專利名稱：一種改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置，可以改善絨面的均勻性，減少黑線或發(fā)亮的情況出現(xiàn)，避免絨面過大或過小。改善PE長(zhǎng)膜的均勻性，由制絨工序產(chǎn)生的PE色差片減少，可以大大減少PE工序的返工率。
背景技術(shù)：
[0002]在多晶槽式酸制絨中，制絨時(shí)間較短，機(jī)械手從酸槽中提出并放在漂洗槽中所經(jīng)歷的時(shí)間較長(zhǎng)，殘留在硅片表面的氫氟酸和硝酸會(huì)進(jìn)一步與硅反應(yīng)，會(huì)造成硅片的再制絨效應(yīng)。硅片有的部分腐蝕得厲害，而有的部分腐蝕地較輕，從而出現(xiàn)片子絨面大小不一。[0003]與殘留的HN03 反應(yīng)式Si+2HN03 = Si02+2HN02 ；[0004]與殘留的HF 反應(yīng)Si+4HF = SiF4+2H2 ；[0005]Si02 與 HF 反應(yīng):Si02+6HF = H2SiF6+2H20[0006]絨面過小的部分膜呈紅色，絨面過大的部分膜發(fā)白或發(fā)黃。影響了 PE成膜的均勻性。實(shí)用新型內(nèi)容[0007]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置，在不影響制絨正常流片的情況下，消除多晶硅槽式酸制絨中出現(xiàn)的再制絨效應(yīng)，控制絨面顆粒大小的均勻性，從而減少PE中的色差片。[0008]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為，一種改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置，包括提取載片花籃的機(jī)械手，機(jī)械手兩端設(shè)有機(jī)械臂勾，其特征是，兩端機(jī)械臂勾之間設(shè)有帶進(jìn)水接口的高壓水管，并在高壓水管底部裝有噴淋嘴。[0009]下對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述。[0010]在片子從制絨槽出來時(shí)開始，噴淋嘴開始噴霧，清除片子表面殘留的酸。為了避免水噴在制絨槽中影響制絨液的濃度，制完絨后，制絨槽槽蓋關(guān)上。為了保證噴霧效果，高壓純水管進(jìn)水接口所接水源的壓力應(yīng)在0.4MPa以上。當(dāng)片子提至清水槽時(shí)，噴淋嘴停止噴霧。[0011]所述高壓水管內(nèi)的水源為去離子水。[0012]由以上可知，本裝置通過自動(dòng)噴霧可以有效清除酸的殘留物，控制再制絨效應(yīng)，避免絨面大小不一，改善PE成膜的均勻性。PE因制絨原因產(chǎn)生的紅片和發(fā)白片的比例大大降低。


[0013]圖1為本實(shí)用新型所述裝置的結(jié)構(gòu)主視圖；[0014]圖2為本實(shí)用新型所述裝置的結(jié)構(gòu)主視圖；[0015]圖3為本實(shí)用新型所述裝置的結(jié)構(gòu)主視圖。
具體實(shí)施方式
[0016]如圖1-圖3所示，一種改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置，包括提取載片花籃5 的機(jī)械手，機(jī)械手兩端設(shè)有機(jī)械臂勾4，兩端機(jī)械臂勾4之間設(shè)有帶進(jìn)水接口 1的高壓水管 3，并在高壓水管3底部裝有噴淋嘴2。[0017]所述高壓水管3內(nèi)的水源為去離子水，進(jìn)水接口 1所接水源的壓力為0. 4Mpa以上。[0018]制絨投片是200片/批，共8個(gè)片盒分兩排排在花籃上，噴嘴設(shè)計(jì)兩排，每排4-5 個(gè)噴嘴，保證8個(gè)片盒都能噴上水。
權(quán)利要求1.一種改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置，包括提取載片花籃(5)的機(jī)械手，機(jī)械手兩端設(shè)有機(jī)械臂勾G)，其特征是，兩端機(jī)械臂勾(4)之間設(shè)有帶進(jìn)水接口(1)的高壓水管 (3)，并在高壓水管(3)底部裝有噴淋嘴O)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置，其特征是，所述高壓水管 (3)內(nèi)的水源為去離子水。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置，其特征是，進(jìn)水接口(1)所接水源的壓力為0. 4Mpa以上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種改善多晶硅槽式酸制絨絨面的裝置，包括提取載片花籃的機(jī)械手，機(jī)械手兩端設(shè)有機(jī)械臂勾，兩端機(jī)械臂勾之間設(shè)有帶進(jìn)水接口的高壓水管，并在高壓水管底部裝有噴淋嘴。本裝置通過自動(dòng)噴霧可以有效清除酸的殘留物，控制再制絨效應(yīng)，避免絨面大小不一，改善PE成膜的均勻性。PE因制絨原因產(chǎn)生的紅片和發(fā)白片的比例大大降低。
文檔編號(hào)B08B11/00GK202259194SQ201120395110
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月17日
發(fā)明者華菁, 周大良, 周小榮, 湯輝, 羅亮, 黃盛娟 申請(qǐng)人:湖南紅太陽(yáng)新能源科技有限公司