專利名稱：鍵合管的疏通工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及鍵合工具領(lǐng)域，具體講是一種鍵合管的疏通工具。
背景技術(shù)：
鍵合是指將兩片表面清潔、原子級平整的同質(zhì)或異質(zhì)半導(dǎo)體材料經(jīng)表面清洗和活化處理，在一定條件下直接結(jié)合，通過范德華力、分子力甚至原子力使晶片鍵合成為一體的技術(shù)。鍵合管是一種鍵合工具，它設(shè)有一個進(jìn)口大出口小的錐形孔。而錐形孔的出口端內(nèi)徑小，使用過程中非常容易堵塞。傳統(tǒng)的疏通堵塞的方式，是利用被超聲振動裝置震動的鎢絲將其捅開，但由于錐形孔出口端內(nèi)徑太小，一般只有幾十微米，故實(shí)際操作困難，而且，超聲振動裝置成本也高。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，提供一種成本低、使用方便的鍵合管的疏通工具。
本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是，提供一種具有以下結(jié)構(gòu)的鍵合管的疏通工具，它包括一個橡膠軟管，橡膠軟管的后端設(shè)有一個球形充氣囊，橡膠軟管的前端經(jīng)密封裝置密封套合在鍵合管的入口端。采用以上結(jié)構(gòu)后，本實(shí)用新型鍵合管的疏通工具與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)鍵合管的出口端被堵塞后，將橡膠軟管的前端與鍵合管的入口端密封套合，然后按壓球形沖氣囊，就能利用氣壓將鍵合管出口端的堵塞沖開，該疏通工具結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉，而且操作簡單，疏通堵塞的過程方便。作為改進(jìn)，密封裝置是指套合在橡膠軟管外的圓弧形卡箍，圓弧形卡箍的兩端設(shè)有兩塊帶通孔的連接板，兩連接板經(jīng)螺釘緊固，這樣，該密封裝置結(jié)構(gòu)簡單，裝配方便。作為再改進(jìn)，密封裝置是指兩個套合在橡膠軟管外的半圓弧卡箍，兩半圓弧卡箍閉合成整圓，每個半圓弧卡箍的兩端均設(shè)有帶通孔的連接板，每個半圓弧卡箍的連接板與另一個半圓弧卡箍對應(yīng)的連接板螺接，這樣，該密封裝置結(jié)構(gòu)也簡單，裝配也比較方便。作為還改進(jìn),它還包括一個底板,底板上設(shè)有供鍵合管前端的錐頭插入的豎孔,底板底部設(shè)有與豎孔連通的收容腔，這樣，能將阻塞物收容在底板的收容腔內(nèi)，使得環(huán)境整潔。

圖1是本實(shí)用新型的鍵合管的疏通工具的一種實(shí)施例的局部剖視結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的A-A線的截面圖。圖3是本實(shí)用新型的鍵合管的疏通工具的另一種實(shí)施例的局部剖視結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是圖3的B-B線的截面圖。[0014]圖中所示1、橡膠軟管，2、球形充氣囊，3、鍵合管，3.1、錐頭，4、圓弧形卡箍，5、連接板，6、半圓弧卡箍,7、底板,8、豎孔,9、收容腔。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型鍵合管的疏通工具的一種實(shí)施例，它包括一個橡膠軟管I和底板7。橡膠軟管I的后端設(shè)有一個球形充氣囊2。橡膠軟管I的前端經(jīng)密封裝置密封套合在鍵合管3的入口端，密封裝置是指套合在橡膠軟管I外的圓弧形卡箍4，圓弧形卡箍4的兩端設(shè)有兩塊帶通孔的連接板5，兩連接板5經(jīng)螺釘緊固。底板7上設(shè)有供鍵合管3前端的錐頭3.1插入的豎孔8，底板7底部設(shè)有與豎孔8連通的收容腔9。如圖3、圖4所示，本實(shí)用新型鍵合管的疏通工具的另一種實(shí)施例，它與上一個實(shí)施例的區(qū)別在于密封裝置是指兩個套合在橡膠軟管I外的半圓弧卡箍6，兩半圓弧卡箍6閉合成整圓，每個半圓弧卡箍6的兩端均設(shè)有帶通孔的連接板5，每個半圓弧卡箍6的連接板5與另一個半圓弧卡箍6對應(yīng)的連接板5螺接。
權(quán)利要求1.一種鍵合管的疏通工具，其特征在于:它包括一個橡膠軟管(1)，橡膠軟管(I)的后端設(shè)有一個球形充氣囊(2 )，橡膠軟管(I)的前端經(jīng)密封裝置密封套合在鍵合管(3 )的入口端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍵合管的疏通工具，其特征在于:密封裝置是指套合在橡膠軟管(I)外的圓弧形卡箍(4)，圓弧形卡箍(4)的兩端設(shè)有兩塊帶通孔的連接板(5)，兩連接板(5)經(jīng)螺釘緊固。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍵合管的疏通工具，其特征在于:密封裝置是指兩個套合在橡膠軟管(I)外的半圓弧卡箍(6),兩半圓弧卡箍(6)閉合成整圓,每個半圓弧卡箍(6)的兩端均設(shè)有帶通孔的連接板(5),每個半圓弧卡箍(6)的連接板(5)與另一個半圓弧卡箍(6)對應(yīng)的連接板(5)螺接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍵合管的疏通工具，其特征在于:它還包括一個底板(7)，底板(7)上設(shè)有供鍵合管(3)前端的錐頭(3.1)插入的豎孔(8)，底板(7 )底部設(shè)有與豎孔(8)連通的收容腔(9 )。
專利摘要本實(shí)用新型公開的鍵合管的疏通工具包括一個橡膠軟管(1)，橡膠軟管(1)的后端設(shè)有一個球形充氣囊(2)，橡膠軟管(1)的前端經(jīng)密封裝置密封套合在鍵合管(3)的入口端。它還包括一個底板(7)，底板(7)上設(shè)有供鍵合管(3)前端的錐頭(3.1)插入的豎孔(8)，底板(7)底部設(shè)有與豎孔(8)連通的收容腔(9)。密封裝置是指套合在橡膠軟管(1)外的圓弧形卡箍(4)，圓弧形卡箍(4)的兩端設(shè)有兩塊帶通孔的連接板(5)，兩連接板(5)經(jīng)螺釘緊固。或者，密封裝置是指兩個套合在橡膠軟管(1)外的半圓弧卡箍(6)，兩半圓弧卡箍(6)閉合成整圓，每個半圓弧卡箍(6)的兩端均設(shè)有帶通孔的連接板(5)，每個半圓弧卡箍(6)的連接板(5)與另一個半圓弧卡箍(6)對應(yīng)的連接板(5)螺接。該鍵合管的疏通工具成本低、使用方便。
文檔編號B08B9/032GK202910022SQ20122066071
公開日2013年5月1日 申請日期2012年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月5日
發(fā)明者馮武衛(wèi) 申請人:浙江海洋學(xué)院