專利名稱::用于平面顯示裝置的清潔劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
:本發(fā)明涉及一種用于平面顯示裝置的清潔劑組合物。
背景技術(shù):
:平面顯示裝置通過成膜、曝光、蝕刻等工藝制造,類似于半導(dǎo)體裝置。然而,這種制造工藝可能導(dǎo)致不期望的大小為Iμm或更小的極小顆粒,諸如多種有機(jī)或無機(jī)物質(zhì)附著在基板的表面,從而污染基板。在基板以被這類污染物附著在其上的狀態(tài)進(jìn)行后續(xù)工藝的情況下,可能發(fā)生薄膜針孔或凹點(diǎn)(pit)、以及線路(wiring)的斷裂或橋接(bridging),因此降低了產(chǎn)品的制造產(chǎn)率。因此,在各個工藝之間進(jìn)行用于去除這類污染的清洗過程,并且為此正在進(jìn)行清潔劑的詳盡研究。韓國未經(jīng)審查的專利公布No.2008-0038161公開了用于半導(dǎo)體裝置的剝離劑組合物,其包含有機(jī)胺、有機(jī)膦酸、線性糖醇和水。然而,這種剝離劑對半導(dǎo)體裝置的應(yīng)用有限,而且不能防止由銅(Cu)和Cu合金制成的線路的腐蝕。韓國未經(jīng)審查的專利公布No.2004-0035368公開了用于半導(dǎo)體和薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-IXD)的清潔劑組合物,其包含烷醇胺、有機(jī)溶劑、螯合化合物和水。然而,該組合物的問題在于其具有較低的去除有機(jī)污染物和顆粒的能力,并且在長期使用時由于鄰苯二酚或沒食子酸(其是多羥基苯基螯合化合物)而沉積。韓國未經(jīng)審查的專利公布NO.2006-0127098公開了一種用于在半導(dǎo)體裝置中使用的基板的清潔劑,其包含有機(jī)酸組分、有機(jī)堿組分、表面活性劑和水。然而,作為酸性溶液的該清潔劑在去除大小為Iμm或更小的極小顆粒(例如有機(jī)或無機(jī)物質(zhì))方面并不能令人不滿意,這可能對應(yīng)于早期清潔過程的基本特性。此外,這種清潔劑在防止僅Cu線路腐蝕方面是有效的。
發(fā)明內(nèi)容因此,本發(fā)明的一個目的是提供一種用于平面顯示裝置的清潔劑組合物,其能夠從玻璃基板、電極或線路上去除有機(jī)或無機(jī)污染物或顆粒。本發(fā)明的另一個目的是提供一種用于平面顯示裝置的清潔劑組合物,其能夠表現(xiàn)清潔效果,同時能夠防止由金屬(包括Cu)制成的用在平面顯示裝置中的電極或線路的腐蝕。本發(fā)明的又一個目的是提供一種用于平面顯示裝置的清潔劑組合物,其不產(chǎn)生漂洗問題并且是有利(profitable)且環(huán)保的。為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供一種用于平面顯示裝置的清潔劑組合物,基于該組合物的總重量,其包含O.0110重量%的季銨鹽化合物、O.0110重量%的二醇醚(glycolether)化合物、O.0110重量%的磷酸酯化合物、O.015重量%的甘油化合物、O.01i重量%的接觸角減小劑(contactanglereducingagent)和剩余量的水。結(jié)合附圖,從以下詳細(xì)描述將更清晰地理解本發(fā)明的以上和其它目的、特征和更多優(yōu)點(diǎn),其中圖I示出了被有機(jī)污染物中有機(jī)氈制粗頭筆(felt-tippen)痕跡污染的玻璃基板的相片;圖2示出了使用根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例4的清潔劑組合物去除有機(jī)氈制粗頭筆痕跡的結(jié)果的相片;圖3示出了被有機(jī)污染物中人的指紋污染的Cu基板的相片;及圖4示出了使用根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例4的清潔劑組合物去除指紋污染的結(jié)果的相片。具體實(shí)施例方式以下,將給出本發(fā)明的詳細(xì)描述。根據(jù)本發(fā)明,一種用于平面顯示裝置的清潔劑組合物包含季銨鹽化合物、二醇醚化合物、磷酸酯化合物、甘油化合物、接觸角減小劑和水。在根據(jù)本發(fā)明的用于平面顯示裝置的清潔劑組合物中,季銨鹽化合物賦予其去除有機(jī)和無機(jī)污染物和顆粒的高能力,以及防止由金屬(包括Cu)制成的電極或線路腐蝕的高能力?;谠摻M合物的總重量,季銨鹽化合物的量可以是0.0110重量%,且優(yōu)選O.055重量%。當(dāng)季銨鹽化合物的量落入上述范圍時,去除有機(jī)或無機(jī)污染物和顆粒的能力可能增加,并且防止由金屬(包括Cu)制成的電極或線路腐蝕的能力可能增加。季銨鹽化合物可以選自由以下物質(zhì)組成的組中的一種或多種四甲基氫氧化銨(TMAH)、四乙基氫氧化銨(TEAH)、四丙基氫氧化銨(TPAH)和四丁基氫氧化銨(TBAH)。在根據(jù)本發(fā)明的用于平面顯示裝置的清潔劑組合物中,二醇醚化合物可增加有機(jī)或無機(jī)污染物和顆粒的溶解度并可賦予其有利(profitable)和環(huán)保的優(yōu)點(diǎn)。基于該組合物的總重量,二醇醚化合物的量可以是O.0110重量%,且優(yōu)選O.055重量%。當(dāng)二醇醚化合物的量落入上述范圍時,有機(jī)或無機(jī)污染物和顆粒的溶解度可能增加,清潔劑在清潔過程完成后可沒有殘留,并且可獲得有利和環(huán)保的優(yōu)點(diǎn)。二醇醚化合物可以選自由以下物質(zhì)組成的組中的一種或多種乙二醇單丁醚(BG)、二乙二醇單甲醚(MDG)、二乙二醇單乙醚(卡必醇)、二乙二醇單丁醚(BDG)、二丙二醇單甲醚(DPM)、二丙二醇單乙醚(MFDG)、三乙二醇單丁醚(BTG)、三乙二醇單乙醚(MTG)和丙二醇單甲醚(MFG)。在根據(jù)本發(fā)明的用于平面顯示裝置的清潔劑組合物中,磷酸酯化合物用作質(zhì)子溶劑和非質(zhì)子溶劑的助溶劑,并且賦予其從基板去除有機(jī)污染物和有機(jī)相關(guān)污點(diǎn)的較好的清潔效果。即使使用少量磷酸酯化合物時,仍可去除大量有機(jī)污染物?;诮M合物的總重量,所用的磷酸酯化合物的量可以是O.0110重量%,且優(yōu)選O.055重量%。當(dāng)磷酸酯化合物的量落入上述范圍時,可獲得從基板去除有機(jī)污染物和有機(jī)相關(guān)污點(diǎn)的較好的清潔效果??赏ㄟ^下面化學(xué)式I表示磷酸酯化合物。[化學(xué)式I]權(quán)利要求1.一種用于平面顯示裝置的清潔劑組合物,其特征在于,基于所述組合物的總重量,所述組合物包含0.0110重量%的季銨鹽化合物;0.0110重量%的二醇醚化合物;0.0110重量%的磷酸酯化合物;0.015重量%的甘油化合物;0.01I重量%的接觸角減小劑;及剩余量的水。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔劑組合物,其特征在于,所述季銨鹽化合物選自由以下物質(zhì)組成的組中的一種或多種四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨和四丁基氫氧化銨。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔劑組合物,其特征在于,所述二醇醚化合物選自由以下物質(zhì)組成的組的一種或多種乙二醇單丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、三乙二醇單丁醚、三乙二醇單乙醚和丙二醇單甲醚。4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔劑組合物,其特征在于,所述磷酸酯化合物通過以下化學(xué)式I表不[化學(xué)式]5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清潔劑組合物,其特征在于,所述磷酸酯化合物選自由以下物質(zhì)組成的組的一種或多種磷酸甲酯、磷酸二甲酯、磷酸三甲酯、磷酸乙酯、磷酸二乙酯、磷酸三乙酯、磷酸三丙酯和磷酸三丁酯。6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔劑組合物,其特征在于,所述接觸角減小劑是二羥丙硫醇。7.一種平面顯示裝置,其特征在于,所述平面顯示裝置使用根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔劑組合物來制造。全文摘要本發(fā)明公開了一種用于平面顯示裝置的清潔劑組合物,基于所述組合物的總重量,所述組合物包含0.01~10重量%的季銨鹽化合物、0.01~10重量%的二醇醚化合物、0.01~10重量%的磷酸酯化合物、0.01~5重量%的甘油化合物、0.01~1重量%的接觸角減小劑和剩余量的水。文檔編號C11D7/26GK102807929SQ20121015971公開日2012年12月5日申請日期2012年5月22日優(yōu)先權(quán)日2011年5月30日發(fā)明者洪憲杓,尹嚆重,房淳洪,金炳默申請人:東友Fine-Chem股份有限公司