專利名稱：一種具有冷卻系統(tǒng)的紫外線表面處理器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種具有冷卻系統(tǒng)的紫外線表面處理器。
背景技術(shù)：
一般地，需要提高成品率的半導(dǎo)體器件、液晶顯示元件、光學(xué)制品的制造中，需要對(duì)其表面進(jìn)行清洗以去除工件表面的污漬及改善其表面的接著性、附著性。傳統(tǒng)的技術(shù)使用濕法清洗，在工作的表面施以藥液使其與工作表面的污漬發(fā)生反應(yīng)，在這樣的傳統(tǒng)工藝下，在其反應(yīng)后需要對(duì)工作表面的藥液殘留物進(jìn)行清洗。在清洗的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生新的污染。 在此基礎(chǔ)上產(chǎn)生了干法光表面的處理技術(shù)。近年來(lái)由于大功率超高出力低氣壓UV放電管開(kāi)發(fā)的進(jìn)展，以及隨著微電子等產(chǎn)品的超微細(xì)化，在微電子、超精密器件等產(chǎn)品的制造過(guò)程中，由短波長(zhǎng)紫外線及其產(chǎn)生的臭氧對(duì)其產(chǎn)品的表面進(jìn)行超精密清洗或改善其表面的接著性、附著性的干式光表面處理技術(shù)的實(shí)用化進(jìn)展得很快。作為氟里昂的替代技術(shù)，光表面清洗技術(shù)將逐漸代替濕法的清洗技術(shù)。然而，在現(xiàn)有的干法清洗中，依然存在以下問(wèn)題1、UV 的照度小，不能集中大量的紫外線進(jìn)行表面清洗；2、臭氧濃度低，無(wú)法充分發(fā)揮臭氧的超強(qiáng)氧化作用；3、臭氧分布不均，對(duì)表面清洗的效果不均勻；4、發(fā)熱溫度高對(duì)處理對(duì)象產(chǎn)生影響；5、臭氧排出量大，排出后要考慮對(duì)周圍人員環(huán)境產(chǎn)生的不利影響，有時(shí)甚至需要用活性碳等措施來(lái)消除。因此，需要研制一種能夠克服以上缺點(diǎn)，有效對(duì)物品表面進(jìn)行清洗同時(shí)也能改善其表面接著性、附著性的清洗設(shè)置為當(dāng)前業(yè)界所急需。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種用于物體表面清洗和除銹的兩相流激波裝置，其由于采用冷卻裝置，進(jìn)而使得臭氧可在冷卻后再進(jìn)入照射室，可以降低放電管及照射室內(nèi)空氣的溫度，使得放電管的輸出量最大化；同時(shí)配合主殼體上的出氣口、導(dǎo)管及進(jìn)氣口等設(shè)置，會(huì)使空氣循環(huán)進(jìn)入主殼體，從而臭氣濃度增加，使處理效果增加，并減少向外排出臭氧的量。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案一種具有冷卻系統(tǒng)的紫外線表面處理器，它包括主殼體、主殼體內(nèi)部形成照射室， 主殼體內(nèi)部上方設(shè)有反射板，反射板下方為放電管，放電管下方具有放置需要處理的物品的工作臺(tái)，主殼體上開(kāi)設(shè)有出氣口和進(jìn)氣口，且出氣口與進(jìn)氣口之間通過(guò)導(dǎo)管串接抽氣泵和冷卻裝置，反射板上開(kāi)設(shè)有若干透氣孔，主殼體兩側(cè)面具有柔性擋板。本實(shí)用新型取得的技術(shù)效果1、由于采用冷卻裝置，進(jìn)而使得臭氧可在冷卻后再進(jìn)入照射室，可以降低放電管及照射室內(nèi)空氣的溫度，使得放電管的輸出量最大化；同時(shí)配合主殼體上的出氣口、導(dǎo)管及進(jìn)氣口等設(shè)置，會(huì)使空氣循環(huán)進(jìn)入主殼體，從而臭氣濃度增加，使處理效果增加，并減少向外排出臭氧的量。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為主殼體拆口后的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1在A-A處的剖視放大圖；圖4為反射板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式做進(jìn)一步的說(shuō)明。參見(jiàn)圖1-4，一種具有冷卻系統(tǒng)的紫外線表面處理器，它包括主殼體1、主殼體內(nèi)部形成照射室19，主殼體內(nèi)部上方設(shè)有反射板4，反射板下方為放電管2，放電管下方具有放置需要處理的物品的工作臺(tái)3，主殼體上開(kāi)設(shè)有出氣口 11和進(jìn)氣口 13，且出氣口與進(jìn)氣口之間通過(guò)導(dǎo)管5串接抽氣泵12和冷卻裝置14，反射板上開(kāi)設(shè)有若干透氣孔41，主殼體兩側(cè)面具有柔性擋板6。本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不限于上述的實(shí)施例，顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變形而不脫離本實(shí)用新型的范圍和精神。倘若這些改動(dòng)和變形屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍內(nèi)，則本實(shí)用新型的意圖也包含這些改動(dòng)和變形在內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種具有冷卻系統(tǒng)的紫外線表面處理器，其特征在于它包括主殼體(1)、主殼體內(nèi)部形成照射室(19)，主殼體內(nèi)部上方設(shè)有反射板G)，反射板下方為放電管O)，放電管下方具有放置需要處理的物品的工作臺(tái)(3)，主殼體上開(kāi)設(shè)有出氣口(11)和進(jìn)氣口(13)，且出氣口與進(jìn)氣口之間通過(guò)導(dǎo)管( 串接抽氣泵(1 和冷卻裝置(14)，反射板上開(kāi)設(shè)有若干透氣孔(41)，主殼體兩側(cè)面具有柔性擋板(6)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種具有冷卻系統(tǒng)的紫外線表面處理器，它包括主殼體、主殼體內(nèi)部形成照射室，主殼體內(nèi)部上方設(shè)有反射板，反射板下方為放電管，放電管下方具有放置需要處理的物品的工作臺(tái)，主殼體上開(kāi)設(shè)有出氣口和進(jìn)氣口，且出氣口與進(jìn)氣口之間通過(guò)導(dǎo)管串接抽氣泵和冷卻裝置，反射板上開(kāi)設(shè)有若干透氣孔，主殼體兩側(cè)面具有柔性擋板。由于采用冷卻裝置，進(jìn)而使得臭氧可在冷卻后再進(jìn)入照射室，可以降低放電管及照射室內(nèi)空氣的溫度，使得放電管的輸出量最大化；同時(shí)配合主殼體上的出氣口、導(dǎo)管及進(jìn)氣口等設(shè)置，會(huì)使空氣循環(huán)進(jìn)入主殼體，從而臭氣濃度增加，使處理效果增加，并減少向外排出臭氧的量。
文檔編號(hào)B08B7/00GK202097163SQ20112014450
公開(kāi)日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2011年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月6日
發(fā)明者李青曉 申請(qǐng)人:寧波表面工程研究中心