專利名稱：一種高純硅烷鋼瓶清洗方法及配套清洗系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種化工工藝及設(shè)備，具體涉及一種高純硅烷鋼瓶清洗方法及配套清洗系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
鋼瓶是硅烷氣體的一種主要包裝容器，一般用鋼管熱旋壓成型，內(nèi)部做噴丸處理， 國家規(guī)定鋼瓶要定期檢驗，檢驗方法主要是做水壓試驗。在加工或檢驗過程中，鋼瓶內(nèi)部有可能存在顆粒、油污、生銹等現(xiàn)象，由于鋼瓶的特殊結(jié)構(gòu)，目前還不能有效清潔鋼瓶內(nèi)壁，這樣充入高純硅烷氣體，會造成硅烷氣體的二次污染，影響氣體純度，并存在安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服鋼瓶對硅烷氣體的二次污染，提供了一種高純硅烷鋼瓶清洗方法。本發(fā)明的另一個目的提供一種與上述清洗方法相配套的高純硅烷鋼瓶清洗系統(tǒng)。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是
一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，包括以下步驟
(1)用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶，確定鋼瓶內(nèi)的污染狀況；
(2)用鋼瓶翻轉(zhuǎn)機將鋼瓶倒置，在鋼瓶口固定有噴嘴，噴嘴與清洗管線連接；
(3)根據(jù)鋼瓶內(nèi)壁情況選擇相應(yīng)的洗滌液，用泵加壓到5-lOBar(巴)后通過上述噴嘴噴入鋼瓶，清洗3-10分鐘；
(4)將去離子水儲罐中的純水用高壓泵加壓到30-60Bar，然后送到熱交換器，加熱到 50-80°C后通過上述噴嘴噴入鋼瓶再次清洗2-10分鐘；
(5)然后通入純度為5.ON (當量濃度)以上的氮氣通過上述噴嘴噴入鋼瓶吹干鋼瓶內(nèi)
(6)用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶狀況，鋼瓶內(nèi)無生銹、無油污、無顆粒等為合格。作為優(yōu)選，上述步驟(3)中洗滌液加壓到6Bar。作為優(yōu)選，上述步驟(3)中洗滌液清洗時間為5分鐘。作為優(yōu)選，上述步驟(4)中純水加壓到40Bar。作為優(yōu)選，上述步驟(4)中純水加熱到60°C。作為優(yōu)選，上述步驟(4)中純水清洗時間為3分鐘。作為優(yōu)選，上述步驟(5)中通入氮氣的純度為6. 0N。上述高純硅烷鋼瓶清洗方法的配套清洗系統(tǒng)包括去離子水儲罐、高壓泵、熱交換器、鋼瓶翻轉(zhuǎn)機、鋼瓶、高純氮氣進氣管、洗滌液進液管和噴嘴，所述鋼瓶倒置安裝在鋼瓶翻轉(zhuǎn)機上，所述去離子水儲罐通過管線與高壓泵連接，高壓泵通過管線與熱交換器連接，熱交換器通過管線連接至噴嘴，該噴嘴固定在所述鋼瓶的鋼瓶口處，所述熱交換器與噴嘴之間的管線上連接有高純氮氣進氣管、洗滌液進液管。有益效果本發(fā)明很好地解決了鋼瓶內(nèi)部對硅烷氣體的二次污染問題，可以保存 5. ON的硅烷氣體，使產(chǎn)品更加穩(wěn)定。


圖I為本發(fā)明的系統(tǒng)構(gòu)成示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步說明
實施例I
如圖I所示一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，包括以下步驟
(1)用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶5，確定鋼瓶5內(nèi)的污染狀況；
(2)用鋼瓶翻轉(zhuǎn)機4將鋼瓶5倒置，在鋼瓶口固定有噴嘴，噴嘴與清洗管線連接；
(3)根據(jù)鋼瓶內(nèi)壁情況選擇相應(yīng)的洗滌液，用泵加壓到5Bar后通過上述噴嘴噴入鋼瓶 5，清洗3分鐘；
(4)將去離子水儲罐I中的純水用高壓泵2加壓到30Bar，然后送到熱交換器3，加熱到 50°C后通過上述噴嘴噴入鋼瓶5再次清洗2分鐘；
(5)然后通入純度為6.ON的氮氣通過上述噴嘴噴入鋼瓶5吹干鋼瓶內(nèi)壁；
(6)用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶5狀況，鋼瓶5內(nèi)無生銹、無油污、無顆粒等為合格。上述高純硅烷鋼瓶清洗方法的配套清洗系統(tǒng)包括去離子水儲罐I、高壓泵2、熱交換器3、鋼瓶翻轉(zhuǎn)機4、鋼瓶5、高純氮氣進氣管、洗滌液進液管和噴嘴，所述鋼瓶5倒置安裝在鋼瓶翻轉(zhuǎn)機4上，所述去離子水儲罐I通過管線與高壓泵2連接，高壓泵2通過管線與熱交換器3連接，熱交換器3通過管線連接至噴嘴，該噴嘴固定在所述鋼瓶5的鋼瓶口處， 所述熱交換器3與噴嘴之間的管線上連接有高純氮氣進氣管、洗滌液進液管。實施例2
一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，包括以下步驟
(1)用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶5，確定鋼瓶5內(nèi)的污染狀況；
(2)用鋼瓶翻轉(zhuǎn)機4將鋼瓶5倒置，在鋼瓶口固定有噴嘴，噴嘴與清洗管線連接；
(3)根據(jù)鋼瓶內(nèi)壁情況選擇相應(yīng)的洗滌液，用泵加壓到IOBar后通過上述噴嘴噴入鋼瓶5，清洗10分鐘;
(4)將去離子水儲罐I中的純水用高壓泵2加壓到60Bar，然后送到熱交換器3，加熱到 80°C后通過上述噴嘴噴入鋼瓶5再次清洗10分鐘；
(5)然后通入純度為6.ON的氮氣通過上述噴嘴噴入鋼瓶5吹干鋼瓶內(nèi)壁；
(6)用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶5狀況，鋼瓶5內(nèi)無生銹、無油污、無顆粒等為合格。上述高純硅烷鋼瓶清洗方法的配套清洗系統(tǒng)與實施例I相同。實施例3
一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，包括以下步驟
(1)用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶5，確定鋼瓶5內(nèi)的污染狀況；
(2)用鋼瓶翻轉(zhuǎn)機4將鋼瓶5倒置，在鋼瓶口固定有噴嘴，噴嘴與清洗管線連接；(3)根據(jù)鋼瓶內(nèi)壁情況選擇相應(yīng)的洗滌液，用泵加壓到6Bar后通過上述噴嘴噴入鋼瓶 5，清洗5分鐘；
(4)將去離子水儲罐I中的純水用高壓泵2加壓到40Bar，然后送到熱交換器3，加熱到 60°C后通過上述噴嘴噴入鋼瓶5再次清洗3分鐘；
(5)然后通入純度為6.ON的氮氣通過上述噴嘴噴入鋼瓶5吹干鋼瓶內(nèi)壁；
(6)用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶5狀況，鋼瓶5內(nèi)無生銹、無油污、無顆粒等為合格。上述高純硅烷鋼瓶清洗方法的配套清洗系統(tǒng)與實施例I相同。應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下， 還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。本實施例中未明確的各組成部分均可用現(xiàn)有技術(shù)加以實現(xiàn)。
權(quán)利要求
1.一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，其特征在于包括以下步驟用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶，確定鋼瓶內(nèi)的污染狀況；用鋼瓶翻轉(zhuǎn)機將鋼瓶倒置，在鋼瓶口固定有噴嘴，噴嘴與清洗管線連接；根據(jù)鋼瓶內(nèi)壁情況選擇相應(yīng)的洗滌液，用泵加壓到5-lOBar后通過上述噴嘴噴入鋼瓶，清洗3-10分鐘；將去離子水儲罐中的純水用高壓泵加壓到30-60Bar，然后送到熱交換器，加熱到 50-80°C后通過上述噴嘴噴入鋼瓶再次清洗2-10分鐘；然后通入純度為5. ON以上的氮氣通過上述噴嘴噴入鋼瓶吹干鋼瓶內(nèi)壁；用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶狀況，鋼瓶內(nèi)無生銹、無油污、無顆粒等為合格。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，其特征在于上述步驟(3)中洗漆液加壓到6Bar。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，其特征在于上述步驟(3)中洗滌液清洗時間為5分鐘。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，其特征在于上述步驟(4)中純水加壓到40Bar。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，其特征在于上述步驟(4)中純水加熱到60°C。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，其特征在于上述步驟(4)中純水清洗時間為3分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，其特征在于上述步驟(5)中通入氮氣的純度為6. 0N。
8.上述權(quán)利要求I所述的一種高純硅烷鋼瓶清洗方法的配套清洗系統(tǒng)，其特征在于 包括去離子水儲罐、高壓泵、熱交換器、鋼瓶翻轉(zhuǎn)機、鋼瓶、高純氮氣進氣管、洗滌液進液管和噴嘴，所述鋼瓶倒置安裝在鋼瓶翻轉(zhuǎn)機上，所述去離子水儲罐通過管線與高壓泵連接，高壓泵通過管線與熱交換器連接，熱交換器通過管線連接至噴嘴，該噴嘴固定在所述鋼瓶的鋼瓶口處，所述熱交換器與噴嘴之間的管線上連接有高純氮氣進氣管、洗滌液進液管。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種高純硅烷鋼瓶清洗方法，用鋼瓶翻轉(zhuǎn)機將鋼瓶倒置，噴嘴固定在鋼瓶口，連接高壓泵及高純氮氣管線，根據(jù)鋼瓶內(nèi)壁情況選擇合適的洗滌液，用泵加壓到5-10Bar后噴入鋼瓶，清洗3-10分鐘，將去離子水加熱到50-80℃并加壓到30-60Bar對鋼瓶再次清洗，然后通入5.0N以上氮氣吹干鋼瓶內(nèi)壁，用內(nèi)窺鏡檢查鋼瓶狀況，鋼瓶內(nèi)無生銹、無油污、無顆粒為合格。本發(fā)明還公開了一種與上述清洗方法相配套的高純硅烷鋼瓶清洗系統(tǒng)。本發(fā)明很好地解決了鋼瓶內(nèi)部對硅烷氣體的二次污染問題，可以保存5.0N的硅烷氣體，使產(chǎn)品更加穩(wěn)定。
文檔編號B08B9/28GK102580967SQ20121004315
公開日2012年7月18日 申請日期2012年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月24日
發(fā)明者何波, 尤向東, 徐昕, 鄭春寧 申請人:南京亞格泰新能源材料有限公司