專利名稱：一種用于內(nèi)遮蔽擋板的洗凈方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于內(nèi)遮蔽擋板的洗凈方法。
背景技術(shù)：
內(nèi)遮蔽擋板(Shield Inner)是半導(dǎo)體薄膜制程設(shè)備的關(guān)鍵核心零件之一,每次使用后，底材表面會(huì)附著一層氮化鉭(TaN)，需要洗凈后才能再次使用，而洗凈的主要目的就是要去除氮化鉭層。內(nèi)遮蔽擋板為桶型結(jié)構(gòu)，其內(nèi)層表面有粗糙度設(shè)計(jì)，氮化鉭附著物主要集中附著于此面；外層表面為光滑表面，該面主要功能為與半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備接合使用。目前，內(nèi)遮蔽擋板的洗凈方法是利用化學(xué)藥劑浸泡蝕刻的方式，去除表面附著的氮化鉭層；由于是附著物附著范圍大且厚，需要全面性的將內(nèi)遮蔽擋板浸泡進(jìn)化學(xué)藥劑中才俱有最有效的洗凈；經(jīng)過(guò)反復(fù)多次的洗凈，內(nèi)遮蔽擋板外層表面逐漸耗損，出現(xiàn)與半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備接合狀況不佳的情況，進(jìn)而造成內(nèi)遮蔽擋板的報(bào)廢及更換。眾所皆知的，半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備相關(guān)的零部件皆為國(guó)外進(jìn)口，國(guó)內(nèi)本身并無(wú)制造能力，相對(duì)的，相關(guān)零部件的采購(gòu)成本自然就高，又因?yàn)槭菄?guó)外進(jìn)口所以采購(gòu)時(shí)程又長(zhǎng)，當(dāng)需要大量采購(gòu)時(shí)，龐大的金錢與時(shí)間的成本，都是沉重的負(fù)擔(dān)。因此，如何在洗凈過(guò)程中不對(duì)內(nèi)遮蔽擋板的外層表面造成消耗一直是本領(lǐng)域技術(shù)人員致力于解決的問(wèn)題之一。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的，·就是針對(duì)上述問(wèn)題而提供一種用于內(nèi)遮蔽擋板的洗凈方法，該洗凈方法不會(huì)對(duì)內(nèi)遮蔽擋板的外層表面造成消耗，大大延長(zhǎng)了產(chǎn)品的使用壽命。本發(fā)明為達(dá)目的所采用的技術(shù)方案是:本發(fā)明的一種用于內(nèi)遮蔽擋板的洗凈方法，包括以下步驟:a.用膠帶對(duì)所述內(nèi)遮蔽擋板的外層表面進(jìn)行纏繞遮護(hù)；b.對(duì)于上述內(nèi)遮蔽擋板外層表面上膠帶間接合區(qū)域的縫隙，采用膠水進(jìn)行填補(bǔ)；c.將上述遮護(hù)處理過(guò)的內(nèi)遮蔽擋板浸入化學(xué)藥劑中，進(jìn)行洗凈。本發(fā)明洗凈方法與現(xiàn)有方法比較，具有以下優(yōu)點(diǎn):1.采用全面性的將內(nèi)遮蔽擋板浸泡進(jìn)化學(xué)藥劑，內(nèi)遮蔽擋板因?yàn)橛型暾恼谧o(hù)保護(hù)，即使經(jīng)過(guò)反復(fù)多次的洗凈，內(nèi)遮蔽擋板外層表面逐漸亦不會(huì)產(chǎn)生損耗，可大幅降低內(nèi)遮蔽擋板與半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備接合狀況不佳的異常；2.內(nèi)遮蔽擋板外層表面不會(huì)產(chǎn)生損耗，可有效的延長(zhǎng)使用壽命，大幅降低新品采購(gòu)成本；3.本發(fā)明方法可以有效的避免內(nèi)遮蔽擋板外層表面被化學(xué)藥劑蝕刻，可使用更高濃度的化學(xué)藥劑進(jìn)行洗凈，有效的增加作業(yè)效率，大幅降低生產(chǎn)的時(shí)間成本。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述:本發(fā)明用于內(nèi)遮蔽擋板的洗凈方法，包括以下步驟:a.用膠帶對(duì)所述內(nèi)遮蔽擋板的外層表面進(jìn)行纏繞遮護(hù)；b.對(duì)于上述內(nèi)遮蔽擋板外層表面上膠帶間接合區(qū)域的縫隙，采用膠水進(jìn)行填補(bǔ)；c.將上述遮護(hù)處理過(guò)的內(nèi)遮蔽擋板浸入化學(xué)藥劑中，進(jìn)行洗凈即除去附著物氮化鉭；d.浸泡完成后，將膠帶去除即可。以上實(shí)施例僅供說(shuō)明本發(fā)明之用，而非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應(yīng)該屬于 本發(fā)明的范疇，應(yīng)由各權(quán)利要求所限定。
權(quán)利要求
1.一種用于內(nèi)遮蔽擋板的洗凈方法，其特征在于，包括以下步驟:a.用膠帶對(duì)所述內(nèi)遮蔽擋板的外層表面進(jìn)行纏繞遮護(hù)；b.對(duì)于上述內(nèi)遮蔽擋板外層表面上膠帶間接合區(qū)域的縫隙，采用膠水進(jìn)行填補(bǔ)；c.將上述遮護(hù) 處理過(guò)的內(nèi)遮蔽擋板浸入化學(xué)藥劑中，進(jìn)行洗凈。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于內(nèi)遮蔽擋板的洗凈方法，包括以下步驟a.用膠帶對(duì)所述內(nèi)遮蔽擋板的外層表面進(jìn)行纏繞遮護(hù)；b.對(duì)于上述內(nèi)遮蔽擋板外層表面上膠帶間接合區(qū)域的縫隙，采用膠水進(jìn)行填補(bǔ)；c.將上述遮護(hù)處理過(guò)的內(nèi)遮蔽擋板浸入化學(xué)藥劑中，進(jìn)行洗凈。本發(fā)明洗凈方法不會(huì)對(duì)內(nèi)遮蔽擋板的外層表面造成消耗，大大延長(zhǎng)了產(chǎn)品的使用壽命。
文檔編號(hào)B08B3/08GK103240233SQ201210022560
公開(kāi)日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2012年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月1日
發(fā)明者陳博剛 申請(qǐng)人:上海科秉電子科技有限公司