專(zhuān)利名稱(chēng)：清針片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體集成電路測(cè)試領(lǐng)域，特別是涉及ー種在晶圓測(cè)試中，能夠?qū)Σ煌馁|(zhì)的探針同時(shí)進(jìn)行清針的清針片。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體的晶圓級(jí)測(cè)試中，探針卡在測(cè)試晶圓時(shí)，測(cè)試到一定次數(shù)后，探針必須使用清針片進(jìn)行清洗維護(hù)。目前的清針片一般是在空白硅片上(或其他方形材料上)，貼上清洗探針?biāo)璧那遽樫N紙，如圖I所示。當(dāng)使用不同材質(zhì)探針的探針卡測(cè)試晶圓時(shí)，只能重新裝換不同的清針片。而在大規(guī)模量產(chǎn)中，進(jìn)行不同產(chǎn)品測(cè)試時(shí)，經(jīng)常需要使用不同材 質(zhì)的探針，這樣，測(cè)試過(guò)程中就需要頻繁地在探針臺(tái)上裝換不同的清針片，這會(huì)降低測(cè)試的效率，同時(shí)還增加了清針片的使用數(shù)量。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供ー種清針片，它可以提高晶圓測(cè)試的效率。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的清針片上劃分有多個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域貼有ー種用于清洗不同材質(zhì)探針的清針貼紙，且每個(gè)區(qū)域的面積不小于探針卡上對(duì)應(yīng)探針?biāo)采w的區(qū)域面積。本實(shí)用新型通過(guò)將清針片劃分為不同的區(qū)域，貼上清洗不同材質(zhì)探針?biāo)璧那遽樫N紙，使晶圓量產(chǎn)測(cè)試時(shí)，不同材質(zhì)探針的清洗可以在同一片清針片上進(jìn)行，從而避免了在測(cè)試過(guò)程中頻繁而大量的裝換清針片，有效提升了測(cè)試的效率，同時(shí)減少了清針片的使用數(shù)量，降低了測(cè)試成本。

圖I是典型的在空白硅片上貼清針貼紙的清針片的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的清針片結(jié)構(gòu)示意圖。圖中附圖標(biāo)記說(shuō)明如下I :娃片2 :清針貼紙
具體實(shí)施方式
為對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效有更具體的了解，現(xiàn)結(jié)合圖示的實(shí)施方式，詳述如下如圖2所示，本實(shí)施例的清針片使用4 12英寸以上的圓形硅片來(lái)裝放清針貼紙(在其他實(shí)施例中，也可以是方形的能夠裝放清針貼紙的金屬材料)。該圓形硅片上被劃分出6個(gè)不同的區(qū)域(見(jiàn)圖2中不同填充背景的6個(gè)區(qū)域)，每個(gè)區(qū)域貼上ー種不同的清針貼紙，用于清洗不同材質(zhì)的探針，且每個(gè)區(qū)域的面積必須大于或等于探針卡上對(duì)應(yīng)探針?biāo)采w的區(qū)域面積。探針?biāo)采w的區(qū)域面積可以根據(jù)芯片的大小和探針卡的同測(cè)數(shù)，進(jìn)行關(guān)聯(lián)計(jì)算得到，例如，芯片面積S = 2_X2mm，探針卡的同測(cè)數(shù)為4X4 = 16，其一次扎針?biāo)采w的區(qū)域面積S1 = SX 16 = 8mmX8mm,則清針貼紙所覆蓋的面積要大于或等于在進(jìn)行量產(chǎn)測(cè)試前，首先，在探針臺(tái)上設(shè)定好每種材質(zhì)的探針卡所對(duì)應(yīng)的清針貼 紙的清針條件參數(shù)，即設(shè)定好在哪種條件下，需要對(duì)哪種材質(zhì)的探針進(jìn)行清針；然后通過(guò)產(chǎn)品測(cè)試對(duì)應(yīng)的探針卡，將探針卡同清針條件參數(shù)關(guān)聯(lián)起來(lái)。在進(jìn)行測(cè)試時(shí)，探針臺(tái)會(huì)根據(jù)當(dāng)前需要清洗的探針材質(zhì)，自動(dòng)控制選取清針片上該探針?biāo)鶎?duì)應(yīng)的清針貼紙區(qū)域，對(duì)該探針進(jìn)行清針磨針等動(dòng)作，這樣就不需要再在探針臺(tái)上裝換不同的清針片，從而大大提高了晶圓測(cè)試的效率，同時(shí)減少了清針片的使用數(shù)量，降低了測(cè)試成本。
權(quán)利要求1.一種清針片，其特征在于，該清針片上劃分有多個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域貼有一種用于清洗不同材質(zhì)探針的清針貼紙，且每個(gè)區(qū)域的面積不小于探針卡上對(duì)應(yīng)探針?biāo)采w的區(qū)域面積。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清針片，其特征在于，該清針片裝放清針貼紙的材料為圓形娃片。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清針片，其特征在于，所述圓形硅片的尺寸在4英寸以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清針片，其特征在于，該清針片裝放清針貼紙的材料為方形金屬材質(zhì)的物體。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種清針片，該清針片上劃分有多個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域貼有一種用于清洗不同材質(zhì)探針的清針貼紙，且每個(gè)區(qū)域的面積不小于探針卡上對(duì)應(yīng)探針?biāo)采w的區(qū)域面積。本實(shí)用新型通過(guò)將清針片劃分為不同的區(qū)域，貼上清洗不同材質(zhì)探針?biāo)璧那遽樫N紙，使晶圓量產(chǎn)測(cè)試時(shí)，不同材質(zhì)探針的清洗可以在同一片清針片上進(jìn)行，從而有效提升了測(cè)試的效率，減少了清針片的使用數(shù)量，降低了測(cè)試成本。
文檔編號(hào)B08B1/00GK202421389SQ20112054426
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月22日
發(fā)明者?？Ｖ? 謝晉春 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司