專利名稱：石墨舟(框)干式清洗機的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于硅晶太陽能電池生產(chǎn)設備維護的裝置，具體是一種石墨舟 (框)干式清洗機。
背景技術：
在晶硅太陽能電池生產(chǎn)過程中，有一個關鍵的氮化硅減反射膜沉積工藝。在該氮化硅減反射膜沉積過程中，晶硅電池片的承載物為石墨舟或者石墨框。一般在工藝生產(chǎn)過程中，石墨舟(框)也會被沉積到氮化硅薄膜，到一定厚度以后(一般大于IOum)，需要對石墨舟(框)做清洗處理。目前業(yè)界普遍采用的傳統(tǒng)清洗方法是使用HF/HC1混合液濕法槽式清洗，即將石墨舟浸泡在存有HF/HC1的槽中4-8小時，再用清水漂洗，再高溫烘箱烘4-8小時烘干。這種方法要想完全清洗干凈，必須較長的浸泡時間和較高濃度的HF/HC1，同時需要將石墨舟拆分開來，以避免有清洗死角，清洗完后，還必須經(jīng)過長時間的高溫烘干(400度， 4-8小時)，才能將石墨舟上的水氣去除掉。因而其存在以下缺點1、清洗效率偏低，耗時長；2、使用高濃度的HF/HC1，存在一定的危險性；3、需要拆分石墨舟，存在額外機械損傷的風險。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術問題是，提供一種結構簡單、清洗效率高、清洗效果好、不操損傷設備的石墨舟(框)干式清洗機。本發(fā)明的的一個方案是該石墨舟(框)干式清洗機包括有一個內(nèi)部可安置石墨舟或石墨框的反應腔，反應腔的入口通過進氣管與NF3氣體源連接，反應腔的出口通過排氣管與干式真空泵連接；所述進氣管上安裝有等離子體發(fā)生器。本發(fā)明的的另一個方案是該石墨舟(框)干式清洗機包括有一個內(nèi)部可安置石墨舟或石墨框的反應腔，反應腔的入口通過進氣管與NF3氣體源連接，反應腔的出口通過排氣管與干式真空泵連接；反應腔外設置有射頻發(fā)生器，射頻發(fā)生器的引出電極連接到反應腔內(nèi)的石墨舟或石墨框上。上述兩個方案中，反應腔的入口處還可設置有勻流板，以使進入的氣流分布更加均勻，提高清洗效果。本發(fā)明可以利用等離子體氮化硅的反應將石墨舟表面的氮化硅去除，不僅清洗效果好，并且結構簡單制造、操作方便、清洗效率高；與傳統(tǒng)的濕法槽式清洗相比，清洗過程中不用將石墨舟拆分，不用額外的烘干，效率高并能避免石墨舟的機械損傷。


圖1是本發(fā)明一個實施例的結構示意圖； 圖2是本發(fā)明另一個實施例的結構示意圖。
具體實施例方式圖1所示的實施例中，石墨舟(框)干式清洗機包括有一個內(nèi)部可安置石墨舟或石墨框的反應腔1，反應腔的入口通過進氣管2與NF3氣體源連接，反應腔入口處還設置有勻流板3，反應腔的出口通過排氣管與干式真空泵4連接；所述進氣管上安裝有等離子體發(fā)生
5 ο圖2所示的實施例中，該石墨舟(框)干式清洗機包括有一個內(nèi)部可安置石墨舟或石墨框的反應腔1，反應腔的入口通過進氣管2與NF3氣體源連接，反應腔入口處還設置有勻流板3，反應腔的出口通過排氣管與干式真空泵4連接；反應腔外設置有射頻發(fā)生器6，射頻發(fā)生器的引出電極連接到反應腔內(nèi)的石墨舟或石墨框上。
權利要求
1.一種石墨舟(框)干式清洗機，其特征是它包括有一個內(nèi)部可安置石墨舟或石墨框的反應腔(1)，反應腔的入口通過進氣管(2)與NF (3)氣體源連接，反應腔的出口通過排氣管與干式真空泵(4)連接；所述進氣管上安裝有等離子體發(fā)生器(5)。
2.根據(jù)權利要求1所述的石墨舟(框)干式清洗機，其特征是反應腔入口處設置有勻流板(3)。
3.—種石墨舟(框)干式清洗機，其特征是它包括有一個內(nèi)部可安置石墨舟或石墨框的反應腔(1)，反應腔的入口通過進氣管(2)與NF3氣體源連接，反應腔的出口通過排氣管與干式真空泵(4)連接；反應腔外設置有射頻發(fā)生器(6)，射頻發(fā)生器的引出電極連接到反應腔內(nèi)的石墨舟或石墨框上。
4.根據(jù)權利要求3所述的石墨舟(框)干式清洗機，其特征是反應腔入口處還設置有勻流板(3)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于硅晶太陽能電池生產(chǎn)設備維護的裝置，具體是一種石墨舟(框)干式清洗機。該石墨舟(框)干式清洗機包括有一個內(nèi)部可安置石墨舟或石墨框的反應腔，反應腔的入口通過進氣管與NF3氣體源連接，反應腔的出口通過排氣管與干式真空泵連接；所述進氣管上安裝有等離子體發(fā)生器。本發(fā)明可以利用等離子體氮化硅的反應將石墨舟表面的氮化硅去除，不僅清洗效果好，并且結構簡單制造、操作方便、清洗效率高；與傳統(tǒng)的濕法槽式清洗相比，清洗過程中不用將石墨舟拆分，不用額外的烘干，效率高并能避免石墨舟的機械損傷。
文檔編號B08B7/00GK102397859SQ20111037220
公開日2012年4月4日 申請日期2011年11月22日 優(yōu)先權日2011年11月22日
發(fā)明者季高明, 蔣維楠, 黃沖 申請人:鎮(zhèn)江大全太陽能有限公司