等離子清洗用電極板和電極裝置及設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種等離子清洗用電極板，該電極板由鋁或鋁合金制成，呈柵狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)部中空形成內(nèi)腔，所述內(nèi)腔具有兩個(gè)開(kāi)口分別用于液體注入和流出。本發(fā)明實(shí)施例提供的電極板，其材料采用鋁或鋁合金，具有高導(dǎo)電性、較強(qiáng)的硬度和力學(xué)性能；其結(jié)構(gòu)呈柵狀，可以使氣體電解更充分，電解產(chǎn)生的等離子體充滿整個(gè)腔體，清洗效果更好；其內(nèi)部中空形成內(nèi)腔且該內(nèi)腔具有兩個(gè)開(kāi)口分別用于液體注入和流出，可以允許冷水循環(huán)流過(guò)內(nèi)腔，對(duì)電極板進(jìn)行降溫，延長(zhǎng)使用壽命。本發(fā)明實(shí)施例還提供相應(yīng)的電極裝置和設(shè)備。
【專利說(shuō)明】等離子清洗用電極板和電極裝置及設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及等離子清洗設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種等離子清洗用電極板和電極裝置及設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，針對(duì)電路板上鉆孔加工出的各種小孔、盲孔、密孔中的殘留物如膠渣(smear)等，通常采用濕法工藝去除，例如，采用高錳酸鉀除膠渣工藝進(jìn)行處理，但是，因?yàn)橐后w張力的原因，處理效果并不能滿足需求。
[0003]目前，等離子體開(kāi)始被應(yīng)用于清洗、去鉆污等領(lǐng)域。等離子體可以在紫外線發(fā)射瑩光過(guò)程中產(chǎn)生，是氣體電離后的物質(zhì)形態(tài)，其活性組分包括離子、電子、自由基或活性基團(tuán)
坐寸ο
[0004]—種現(xiàn)有的等離子清洗方法如下:真空環(huán)境中注入反應(yīng)氣體，在射頻(RF)電流作用下形成等離子體；等離子體中的自由基等組分被電場(chǎng)加速，并與待清洗材料表面相互沖撞，破壞數(shù)微米深度的分子間原有的結(jié)合方式，去除一定深度的表面物質(zhì)，達(dá)到清洗去污效果O
[0005]等離子清洗設(shè)備中的電極一般采用金屬管狀結(jié)構(gòu)，具體可以是電極管。電極管可以在外加高調(diào)波的作用下產(chǎn)生自我偏壓，使發(fā)射的電子無(wú)論哪個(gè)方向作運(yùn)動(dòng)，都會(huì)被排斥，從而使電子在電極管內(nèi)作來(lái)回震蕩運(yùn)動(dòng)，在碰撞到電極管之前運(yùn)動(dòng)更長(zhǎng)的距離，以此增加電子與中性氣體原子碰撞的幾率，提聞等尚子體的生成效率。
[0006]在對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的研究和實(shí)踐過(guò)程中，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的用于等離子清洗的管狀電極還有很大的改進(jìn)空間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供一種等離子清洗用電極板和電極裝置及設(shè)備，以進(jìn)一步改善電極的性能，提高等離子清洗效果。
[0008]為此，本發(fā)明實(shí)施例提供如下技術(shù)方案:
[0009]一種等離子清洗用電極板，由鋁或鋁合金制成，呈柵狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)部中空形成內(nèi)腔，所述內(nèi)腔具有兩個(gè)開(kāi)口分別用于液體注入和流出。
[0010]一種等離子清洗用電極裝置，包括:兩個(gè)以上如上所述的電極板，且所述的兩個(gè)以上電極板彼此平行布置。
[0011]一種等離子清洗設(shè)備，包括:如上所述的電極板或者電極裝置。
[0012]本發(fā)明實(shí)施例提供的電極板，其材料采用鋁或鋁合金，具有高導(dǎo)電性、較強(qiáng)的硬度和力學(xué)性能；其結(jié)構(gòu)呈柵狀，可以使氣體電解更充分，電解產(chǎn)生的等離子體充滿整個(gè)腔體，清洗效果更好；其內(nèi)部中空形成內(nèi)腔且該內(nèi)腔具有兩個(gè)開(kāi)口分別用于液體注入和流出，可以允許冷水循環(huán)流過(guò)內(nèi)腔，對(duì)電極板進(jìn)行降溫，延長(zhǎng)使用壽命?！緦＠綀D】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的等離子清洗用電極板的立體示意圖；
[0014]圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的等離子清洗用電極板的截面示意圖；
[0015]圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的等離子清洗用電極裝置的立體示意圖；
[0016]圖4是在等離子清洗用電極裝置間放置電路板后的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]本發(fā)明實(shí)施例提供一種等離子清洗用電極板，可以進(jìn)一步改善電極的性能，提高等離子清洗效果。本發(fā)明實(shí)施例還提供相應(yīng)的和電極裝置及設(shè)備。以下結(jié)合附圖分別進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0018]請(qǐng)參考圖1和圖2，本發(fā)明實(shí)施例提供一種等離子清洗用電極板。
[0019]所述電極板100由鋁或鋁合金制成，呈柵狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)部中空形成內(nèi)腔110，所述內(nèi)腔110具有兩個(gè)開(kāi)口 170分別用于液體注入和流出。
[0020]一種實(shí)施方式中，所述柵狀結(jié)構(gòu)可以是在一長(zhǎng)方形片狀本體120上開(kāi)設(shè)若干規(guī)則排布的長(zhǎng)方形鏤空槽130而形成。
[0021]另一種實(shí)施方式中，所述電極板可以包括兩條彼此平行的縱向電極管140和垂直連接兩條縱向電極管140的兩條以上橫向電極管150，從而形成柵狀結(jié)構(gòu)，所述縱向電極管140和橫向電極管150均具有中空的內(nèi)腔110。
[0022]其中，兩條相鄰的橫向電極管140的內(nèi)腔110，在第一端通過(guò)一條縱向電極管140實(shí)現(xiàn)連通，在第二端則由另一條縱向電極管140內(nèi)設(shè)置的隔板160實(shí)現(xiàn)隔離。從而，整個(gè)電極板100的內(nèi)腔110成為一個(gè)曲折的通道，該通道的一端是用于液體注入的第一開(kāi)口和用于液體流出的第二開(kāi)口。
[0023]所述的兩個(gè)開(kāi)口應(yīng)分別位于所述電極板的兩個(gè)相對(duì)端。
[0024]以上，本發(fā)明實(shí)施例提供了 一種等離子清洗用電極板。
[0025]一方面，所述電極板采用鋁或者鋁合金為制作材料，原因是:1、鋁或者鋁合金材料具有高到電率，鋁的原子分布的狀態(tài)比較容易被電解；2、鋁或者鋁合金具有較高的硬度和力學(xué)性能、易于加工；3、鋁容易發(fā)生氧化，氧化之后形成一層保護(hù)膜，不易與腔體內(nèi)氣體發(fā)生反應(yīng)；4、招或者招合金材料比較便宜。
[0026]另一方面，所述電極板的形狀為柵狀，原因是:柵狀結(jié)構(gòu)可以使氣體電解充分，使電解之后產(chǎn)生的等離子體充滿整個(gè)腔體，與待清洗的印刷電路板(PCB)的板面盡可能多的發(fā)生撞擊，使板面表面及鉆孔中的臟污脫落，清洗效果更好。
[0027]再一方面，所述電極板內(nèi)部中空形成內(nèi)腔且該內(nèi)腔具有兩個(gè)開(kāi)口分別用于液體注入和流出，原因是:等離子體撞擊PCB板面的過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生高溫，而高溫會(huì)對(duì)電極板的壽命產(chǎn)生不良影響；通過(guò)采用上述結(jié)構(gòu)，可以允許冷水循環(huán)流過(guò)內(nèi)腔，對(duì)電極板進(jìn)行降溫，延長(zhǎng)使用壽命。
[0028]請(qǐng)參考圖3，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種等離子清洗用電極裝置，該裝置包括:兩個(gè)以上如圖1和圖2實(shí)施例所述的電極板，且所述的兩個(gè)以上電極板彼此平行布置。
[0029]采用該種電極裝置，在清洗PCB時(shí)，PCB和電極板彼此間隔布置，且相互平行，如圖4所示，以此種布置方式，可以提高清洗效果。[0030]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種等離子清洗設(shè)備，該設(shè)備包括:如圖1和圖2實(shí)施例所述的電極板，或者，如圖3實(shí)施例所述的電極裝置。
[0031]以上對(duì)本發(fā)明實(shí)施例所提供的等離子清洗用電極板和電極裝置及設(shè)備進(jìn)行了詳細(xì)介紹，但以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想，不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種等離子清洗用電極板，其特征在于，所述電極板由鋁或鋁合金制成，呈柵狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)部中空形成內(nèi)腔，所述內(nèi)腔具有兩個(gè)開(kāi)口分別用于液體注入和流出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極板，其特征在于: 所述柵狀結(jié)構(gòu)是在一長(zhǎng)方形片狀本體上開(kāi)設(shè)若干規(guī)則排布的長(zhǎng)方形鏤空槽而形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極板，其特征在于: 所述電極板包括兩條彼此平行的縱向電極管和垂直連接兩條縱向電極管的兩條以上橫向電極管，所述橫向電極管和縱向電極管均具有中空的內(nèi)腔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電極板，其特征在于: 兩條相鄰的橫向電極管的內(nèi)腔，在第一端通過(guò)一條縱向電極管實(shí)現(xiàn)連通，在第二端則由另一條縱向電極管內(nèi)設(shè)置的隔板實(shí)現(xiàn)隔離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一所述的電極板，其特征在于: 所述的兩個(gè)開(kāi)口分別位于所述電極板的兩個(gè)相對(duì)端。
6.一種等離子清洗用電極裝置，其特征在于，包括:兩個(gè)以上如權(quán)利要求1至5中任一所述的電極板，且所述的兩個(gè)以上電極板彼此平行布置。
7.一種等離子清洗設(shè)備，其特征在于，包括:如權(quán)利要求1至5中任一所述的電極板，或者，如權(quán)利要求6所述的電極裝置。
【文檔編號(hào)】B08B7/00GK103934238SQ201310024841
【公開(kāi)日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2013年1月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月23日
【發(fā)明者】黃金元, 雍蓉, 王建坤, 李超 申請(qǐng)人:深南電路有限公司