專利名稱：異物清除設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及能夠清除諸如灰塵或污垢等的異物的異物清除設(shè)備和包括異物清除設(shè)備的光學(xué)設(shè)備。
背景技術(shù)：
在諸如數(shù)字照相機(jī)等的光學(xué)設(shè)備中，光學(xué)設(shè)備將被攝體圖像轉(zhuǎn)換成電信號(hào)以拍攝被攝體圖像，在圖像傳感器上接收攝像光束，并將從圖像傳感器輸出的光電轉(zhuǎn)換信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像數(shù)據(jù)。這種攝像設(shè)備包括在圖像傳感器的被攝體側(cè)設(shè)置的光學(xué)低通濾波器和紅外吸收濾波器。當(dāng)諸如灰塵或污垢等的異物附著至這些濾波器的任一表面時(shí)，會(huì)導(dǎo)致從所附著部分在所拍攝圖像中生成黒點(diǎn)，從而劣化圖像的可視性。特別地，在可更換鏡頭數(shù)字單鏡頭反光照相機(jī)中，諸如快門和快速返回鏡等的機(jī)械操作單元設(shè)置在圖像傳感器的附近，以使得從這些操作單元產(chǎn)生的諸如灰塵或污垢等的異物可能附著至諸如圖像傳感器和濾波器等的光學(xué)構(gòu)件的表面。此外，在更換鏡頭時(shí)，諸如灰塵或污垢等的異物可能從鏡頭座的開ロ進(jìn)入照相機(jī)主體，并且可能最終附著至光學(xué)構(gòu)件的表面。為了避免該現(xiàn)象發(fā)生，已知利用壓電元件振動(dòng)在圖像傳感器的被攝體側(cè)設(shè)置的光學(xué)構(gòu)件，以清除附著在光學(xué)構(gòu)件的表面上的諸如灰塵或污垢等的異物。日本特開2008-207170論述了以下技術(shù)通過在光學(xué)構(gòu)件處激勵(lì)第一彎曲振動(dòng)和第二彎曲振動(dòng)來在光學(xué)構(gòu)件處生成行波，其中，第二彎曲振動(dòng)的階次與第一彎曲振動(dòng)的階次相差I(lǐng)階并且第二彎曲振動(dòng)的時(shí)間相位與第一彎曲振動(dòng)的時(shí)間相位相差90°。另ー方面，第二彎曲振動(dòng)在時(shí)間相位上應(yīng)當(dāng)與第一彎曲振動(dòng)精確地相差90°以在光學(xué)構(gòu)件處生成穩(wěn)定的行波。此外，與通過在光學(xué)構(gòu)件處生成駐波來清除異物而向壓電元件施加的電壓相比，應(yīng)當(dāng)施加較高的電壓以通過在光學(xué)構(gòu)件處生成行波來清除異物。然而，以第二彎曲振動(dòng)在時(shí)間相位上與第一彎曲振動(dòng)未精確地相差90°的方式激勵(lì)第一彎曲振動(dòng)和第二彎曲振動(dòng)可能導(dǎo)致光學(xué)構(gòu)件的損壞。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的方面，一種異物清除設(shè)備，包括光學(xué)構(gòu)件；第一壓電元件，其附著至所述光學(xué)構(gòu)件，其中，在所述第一壓電元件上形成有第一驅(qū)動(dòng)電極和第一檢測電扱；第二壓電元件，其附著至所述光學(xué)構(gòu)件，其中，在所述第二壓電元件上形成有第二驅(qū)動(dòng)電極和第ニ檢測電極；驅(qū)動(dòng)單元，用于對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極供電以驅(qū)動(dòng)所述第一壓電元件，以及對(duì)所述第二驅(qū)動(dòng)電極供電以驅(qū)動(dòng)所述第二壓電元件；振動(dòng)檢測単元，用于基于所述第一檢測電極和所述第二檢測電極的輸出而檢測所述光學(xué)構(gòu)件的振動(dòng)；設(shè)置單元，用于設(shè)置從對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極供電、到對(duì)所述第二驅(qū)動(dòng)電極供電的驅(qū)動(dòng)相位差量；以及測量単元，用于測量從所述振動(dòng)檢測単元基于所述第一檢測電極的輸出而檢測到所述光學(xué)構(gòu)件的振動(dòng)、到所述振動(dòng)檢測単元基于所述第二檢測電極的輸出而檢測到所述光學(xué)構(gòu)件的振動(dòng)的檢測相位差量，其中，所述設(shè)置單元設(shè)置要預(yù)先設(shè)置的第一驅(qū)動(dòng)相位差量，所述設(shè)置単元基于當(dāng)所述設(shè)置單元設(shè)置了所述第一驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)所述測量單元所測量到的檢測相位差量來設(shè)置第ニ驅(qū)動(dòng)相位差量，當(dāng)所述設(shè)置單元設(shè)置了所述第一驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)単元對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極和所述第二驅(qū)動(dòng)電極施加第一電壓，當(dāng)所述設(shè)置單元設(shè)置了所述第二驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)単元對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極和所述第二驅(qū)動(dòng)電極施加第二電壓，以及所述第一電壓低于所述第二電壓。根據(jù)本發(fā)明，即使光學(xué)構(gòu)件具有第一彎曲振動(dòng)和在時(shí)間相位上與第一彎曲振動(dòng)未精確地相差90°的第二彎曲振動(dòng)，也可以避免光學(xué)構(gòu)件損壞。通過以下參考附圖對(duì)典型實(shí)施例的詳細(xì)說明，本發(fā)明的其它特征和方面將變得明
顯。


包含在說明書中并構(gòu)成說明書的一部分的附圖示出本發(fā)明的典型實(shí)施例、特征和方面，并與說明書一起用于說明本發(fā)明的原理。圖I是示出根據(jù)本發(fā)明第一典型實(shí)施例的數(shù)字單鏡頭反光照相機(jī)的框圖。圖2示出根據(jù)第一典型實(shí)施例的數(shù)字單鏡頭反光照相機(jī)的外觀。圖3是示出異物清除設(shè)備的主要部分的框圖。圖4是示出預(yù)驅(qū)動(dòng)操作和異物清除驅(qū)動(dòng)操作的時(shí)序圖。圖5A和5B示出預(yù)驅(qū)動(dòng)操作期間發(fā)出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L和Drive_R以及檢測信號(hào) Sense_L_0ut 和 Sense_R_0ut。圖6A、6B和6C是示出根據(jù)第一典型實(shí)施例的異物清除操作的流程圖。圖7是示出根據(jù)第二典型實(shí)施例的異物清除驅(qū)動(dòng)操作的流程圖。
具體實(shí)施例方式以下將參考附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的各種典型實(shí)施例、特征和方面。將作為包括根據(jù)本發(fā)明典型實(shí)施例的異物清除設(shè)備的光學(xué)設(shè)備的例子說明數(shù)字照相機(jī)。圖I是示出根據(jù)本發(fā)明第一典型實(shí)施例的數(shù)字照相機(jī)100的功能結(jié)構(gòu)的框圖。微計(jì)算機(jī)(以下稱為“微處理單元(MPU) ”)101是例如中央處理單元，并控制數(shù)字照相機(jī)100中設(shè)置的各塊的操作。連接至MPU 101的電路包括鏡驅(qū)動(dòng)電路102、焦點(diǎn)驅(qū)動(dòng)電路103、快門驅(qū)動(dòng)電路104、圖像信號(hào)處理電路105、開關(guān)傳感器電路106、測光電路107、壓電元件驅(qū)動(dòng)電路111、振動(dòng)檢測電路112和溫度傳感器113。這些電路在MPU 101的控制下エ作。MPU 101經(jīng)由座接點(diǎn)21與攝像鏡頭單元200內(nèi)的鏡頭控制電路202進(jìn)行通信。當(dāng)攝像鏡頭單元200連接至數(shù)字照相機(jī)100時(shí)，MPU 101通過經(jīng)由座接點(diǎn)21接收信號(hào)來檢測到MPU 101現(xiàn)在能夠與攝像鏡頭單元200內(nèi)的鏡頭控制電路202進(jìn)行通信。鏡頭控制電路202通過接收來自MPU 101的控制信號(hào)、經(jīng)由自動(dòng)調(diào)焦(AF)驅(qū)動(dòng)電路203和光圈驅(qū)動(dòng)電路204來驅(qū)動(dòng)攝像鏡頭單元200內(nèi)的攝像透鏡201和光圈205。為了簡化說明，圖I示出攝像透鏡201，看上去攝像透鏡201僅由單一透鏡構(gòu)成，但是實(shí)際上，攝像透鏡201由諸如調(diào)焦透鏡等的大量透鏡組構(gòu)成。AF驅(qū)動(dòng)電路203包括例如步進(jìn)馬達(dá)，并且通過在鏡頭控制電路202的控制下改變攝像透鏡201中的調(diào)焦透鏡的位置來將攝像光束會(huì)聚在圖像傳感器33上。光圈驅(qū)動(dòng)電路204是例如諸如自動(dòng)光圈等的光圈機(jī)構(gòu)，并且在鏡頭控制電路202的控制下改變光圈205的
光圈量。主鏡6在相對(duì)于圖I所示的攝像光軸保持45°的角度的狀態(tài)下，將透過攝像透鏡201的攝像光束引導(dǎo)至五棱鏡22，同時(shí)允許攝像光束的一部分穿過主鏡6以將該部分引導(dǎo)至副鏡30。副鏡30將透過主鏡6的攝像光束引導(dǎo)至焦點(diǎn)檢測傳感器單元31。鏡驅(qū)動(dòng)電路102包括例如直流(DC)馬達(dá)和齒輪系，并且將主鏡6驅(qū)動(dòng)至主鏡6允許拍攝者經(jīng)由取景器觀察被攝體圖像的位置以及主鏡6從攝像光束退避的位置。當(dāng)主鏡6被驅(qū)動(dòng)時(shí)，副鏡30同時(shí)被移動(dòng)至副鏡30將攝像光束引導(dǎo)至焦點(diǎn)檢測傳感器單元31的位置 以及副鏡30從攝像光束退避的位置。焦點(diǎn)檢測傳感器單元31包括例如在(未示出的)成像面的附近設(shè)置的、場透鏡、反射鏡、二次成像透鏡、光圈和包括多個(gè)電荷耦合裝置(CCD)的線傳感器等。焦點(diǎn)檢測傳感器單元31根據(jù)相位差檢測方法來進(jìn)行焦點(diǎn)檢測。將從焦點(diǎn)檢測傳感器單元31輸出的信號(hào)供給至焦點(diǎn)驅(qū)動(dòng)電路103以將信號(hào)轉(zhuǎn)換成被攝體圖像信號(hào)，然后，將被攝體圖像信號(hào)發(fā)送至 MPU 101。MPU 101基于被攝體圖像信號(hào)、根據(jù)相位差檢測方法來進(jìn)行焦點(diǎn)檢測計(jì)算。更具體地，MPU 101利用被攝體圖像信號(hào)來計(jì)算離焦量和離焦方向，并根據(jù)計(jì)算得到的離焦量和離焦方向、經(jīng)由鏡頭控制電路202和AF驅(qū)動(dòng)電路203來將攝像透鏡201中的調(diào)焦透鏡驅(qū)動(dòng)至聚焦位置。五棱鏡22反射由主鏡6反射的攝像光束，同時(shí)將攝像光束轉(zhuǎn)換成正立圖像。結(jié)果，拍攝者可以經(jīng)由取景器光學(xué)系統(tǒng)通過取景器目鏡窗18來觀察被攝體圖像。此外，五棱鏡22還將攝像光束的一部分引導(dǎo)至測光傳感器37。測光電路107將從測光傳感器37輸出的測光值轉(zhuǎn)換成觀察面上的各區(qū)域的亮度信號(hào)，然后將亮度信號(hào)輸出至MPU 101。MPUlOl基于亮度信號(hào)來計(jì)算曝光值。快門單元32是例如機(jī)械焦平面快門，并且被構(gòu)造成在拍攝者經(jīng)由取景器目鏡窗18觀察被攝體圖像時(shí)，使得快門第一簾幕位于遮光位置以及快門第二簾幕位于曝光位置。另一方面，在拍攝時(shí)，快門第一簾幕通過從遮光位置移動(dòng)至曝光位置來進(jìn)行曝光行進(jìn)，從而允許攝像光束通過。后述的圖像傳感器33對(duì)所形成的被攝體圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而進(jìn)行攝像操作。然后，在所設(shè)置的曝光時(shí)間經(jīng)過之后，快門第二簾幕通過從曝光位置移動(dòng)至遮光位置來進(jìn)行遮光行進(jìn)，從而完成獲取一個(gè)圖像數(shù)據(jù)所需的攝像操作。由從MPU 101接收控制命令的快門驅(qū)動(dòng)電路104控制快門單元32。圖像信號(hào)處理電路105對(duì)從圖像傳感器33輸出的模擬圖像信號(hào)進(jìn)行模擬/數(shù)字(A/D)轉(zhuǎn)換處理，并且還對(duì)由此獲取的數(shù)字圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行諸如噪聲清除處理和增益調(diào)整處理等的各種圖像處理。開關(guān)傳感器電路106將拍攝者對(duì)諸如主開關(guān)(SW)43和清除SW 44等的包括在數(shù)字照相機(jī)100中的用戶接口的操作所輸入的輸入信號(hào)發(fā)送至MPU 101。清除SW 44是用于發(fā)出清除附著至光學(xué)低通濾波器410的表面的諸如灰塵或污垢等的異物的指示的用戶接口。拍攝者可以通過操作清除SW 44來手動(dòng)進(jìn)行濾波器上的異物的清除操作。作為異物清除設(shè)備的攝像單元400是通過組裝包括光學(xué)低通濾波器410、壓電元件430和圖像傳感器33的構(gòu)件以形成一個(gè)單元而構(gòu)成的塊。光學(xué)低通濾波器410與光學(xué)構(gòu)件相對(duì)應(yīng)。圖像傳感器33是例如諸如互補(bǔ)金屬氧化半導(dǎo)體(CMOS)傳感器或CXD傳感器等的攝像裝置。如上所述，圖像傳感器33通過對(duì)所形成的被攝體的光學(xué)圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換來輸出模擬圖像信號(hào)。壓電元件430是例如諸如壓電元件(piezo element)等的單板壓電元件。由從MPU、101接收控制信號(hào)的壓電元件驅(qū)動(dòng)電路111來振動(dòng)壓電元件430，并且振動(dòng)壓電元件430將振動(dòng)傳送至光學(xué)低通濾波器410。MPU 101和壓電元件驅(qū)動(dòng)電路111用作驅(qū)動(dòng)單元。振動(dòng)檢測電路112用作檢測光學(xué)低通濾波器410的振動(dòng)的振動(dòng)檢測單元。溫度傳感器113用作檢測光學(xué)構(gòu)件周圍的溫度的溫度檢測單元?，F(xiàn)在將參考圖2更詳細(xì)地說明作為用于通過振動(dòng)光學(xué)低通濾波器410來清除濾波器上的異物的異物清除單元的攝像單元400。圖2是示意性地示出攝像單元400的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。設(shè)置在圖像傳感器33的前面的光學(xué)低通濾波器410是由水晶制成的單個(gè)雙折射板，并具有矩形的形狀。光學(xué)低通濾波器410設(shè)置在光路中，并且是設(shè)置了允許光束透過的光學(xué)有效區(qū)域的矩形光學(xué)構(gòu)件。光學(xué)低通濾波器410具有在光學(xué)有效區(qū)域外部設(shè)置一對(duì)壓電元件430a和430b的外圍部，并且在與攝像光軸的中心垂直的方向(即，照相機(jī)橫向方向)上對(duì)稱。對(duì)由此構(gòu)成的光學(xué)低通濾波器410的表面應(yīng)用諸如紅外截止涂層或反射防止涂層等的光學(xué)涂層。如下所述，壓電元件430a和430b均包括在單個(gè)壓電構(gòu)件上一體地形成的多個(gè)電極，并且具有條狀外形。分別沿著光學(xué)低通濾波器410的相對(duì)的兩個(gè)短邊設(shè)置壓電元件430a 和 430b。更具體地，以以下方式將壓電元件430a接合至光學(xué)低通濾波器410 :作為第一壓電元件的壓電元件430a的長邊在光學(xué)低通濾波器410的外圍部與光學(xué)低通濾波器410的一個(gè)短邊(一端)平行地延伸。另一方面，以以下方式將壓電元件430b接合至光學(xué)低通濾波器410 :作為第二壓電元件的壓電元件430b的長邊在光學(xué)低通濾波器410的外圍部與光學(xué)低通濾波器410的另一短邊(另一端)平行地延伸。利用與光學(xué)低通濾波器410的邊平行地生成的多個(gè)波腹和多個(gè)波節(jié)以波狀的方式振動(dòng)光學(xué)低通濾波器410。將周期電壓施加至壓電元件430a和430b以使得壓電元件430a和430b進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)。然后，這些運(yùn)動(dòng)使得光學(xué)低通濾波器410也進(jìn)行周期的彎曲變形。以下將詳細(xì)說明振動(dòng)的狀態(tài)。光學(xué)低通濾波器保持構(gòu)件420由樹脂或金屬制成，并用于保持光學(xué)低通濾波器410。利用螺釘將光學(xué)低通濾波器保持構(gòu)件420固定至圖像傳感器保持構(gòu)件510。
施力構(gòu)件440對(duì)光學(xué)低通濾波器410朝向圖像傳感器33施力。施力構(gòu)件440與光學(xué)低通濾波器保持構(gòu)件420接合。將施力構(gòu)件440電連接至數(shù)字照相機(jī)100的具有接地電位的部分(地線)。還將光學(xué)低通濾波器410的表面電連接至數(shù)字照相機(jī)100的具有接地電位的部分(地線)。由于這些連接，可以防止諸如灰塵或污垢等的異物靜電附著至光學(xué)低通濾波器410的表面。彈性構(gòu)件450具有斷面基本為圓形的框形狀，并且被夾在光學(xué)低通濾波器410和光學(xué)低通濾波器保持構(gòu)件420之間。施力構(gòu)件440對(duì)光學(xué)低通濾波器410施力，使得彈性構(gòu)件450被擠壓在光學(xué)低通濾波器410和光學(xué)低通濾波器保持構(gòu)件420之間。因此，基于施力構(gòu)件440朝向圖像傳感器33施加的力來設(shè)置用于擠壓彈性構(gòu)件 450的力的強(qiáng)度。彈性構(gòu)件450可以由橡膠材料或諸如PORON(注冊(cè)商標(biāo))等的聚氨酯泡沫材料制成。光學(xué)構(gòu)件460是通過接合相位板(去極化板)、紅外截止濾波器和具有與光學(xué)低通濾波器410相差90°的折射方向的雙折射板而構(gòu)成的光學(xué)構(gòu)件。將光學(xué)構(gòu)件460黏附地固定至光學(xué)低通濾波器保持構(gòu)件420。圖像傳感器保持構(gòu)件510具有形成在其中的矩形開口，其中在維持曝光狀態(tài)的情況下固定地保持圖像傳感器33。利用例如螺釘將圖像傳感器保持構(gòu)件510固定至數(shù)字照相機(jī)100的主體。通過在光學(xué)低通濾波器保持構(gòu)件420和圖像傳感器33之間夾住掩模520來保持掩模520以防止多余的光從拍攝光路的外部進(jìn)入圖像傳感器33。圖像傳感器施力構(gòu)件530是由板狀彈簧構(gòu)成的一對(duì)左右施力構(gòu)件。利用螺釘將圖像傳感器施力構(gòu)件530固定至圖像傳感器保持構(gòu)件510，并且圖像傳感器施力構(gòu)件530向圖像傳感器保持構(gòu)件510按壓圖像傳感器33。以這種方式構(gòu)造光學(xué)低通濾波器410使得以能夠在夾在施力構(gòu)件440和彈性構(gòu)件450之間的情況下進(jìn)行振動(dòng)的方式支持光學(xué)低通濾波器410。圖3是示出異物清除設(shè)備的主要部分的框圖。如圖3所示，壓電元件430a包括壓電構(gòu)件3，以及在壓電構(gòu)件3的正面和背面的各面上形成的驅(qū)動(dòng)電極5和檢測電極7。壓電元件430b包括壓電構(gòu)件4，以及在壓電構(gòu)件4的正面和背面的各面上形成的驅(qū)動(dòng)電極6和檢測電極8。壓電元件430a與第一壓電元件相對(duì)應(yīng)，以及壓電元件430b與第二壓電元件相對(duì)應(yīng)。此外，驅(qū)動(dòng)電極5與第一驅(qū)動(dòng)電極相對(duì)應(yīng)，以及驅(qū)動(dòng)電極6與第二驅(qū)動(dòng)電極相對(duì)應(yīng)。此夕卜，檢測電極7與第一檢測電極相對(duì)應(yīng)，以及檢測電極8與第二檢測電極相對(duì)應(yīng)。壓電元件驅(qū)動(dòng)電路111包括驅(qū)動(dòng)塊9和10、以及振蕩塊14。驅(qū)動(dòng)塊9將驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R供給至壓電元件430a上形成的驅(qū)動(dòng)電極5。驅(qū)動(dòng)塊10將驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L供給至壓電元件430b上形成的驅(qū)動(dòng)電極6。振蕩塊14將高頻信號(hào)輸出至驅(qū)動(dòng)塊9和10，并由MPU 101控制振蕩塊14來改變要輸出的振蕩頻率。振蕩塊14將高頻信號(hào)輸出至驅(qū)動(dòng)塊9和10中的各塊。從驅(qū)動(dòng)塊9輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R和從驅(qū)動(dòng)塊10輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L在相位上相互不同。MPU 101控制驅(qū)動(dòng)塊9和10供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6的電壓。
振動(dòng)檢測電路112包括檢測塊11和12。檢測塊11基于檢測壓電電極7的輸出而檢測光學(xué)低通濾波器410的振動(dòng)。檢測塊12基于檢測壓電電極8的輸出而檢測光學(xué)低通濾波器410的振動(dòng)。檢測塊11輸出檢測信號(hào)Sense_R_0ut。檢測塊12輸出檢測信號(hào)Sense_L_0ut。將檢測信號(hào) Sense_R_0ut 和 Sense_L_0ut 輸入至 MPU 101。接著將說明異物清除設(shè)備的操作。MPU 101向振蕩塊14提供驅(qū)動(dòng)壓電元件430a和430b所需的頻率、以及表示至驅(qū)動(dòng)塊9的輸出和至驅(qū)動(dòng)塊10的輸出之間的相位差的量的控制信號(hào)。振蕩塊14基于所輸入的頻率和表示相位差量的控制信號(hào)來將高頻信號(hào)輸出至驅(qū)動(dòng)塊9和10。驅(qū)動(dòng)塊9將驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R輸出至驅(qū)動(dòng)電極5。MPU 101控制由驅(qū)動(dòng)塊9供給至驅(qū)動(dòng)電極5的電壓。MPU 101控制由驅(qū)動(dòng)塊10供給至驅(qū)動(dòng)電極6的電壓。
·10驅(qū)動(dòng)壓電元件430a和430b或者禁止驅(qū)動(dòng)塊9和10驅(qū)動(dòng)壓電元件430a和430b，來獨(dú)立地控制壓電元件430a的驅(qū)動(dòng)和壓電元件430b的驅(qū)動(dòng)。當(dāng)MPU 101向驅(qū)動(dòng)塊9提供允許驅(qū)動(dòng)塊9驅(qū)動(dòng)壓電元件430a的信號(hào)時(shí)，驅(qū)動(dòng)塊9基于MPU 101所指定的振蕩頻率和MPU 101所指定的電壓將驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R輸出至驅(qū)動(dòng)電極5。當(dāng)MPU 101向驅(qū)動(dòng)塊10提供允許驅(qū)動(dòng)塊10驅(qū)動(dòng)壓電元件430b的信號(hào)時(shí)，驅(qū)動(dòng)塊10基于MPU 101所指定的振蕩頻率和MPU 101所指定的電壓將驅(qū)動(dòng)信號(hào)01^代立輸出至驅(qū)動(dòng)電極6。此時(shí)，MPU 101改變要輸出至振蕩塊14的頻率和表示相位差量的控制信號(hào)，從而改變要從振蕩塊14輸出的振蕩頻率和相位差量。這些變化引起從驅(qū)動(dòng)塊9輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R和從驅(qū)動(dòng)塊10輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L的變化。以這種方式，可以通過改變MPU 101輸出至振蕩塊14的頻率和相位差量來生成在光學(xué)低通濾波器410處具有最大振幅的行波。當(dāng)在光學(xué)低通濾波器410處生成振動(dòng)時(shí)，從檢測電極7和8輸出信號(hào)。利用檢測塊11將從檢測電極7生成的信號(hào)轉(zhuǎn)換成檢測信號(hào)SenSe_R_0ut，然后被輸入至MPU 101，其中該檢測信號(hào)Sense_R_0ut可以由MPU 101檢測到。同樣，利用檢測塊12將從檢測電極8生成的信號(hào)轉(zhuǎn)換成檢測信號(hào)SenSe_L_0ut，然后被輸入至MPU 101，其中該檢測信號(hào)Sense_L_0ut可以由MPU 101檢測到。MPU 101可以從檢測信號(hào)Sense_R_0ut和Sense_L_0ut檢測在光學(xué)低通濾波器410處生成的行波的振幅。以這種方式，MPU 101可以在改變要輸出至振蕩塊14的頻率和相位差量的同時(shí)檢測在光學(xué)低通濾波器410處生成的行波的振幅的變化。圖4是示出預(yù)驅(qū)動(dòng)操作和異物清除驅(qū)動(dòng)操作的時(shí)序圖。在圖4中，縱軸表示驅(qū)動(dòng)電壓，以及橫軸表示驅(qū)動(dòng)時(shí)間。在執(zhí)行預(yù)驅(qū)動(dòng)操作期間，在20ms的時(shí)間內(nèi)將40V的電壓供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6。電壓40V與第一電壓相對(duì)應(yīng)，以及時(shí)間20ms與第一供電時(shí)間相對(duì)應(yīng)。另一方面，在執(zhí)行異物清除驅(qū)動(dòng)操作期間，在500ms的時(shí)間內(nèi)將120V的電壓施加至驅(qū)動(dòng)電極5和6。在執(zhí)行異物清除驅(qū)動(dòng)操作期間，在這些條件下驅(qū)動(dòng)壓電元件430a和430b四次。電壓120V與第二電壓相對(duì)應(yīng)，以及時(shí)間500ms與第二供電時(shí)間相對(duì)應(yīng)。圖5A示出執(zhí)行預(yù)驅(qū)動(dòng)操作期間從驅(qū)動(dòng)塊10輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L和從驅(qū)動(dòng)塊9輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R。圖5B示出執(zhí)行預(yù)驅(qū)動(dòng)操作期間從檢測塊12輸出的檢測信號(hào)Sense_L_0ut和從檢測塊11輸出的檢測信號(hào)Sense_R_0ut。如圖5A所示，在來自驅(qū)動(dòng)塊10的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L的輸出和來自驅(qū)動(dòng)塊9的驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出之間生成90°的相位差。此時(shí)，驅(qū)動(dòng)相位差量是90°。 如圖5A和5B所示，從來自驅(qū)動(dòng)塊10的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L的輸出到來自檢測塊12的檢測信號(hào)Sense_L_0ut的輸出，生成A°的相位滯后。同樣，從來自驅(qū)動(dòng)塊9的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R的輸出到來自檢測塊11的檢測信號(hào)Sense_R_0ut的輸出，生成B。的相位滯后。MPU 101測量(B。_A° )。該差(B。_A° )與檢測相位差量相對(duì)應(yīng)。然后，MPU 101與用于測量檢測相位差量的測量單元相對(duì)應(yīng)。在圖5A和5B所示的例子中，MPU 101所測量得到的差(B。_A° )是90° 土 a。因此，檢測相位差量是90° 土 a。應(yīng)當(dāng)注意，在預(yù)驅(qū)動(dòng)操作期間供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6的電壓比在異物清除驅(qū)動(dòng)操作期間供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6的電壓低。此外，在預(yù)驅(qū)動(dòng)操作期間對(duì)驅(qū)動(dòng)電極5和6進(jìn)行供電的供電時(shí)間比在異物清除驅(qū)動(dòng)操作期間對(duì)驅(qū)動(dòng)電極5和6進(jìn)行供電的供電時(shí)間短。因此，即使在檢測相位差量為90° ±a的情況下，也不會(huì)導(dǎo)致光學(xué)低通濾波器410的損壞。檢測相位差量不能是90°的原因包括光學(xué)低通濾波器410的個(gè)體差異、壓電元件430a和430b附著至光學(xué)低通濾波器410的狀態(tài)以及光學(xué)低通濾波器410的周圍溫度。MPU 101改變驅(qū)動(dòng)相位差量以減少該校正值a。更具體地，MPU 101計(jì)算驅(qū)動(dòng)相位差量以使得校正量a落入容許相位差量的范圍內(nèi)。然后，在執(zhí)行異物清除驅(qū)動(dòng)操作時(shí)，MPU 101將預(yù)驅(qū)動(dòng)操作中計(jì)算得到的驅(qū)動(dòng)相位差量輸出至振蕩塊14。結(jié)果，在執(zhí)行異物清除驅(qū)動(dòng)操作期間，驅(qū)動(dòng)塊9和10可以輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R和Drive_L以使得檢測相位差量接近90°。因此，即使長時(shí)間將高的電壓供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6，也不會(huì)導(dǎo)致光學(xué)低通濾波器410的損壞。將參考圖6A、6B和6C說明根據(jù)本典型實(shí)施例的異物清除操作。圖6A是根據(jù)本典型實(shí)施例的異物清除操作的主流程圖。在步驟SlOO中，開始異物清除操作的主流程。在步驟SllO中，開關(guān)傳感器電路106檢測到清除SW 44的接通操作(步驟SllO中為“是”)，然后處理進(jìn)入步驟S120。在步驟S120中，MPU 101基于溫度傳感器113的輸出而檢測數(shù)字照相機(jī)100的內(nèi)
部溫度。在步驟S130中，MPU 101讀出電可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器(EEPROM) 108中存儲(chǔ)的溫度數(shù)據(jù)。EEPROM 108存儲(chǔ)基于之前的預(yù)驅(qū)動(dòng)操作計(jì)算得到的相位差量和執(zhí)行預(yù)驅(qū)動(dòng)操作時(shí)的溫度數(shù)據(jù)，并且使得相位差量和相應(yīng)的溫度數(shù)據(jù)相互關(guān)聯(lián)。在步驟S140中，MPU 101判斷步驟S120中檢測到的數(shù)字照相機(jī)100的內(nèi)部溫度 是否在基于EEPROM 108中存儲(chǔ)的溫度所設(shè)置的預(yù)定溫度范圍內(nèi)。如果數(shù)字照相機(jī)100的內(nèi)部溫度在預(yù)定溫度范圍內(nèi)(步驟S140中為“是”)，則處理進(jìn)入步驟S170。如果數(shù)字照相機(jī)100的內(nèi)部溫度不在預(yù)定溫度范圍內(nèi)(步驟S140中為“否”)，則處理進(jìn)入步驟S150。在步驟S150中，MPU 101判斷從執(zhí)行異物清除操作開始所經(jīng)過的時(shí)間是否在預(yù)先設(shè)置的預(yù)定時(shí)間范圍內(nèi)。如果從執(zhí)行異物清除操作開始所經(jīng)過的時(shí)間在預(yù)定時(shí)間范圍內(nèi)(步驟S150中為“是”)，則處理進(jìn)入步驟S170。如果從執(zhí)行異物清除操作開始所經(jīng)過的時(shí)間不在預(yù)定時(shí)間范圍內(nèi)(步驟S150中為“否”)，則處理進(jìn)入步驟S160。在步驟S160中，MPU 101執(zhí)行預(yù)驅(qū)動(dòng)操作。后面將說明預(yù)驅(qū)動(dòng)操作的細(xì)節(jié)。在步驟S170中，MPU 101執(zhí)行異物清除驅(qū)動(dòng)操作。后面將說明異物清除驅(qū)動(dòng)操作的細(xì)節(jié)。在步驟S180中，MPU 101開始計(jì)時(shí)。結(jié)果，可以測量從進(jìn)行異物清除操作開始所經(jīng)過的時(shí)間。換句話說，MPU 101用作用于測量從驅(qū)動(dòng)壓電元件430a和430b開始所經(jīng)過的時(shí)間的計(jì)時(shí)單元。然后，在步驟S190中，異物清除操作的主流程結(jié)束。 圖6B是示出根據(jù)本典型實(shí)施例的步驟S160中所示的預(yù)驅(qū)動(dòng)操作的細(xì)節(jié)的子流程圖。在步驟S200中，開始預(yù)驅(qū)動(dòng)操作的子流程。在步驟S210中，MPU 101設(shè)置用于從驅(qū)動(dòng)塊9和10對(duì)驅(qū)動(dòng)電極5和6的供電的電壓和供電時(shí)間。在本典型實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)塊9和10將40V供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6，并且供電時(shí)間是20ms。20ms的供電時(shí)間與第一供電時(shí)間相對(duì)應(yīng)。在預(yù)驅(qū)動(dòng)操作期間，僅利用允許檢測塊11和12檢測振動(dòng)的振幅來振動(dòng)光學(xué)低通濾波器410是足夠的。此外，MPU 101將作為從驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L的輸出到驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R的輸出的相位差的驅(qū)動(dòng)相位差量X設(shè)置為90°，并且還將容許檢測相位差量C設(shè)置為5° (即，C =5)。此處設(shè)置為90°的驅(qū)動(dòng)相位差量X與第一驅(qū)動(dòng)相位差量相對(duì)應(yīng)。換句話說，在本典型實(shí)施例中，調(diào)整驅(qū)動(dòng)相位差量X以使得作為從檢測信號(hào)Sense_L_0ut的輸出至檢測信號(hào)Sense_R_0ut的輸出的差的檢測相位差量落入90° ±5°的范圍內(nèi)。在步驟S220中，MPU 101基于步驟S210或步驟S250中設(shè)置的相位差量X，使得驅(qū)動(dòng)塊10輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L并且使得驅(qū)動(dòng)塊9輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R。在步驟S230中，MPU 101檢測如圖5A和5B所示從驅(qū)動(dòng)塊10輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L的輸出到從檢測塊12輸出的檢測信號(hào)Sense_L_0ut的輸出的相位滯后A°。同樣，MPU 101檢測從驅(qū)動(dòng)塊9輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R的輸出到從檢測塊11輸出的檢測信號(hào)SenSe_R_0ut的輸出的相位滯后B。。然后，MPU 101測量檢測相位差量(B。-A。)。之后，MPU 101計(jì)算表示所測量得到的檢測相位差量(B。-K0 )從驅(qū)動(dòng)相位差量X偏尚的量的校正量a。在步驟S240中，MPU 101判斷校正量a是否在±5°的范圍內(nèi)。如果校正量a在±5°的范圍內(nèi)(步驟S240中為“是”)，則處理進(jìn)入步驟S260。如果校正量a不在±5°的范圍內(nèi)(步驟S240中為“否”)，則處理進(jìn)入步驟S250。在步驟S250中，MPU 101調(diào)整驅(qū)動(dòng)相位差量X以使得校正量a落入±5°的范圍內(nèi)。然后，處理進(jìn)入步驟S220。
在步驟S260中，MPU 101設(shè)置用于實(shí)現(xiàn)±5°的范圍內(nèi)的校正量a的驅(qū)動(dòng)相位差量X。步驟S260中設(shè)置的驅(qū)動(dòng)相位差量X與第二驅(qū)動(dòng)相位差量相對(duì)應(yīng)。在步驟S270中，MPU 101將步驟S260中設(shè)置的驅(qū)動(dòng)相位差量X存儲(chǔ)在EEPROM 108中，并且使得驅(qū)動(dòng)相位差量X與基于步驟S120中檢測到的溫度數(shù)據(jù)所設(shè)置的溫度范圍以及步驟S260中設(shè)置的驅(qū)動(dòng)相位差量X的設(shè)置日期和時(shí)間相關(guān)聯(lián)。在步驟S280中，預(yù)驅(qū)動(dòng)操作的子流程結(jié)束，并且處理返回至主流程。圖6C是示出根據(jù)本典型實(shí)施例的步驟S170中所示的異物清除驅(qū)動(dòng)操作的細(xì)節(jié)的子流程圖。在步驟S300中，開始異物清除驅(qū)動(dòng)操作的子流程。在步驟S310中，MPU 101從EEPROM 108中讀出步驟S260中設(shè)置的驅(qū)動(dòng)相位差量 X。更具體地，如果步驟S120中檢測到的溫度落入EEPROM 108中存儲(chǔ)的溫度范圍內(nèi)(S140為“是UUMPU 101讀出與步驟S120中所檢測到的溫度落入的溫度范圍相關(guān)聯(lián)的所設(shè)置的驅(qū)動(dòng)相位差量X。如果步驟S120中檢測到的溫度未落入EEPROM 108中存儲(chǔ)的溫度范圍內(nèi)，換句話說，在執(zhí)行異物清除操作之后的經(jīng)過時(shí)間在預(yù)定時(shí)間范圍內(nèi)(S150為“是”)，則MPU 101讀出作為設(shè)置驅(qū)動(dòng)相位差量X時(shí)的日期和時(shí)間、具有最新的日期和時(shí)間的驅(qū)動(dòng)相位差量X。在步驟S320中，MPU 101設(shè)置步驟S310中讀出的驅(qū)動(dòng)相位差量X，并且還設(shè)置用于從驅(qū)動(dòng)塊9和10對(duì)驅(qū)動(dòng)電極5和6的供電的電壓和供電時(shí)間。在本典型實(shí)施例中，例如，MPU 101分別將120V和500ms設(shè)置為驅(qū)動(dòng)塊9和10供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6的電壓及其供電時(shí)間。此處的500ms的供電時(shí)間與第二供電時(shí)間相對(duì)應(yīng)。在異物清除驅(qū)動(dòng)操作期間，增大要供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6的電壓并且在長的供電時(shí)間內(nèi)施加該電壓使得成功清除附著至光學(xué)低通濾波器410的異物的可能性增大，從而將盡可能最大的電壓施加至驅(qū)動(dòng)電極5和6。在步驟S330中，MPU 101增加異物清除驅(qū)動(dòng)操作的重復(fù)次數(shù)n。在步驟S340中，根據(jù)步驟S320中設(shè)置的條件，驅(qū)動(dòng)塊10輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L，并且驅(qū)動(dòng)塊9輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R。在步驟S350中，MPU 101判斷異物清除驅(qū)動(dòng)操作的重復(fù)次數(shù)n是否達(dá)到預(yù)設(shè)值。如果異物清除驅(qū)動(dòng)操作的重復(fù)次數(shù)n達(dá)到預(yù)設(shè)值(步驟S350中為“是”)，則處理進(jìn)入步驟S360。如果異物清除驅(qū)動(dòng)操作的重復(fù)次數(shù)n未達(dá)到預(yù)設(shè)值(步驟S350中為“否”)，則處理進(jìn)入步驟S330。在本典型實(shí)施例中，如果重復(fù)次數(shù)n未達(dá)到4(步驟S350中為“否”)，則處理進(jìn)入步驟S330。如果重復(fù)次數(shù)n達(dá)到4 (步驟S350中為“是”)，則處理進(jìn)入步驟S360。在步驟S360中，異物清除驅(qū)動(dòng)操作的子流程結(jié)束，并且處理返回至主流程。本發(fā)明的第二典型實(shí)施例是包括異物清除設(shè)備的數(shù)字照相機(jī)。第二典型實(shí)施例中的數(shù)字照相機(jī)的結(jié)構(gòu)與圖I 3中所示的第一典型實(shí)施例中相同，因此此處將省略其說明。第一典型實(shí)施例和第二典型實(shí)施例之間的不同之處是步驟S170中所示的異物清除驅(qū)動(dòng)操作的內(nèi)容。圖7是示出根據(jù)本發(fā)明第二典型實(shí)施例的步驟S170中所示的異物清除驅(qū)動(dòng)操作的細(xì)節(jié)的子流程圖。在步驟S400中，開始異物清除驅(qū)動(dòng)操作的子流程。
在步驟S410中，MPU 101從EEPROM 108中讀出步驟S260中設(shè)置的驅(qū)動(dòng)相位差量
X0更具體地，如果步驟S120中檢測到的溫度落入EEPR0M108中存儲(chǔ)的溫度范圍內(nèi)，則MPU 101讀出與步驟S120中檢測到的溫度落入的溫度范圍相關(guān)聯(lián)的所設(shè)置的驅(qū)動(dòng)相位差量X。如果步驟S120中檢測到的溫度未落入EEPROM 108中存儲(chǔ)的溫度范圍內(nèi)，則MPU101讀出作為設(shè)置驅(qū)動(dòng)相位差量X時(shí)的日期和時(shí)間、具有最新的日期和時(shí)間的驅(qū)動(dòng)相位差量X。在步驟S420中，MPU 101設(shè)置步驟S410中讀出的驅(qū)動(dòng)相位差量X，并且還設(shè)置用于從驅(qū)動(dòng)塊9和10對(duì)驅(qū)動(dòng)電極5和6的供電的電壓和供電時(shí)間。在本典型實(shí)施例中，例如，MPU 101分別將120V和500ms設(shè)置為驅(qū)動(dòng)塊9和10供給至驅(qū)動(dòng)電極5和6的電壓及其供電時(shí)間。
在步驟S430中，MPU 101基于步驟S420或步驟S460中設(shè)置的相位差量X，使得驅(qū)動(dòng)塊10輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L并且使得驅(qū)動(dòng)塊9輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R。在步驟S440中，MPU 101檢測從來自驅(qū)動(dòng)塊10的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L的輸出到來自檢測塊12的檢測信號(hào)SenSe_L_0ut的輸出的相位滯后A°。同樣，MPU 101檢測從來自驅(qū)動(dòng)塊9的驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R的輸出到來自檢測塊11的檢測信號(hào)Sense_R_0ut的輸出的相位滯后B。。然后，MPU 101計(jì)算表示檢測相位差量(B。-A° )從驅(qū)動(dòng)相位差量X偏離的量的校正量a。在步驟S450中，MPU 101判斷校正量a是否在±2. 5°的范圍內(nèi)。如果校正量a在±2.5°的范圍內(nèi)(步驟S450中為“是”)，則處理進(jìn)入步驟S470。如果校正量a不在±2.5°的范圍內(nèi)(步驟S450中為“否”)，則處理進(jìn)入步驟S460。在步驟S460中，MPU 101調(diào)整驅(qū)動(dòng)相位差量X以使得校正量a落入±2. 5°的范圍內(nèi)。然后，處理進(jìn)入步驟S430。在步驟S470中，MPU 101設(shè)置用于實(shí)現(xiàn)±2. 5°的范圍內(nèi)的校正量a的驅(qū)動(dòng)相位
差量X。在步驟S480中，MPU 101增加異物清除驅(qū)動(dòng)操作的重復(fù)次數(shù)n。在步驟S490中，根據(jù)步驟S470中設(shè)置的驅(qū)動(dòng)相位差量X，驅(qū)動(dòng)塊10輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_L,并且驅(qū)動(dòng)塊9輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)Drive_R。在步驟S500中，MPU 101判斷異物清除驅(qū)動(dòng)操作的重復(fù)次數(shù)n是否達(dá)到預(yù)設(shè)值。如果異物清除驅(qū)動(dòng)操作的重復(fù)次數(shù)n達(dá)到預(yù)設(shè)值(步驟S500中為“是”)，則處理進(jìn)入步驟S510。如果異物清除驅(qū)動(dòng)操作的重復(fù)次數(shù)n未達(dá)到預(yù)設(shè)值(步驟S500中為“否”)，則處理進(jìn)入步驟S480。在本典型實(shí)施例中，如果重復(fù)次數(shù)n未達(dá)到4(步驟S500中為“否”)，則處理進(jìn)入步驟S480。如果重復(fù)次數(shù)n達(dá)到4(步驟S500中為“是”)，則處理進(jìn)入步驟S510。在步驟S510中，異物清除驅(qū)動(dòng)操作的子流程結(jié)束，并且處理返回至主流程。根據(jù)第二典型實(shí)施例，在異物清除驅(qū)動(dòng)操作期間第一次供電時(shí)，根據(jù)比預(yù)驅(qū)動(dòng)操作的條件更嚴(yán)格的條件來再設(shè)置驅(qū)動(dòng)相位差量X。結(jié)果，可以在光學(xué)低通濾波器410處生成更穩(wěn)定的行波。盡管已經(jīng)參考典型實(shí)施例說明了本發(fā)明，但是應(yīng)該理解，本發(fā)明不限于所公開的典型實(shí)施例。所附權(quán)利要求書的范圍符合最寬的解釋，以包含所有這類修改、等同結(jié)構(gòu)和功能。
權(quán)利要求
1.一種異物清除設(shè)備，包括 光學(xué)構(gòu)件； 第一壓電元件，其附著至所述光學(xué)構(gòu)件，其中，在所述第一壓電元件上形成有第一驅(qū)動(dòng)電極和第一檢測電極； 第二壓電元件，其附著至所述光學(xué)構(gòu)件，其中，在所述第二壓電元件上形成有第二驅(qū)動(dòng)電極和第二檢測電極； 驅(qū)動(dòng)單元，用于對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極供電以驅(qū)動(dòng)所述第一壓電元件，以及對(duì)所述第二驅(qū)動(dòng)電極供電以驅(qū)動(dòng)所述第二壓電元件； 振動(dòng)檢測単元，用于基于所述第一檢測電極和所述第二檢測電極的輸出而檢測所述光學(xué)構(gòu)件的振動(dòng)； 設(shè)置單元，用于設(shè)置從對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極供電、到對(duì)所述第二驅(qū)動(dòng)電極供電的驅(qū)動(dòng)相位差量；以及 測量單元，用于測量從所述振動(dòng)檢測単元基于所述第一檢測電極的輸出而檢測到所述光學(xué)構(gòu)件的振動(dòng)、到所述振動(dòng)檢測單元基于所述第二檢測電極的輸出而檢測到所述光學(xué)構(gòu)件的振動(dòng)的檢測相位差量， 其中，所述設(shè)置單元設(shè)置要預(yù)先設(shè)置的第一驅(qū)動(dòng)相位差量， 所述設(shè)置単元基于當(dāng)所述設(shè)置單元設(shè)置了所述第一驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)所述測量單元所測量到的檢測相位差量來設(shè)置第二驅(qū)動(dòng)相位差量， 當(dāng)所述設(shè)置單元設(shè)置了所述第一驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)単元對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極和所述第二驅(qū)動(dòng)電極施加第一電壓， 當(dāng)所述設(shè)置單元設(shè)置了所述第二驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)単元對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極和所述第二驅(qū)動(dòng)電極施加第二電壓，以及所述第一電壓低于所述第二電壓。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的異物清除設(shè)備，其特征在干，當(dāng)所述設(shè)置單元設(shè)置了所述第一驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)単元在第一供電時(shí)間內(nèi)對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極和所述第二驅(qū)動(dòng)電極施加所述第一電壓， 當(dāng)所述設(shè)置單元設(shè)置了所述第二驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)単元在第二供電時(shí)間內(nèi)對(duì)所述第一驅(qū)動(dòng)電極和所述第二驅(qū)動(dòng)電極施加所述第二電壓，以及所述第一供電時(shí)間短于所述第二供電時(shí)間。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的異物清除設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)置単元基于所述第一驅(qū)動(dòng)相位差量和所述測量単元所測量到的檢測相位差量之間的差來確定所述第二驅(qū)動(dòng)相位差量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的異物清除設(shè)備，其特征在干，所述設(shè)置單元確定所述第二驅(qū)動(dòng)相位差量以減小所述第一驅(qū)動(dòng)相位差量和所述測量単元所測量到的檢測相位差量之間的差。
全文摘要
本發(fā)明涉及異物清除設(shè)備。測量單元測量從第一檢測電極的振動(dòng)檢測信號(hào)的輸出到第二檢測電極的振動(dòng)檢測信號(hào)的輸出的檢測相位差量。當(dāng)設(shè)置單元設(shè)置了預(yù)先設(shè)置的第一驅(qū)動(dòng)相位量時(shí)，設(shè)置單元基于測量單元所測量到的檢測相位差量來設(shè)置第二驅(qū)動(dòng)相位差量。當(dāng)設(shè)置單元設(shè)置了第一驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)驅(qū)動(dòng)單元對(duì)第一驅(qū)動(dòng)電極和第二驅(qū)動(dòng)電極施加的第一電壓低于當(dāng)設(shè)置單元設(shè)置了第二驅(qū)動(dòng)相位差量時(shí)驅(qū)動(dòng)單元對(duì)第一驅(qū)動(dòng)電極和第二驅(qū)動(dòng)電極施加的第二電壓。
文檔編號(hào)B08B7/02GK102671892SQ201210073089
公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年3月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月17日
發(fā)明者萩原伸一 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社