化氬氣體準(zhǔn)分子激光器，輸出激光波長(zhǎng)為193nm，由于波長(zhǎng)為193nm的激光在空氣中傳播能量損失較大，所以我們用充滿氮?dú)獾拿芊夤馇粚?zhǔn)分子激光器的輸出端口與真空腔激光輸入端口相連接，最大限度降低真空紫外激光束的能量損失。樣品進(jìn)給系統(tǒng)由夾具、安有二維步進(jìn)電機(jī)的可移動(dòng)平臺(tái)組成，將所需要清洗的第一鏡樣品安裝在夾具上，位于二維步進(jìn)電機(jī)前方。吹氣系統(tǒng)由氣瓶、質(zhì)量流量計(jì)、吹氣管組成， 通過(guò)向激光與材料相互作用區(qū)域吹入保護(hù)氣體來(lái)控制樣品溫度、等離子體羽的噴發(fā)形狀， 達(dá)到保護(hù)第一鏡樣品的同時(shí)防止作用蒸發(fā)塵埃物質(zhì)再沉積對(duì)以清洗區(qū)域所造成的二次污染的目的。檢測(cè)系統(tǒng)包括檢測(cè)用的小功率激光器，光電轉(zhuǎn)化裝置，信號(hào)分析裝置，檢測(cè)激光器發(fā)出激光束照射在剛剛處理過(guò)的第一鏡樣品表面反射到光電轉(zhuǎn)換裝置探頭上并轉(zhuǎn)為電信號(hào)，然后將電信號(hào)傳輸給信號(hào)分析裝置，換算出該位置的反射率信息反饋給控制系統(tǒng)。其工作過(guò)程控制系統(tǒng)控制準(zhǔn)分子激光器按著一定頻率和功率輸出激光脈沖，真空紫外激光束經(jīng)過(guò)光腔兩端石英玻璃窗口，可調(diào)光闌、真空腔室的石英窗口、聚焦透鏡等組成光路直接輻照第一鏡樣品表面，開(kāi)始進(jìn)行第一鏡塵埃層的清洗。同時(shí)吹氣系統(tǒng)按著控制系統(tǒng)發(fā)出的時(shí)序指令按特定方向、特定流速吹入保護(hù)氣體，使激光輻照塵埃層表面所產(chǎn)生的等離子體羽向一側(cè)傾斜，不會(huì)對(duì)已經(jīng)清洗干凈的樣品造成二次污染。兩次激光清洗脈沖中間空隙，檢測(cè)系統(tǒng)會(huì)測(cè)量該清洗點(diǎn)的反光率，如果達(dá)到要求，將信號(hào)反饋給控制系統(tǒng)控制進(jìn)給系統(tǒng)夾持第一鏡樣品按著一定運(yùn)動(dòng)路線移動(dòng)，清洗下一個(gè)位置的表面塵埃雜質(zhì)，直至整個(gè)第一鏡樣品清洗完畢。具體實(shí)施例如圖1所示，該方法所涉及的系統(tǒng)由清洗激光系統(tǒng)、樣品進(jìn)給系統(tǒng)、 吹氣系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和機(jī)架組成。其方法為氟化氬準(zhǔn)分子激光器3輸出的激光經(jīng)石英窗口 5進(jìn)入充有氮?dú)獾拿芊夤馇?傳播，避免準(zhǔn)分子激光束能量的耗散，然后從密封光腔另一側(cè)石英窗口 6射出，經(jīng)可調(diào)光闌7，真空腔室的石英窗口 8射入真空腔室1，最后通過(guò)聚焦透鏡9聚焦直接加載于安裝在工作臺(tái)12上的第一鏡樣品11的塵埃層表面。第一鏡樣品11表面在可控核聚變裝置運(yùn)行過(guò)程中已經(jīng)沉積了一層厚度大約1微米的塵埃雜質(zhì)層。激光器電源及計(jì)算機(jī)控20控制準(zhǔn)分子激光器3以特定的功率密度、頻率輸出激光束，同時(shí)計(jì)算機(jī)20通過(guò)質(zhì)量流量計(jì)控制模塊19來(lái)控制吹氣管13吹氣，控制激光與第一鏡樣品表面塵埃雜質(zhì)層相互作用所產(chǎn)生的等離子體羽形狀，使其向右下方傾斜，防止對(duì)激光作用點(diǎn)左上方的樣品表面造成二次污染。每個(gè)清洗脈沖輻照后，檢測(cè)激光器21都要發(fā)出一束脈沖激光，經(jīng)第一鏡清洗位置反射給光電轉(zhuǎn)換模塊22轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，供分析電路M換算出真空紫外激光脈沖清洗后的第一鏡反射率。如果反射率達(dá)不到要求，繼續(xù)加載真空紫外激光脈沖。如果達(dá)到清洗要求分析電路M將合格信號(hào)反饋給計(jì)算機(jī)20，計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)控制進(jìn)給系統(tǒng)的工作臺(tái)12夾帶著第一鏡樣品11做進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，到達(dá)新的位置進(jìn)行清洗工作。當(dāng)進(jìn)給系統(tǒng)工作臺(tái)12夾帶著第一鏡樣品11向左做橫向運(yùn)動(dòng)使真空紫外激光作用點(diǎn)到達(dá)樣品右側(cè)邊框處時(shí)，檢測(cè)激光束經(jīng)夾具表面反射后不能入射到光電轉(zhuǎn)換模塊22中，光電轉(zhuǎn)換模塊22輸出電流值為零，這時(shí)信號(hào)分析電路M根據(jù)該信號(hào)判斷出第一鏡樣品11已經(jīng)運(yùn)到邊框位置，同時(shí)將信號(hào)反饋給計(jì)算機(jī)20。相應(yīng)計(jì)算控制系統(tǒng)會(huì)發(fā)出指令控制可調(diào)光闌7關(guān)閉，清洗激光束被暫時(shí)阻斷。工作臺(tái)12帶動(dòng)樣品11上移一個(gè)光斑直徑的距離，并根據(jù)指令并使樣品向右移動(dòng)，檢測(cè)系統(tǒng)繼續(xù)工作，探測(cè)第一鏡樣品表面的反光率，直至清洗激光作用點(diǎn)位于第一鏡樣品11左邊框處時(shí)，檢測(cè)系統(tǒng)輸出的激光會(huì)照射在樣品夾具32上，此時(shí)光電探測(cè)模塊22探測(cè)不到光信號(hào)， 輸出信號(hào)變?yōu)榱?，控制系統(tǒng)根據(jù)這一信息斷定第一鏡樣品已經(jīng)運(yùn)動(dòng)到合適的位置。計(jì)算機(jī) 20發(fā)出指令控制工作臺(tái)12帶動(dòng)第一鏡樣品11左移一個(gè)光斑直徑的距離后重新開(kāi)啟可調(diào)光闌7開(kāi)始新一行的清洗工作。重復(fù)上述過(guò)程逐行清洗，當(dāng)清洗完最后一個(gè)點(diǎn)，進(jìn)給系統(tǒng)帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊22輸出電信號(hào)為零，進(jìn)給系統(tǒng)根據(jù)程序帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊22輸出的電信號(hào)仍然為零，計(jì)算機(jī)20根據(jù)這幾個(gè)連續(xù)為零的檢測(cè)信號(hào)來(lái)斷定整個(gè)清洗任務(wù)的完成，然后控制系統(tǒng)控制其他系統(tǒng)停止工作。樣品進(jìn)給系統(tǒng)由驅(qū)動(dòng)模塊18，導(dǎo)線，真空電極法蘭14，真空導(dǎo)線，帶進(jìn)給系統(tǒng)的工作臺(tái)12，樣品11所組成。帶進(jìn)給系統(tǒng)的工作臺(tái)12 (如圖2)是由二維步進(jìn)電機(jī)平臺(tái)31， 樣品夾具四、32，支架30，清洗雜質(zhì)收集裝置所組成。樣品11通過(guò)夾具四、32安裝在工作臺(tái)12上的二維步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)平臺(tái)上，夾具的表面與第一鏡樣品表面存在一定角度，供檢測(cè)分析所用。檢測(cè)系統(tǒng)由檢測(cè)激光器21，光電轉(zhuǎn)換器22，真空電極法蘭23，分析電路M所組成。檢測(cè)系統(tǒng)的主要功能是實(shí)時(shí)判斷該激光清洗點(diǎn)是否清洗干凈。檢測(cè)激光器21，根據(jù)控制時(shí)序，在兩次清洗激光脈沖中間空閑時(shí)間內(nèi)發(fā)出激光脈沖，探測(cè)清洗樣品表面反光率，探測(cè)激光發(fā)出的激光能量較低，不會(huì)對(duì)第一鏡樣品表面造成影響，探測(cè)激光束經(jīng)過(guò)樣品11表面后反射到光電轉(zhuǎn)換器22中，轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，通過(guò)真空電極法蘭23傳入信號(hào)分析電路24， 通過(guò)換算后得到準(zhǔn)分子激光脈沖清洗后的第一鏡樣品反光率信息?？刂葡到y(tǒng)可以根據(jù)這個(gè)信息調(diào)整清洗激光束參數(shù)，同時(shí)控制系統(tǒng)還可以根據(jù)這個(gè)信息判斷樣品進(jìn)給系統(tǒng)做進(jìn)給運(yùn)動(dòng)時(shí)是否到達(dá)樣品邊框，當(dāng)激光束清洗完水平線最后一個(gè)點(diǎn)后，進(jìn)給系統(tǒng)帶動(dòng)第一鏡樣品 11繼續(xù)向左移動(dòng)，這樣檢測(cè)激光器21所發(fā)出的檢測(cè)激光束就會(huì)照射到樣品夾具四上，此時(shí)沒(méi)有激光信號(hào)能夠反射到光電轉(zhuǎn)換器22上，所以采集到的反射率信號(hào)降為零，以此判斷激光束已經(jīng)掃描到樣品邊框，控制系統(tǒng)發(fā)出指令使樣品進(jìn)給系統(tǒng)夾帶樣品11進(jìn)行下一行的掃描。吹氣系統(tǒng)由氣瓶16、質(zhì)量流量計(jì)15、吹氣管13組成，控制系統(tǒng)發(fā)出時(shí)序指令控制吹氣系統(tǒng)以一定流速向激光與材料相互作用區(qū)吹入保護(hù)氣體，來(lái)控制激光清洗第一鏡塵埃層的溫度、雜質(zhì)等離子體羽的方向，來(lái)保護(hù)第一鏡樣品，同時(shí)防止激光與材料相互作用過(guò)程中蒸發(fā)塵埃物質(zhì)再沉積所造成的二次污染。控制系統(tǒng)，由計(jì)算機(jī)20、進(jìn)給系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)模塊18、質(zhì)量流量計(jì)控制模塊19、激光控制系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)中的分析電路M所組成。其作用發(fā)出控制時(shí)序指令協(xié)調(diào)各部分系統(tǒng)之間的正常運(yùn)行。支架用于將上述各系統(tǒng)連接起來(lái)，并起到固定支撐的作用。圖3-圖5為真空紫外激光對(duì)第一鏡表面塵埃層的清洗過(guò)程(消融機(jī)理)示意圖。 激光束與塵埃層相互作用過(guò)程是在瞬間完成的。由于氟化氬準(zhǔn)分子激光器發(fā)出193nm真空紫外激光對(duì)材料的熱灼燒效應(yīng)小，對(duì)周邊區(qū)域的影響更小，某種程度上昭示了真空紫外激光清洗技術(shù)的操控性好，精度高。圖3為第一鏡樣品塵埃雜質(zhì)層吸收超過(guò)其剝離閾值的能量階段，該能量并不會(huì)傷害到塵埃層下面的第一鏡表面金屬層。圖4為塵埃雜質(zhì)層吸收激光能量后，進(jìn)行熱分解、光化學(xué)分解、化學(xué)鍵斷裂、分解成“氣態(tài)”的粉末并電離的過(guò)程示意圖。圖5高溫的氣態(tài)粉末急劇膨脹，爆炸，形成等離子、噴射出雜質(zhì)層表面的過(guò)程示意圖。本發(fā)明，可以通過(guò)設(shè)置檢測(cè)系統(tǒng)反射率的達(dá)標(biāo)參數(shù)來(lái)調(diào)整清洗效果。如果所清洗的樣品外形較為規(guī)整，可以直接通過(guò)程序來(lái)規(guī)定進(jìn)給系統(tǒng)的行走路線來(lái)取代檢測(cè)系統(tǒng)判別清洗位置是否超出樣品邊框的步驟，快速完成清洗任務(wù)。控制系統(tǒng)的所有指令都是通過(guò)計(jì)算機(jī)程序自動(dòng)生成，通過(guò)輸出端口傳輸給其他系統(tǒng)的。圖6為通過(guò)SEM觀察到的真空紫外激光清洗效果，左上區(qū)域?yàn)榍逑春蟮牡谝荤R樣品，右下部分為未處理的塵埃雜質(zhì)層形貌。可以發(fā)現(xiàn)真空紫外激光處理后的第一鏡樣品上基本沒(méi)有任何雜質(zhì)殘留，露出了平整均勻的第一鏡金屬表面。右下部分顯示了塵埃雜質(zhì)層上分布著形貌各異的塵埃雜質(zhì)。以上內(nèi)容是結(jié)合優(yōu)選技術(shù)方案對(duì)本發(fā)明所做的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，不能認(rèn)定發(fā)明的具體實(shí)施僅限于這些說(shuō)明。對(duì)本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思的前提下，還可以做出簡(jiǎn)單的推演及替換，都應(yīng)當(dāng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法，包括以下步驟激光束發(fā)射步驟激光器電源及計(jì)算機(jī)(20)控制準(zhǔn)分子激光器(3)以特定的功率密度、頻率輸出激光束，所述激光束經(jīng)石英窗口(5)進(jìn)入充有氮?dú)獾拿芊夤馇?4)傳播，然后從密封光腔(4)另一側(cè)石英窗口(6)射出，經(jīng)可調(diào)光闌(7)、真空腔室(1)的石英窗口(8)射入真空腔室(1 )，最后通過(guò)聚焦透鏡(9)聚焦直接加載于安裝在工作臺(tái)(12)上的第一鏡樣品(11)的塵埃層表面，通過(guò)熱膨脹、燒蝕、光化學(xué)分解、能量傳輸介質(zhì)爆發(fā)性蒸騰、等離子體化作用，對(duì)第一鏡表面的塵埃沉積層進(jìn)行剝蝕加工，使第一鏡表面的塵埃顆粒清洗干凈；吹送保護(hù)氣體步驟與激光束發(fā)射步驟同步，計(jì)算機(jī)(20)通過(guò)質(zhì)量流量計(jì)控制模塊 (19)控制吹氣管(13)吹氣，控制激光與第一鏡樣品表面塵埃雜質(zhì)層相互所產(chǎn)生的等離子體羽形狀，使等離子體羽向側(cè)方傾斜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法，其特征在于，所述真空紫外激光清洗第一鏡的方法進(jìn)一步包括檢測(cè)反射率步驟每個(gè)清洗脈沖輻照后，檢測(cè)激光器(21)發(fā)出一束脈沖激光，經(jīng)第一鏡清洗位置反射給光電轉(zhuǎn)換模塊(22)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，供分析電路(24)換算出真空紫外激光脈沖清洗后的第一鏡反射率；如果反射率小于設(shè)定閾值，即未達(dá)到清洗要求，則繼續(xù)加載真空紫外激光脈沖，如果反射率大于設(shè)定閾值，即達(dá)到清洗要求，則分析電路(24)將合格信號(hào)反饋給計(jì)算機(jī)(20 )，計(jì)算機(jī)(20 )控制系統(tǒng)控制工作臺(tái)(12 )夾帶著第一鏡樣品(11)做進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，到達(dá)新的位置進(jìn)行清洗工作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法，其特征在于，所述真空紫外激光清洗第一鏡的方法進(jìn)一步包括檢測(cè)進(jìn)給步驟當(dāng)工作臺(tái)(12)夾帶著第一鏡樣品(11)向左做橫向運(yùn)動(dòng)使真空紫外激光作用點(diǎn)到達(dá)樣品右側(cè)邊框處時(shí)，檢測(cè)激光束經(jīng)夾具表面反射后不能入射到光電轉(zhuǎn)換模塊 (22)中，光電轉(zhuǎn)換模塊(22)輸出電流值為零，這時(shí)分析電路(24)根據(jù)該信號(hào)判斷出第一鏡樣品(11)已經(jīng)運(yùn)動(dòng)到邊框位置，同時(shí)將信號(hào)反饋給計(jì)算機(jī)(20)，相應(yīng)計(jì)算控制系統(tǒng)會(huì)發(fā)出指令控制可調(diào)光闌(7)關(guān)閉，清洗激光束被暫時(shí)阻斷，工作臺(tái)(12)帶動(dòng)第一鏡樣品(11)上移一個(gè)光斑直徑的距離，并根據(jù)指令使樣品向右移動(dòng)，檢測(cè)系統(tǒng)繼續(xù)工作，探測(cè)第一鏡樣品表面的反光率，直至清洗激光作用點(diǎn)位于第一鏡樣品(11)左邊框處時(shí)，檢測(cè)系統(tǒng)輸出的激光會(huì)照射在樣品夾具(32)上，此時(shí)光電探測(cè)模塊(22)探測(cè)不到光信號(hào)，輸出信號(hào)變?yōu)榱悖?控制系統(tǒng)根據(jù)這一信息斷定第一鏡樣品(11)已經(jīng)運(yùn)動(dòng)到合適的位置，計(jì)算機(jī)(20)發(fā)出指令控制工作臺(tái)(12)帶動(dòng)第一鏡樣品(11)左移一個(gè)光斑直徑的距離后重新開(kāi)啟可調(diào)光闌 (7)開(kāi)始新一行的清洗工作，重復(fù)上述過(guò)程逐行清洗，當(dāng)清洗完最后一個(gè)點(diǎn)，進(jìn)給系統(tǒng)帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊(22)輸出電信號(hào)為零，進(jìn)給系統(tǒng)根據(jù)程序帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊(22)輸出的電信號(hào)仍然為零，計(jì)算機(jī)(20)根據(jù)上述連續(xù)為零的檢測(cè)信號(hào)來(lái)斷定整個(gè)清洗任務(wù)的完成，然后控制系統(tǒng)控制其他系統(tǒng)停止工作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法，其特征在于，所述準(zhǔn)分子激光器(3)輸出的激光束波長(zhǎng)為193nm。
5.一種真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的裝置，其特征在于，所述真空紫外激光清洗第一鏡的裝置包括控制系統(tǒng)、清洗激光系統(tǒng)、吹氣系統(tǒng)和機(jī)架；控制系統(tǒng)分別與清洗激光系統(tǒng)、吹氣系統(tǒng)相連接，根據(jù)時(shí)序指令，控制清洗激光系統(tǒng)、吹氣系統(tǒng)按一定時(shí)序協(xié)同工作；所述控制系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)(20)、質(zhì)量流量計(jì)控制模塊(19)、激光控制系統(tǒng)組成；其作用發(fā)出控制時(shí)序指令協(xié)調(diào)各部分系統(tǒng)之間的正常運(yùn)行；所述吹氣系統(tǒng)由氣瓶(16)、質(zhì)量流量計(jì)(15)、吹氣管(13)組成，控制系統(tǒng)發(fā)出時(shí)序指令控制吹氣系統(tǒng)以一定流速向激光與材料相互作用區(qū)吹入保護(hù)氣體，控制激光清洗第一鏡塵埃層的溫度、雜質(zhì)等離子體羽的方向，保護(hù)第一鏡樣品，同時(shí)防止激光與材料相互作用過(guò)程中蒸發(fā)塵埃物質(zhì)再沉積所造成的二次污染；所述清洗激光系統(tǒng)由清洗激光器連接入射激光束光路而成，清洗激光器為氟化氬氣體準(zhǔn)分子激光器(3)，充滿氮?dú)獾拿芊夤馇?4)將準(zhǔn)分子激光器(3)的輸出端口與真空腔室(I)的激光輸入端口相連接；所述支架用于將上述各系統(tǒng)連接起來(lái)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的裝置，其特征在于，所述真空紫外激光清洗第一鏡的裝置進(jìn)一步包括樣品進(jìn)給系統(tǒng)；所述樣品進(jìn)給系統(tǒng)由驅(qū)動(dòng)模塊(18)、導(dǎo)線、真空電極法蘭(14)、真空導(dǎo)線、帶進(jìn)給系統(tǒng)的工作臺(tái)(12)及第一鏡樣品(11)組成；帶進(jìn)給系統(tǒng)的工作臺(tái)(12)由二維步進(jìn)電機(jī)平臺(tái) (31)、樣品夾具(29，32)，支架(30)，清洗雜質(zhì)收集裝置所組成；第一鏡樣品(11)通過(guò)樣品夾具(29，32)安裝在工作臺(tái)(12)上的二維步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)平臺(tái)上，夾具的表面與第一鏡樣品(II)表面存在一定角度，供檢測(cè)分析所用。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的裝置，其特征在于，所述真空紫外激光清洗第一鏡的裝置進(jìn)一步包括檢測(cè)系統(tǒng)；所述檢測(cè)系統(tǒng)由檢測(cè)激光器(21)、光電轉(zhuǎn)換器(22)、真空電極法蘭(23)、分析電路 (24)組成；檢測(cè)激光器(21)根據(jù)控制時(shí)序，在兩次清洗激光脈沖中間空閑時(shí)間內(nèi)發(fā)出激光脈沖，探測(cè)清洗樣品表面反光率，探測(cè)激光束經(jīng)過(guò)第一鏡樣品(11)表面后反射到光電轉(zhuǎn)換器(22)中，轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，通過(guò)真空電極法蘭(23)傳入分析電路(24)，通過(guò)換算后得到準(zhǔn)分子激光脈沖清洗后的第一鏡樣品反光率信息；控制系統(tǒng)可以根據(jù)這個(gè)信息調(diào)整清洗激光束參數(shù)，同時(shí)控制系統(tǒng)根據(jù)反光率信息判斷樣品進(jìn)給系統(tǒng)做進(jìn)給運(yùn)動(dòng)時(shí)是否到達(dá)樣品邊框，當(dāng)激光束清洗完水平線最后一個(gè)點(diǎn)后，進(jìn)給系統(tǒng)帶動(dòng)第一鏡樣品(11)繼續(xù)向左移動(dòng)，這樣激光光斑就會(huì)照射到樣品夾具(29)上，此時(shí)沒(méi)有激光信號(hào)能夠反射到光電轉(zhuǎn)換器(22) 上，采集到的反射率信號(hào)降為零，以此判斷激光束已經(jīng)掃描到樣品邊框，控制系統(tǒng)發(fā)出指令使樣品進(jìn)給系統(tǒng)夾帶第一鏡樣品(11)進(jìn)行下一行的掃描，當(dāng)清洗完最后一個(gè)點(diǎn)，進(jìn)給系統(tǒng)帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊(22)輸出電信號(hào)為零，進(jìn)給系統(tǒng)根據(jù)程序帶動(dòng)樣品繼續(xù)上移，然后向右移動(dòng)，光電轉(zhuǎn)換模塊(22)輸出的電信號(hào)仍然為零，計(jì)算機(jī) (20)根據(jù)上述連續(xù)為零的檢測(cè)信號(hào)來(lái)斷定整個(gè)清洗任務(wù)的完成，然后控制系統(tǒng)控制其他系統(tǒng)停止工作。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的裝置，其特征在于，所述準(zhǔn)分子激光器(3)輸出的激光束波長(zhǎng)為193nm。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空紫外激光清洗托卡馬克第一鏡的方法及裝置。采用激光消融的方法清除第一鏡上的塵埃雜質(zhì)沉積層，通過(guò)控制激光器的輸出能量，使作用于第一鏡樣品表面的準(zhǔn)分子激光束的能量密度處于雜質(zhì)沉積層的清洗閾值與第一鏡表面金屬的損傷閾值之間，清除雜質(zhì)的同時(shí)不會(huì)傷到第一鏡表面金屬材料。本發(fā)明的真空紫外激光清洗第一鏡的方法及裝置采用波長(zhǎng)為193nm的激光與材料相互作用過(guò)程中燒蝕效應(yīng)小，表面均勻性好，塵埃清洗的干凈，效果理想。
文檔編號(hào)B08B7/00GK102218415SQ201110056878
公開(kāi)日2011年10月19日 申請(qǐng)日期2011年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月10日
發(fā)明者丁洪斌, 張磊, 李聰, 海然, 肖青梅 申請(qǐng)人:大連理工大學(xué)