專利名稱：刻蝕抽風(fēng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及ー種太陽能電池片制造設(shè)備，尤其涉及ー種用于太陽能電池片刻蝕設(shè)備上具有抽風(fēng)功能的裝置。
背景技術(shù)：
晶體硅太陽能電池制造有一道濕法刻蝕エ序，該エ序設(shè)備一般設(shè)計分為酸洗段、刻蝕段、水洗段、堿洗段、水洗段、酸洗段、水洗段、吹干段，其中刻蝕段一般為“水上漂”滾輪傳送，刻蝕過程中硅片下面及四周與腐蝕液相接觸，上面不接觸腐蝕液，但是在刻蝕段與水洗段之間，硅片全部脫離腐蝕液，這時，會在硅片下面產(chǎn)生腐蝕性煙氣，該煙氣對潮濕的硅片上表面有腐蝕作用，應(yīng)當(dāng)及時除去。一般都是采用在刻蝕段上蓋加抽風(fēng)ロ，但是這種設(shè)計不能第一時間把腐蝕性氣體抽走，容易受到干擾，造成硅片腐蝕不均勻，方塊電阻上升不穩(wěn)定，在設(shè)備蓋板內(nèi)側(cè)容易形成較大“霧氣”，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供ー種使用效果好的刻蝕抽風(fēng)裝置。為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的本實用新型包括設(shè)于槽體內(nèi)的滾輪，所述滾輪下方設(shè)有抽風(fēng)管，所述抽風(fēng)管上設(shè)有吸風(fēng)孔。由于本實用新型采用在滾輪下方設(shè)置帶有吸風(fēng)孔的抽風(fēng)管，由于抽風(fēng)位于硅片下方，有利于及時抽走腐蝕性氣體，避免“霧氣”飄到硅片上表面，保證了上表面的均勻性，提聞了抽風(fēng)效果，提聞了廣品質(zhì)量。

附圖是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及具體實施方式
對本實用新型作進(jìn)ー步詳細(xì)的描述如附圖所示本實用新型包括設(shè)于槽體I內(nèi)的滾輪2，滾輪2下方設(shè)有抽風(fēng)管3，抽風(fēng)管3上設(shè)有吸風(fēng)孔5。本實用新型在使用時，使抽風(fēng)管的一端與外部風(fēng)機(jī)連接，通過調(diào)節(jié)外部風(fēng)機(jī)抽風(fēng)量或者調(diào)整抽風(fēng)管與硅片之間的距離，使硅片產(chǎn)生的腐蝕性氣體第一時間被抽走，不會飄到硅片上表面，從而保證上表面的均勻性。
權(quán)利要求1.一種刻蝕抽風(fēng)裝置，包括設(shè)于槽體內(nèi)的滾輪，其特征在于所述滾輪下方設(shè)有抽風(fēng)管， 所述抽風(fēng)管上設(shè)有吸風(fēng)孔。
專利摘要本實用新型公開了一種使用效果好的刻蝕抽風(fēng)裝置。它包括設(shè)于槽體內(nèi)的滾輪，所述滾輪下方設(shè)有抽風(fēng)管，所述抽風(fēng)管上設(shè)有吸風(fēng)孔。本實用新型適用于太陽能電池片濕法刻蝕工序中的抽風(fēng)。
文檔編號B08B15/04GK202845409SQ20122039335
公開日2013年4月3日 申請日期2012年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月8日
發(fā)明者何智鋒, 柴曉燕 申請人:浙江豐球光伏科技股份有限公司