專利名稱：噴淋清洗槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種噴淋清洗槽。
背景技術(shù)：
晶圓、引線框架及其它集成電路元件生產(chǎn)過程中，需要電鍍、蝕刻等工藝處理。生產(chǎn)過程，清洗是必要的工作。清洗工作首先需要確保晶圓、引線框架或其它元件的每一個部位均能全面清洗。其次，還需要滿足大規(guī)模生產(chǎn)需要，能夠快速、高效且自動化清洗。但現(xiàn)有技術(shù)中的清洗設(shè)備還無法達(dá)到全面清洗的要求。而且清洗過程慢，效率低
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可全面清洗待洗工件的噴淋清洗槽。為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)噴淋清洗槽，包括槽體，所述槽體設(shè)置有容腔；其特征在于，還包括第一支架，所述第一支架可移動地設(shè)置于容腔內(nèi)；夾具，所述夾具用于夾持待洗工件，所述夾具可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于第一支架上；噴淋管，所述噴淋管設(shè)置有朝向夾具的噴液口。優(yōu)選地是，所述噴淋管與夾具可相對移動地設(shè)置于容腔內(nèi)。優(yōu)選地是，還包括第一驅(qū)動裝置；第一驅(qū)動裝置通過第一傳動裝置與第一支架傳動連接；所述第一驅(qū)動裝置通過第一傳動裝置驅(qū)動第一支架上下往復(fù)運動。優(yōu)選地是，所述第一傳動裝置包括齒條及齒輪；齒條端部與第一支架連接；齒輪安裝于第一驅(qū)動裝置的輸出軸上并受第一驅(qū)動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)；齒條與齒輪嚙合。優(yōu)選地是，所述第一傳動裝置為絲杠螺母，絲杠螺母的絲桿與第一支架連接；第一驅(qū)動裝置與絲杠螺母的螺母傳動連接，第一驅(qū)動裝置驅(qū)動絲杠螺母的螺母旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地是，所述的噴淋管可上下往復(fù)移動地設(shè)置于容腔內(nèi)。優(yōu)選地是，噴淋管安裝于第二支架上；還包括第二驅(qū)動裝置，所述第二驅(qū)動裝置與第二支架傳動連接；所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動第二支架上下往復(fù)運動。優(yōu)選地是，所述第二驅(qū)動裝置為第二減速電機；第二減速電機通過第二傳動裝置與第二支架傳動連接。優(yōu)選地是，減速電機具有輸出軸，所述輸出軸水平設(shè)置；減速電機輸出軸上安裝有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤與第二支架通過連桿連接；所述連桿連接在轉(zhuǎn)盤的非圓心位置；連桿與第二支架連接點位于連桿與轉(zhuǎn)盤的連接點的上方。優(yōu)選地是，所述容腔內(nèi)設(shè)置有在第二支架上下運動過程中導(dǎo)向的導(dǎo)向裝置。優(yōu)選地是，所述導(dǎo)向裝置為相互配合的滑塊與導(dǎo)軌；所述滑塊與第二支架連接，所述導(dǎo)軌安裝于容腔內(nèi)。優(yōu)選地是，還包括第三驅(qū)動裝置，所述第三驅(qū)動裝置驅(qū)動夾具轉(zhuǎn)動。優(yōu)選地是，所述第三驅(qū)動裝置與夾具通過第三傳動裝置傳動連接。[0018]優(yōu)選地是，所述第三傳動裝置包括同步帶、傳動鏈和齒輪中的一種或幾種。優(yōu)選地是，所述夾具安裝于轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動地安裝于第一支架上。優(yōu)選地是，所述轉(zhuǎn)軸兩端分別安裝有一個夾具；所述噴淋管數(shù)目為兩個。優(yōu)選地是，所述第三驅(qū)動裝置通過同步帶驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。
·[0022]優(yōu)選地是，所述第三驅(qū)動裝置通過同步帶和齒輪驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；第一同步帶輪安裝于第三驅(qū)動裝置的輸出軸上；第二同步帶輪與第一齒輪同軸安裝；同步帶套裝在第一同步帶輪和第二同步帶輪上；轉(zhuǎn)軸上安裝有第二齒輪；第一齒輪與第二齒輪嚙合、或者第一齒輪及第二齒輪同時與第三齒輪嚙合。優(yōu)選地是，所述夾具包括基板、定位柱、定位塊及彈性復(fù)位裝置；所述定位柱設(shè)置于基板表面并突出于基板表面；所述定位塊設(shè)置在基板邊緣，且定位塊設(shè)置有自基板邊緣向基板中心延伸的擋片，所述定位塊可遠(yuǎn)離基板邊緣運動并可回復(fù)至扣合在基板邊緣地設(shè)置；所述彈性復(fù)位裝置在定位塊遠(yuǎn)離基板邊緣運動時產(chǎn)生彈性變形力，該彈性變形力具有使定位塊回復(fù)至扣合在基板邊緣的位置的趨勢。優(yōu)選地是，所述定位塊設(shè)置有凹槽；基板邊緣沿厚度方向嵌入凹槽內(nèi)，所述擋片為凹槽的槽壁。優(yōu)選地是，所述基板包括基板本體及設(shè)置在基板本體上的固定齒，所述的固定齒的數(shù)目為兩個以上，兩個以上的固定齒沿圓周方向排列；定位塊至少設(shè)置在其中一個固定齒上。優(yōu)選地是，所述定位塊套裝在固定齒端部。優(yōu)選地是，所述定位塊的凹槽沿長度方向的形狀與固定齒沿圓周方向的形狀相配
八
口 ο優(yōu)選地是，所述定位塊的凹槽的長度大于固定齒的厚度。優(yōu)選地是，所述的彈性復(fù)位裝置為彈簧。優(yōu)選地是，所述彈性復(fù)位裝置為壓縮彈簧，所述基板上設(shè)置有螺釘，所述定位塊設(shè)置有第一通孔，第一通孔內(nèi)設(shè)置有臺階；螺釘穿過第一通孔與基板螺紋配合；所述壓縮彈簧套裝在螺釘上并被限制于螺釘端部與臺階之間。優(yōu)選地是，所述定位塊可以螺釘為軸轉(zhuǎn)動地設(shè)置。優(yōu)選地是，所述基板沿厚度方向設(shè)置有第二通孔。優(yōu)選地是，所述的定位柱設(shè)置有端頭，端頭與基板表面具有與晶圓厚度相適應(yīng)的間隙。優(yōu)選地是，端頭與基板表面之間為卡槽。優(yōu)選地是，所述噴淋管與供水裝置連通。本實用新型中的噴淋清洗槽可利用夾具夾持待洗工件旋轉(zhuǎn)，而且夾具和噴淋管可分別獨立地相對運動，噴淋水可清洗待洗工件的各個位置。本實用新型一次可夾持兩個待洗工件清洗，工作效率高。而且，本實用新型使用時可先將待洗工件夾持在夾具上，再將夾具安裝于轉(zhuǎn)軸上，使用更方便。

圖I為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。[0038]圖2為圖I的正視圖。圖3為本實用新型容腔內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為圖3的正視圖。圖5為本實用新型中的夾具轉(zhuǎn)動原理示意圖。圖6為本實用新型中的噴淋管工作原理示意圖。圖7為本實用新型中的夾具結(jié)構(gòu)示意圖。圖8為本實用新型中的夾具側(cè)視圖。圖9為圖8的A-A剖視圖。圖10為本實用新型中的定位塊結(jié)構(gòu)剖視圖。圖11為本實用新型中的夾具第一原理示意圖。圖12為本實用新型中的夾具第二原理示意圖。圖13為本實用新型中的夾具第三原理示意圖。圖14為本實用新型使用方法示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型進行詳細(xì)的描述如圖I、圖2、圖3及圖4所示，噴淋清洗槽，包括槽體100，所述槽體100設(shè)置有容腔101。還包括第一支架200。所述第一述支架200可移動地設(shè)置于容腔101內(nèi)。第一支架200上安裝有兩個可轉(zhuǎn)動的夾具300。夾具300用于夾持待洗工件。兩個夾具300分別設(shè)置在第一支架200兩側(cè)。容腔101內(nèi)設(shè)置有兩個噴淋管400。每個噴淋管400上均設(shè)置有噴液口 401。每個噴淋管400的噴液口 401朝向其中一個夾具300。兩個噴淋管400均可上下往復(fù)運動地設(shè)置在容腔401內(nèi)。如圖2、圖3及圖4所示，第一支架200可上下往復(fù)移動地設(shè)置在容腔內(nèi)。第一支架200為箱式結(jié)構(gòu)，箱體201設(shè)置有容腔(圖中未示出)。驅(qū)動夾具300旋轉(zhuǎn)的第三驅(qū)動裝置及第三傳動裝置設(shè)置在箱體201的容腔內(nèi)。第一驅(qū)動裝置為第一減速電機202，第一減速電機202的輸出軸上安裝有齒輪(圖中未示出)，齒條203 —端與第二支架200連接，并且齒條203與齒輪嚙合。齒輪與齒條203為第一傳動裝置。第一減速電機202驅(qū)動齒輪旋轉(zhuǎn)，可驅(qū)動齒條203上下往復(fù)運動。安裝在齒條203端部的第一支架200隨齒條203上下往復(fù)運動。第一傳動裝置還可以采用絲杠螺母傳動、并利用蝸桿與渦輪的組合傳遞第一減速電機202的驅(qū)動力。絲杠螺母的絲桿以與齒條203相同的方式與第二支架連接。將蝸桿與渦輪的組合將第一減速電機202的驅(qū)動力輸送至驅(qū)動絲杠螺母的螺母轉(zhuǎn)動。螺母固定在某一高度位置，螺母轉(zhuǎn)動可使絲桿上下往復(fù)移動。如圖3、圖4及圖5所示，兩個夾具300分別設(shè)置在轉(zhuǎn)軸301的兩端。轉(zhuǎn)軸301貫穿第一支架200，可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在第一支架200上。箱體201的容腔內(nèi)設(shè)置有第三驅(qū)動裝置，第三驅(qū)動裝置為第三減速電機302。第三減速電機302的輸出軸303上安裝有第一同步帶輪304。第二同步帶輪305及第一齒輪306同軸安裝于箱體201的容腔內(nèi)。第一同步帶輪304與第二同步帶輪305上設(shè)置有同步帶307。轉(zhuǎn)軸301上還安裝有第二齒輪308。第二齒輪308位于箱體201的容腔內(nèi)。箱體201的容腔內(nèi)還設(shè)置有可轉(zhuǎn)動的第三齒輪309。第一齒輪306與第二齒輪308均與第三齒輪309嚙合。第三減速電機302驅(qū)動第一同步帶輪304旋轉(zhuǎn),通過同步帶307,將驅(qū)動力傳遞給第二同步帶輪305，帶動第二同步帶輪305和第一齒輪306同步旋轉(zhuǎn)。通過第二齒輪308和第三齒輪309，可將第三減速電機302的驅(qū)動力傳遞至轉(zhuǎn)軸301。轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)軸301帶動兩個夾具300同步轉(zhuǎn)動。如圖3、圖4及圖6所示，兩個噴淋管400可上下往復(fù)運動地設(shè)置于槽體100的容腔101內(nèi)，并分別位于第一支架200兩側(cè)。噴淋管400與供水裝置(圖中未示出)連通。每個噴淋管400設(shè)置有朝向夾具300的噴液口 401。供水裝置將清洗水供應(yīng)至噴淋管400內(nèi)，并經(jīng)噴液口 401噴向夾持在夾具300上的待洗工件。第二驅(qū)動裝置為第二減速電機402。第二減速電機402通過第二傳動裝置與第二支架403傳動連接。第二減速電機402通過第二傳動裝置驅(qū)動第二支架403上下往復(fù)運動。 兩個噴淋管400均安裝于第二支架403上。第二傳動裝置包括轉(zhuǎn)盤404及連桿405。轉(zhuǎn)盤404安裝于第二減速電機402的輸出軸上，由第二減速電機402驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。第二減速電機402的輸出軸水平設(shè)置。連桿405一端連接在轉(zhuǎn)盤404的非圓心位置，另一端與第二支架403連接?；瑝K406與第二支架403連接?；瑝K406設(shè)置在導(dǎo)軌407上并可沿導(dǎo)軌407滑動?；瑝K406與導(dǎo)軌407相配合在第二支架403上下往復(fù)運動時起導(dǎo)向作用。本實用新型既可以用于清洗晶圓，也可以用于清洗引線框架，還可以清洗其他集成電路元器件。根據(jù)待洗工件選擇夾具300的結(jié)構(gòu)。本實用新型以清洗晶圓為例說明。如圖7、圖8及圖9所示，夾具300包括基板I。包括基板I?；錓包括基本本體11和設(shè)置在基板本體11上的固定齒12。固定齒12數(shù)目為六個。六個固定齒12沿圓周方向排列。其中四個固定齒12上設(shè)置有定位柱2。定位柱2突出于固定齒12表面121。定位柱2具有端頭21。端頭21與基板本體11之間具有與晶圓厚度相適應(yīng)的間隙，在端頭21與基板本體11之間形成卡槽22?；灞倔w11上設(shè)置有沿厚度T方向的第二通孔13。其中兩個固定齒12上分別設(shè)置有一個定位塊3。定位塊3結(jié)構(gòu)如圖4所示，定位塊3設(shè)置有凹槽31。凹槽31沿長度L方向形狀與固定齒12圓周方向形狀相配合。凹槽31長度L大于固定齒12的厚度T。凹槽31的第一槽壁32和第二槽壁33沿固定齒12的邊緣向基板本體I的中心O延伸選定的長度。定位塊3設(shè)置有第一通孔34。第一通孔34內(nèi)設(shè)置有臺階35。設(shè)置有定位塊3的固定齒12安裝有螺釘4。螺釘4穿過第一通孔34與固定齒12螺紋配合。壓縮彈簧5套裝在螺釘4上并位于螺釘4端部41與臺階35之間，且被限制于端部41和臺階35之間。圖2及圖3中的定位塊3，相對于圖I中的狀態(tài)以螺釘4為軸旋轉(zhuǎn)T 90 度。如圖7所示為未放置晶圓之前的夾具300。此時，定位塊3的凹槽31長度L方向與固定齒12圓周方向的形狀相配合，定位塊3扣合在固定齒12上。定位塊12不像定位柱2那樣突出于基板本體11表面。如圖11所不，需要夾持晶圓時，可將晶圓6放置在基板本體11面，四個定位柱2托住晶圓6。如圖12所示，在圖11的基礎(chǔ)上，拉動定位塊3使其與固定齒12邊緣拉開一定的距離。此時壓縮彈簧5被壓縮產(chǎn)生彈性變形力，該彈性變形力可使定位塊3回復(fù)至與固定齒12接觸的位置。如圖13所示，在圖12的基礎(chǔ)上，旋轉(zhuǎn)定位塊3使其旋轉(zhuǎn)90度，凹槽31的長度L方向與基板本體11的厚度T方向一致。如圖14所示，在圖13的基礎(chǔ)上，松開定位塊3后，定位塊3在壓縮彈簧5的彈性變形力的作用下，靠近固定齒12并最終扣合在固定齒12上。由于定位塊3相對于圖7中的狀態(tài)轉(zhuǎn)動了 90度，因此，凹槽3的第一槽壁32和第二槽壁33自固定齒12的邊緣向基板本體11的中心O延伸了一定的長度，并壓住晶圓6，可防止晶圓6從基板I表面脫離。第一槽壁32和第二槽壁33自固定齒12的邊緣向基板本體11的中心延伸的長度可根據(jù)晶圓6邊緣與固定齒12的邊緣的距離確定。本實用新型中，利用四個定位柱2和兩個定位塊3固定晶圓6。需要取下晶圓6時，按照夾持晶圓時的操作方式反向操作即可。如圖3所示，兩個夾具300分別夾持一個晶圓6，可拆卸地安裝在轉(zhuǎn)軸301上。第三減速電機302驅(qū)動轉(zhuǎn)軸301轉(zhuǎn)動，帶動晶圓6旋轉(zhuǎn)。同時，第一減速電機202驅(qū)動第一支架200上下往復(fù)運動，以帶動晶圓6上下往復(fù)運動。第二減速電機402驅(qū)動噴淋管400上下往復(fù)運動。晶圓6在轉(zhuǎn)動和上下往復(fù)運動的同時，噴淋管402上下往復(fù)運動并向晶圓噴 淋清水沖洗晶圓6。本實用新型中的實施例僅用于對本實用新型進行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實質(zhì)上等同的替代，均在本實用新型保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.噴淋清洗槽，包括槽體，所述槽體設(shè)置有容腔；其特征在于，還包括 第一支架，所述第一支架可移動地設(shè)置于容腔內(nèi)； 夾具，所述夾具用于夾持待洗工件，夾具可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于第一支架上； 噴淋管，所述噴淋管設(shè)置有朝向夾具的噴液口。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述噴淋管與夾具可相對移動地設(shè)置于容腔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第一支架可上下往復(fù)移動地設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的噴淋清洗槽，其特征在于，還包括第一驅(qū)動裝置；第一驅(qū)動裝置通過第一傳動裝置與第一支架傳動連接；所述第一驅(qū)動裝置通過第一傳動裝置驅(qū)動第一支架上下往復(fù)運動。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第一傳動裝置包括齒條及齒輪；齒條端部與第一支架連接；齒輪安裝于第一驅(qū)動裝置的輸出軸上并受第一驅(qū)動裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)；齒條與齒輪嚙合。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第一傳動裝置為絲杠螺母，絲杠螺母的絲桿與第一支架連接；第一驅(qū)動裝置與絲杠螺母的螺母傳動連接，第一驅(qū)動裝置驅(qū)動絲杠螺母的螺母旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述的噴淋管可上下往復(fù)移動地設(shè)置于容腔內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的噴淋清洗槽，其特征在于，噴淋管安裝于第二支架上；還包括第二驅(qū)動裝置，所述第二驅(qū)動裝置與第二支架傳動連接；所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動第二支架上下往復(fù)運動。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第二驅(qū)動裝置為第二減速電機；第二減速電機通過第二傳動裝置與第二支架傳動連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的噴淋清洗槽，其特征在于，減速電機具有輸出軸，所述輸出軸水平設(shè)置；減速電機輸出軸上安裝有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤與第二支架通過連桿連接；所述連桿連接在轉(zhuǎn)盤的非圓心位置；連桿與第二支架連接點位于連桿與轉(zhuǎn)盤的連接點的上方。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述容腔內(nèi)設(shè)置有在第二支架上下運動過程中導(dǎo)向的導(dǎo)向裝置。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述導(dǎo)向裝置為相互配合的滑塊與導(dǎo)軌；所述滑塊與第二支架連接，所述導(dǎo)軌安裝于容腔內(nèi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴淋清洗槽，其特征在于，還包括第三驅(qū)動裝置，所述第三驅(qū)動裝置驅(qū)動夾具轉(zhuǎn)動。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第三驅(qū)動裝置與夾具通過第三傳動裝置傳動連接。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第三傳動裝置包括同步帶、傳動鏈和齒輪中的一種或幾種。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述夾具安裝于轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動地安裝于第一支架上。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸兩端分別安裝有一個夾具；所述噴淋管數(shù)目為兩個。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第三驅(qū)動裝置通過同步帶驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述第三驅(qū)動裝置通過同步帶和齒輪驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；第一同步帶輪安裝于第三驅(qū)動裝置的輸出軸上；第二同步帶輪與第一齒輪同軸安裝；同步帶套裝在第一同步帶輪和第二同步帶輪上；轉(zhuǎn)軸上安裝有第二齒輪；第一齒輪與第二齒輪嚙合、或者第一齒輪及第二齒輪同時與第三齒輪嚙合。
20.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述夾具包括基板、定位柱、定位塊及彈性復(fù)位裝置；所述定位柱設(shè)置于基板表面并突出于基板表面；所述定位塊設(shè)置在基板邊緣，且定位塊設(shè)置有自基板邊緣向基板中心延伸的擋片，所述定位塊可遠(yuǎn)離基板邊緣運動并可回復(fù)至扣合在基板邊緣地設(shè)置；所述彈性復(fù)位裝置在定位塊遠(yuǎn)離基板邊緣運動時產(chǎn)生彈性變形力，該彈性變形力具有使定位塊回復(fù)至扣合在基板邊緣的位置的趨勢。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述定位塊設(shè)置有凹槽；基板邊緣沿厚度方向嵌入凹槽內(nèi)，所述擋片為凹槽的槽壁。
22.根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述基板包括基板本體及設(shè)置在基板本體上的固定齒，所述的固定齒的數(shù)目為兩個以上，兩個以上的固定齒沿圓周方向排列；定位塊至少設(shè)置在其中一個固定齒上。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述定位塊套裝在固定齒端部。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述定位塊的凹槽沿長度方向的形狀與固定齒沿圓周方向的形狀相配合。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述定位塊的凹槽的長度大于固定齒的厚度。
26.根據(jù)權(quán)利要求20所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述的彈性復(fù)位裝置為彈簧。
27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述彈性復(fù)位裝置為壓縮彈簧，所述基板上設(shè)置有螺釘，所述定位塊設(shè)置有第一通孔，第一通孔內(nèi)設(shè)置有臺階；螺釘穿過第一通孔與基板螺紋配合；所述壓縮彈簧套裝在螺釘上并被限制于螺釘端部與臺階之間。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述定位塊可以螺釘為軸轉(zhuǎn)動地設(shè)置。
29.根據(jù)權(quán)利要求20所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述基板沿厚度方向設(shè)置有第二通孔。
30.根據(jù)權(quán)利要求20所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述的定位柱設(shè)置有端頭，端頭與基板表面具有與晶圓厚度相適應(yīng)的間隙。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的噴淋清洗槽，其特征在于，端頭與基板表面之間為卡槽。
32.根據(jù)權(quán)利要求I所述的噴淋清洗槽，其特征在于，所述噴淋管與供水裝置連通。
專利摘要本實用新型公開了一種噴淋清洗槽，包括槽體，所述槽體設(shè)置有容腔；其特征在于，還包括第一支架，所述第一支架可移動地設(shè)置于容腔內(nèi)；夾具，所述夾具用于夾持待洗工件，夾具可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于第一支架上；噴淋管，所述噴淋管設(shè)置有朝向待洗工件的噴液口。本實用新型中的噴淋清洗槽可利用夾具夾持待洗工件旋轉(zhuǎn),而且夾具和噴淋管可分別獨立地相對運動，噴淋水可清洗待洗工件的各個位置。本實用新型一次可夾持兩個待洗工件清洗，工作效率高。而且，本實用新型使用時可先將待洗工件夾持在夾具上，再將夾具安裝于轉(zhuǎn)軸上，使用更方便。
文檔編號B08B3/02GK202606430SQ20112057119
公開日2012年12月19日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者王振榮, 劉紅兵, 黃利松 申請人:上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司