捕集部件清掃工具、粒子檢測(cè)裝置以及捕集部件清掃工具的制造方法
【專(zhuān)利摘要】捕集部件清掃工具清掃粒子檢測(cè)裝置的捕集部件，具備：刷部，其具有刷毛(54)和將刷毛(54)的根編入保持的編入部(55)；以及座部(52)，其具有載置編入部(55)的載置面(52c)和粘接刷部的固定部。上述編入部(55)包括位于載置面(52c)的兩端并且與刷毛(54)延伸方向平行地延伸的2個(gè)第1外表面(55a、55b)。將包括上述2個(gè)第1外表面(55a、55b)兩者中的至少一部分的區(qū)域利用粘接劑粘接于固定部，由此使刷部(51)固定于座部(52)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】捕集部件清掃工具、粒子檢測(cè)裝置以及捕集部件清掃工具的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及捕集部件清掃工具、粒子檢測(cè)裝置以及捕集部件清掃工具的制造方法，特別是涉及能防止刷毛脫落、能提高測(cè)定的可靠性的捕集部件清掃工具、粒子檢測(cè)裝置以及捕集部件清掃工具的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]為了抑制粒子檢測(cè)裝置中的捕集部件的更換頻率、降低用于粒子檢測(cè)的費(fèi)用，作為將附著于捕集部件的細(xì)微的異物除去的清掃工具而使用刷部件。
[0003]作為現(xiàn)有的刷部件，是用于與粒子檢測(cè)裝置不同的電子照相裝置的刷部件，例如可以舉出在特開(kāi)2004 - 77920號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)中記載的刷部件。
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)I所記載的刷部件通過(guò)并列地配置包括化學(xué)纖維的多個(gè)刷毛、用在與刷毛的延伸方向正交的方向延伸的由化學(xué)纖維制成的保持線來(lái)保持該刷毛的根部、使毛尖起毛而形成。上述刷部件用于在電子照相裝置內(nèi)使刷毛的毛尖與對(duì)方部件接觸。刷毛與保持線通過(guò)照射超聲波或者高頻波而互相熔融并被熱熔敷。
[0005]另外，在特開(kāi)平10 — 23927號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)2)中記載了導(dǎo)電性刷，其作為電子照相裝置用刷部件而具備并列的多個(gè)導(dǎo)電性刷毛和保持這些刷毛的一方側(cè)的保持部，該導(dǎo)電性刷的端部側(cè)的刷毛的長(zhǎng)度比其它部分的刷毛短。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:特開(kāi)2004 - 77920號(hào)公報(bào)
[0009]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:特開(kāi)平10 — 23927號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0011]通常，只要使用供給的卷盤(pán)狀且刷毛的根部由簡(jiǎn)單的編入結(jié)構(gòu)保持的刷部件，就能以低價(jià)實(shí)現(xiàn)將附著于捕集部件的細(xì)微的異物除去的清掃部。
[0012]但是，當(dāng)截?cái)嗑肀P(pán)狀的刷部件而形成各個(gè)刷部件時(shí)，在截?cái)嗖烤幦胱兊盟沙冢⒚子诿撀?。在粒子檢測(cè)裝置的驅(qū)動(dòng)中，從清掃部脫落的刷毛會(huì)附著于基板的測(cè)定面，由此不易確保測(cè)定結(jié)果的可靠性。
[0013]專(zhuān)利文獻(xiàn)I所記載的刷部件是為了防止刷毛的前端被粘接劑粘接，而對(duì)刷毛和保持線照射超聲波或者高頻波來(lái)將刷毛和保持線進(jìn)行熔敷的刷部件，如后所述，其前提與以用粘接劑粘接到固定工具為前提的本發(fā)明完全不同。
[0014]專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載的刷部件是通過(guò)將保持力低的刷部件端部的刷毛的長(zhǎng)度縮短來(lái)防止刷毛脫落的刷部件，是利用與本發(fā)明完全不同的構(gòu)成來(lái)防止刷毛脫落的刷部件。
[0015]本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而完成的，本發(fā)明的目的在于提供能防止刷毛脫落、提高測(cè)定的可靠性的捕集部件清掃工具、粒子檢測(cè)裝置以及捕集部件清掃工具的制造方法。
[0016]用于解決問(wèn)題的方案
[0017]本發(fā)明的捕集部件清掃工具清掃粒子檢測(cè)裝置的捕集部件，具備:刷部，其具有刷毛和將刷毛的根編入保持的編入部；以及座部，其具有載置編入部的載置面和粘接刷部的固定部。上述編入部包括2個(gè)第I外表面，上述2個(gè)第I外表面位于載置面的兩端并且與刷毛延伸的方向平行地延伸。將包括上述2個(gè)第I外表面兩者中的至少一部分的區(qū)域利用粘接劑粘接于固定部，由此使上述刷部固定于上述座部。
[0018]根據(jù)I種實(shí)施方式，在上述捕集部件清掃工具中，上述座部包括:粘接部，其包含載置面；以及第I突出部，其從載置面突出并與刷毛接觸。在上述粘接部和第I突出部之間形成有臺(tái)階。
[0019]根據(jù)I種實(shí)施方式，在上述捕集部件清掃工具中，在上述第I突出部和編入部之間形成有間隙。
[0020]根據(jù)I種實(shí)施方式，在上述捕集部件清掃工具中，上述編入部還包括第2外表面，上述第2外表面與刷毛所突出的外表面相對(duì)。上述2個(gè)第I外表面以及第2外表面粘接于固定部。
[0021]根據(jù)I種實(shí)施方式，在上述捕集部件清掃工具中，還具備按壓板，上述按壓板以與上述粘接部和第I突出部相對(duì)的方式設(shè)置，并與座部一起夾著刷部。
[0022]根據(jù)I種實(shí)施方式，在上述捕集部件清掃工具中，上述座部還包括第2突出部，上述第2突出部在第I突出部的兩端比第I突出部進(jìn)一步向刷毛側(cè)突出。上述第2突出部與按壓板接觸。
[0023]本發(fā)明的粒子檢測(cè)裝置具備上述捕集部件清掃工具。
[0024]根據(jù)I種實(shí)施方式，上述粒子檢測(cè)裝置構(gòu)成為在對(duì)上述捕集部件進(jìn)行加熱后利用刷部清掃捕集部件。
[0025]本發(fā)明的捕集部件清掃工具的制造方法是對(duì)粒子檢測(cè)裝置的捕集部件進(jìn)行清掃的捕集部件清掃工具的制造方法，其具備如下工序:準(zhǔn)備刷的長(zhǎng)條體，上述刷的長(zhǎng)條體具有刷毛和將刷毛的根編入保持的編入部；以在與長(zhǎng)條體延伸的方向正交的方向形成截?cái)嗝娴姆绞綄㈤L(zhǎng)條體截?cái)鄟?lái)形成刷部；將刷部載置于座部；對(duì)刷部中的截?cái)嗝娴闹辽僖徊糠滞坎颊辰觿?；以及通過(guò)使粘接劑固化而將截?cái)嗝媾c座部粘接。
[0026]根據(jù)I種實(shí)施方式，在上述捕集部件清掃工具的制造方法中還具備設(shè)置與上述座部一起夾著刷毛的一部分的按壓板的工序。
[0027]發(fā)明效果
[0028]根據(jù)本發(fā)明，可以提供能防止刷毛脫落、提高測(cè)定可靠性的捕集部件清掃工具、粒子檢測(cè)裝置以及捕集部件清掃工具的制造方法。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029]圖1是表示加熱前后的源自生物的粒子的熒光強(qiáng)度的變化和加熱前后的粉塵的熒光強(qiáng)度的變化的坐標(biāo)圖。
[0030]圖2是表示檢測(cè)源自生物的粒子的捕集工序的圖。
[0031]圖3是表示檢測(cè)源自生物粒子的熒光測(cè)定工序(加熱前)的圖。
[0032]圖4是表示檢測(cè)源自生物的粒子的加熱工序的圖。
[0033]圖5是表示檢測(cè)源自生物粒子的熒光測(cè)定工序(加熱后)的圖。
[0034]圖6是表示檢測(cè)源自生物的粒子的刷新工序的圖。
[0035]圖7是表示加熱前后的熒光強(qiáng)度的增大量Λ F與源自生物的粒子濃度的關(guān)系的坐標(biāo)圖。
[0036]圖8是表示粒子檢測(cè)裝置的外觀的立體圖。
[0037]圖9是表示圖8中的粒子檢測(cè)裝置的外觀的另一立體圖。
[0038]圖10是表示圖8中的粒子檢測(cè)裝置的分解組裝圖。
[0039]圖11是表示圖8中的粒子檢測(cè)裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0040]圖12是表示從圖9中的粒子檢測(cè)裝置拆下風(fēng)扇狀態(tài)的立體圖。
[0041]圖13是表示本發(fā)明的實(shí)施方式I的清掃部的外觀的圖。
[0042]圖14表示清掃部的截面概略圖。
[0043]圖15是表示將刷毛折彎的情況下的刷的長(zhǎng)條體的圖。
[0044]圖16是表示沒(méi)有將刷毛折彎的情況下的刷的長(zhǎng)條體的圖。
[0045]圖17是表示從刷的長(zhǎng)條體切斷刷的狀態(tài)的圖。
[0046]圖18是說(shuō)明涂布粘接劑的場(chǎng)所以及粘接劑的浸潤(rùn)的圖。
[0047]圖19是表示用刷按壓板固定刷的狀態(tài)的圖。
[0048]圖20是表示清掃部的制造流程的流程圖。
[0049]圖21是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的清掃部的外觀的圖。

【具體實(shí)施方式】
[0050]以下說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。此外，有時(shí)針對(duì)同一或者相當(dāng)?shù)牟糠指缴贤桓綀D標(biāo)記，不重復(fù)進(jìn)行其說(shuō)明。
[0051]此外，在以下說(shuō)明的實(shí)施方式中，在談及個(gè)數(shù)、量等的情況下，除了有特別記載的情況，本發(fā)明的范圍不是一定限于該個(gè)數(shù)、量等。另外，在以下的實(shí)施方式中，除了有特別記載的情況，各個(gè)構(gòu)成要素對(duì)于本發(fā)明而言未必一定是必須的。
[0052][關(guān)于源自生物的粒子的檢測(cè)原理]
[0053]后述的實(shí)施方式1、2的粒子檢測(cè)裝置是用于檢測(cè)花粉或微生物、霉菌等源自生物的粒子的裝置。最先說(shuō)明使用粒子檢測(cè)裝置檢測(cè)源自生物的粒子的原理。
[0054]圖1是表示加熱前后的源自生物的粒子的熒光強(qiáng)度的變化和加熱前后的粉塵的熒光強(qiáng)度的變化的坐標(biāo)圖。
[0055]當(dāng)對(duì)在空氣中浮游的源自生物的粒子照射紫外光或者藍(lán)色光時(shí)，源自生物的粒子發(fā)出熒光。但是，化學(xué)纖維的塵埃等(以下也稱(chēng)為粉塵)同樣發(fā)出熒光的粒子在空氣中浮游，僅通過(guò)檢測(cè)熒光，無(wú)法區(qū)分是來(lái)自源自生物的粒子的熒光還是來(lái)自粉塵的熒光。
[0056]另一方面，如在圖1中所示的，當(dāng)分別對(duì)源自生物的粒子和粉塵實(shí)施加熱處理，測(cè)定加熱前后的熒光強(qiáng)度(熒光量)的變化時(shí)，從粉塵發(fā)出的熒光強(qiáng)度不會(huì)由于加熱處理而變化，而從源自生物的粒子發(fā)出的熒光強(qiáng)度會(huì)由于加熱處理而增加。本實(shí)施方式的粒子檢測(cè)裝置針對(duì)源自生物的粒子與粉塵混合的粒子測(cè)定加熱前后的熒光強(qiáng)度，求出其差分，由此確定源自生物的粒子的量。
[0057]圖2至圖6是表示檢測(cè)源自生物的粒子的工序的圖。參照?qǐng)D2，首先，將粒子捕獲收集到捕集基板510 (捕集工序)。
[0058]在本工序中，將捕集基板510與靜電針530相對(duì)配置，并且在捕集基板510和靜電針530之間產(chǎn)生電位差。當(dāng)通過(guò)風(fēng)扇500的驅(qū)動(dòng)使空氣朝向捕集基板510導(dǎo)入時(shí)，在空氣中浮游的粒子600在靜電針530的周?chē)鷰щ姟щ姷牧Ｗ?00由于靜電力而吸附于捕集基板510的表面。在由捕集基板510捕獲收集的粒子600中包含源自生物的粒子600A和化學(xué)纖維的塵埃等的粉塵600B。
[0059]參照?qǐng)D3，接下來(lái)測(cè)定從加熱前的粒子600發(fā)出的熒光的強(qiáng)度(熒光測(cè)定工序(加熱前))。在本工序中，從半導(dǎo)體激光器等發(fā)光元件550朝向由捕集基板510捕獲收集到的粒子600照射激發(fā)光，并且使從粒子600發(fā)出的熒光經(jīng)過(guò)透鏡560而被受光元件565接受。
[0060]下面，參照?qǐng)D4，使用加熱器520對(duì)由捕集基板510捕獲收集到的粒子600進(jìn)行加熱。加熱后，冷卻捕集基板510 (加熱工序)。
[0061]下面，參照?qǐng)D5，測(cè)定從加熱后的粒子600發(fā)出的熒光的強(qiáng)度(熒光測(cè)定工序(加熱后))。如已經(jīng)說(shuō)明的，從粉塵600B發(fā)出的熒光強(qiáng)度不會(huì)由于加熱處理而變化，而從源自生物的粒子600A發(fā)出的熒光強(qiáng)度由于加熱處理而增加。因此，在本工序中，測(cè)定比由圖3中的熒光測(cè)定工序(加熱前)測(cè)定到的熒光強(qiáng)度大的值的熒光強(qiáng)度。
[0062]圖7是表示加熱前后的熒光強(qiáng)度的增大量Λ F與源自生物的粒子濃度的關(guān)系的坐標(biāo)圖。參照?qǐng)D7，根據(jù)加熱前的熒光強(qiáng)度與加熱后的熒光強(qiáng)度之差，算出熒光強(qiáng)度的增大量Δ Fl。基于預(yù)先準(zhǔn)備的熒光強(qiáng)度的增大量Λ F和源自生物的粒子濃度N的關(guān)系，確定與算出的增大量Λ Fl對(duì)應(yīng)的源自生物的粒子濃度NI。此外，預(yù)先實(shí)驗(yàn)性地決定增大量Λ F和源自生物的粒子濃度N的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
[0063]下面，參照?qǐng)D6，將已完成源自生物的粒子的檢測(cè)的粒子600從捕集基板510除去(刷新工序)。
[0064][關(guān)于粒子檢測(cè)裝置的整體結(jié)構(gòu)]
[0065]圖8是表示粒子檢測(cè)裝置的外觀的立體圖。圖9是表示圖8中的粒子檢測(cè)裝置的外觀的另一立體圖。圖10是表示圖8中的粒子檢測(cè)裝置的分解組裝圖。圖11是表示圖8中的粒子檢測(cè)裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0066]參照?qǐng)D8至圖11，粒子檢測(cè)裝置10具有:作為箱體的外殼11、風(fēng)扇16、捕集部20、熒光檢測(cè)部30以及清掃部50。
[0067]外殼11具有大致長(zhǎng)方體形狀，收納捕集部20、熒光檢測(cè)部30、清掃部50。在本實(shí)施方式中，外殼11包括作為第I箱體的上外殼12和作為第2箱體的下外殼14。下外殼14具有在一個(gè)方向開(kāi)口的箱形狀。上外殼12具有塞住下外殼14的開(kāi)口的平板形狀。作為一例，夕卜殼11具有6OmmX 5Omm(上外殼I2的縱、橫)X 3Omm(高度)的大小。
[0068]外殼11具有側(cè)面Ilm和側(cè)面11η。側(cè)面Ilm和側(cè)面Iln相互相對(duì)地配置。側(cè)面Ilm形成于上外殼12,側(cè)面Iln形成于下外殼14。
[0069]在外殼11中一體地形成有作為筒狀部件的捕集筒15。捕集筒15在側(cè)面Ilm開(kāi)口，從側(cè)面Ilm朝向側(cè)面Iln以圓筒狀延伸。捕集筒15以包圍后述的靜電針22的方式設(shè)置。捕集筒15朝向與靜電針22相對(duì)而被定位的捕集基板71，引導(dǎo)包含粒子的空氣。
[0070]圖12是表示從圖9中的粒子檢測(cè)裝置拆下風(fēng)扇的狀態(tài)的立體圖。參照?qǐng)D9和圖12,風(fēng)扇16能沿正轉(zhuǎn)方向和反轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。風(fēng)扇16沿正轉(zhuǎn)方向被驅(qū)動(dòng)，由此,夕卜殼11內(nèi)部的空氣通過(guò)風(fēng)扇16向外殼11的外部排出。風(fēng)扇16沿反轉(zhuǎn)方向被驅(qū)動(dòng)，由此,夕卜殼11的外部的空氣通過(guò)風(fēng)扇16導(dǎo)入外殼11的內(nèi)部。
[0071]風(fēng)扇16安裝于外殼11的側(cè)面11η。在安裝有風(fēng)扇16的外殼11的位置形成有開(kāi)口部120。開(kāi)口部120開(kāi)口為包括與捕集筒15面對(duì)面的范圍(圖12中的2點(diǎn)劃線122所示的范圍)和與后述的刷51面對(duì)面的范圍(圖12中的2點(diǎn)劃線121所示的范圍)。開(kāi)口部120在與捕集筒15面對(duì)面的范圍和與刷51面對(duì)面的范圍內(nèi)連續(xù)地形成。
[0072]根據(jù)該構(gòu)成，風(fēng)扇16在捕集工序、加熱工序時(shí)的冷卻以及刷新工序中被兼用。由此，能實(shí)現(xiàn)粒子檢測(cè)裝置10的小型化、低成本化。
[0073]參照?qǐng)D8至圖11，捕集部20執(zhí)行參照?qǐng)D2說(shuō)明的捕集工序，將在空氣中包含的粒子捕獲收集到捕集基板71。捕集部20具有作為電源部的高壓電源21和作為放電電極的靜電針22。
[0074]捕集基板71設(shè)為對(duì)混合有源自生物的粒子和化學(xué)纖維的塵埃等粉塵的粒子進(jìn)行捕獲收集的捕集部件。捕集基板71由玻璃板形成。在吸附粒子的玻璃板的表面形成有導(dǎo)電性透明被膜。捕集基板71不限于玻璃板，也可以由陶瓷或者金屬等形成。被膜不限于透明被膜，例如，也可以在由陶瓷等形成的捕集基板71的表面形成金屬被膜。另外，在捕集基板71由金屬形成的情況下，無(wú)需在其表面形成被膜。
[0075]高壓電源21被設(shè)為用于在捕集基板71和靜電針22之間產(chǎn)生電位差的電源部。
[0076]靜電針22從高壓電源21延伸出來(lái)，貫通捕集筒15而到達(dá)捕集筒15的內(nèi)部。進(jìn)行捕集工序時(shí)，捕集基板71與靜電針22相對(duì)配置。在本實(shí)施方式中，靜電針22與高壓電源21的正極電連接。形成于捕集基板71的被膜與高壓電源21的負(fù)極電連接。
[0077]此外，在靜電針22與高壓電源21的正極電連接的情況下，可以是，形成于捕集基板71的被膜與接地電位連接，也可以是，靜電針22與高壓電源21的負(fù)極電連接，形成于捕集基板71的被膜與高壓電源21的正極電連接。
[0078]進(jìn)行捕集工序時(shí)，當(dāng)風(fēng)扇16沿正轉(zhuǎn)方向被驅(qū)動(dòng)時(shí)，外殼11內(nèi)部的空氣被排出，同時(shí)外殼11的外部的空氣經(jīng)過(guò)捕集筒15而被導(dǎo)向捕集基板71。此時(shí)，當(dāng)由于高壓電源21而在靜電針22和捕集基板71之間產(chǎn)生電位差時(shí)，空氣中的粒子在靜電針22的周?chē)凑龢O帶電。按正極帶電的粒子由于靜電力向捕集基板71移動(dòng)，吸附于導(dǎo)電性被膜，由此被捕集基板71捕獲收集。
[0079]這樣在本實(shí)施方式的粒子檢測(cè)裝置10中，通過(guò)利用了靜電力的靜電捕集將粒子捕獲收集于捕集基板71。在這種情況下，在檢測(cè)粒子時(shí)，能可靠地將粒子保持于捕集基板71，并且在檢測(cè)粒子后能將粒子容易地從捕集基板71除去。
[0080]另外，將針狀的靜電針22用作放電電極，由此能使帶電的粒子吸附到與靜電針22相對(duì)的捕集基板71的表面中的、與后述的發(fā)光元件的照射區(qū)域?qū)?yīng)的極窄的區(qū)域。由此，在熒光測(cè)定工序中能高效地檢測(cè)所吸附的微生物。
[0081]熒光檢測(cè)部30執(zhí)行參照?qǐng)D3和圖5說(shuō)明的熒光測(cè)定工序(加熱前、加熱后)。熒光檢測(cè)部30包括激發(fā)光源部31和受光部41。激發(fā)光源部31朝向被捕集基板71捕獲收集的粒子照射激發(fā)光。受光部41接收伴隨著激發(fā)光的照射而從粒子發(fā)出的熒光。
[0082]激發(fā)光源部31具有作為光源的發(fā)光元件32、激發(fā)部框架33、集光透鏡34以及透鏡按壓件35。受光部41具有噪聲屏蔽42、放大電路43、受光元件44、受光部框架45、菲涅耳透鏡46以及透鏡按壓件47。作為發(fā)光元件32使用半導(dǎo)體激光器或者LED (Light EmittingD1de)元件等。從發(fā)光元件32發(fā)出的光只要是激發(fā)源自生物的粒子而使其發(fā)出熒光的光即可，也可以具有紫外或者可見(jiàn)光中的任一個(gè)區(qū)域的波長(zhǎng)。作為受光元件44，使用光致二極管或者圖像傳感器等。
[0083]清掃部50執(zhí)行參照?qǐng)D6而說(shuō)明的刷新工序，將粒子從捕集基板71除去。清掃部50具有作為清掃工具而發(fā)揮功能的刷51、作為基部的刷座部52以及刷按壓板53。清掃部50固定支撐于高壓電源21。進(jìn)行刷新工序時(shí)，清掃部50靜止。
[0084]刷51由纖維集合體形成。刷51由具有導(dǎo)電性的纖維集合體形成。刷51例如由碳纖維形成。優(yōu)選形成刷51的纖維集合體的線徑為Φ0.05mm以上且Φ0.2mm以下。
[0085]刷51具有自由端51p和配置在與自由端51p相反的一側(cè)的端部的支撐端51q(參照?qǐng)D11)。支撐端51q由刷座部52和刷按壓板53支撐。刷51以從支撐端51q朝向自由端51p垂下的方式設(shè)置。刷51在捕集基板71能移動(dòng)的范圍內(nèi)被固定支撐。捕集基板71在刷51的自由端51p與捕集基板71的表面接觸的狀態(tài)下移動(dòng)，由此從捕集基板71除去粒子。
[0086]粒子檢測(cè)裝置10還具有作為加熱部的加熱器76和移動(dòng)機(jī)構(gòu)部60。加熱器76執(zhí)行參照?qǐng)D4所說(shuō)明的加熱工序，對(duì)由捕集基板71捕獲收集到的粒子進(jìn)行加熱。
[0087]移動(dòng)機(jī)構(gòu)部60搭載捕集基板71，在捕集工序、熒光測(cè)定工序(加熱前、加熱后)、刷新工序以及加熱工序之間使捕集基板71移動(dòng)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)部60具有:電機(jī)支架61、作為能旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部的旋轉(zhuǎn)電機(jī)62、電機(jī)按壓件63以及作為臂部的旋轉(zhuǎn)基座64。
[0088]參照?qǐng)D11，旋轉(zhuǎn)基座64連接著旋轉(zhuǎn)電機(jī)62的輸出軸。旋轉(zhuǎn)基座64伴隨著旋轉(zhuǎn)電機(jī)62的驅(qū)動(dòng)以被描繪為假設(shè)線的旋轉(zhuǎn)中心軸66為中心旋轉(zhuǎn)(正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn))。
[0089]旋轉(zhuǎn)基座64由樹(shù)脂材料形成。旋轉(zhuǎn)基座64作為其構(gòu)成部位具有中心部67和基板支撐部68。
[0090]中心部67與旋轉(zhuǎn)電機(jī)62的輸出軸連接。中心部67通過(guò)外殼11以旋轉(zhuǎn)中心軸66為中心旋轉(zhuǎn)自如地被支撐?；逯尾?8從中心部67向旋轉(zhuǎn)中心軸66的半徑方向延伸，在其前端搭載有捕集基板71?；逯尾?8在搭載捕集基板71的位置具有框形。
[0091]在捕集基板71的里面貼合有加熱器76。加熱器76當(dāng)旋轉(zhuǎn)基座64旋轉(zhuǎn)時(shí)與捕集基板71 —起移動(dòng)。
[0092]旋轉(zhuǎn)基座64旋轉(zhuǎn)，由此在粒子檢測(cè)裝置71內(nèi)，捕集基板71能分別向進(jìn)行捕集工序的捕集位置、進(jìn)行測(cè)定工序的測(cè)定位置、進(jìn)行加熱工序的加熱位置以及進(jìn)行刷新工序的刷新位置移動(dòng)。
[0093]熒光測(cè)定工序(加熱后)結(jié)束且捕集基板71向刷新位置移動(dòng)，由此捕集基板71的整個(gè)表面以與刷51的自由端51p接觸的方式經(jīng)過(guò)，從捕集基板71除去粒子。
[0094]在此，刷新位置是指捕集基板71與被固定支撐的刷51接觸的期間內(nèi)的捕集基板71的移動(dòng)范圍。
[0095](實(shí)施方式I)
[0096]圖13是表示實(shí)施方式I的清掃部的外觀的圖。圖14表示清掃部的截面概略圖。參照?qǐng)D13和圖14，清掃部50具有刷51和將刷51固定的刷座部52。刷51具有刷毛54和利用編入線將刷毛54的根編入、固定的編入部55。形成有多個(gè)包括多個(gè)刷毛54的刷毛54的束。多個(gè)束以在清掃部50的寬度方向(DRl方向)排列的方式并列配置。
[0097]刷座部52具有:分別具有卡合部56的側(cè)壁52a、52b ;載置刷51的載置面52c ；以及上表面52d。
[0098]側(cè)壁52a、52b比載置面52c向前面?zhèn)韧怀觥＞幦氩?5以收納在側(cè)壁52a、52b的內(nèi)側(cè)的方式載置于載置面52c。刷座部52具有從載置面52c向前面?zhèn)韧怀龅牡贗突出部52e。在載置面52c和第I突出部52e之間形成臺(tái)階部57。在臺(tái)階部57和編入部55之間設(shè)有使后述的粘接劑的浸潤(rùn)延遲的間隙。
[0099]位于第I突出部52e的兩端的側(cè)壁52a、52b具有第2突出部521a、521b，上述第2突出部521a、521b相對(duì)于第I突出部52e進(jìn)一步向前面?zhèn)韧怀?。刷?4以收納在第2突出部521a、521b的內(nèi)側(cè)的方式配置。刷毛54與刷座部的第I突出部52e接觸。
[0100]而且，刷座部52相對(duì)于第I突出部52e在與刷毛54的延伸方向相反的一側(cè)具有從載置面52c突出的第3突出部52f。第3突出部52f配置在側(cè)壁52a、52b之間。側(cè)壁52a、52b比第3突出部52f更向載置面52c的前面?zhèn)韧怀觥?br> [0101]編入部55具有與刷毛的延伸方向平行地延伸的第I外表面55a、55b以及與刷毛突出的外表面55c相對(duì)的第2外表面55d。
[0102]刷51將刷的帶狀長(zhǎng)條體截?cái)喽鴺?gòu)成。長(zhǎng)條體在圖13、圖14中的箭頭DRl方向延伸而形成。
[0103]圖15是表示在將刷毛54折彎的情況下的刷的長(zhǎng)條體的圖。參照?qǐng)D15，長(zhǎng)條體511構(gòu)成為，排列多個(gè)以U字狀彎曲的刷毛54的束，利用編入線將包括彎曲部51a的根側(cè)向與刷毛54延伸的方向交叉的方向編入。彎曲部51a、自由端51p分別以相對(duì)于刷毛54的延伸方向在大致垂直方向在直線上排列的方式配置。刷毛54的束以一定的間隔排列。
[0104]圖16是表示在沒(méi)有折彎刷毛54的情況下的刷的長(zhǎng)條體的圖。參照?qǐng)D16，長(zhǎng)條體512構(gòu)成為，排列多個(gè)直線延伸的刷毛54的束，利用編入線將根側(cè)(一端側(cè))向與刷毛54延伸的方向正交的方向編入。刷毛54的自由端51p和位于與自由端51p相反一側(cè)的端部51b分別以相對(duì)于刷毛54的延伸方向在大致垂直方向在直線上排列的方式配置。刷毛54的束以一定的間隔排列。
[0105]在粒子檢測(cè)裝置10中，刷的長(zhǎng)條體511、512與捕集基板71相比充分地長(zhǎng)，因此當(dāng)將刷51安裝于刷座部52并作為清掃部進(jìn)行組裝時(shí)，需要截?cái)嚅L(zhǎng)條體511、512。在截?cái)嗨⒌拈L(zhǎng)條體511、512的情況下，刷毛54的束密集地排列，因此刷毛54的束多在途中被截?cái)?。長(zhǎng)條體511、512沿與刷毛54的延伸方向大致平行的方向、即沿與長(zhǎng)條體的延伸方向正交的方向被截?cái)唷?br> [0106]圖17是表示已從刷的長(zhǎng)條體切成刷的狀態(tài)的圖。參照?qǐng)D17，在編入部55的第I外表面55a側(cè)(圖17中的左側(cè))，彎曲部51a的外側(cè)被截?cái)唷Ｔ诰幦氩?5的第I外表面55b側(cè)(圖17中的右側(cè))，彎曲部51a的內(nèi)側(cè)被截?cái)唷?br> [0107]這樣，在刷毛54的束在途中被截?cái)嗟那闆r下，在編入部55的第I外表面55a、55b偵牝編入線被截?cái)喽沙?，因此與沒(méi)有被截?cái)嗟闹醒胂啾?，編入保持刷?4的保持力降低。另外，使捕集基板71反復(fù)移動(dòng)以與刷51接觸，由此，編入線的松弛加深，保持力進(jìn)一步降低。因此，在第I外表面55a、55b中刷毛54易于脫落。
[0108]在粒子檢測(cè)裝置10的驅(qū)動(dòng)中，在刷毛54脫落而附著于捕集基板71的表面的情況下，在捕集基板71和靜電針22之間，無(wú)法施加用于使粒子帶電的電壓，捕集性能降低，測(cè)定結(jié)果的穩(wěn)定性降低。因而，為了使測(cè)定結(jié)果穩(wěn)定，需要防止刷毛54從刷51脫落。在本實(shí)施方式的清掃部50中，當(dāng)使刷座部52與刷51粘接時(shí)，調(diào)整涂布粘接劑的部位，由此防止刷毛54從刷51脫落。
[0109]圖18是說(shuō)明涂布粘接劑的場(chǎng)所以及粘接劑的浸潤(rùn)的圖。參照?qǐng)D18，在將刷51配置在刷座部52的載置面52c的狀態(tài)下，對(duì)位于編入部55的第I外表面55a、55b側(cè)的粘接劑涂布區(qū)域551a、551b涂布粘接劑。粘接劑使用例如光固化性樹(shù)脂。刷51用設(shè)置在刷座部52的定位部59進(jìn)行定位。定位部59以與側(cè)壁52a或者52b、第3突出部52f相接的方式具有L字型形狀。此外，粘接劑也可以是熱固化性樹(shù)脂，也可以是光/熱并用型樹(shù)脂。
[0110]在粘接劑涂布區(qū)域551a、551b中涂布的粘接劑通過(guò)UV照射等而固化，分別將第I外表面55a、55b固定于每一側(cè)壁52a、52b。將編入線被截?cái)喽３至档偷牡贗外表面55a、55b經(jīng)由粘接劑固定于側(cè)壁52a、52b，由此強(qiáng)化保持力。另外，能抑制伴隨著捕集基板71的重復(fù)動(dòng)作而使編入線的松弛加劇。因此，即使外力作用于刷毛54的前端，刷毛54也不易脫落。
[0111]而且，可以對(duì)位于與刷毛54的延伸方向相反的一側(cè)的第2外表面55c側(cè)的粘接劑涂布區(qū)域551c涂布粘接劑。對(duì)粘接劑涂布區(qū)域551c涂布的粘接劑固化后將第2外表面55c和刷座部52的第3突出部52f固定。通過(guò)將第2外表面55c和第3突出部52f固定，由此，位于第2外表面55c的編入線的保持力被強(qiáng)化，能防止刷毛54從編入部55的中央部脫落。
[0112]但是，當(dāng)固定刷51時(shí)，在使用了粘接劑的情況下，粘接劑浸潤(rùn)到刷毛54的前端(自由端51p),刷毛54的前端被粘接,擔(dān)心會(huì)失去清掃功能。
[0113]具體地，刷51是超細(xì)直徑的毛材集合而成的，因此在涂布粘接劑后用UV等進(jìn)行光照射，直至使粘接劑固化為止的期間，由于毛細(xì)管現(xiàn)象，粘接劑會(huì)向刷毛54的前端浸潤(rùn)。當(dāng)粘接劑浸潤(rùn)到刷毛54的前端而固化時(shí)，刷毛54被固定，不可移動(dòng)。因此，無(wú)法清掃捕集基板71。因而，需要抑制粘接劑的浸潤(rùn)、確保刷的清掃功能。
[0114]在本實(shí)施方式的清掃部50中，如上所述，在載置面52c和第I突出部52e之間形成有臺(tái)階部57。因此，對(duì)粘接劑涂布區(qū)域551a、551b涂布的且浸潤(rùn)到編入部55的粘接劑會(huì)碰到臺(tái)階部57，如箭頭A、B所示，其行進(jìn)路線變?yōu)槌蛑醒氩?。改變了行進(jìn)路線的粘接劑一邊向編入部55浸潤(rùn)一邊向中央部行進(jìn)。因此，能抑制粘接劑向刷毛54前端浸潤(rùn)。
[0115]另外，在臺(tái)階部57和編入部55之間形成有間隙58的情況下(該間隙不是必須的。)，能在間隙58中儲(chǔ)存粘接劑，能抑制向刷毛54的前端側(cè)的浸潤(rùn)，直至在間隙58內(nèi)填充粘接劑。
[0116]這樣，能通過(guò)抑制粘接劑的浸潤(rùn)來(lái)確保利用UV使粘接劑固化所需的時(shí)間，其結(jié)果是，能防止刷毛54的前端被粘接。
[0117]在這種情況下，刷51與刷座部52的粘接部是側(cè)壁52a、52b和浸潤(rùn)了粘接劑的載置面52c。
[0118]接著，說(shuō)明清掃功能。粘接劑由于臺(tái)階部57或者間隙58而停止，由此，對(duì)刷毛54的動(dòng)作進(jìn)行固定的粘接劑的前端位置確定為臺(tái)階部57或者間隙58的位置。刷毛54能從粘接劑的前端位置移動(dòng)到自由端51p為止，能清掃捕集基板71。刷毛54的自由端51p分別以在與刷的延伸方向大致垂直的方向在直線上排列的方式配置，因此從粘接于多個(gè)刷毛54的粘接劑的前端位置到自由端51p的距離分別是固定的。因此，能均勻地清掃捕集基板71。
[0119]但是，在粘接劑在臺(tái)階部57和編入部55之間的間隙58處沒(méi)有停止的情況下，粘接劑的一部分會(huì)浸潤(rùn)到第I突出部52e。在這種情況下，粘接劑不是朝向刷毛54的自由端51p均勻地浸潤(rùn)，因此，當(dāng)粘接劑固化時(shí)，在刷毛54之間，從粘接劑的前端位置到自由端51p為止的距離是不均勻的。其結(jié)果是，不易均勻地清掃捕集基板71。在這種情況下，刷51與刷座部52的粘接部成為側(cè)壁52a、52b、浸潤(rùn)了粘接劑的載置面52c以及第I突出部52e的一部分。
[0120]在本實(shí)施方式的清掃部50中，還能通過(guò)使用刷按壓板53固定刷毛54來(lái)均勻地清掃捕集基板71。
[0121]圖19是用刷按壓板固定刷的圖。參照?qǐng)D19，刷按壓板53與刷座部刷座部52的第I突出部52e和上述的粘接部相對(duì)配置，夾著并固定刷51，經(jīng)由卡合部56與刷座部52卡八口 ο
[0122]在刷按壓板53中，設(shè)有開(kāi)口部531，上述開(kāi)口部531與設(shè)于刷座部52的側(cè)壁52a、52b的卡合部56卡合。刷按壓板53與刷座部的第2突出部521a、521b接觸，將刷毛54 —邊按壓一邊固定到固定位置53a。
[0123]因而，對(duì)刷的動(dòng)作進(jìn)行固定的位置從浸潤(rùn)到第I突出部的一部分的粘接劑的前端位置向刷按壓板53按下刷毛54的固定位置53a移動(dòng)。其結(jié)果是，從刷按壓板53突出的刷毛54具有清掃捕集基板71的功能。
[0124]刷按壓板53固定刷毛54的固定位置53a在相對(duì)于刷的延伸方向大致垂直方向在直線上排列，因此，從固定刷毛54的動(dòng)作的固定位置53a到刷毛54的自由端51p的距離在多個(gè)刷毛54之間是固定的。因此，能均勻地清掃捕集基板71。另外，刷毛54被刷按壓板53和第I突出部52e夾著，因此，能減輕由于在粒子檢測(cè)裝置內(nèi)反復(fù)清掃而發(fā)生的刷毛54的展開(kāi)。
[0125]圖20是表示本實(shí)施方式的清掃部的制造流程的流程圖。參照?qǐng)D20，準(zhǔn)備刷的長(zhǎng)條體，其包括刷毛54和利用編入線將刷毛54的根編入固定的編入部。(S10工序)。
[0126]下面，將刷的長(zhǎng)條體沿相對(duì)于長(zhǎng)條體的延伸方向正交的方向截?cái)啵谐删哂心芮鍜卟都?1的寬度的刷51 (S20工序)。并且，將截?cái)嗪蟮乃?1載置于刷座部52的載置面52c (S30工序)。此時(shí)，刷51以被刷座部52的側(cè)壁52a、52b收納的方式載置，由定位部59進(jìn)行定位。另外，以相對(duì)于刷座部52的第I突出部52e產(chǎn)生間隙58的方式載置刷51。在位于第I突出部52e的兩端的第2突出部521a、521b之間配置刷毛54。
[0127]接著，對(duì)編入部55的第I外表面55a、55b側(cè)涂布粘接劑(S40工序)。此時(shí)，粘接劑的流動(dòng)由于刷座部52的第I突出部52e與載置面52c的臺(tái)階部57而變更為朝向刷座部52的中央，抑制粘接劑向刷毛54的前端浸潤(rùn)。另外，在間隙58內(nèi)填充粘接劑的期間，抑制粘接劑向刷毛54前端浸潤(rùn)。此外，S30工序和S40工序的順序也可以是相反的。
[0128]其后，對(duì)涂布的粘接劑照射UV使其固化(S50工序)。接著，將刷按壓板53與刷座部52的第I突出部52e和上述粘接部相對(duì)配置，夾著并固定刷51 (S60工序)。能通過(guò)刷按壓板53統(tǒng)一對(duì)多個(gè)刷毛54之間的動(dòng)作進(jìn)行固定的位置，能將從刷毛54的固定位置53a到刷毛54的自由端51p為止的距離設(shè)為固定。其結(jié)果是，能均勻地清掃捕集基板71。
[0129](實(shí)施方式2)
[0130]圖21是表示實(shí)施方式2的清掃部的圖。刷座部52的側(cè)壁52a、52b和第2突出部521a、521b在刷毛54延伸方向延伸這一點(diǎn)與實(shí)施方式I的清掃部不同。
[0131]通過(guò)第2突出部521a、521b擴(kuò)展，由此，使刷按壓板53與刷座部52的接觸面積增力口。當(dāng)刷按壓板53與刷座部52的接觸面積增加時(shí)，與實(shí)施方式I的清掃部相比，刷毛54被牢固地固定。因而，能進(jìn)一步減輕由于在粒子檢測(cè)裝置內(nèi)重復(fù)清掃而發(fā)生的刷毛54的展開(kāi)
[0132]以上說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但應(yīng)考慮此次公開(kāi)的實(shí)施方式在所有方面只是為例示，而非限制性內(nèi)容。本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求書(shū)表示，包括與權(quán)利要求書(shū)等同的含義和范圍內(nèi)的所有變更。
[0133]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0134]10:粒子檢測(cè)裝置；11:外殼;llm、lln:側(cè)面；12:上外殼；14:下外殼；15:捕集筒；16:風(fēng)扇；19:突出部；20:捕集部；21:高壓電源；22:靜電針；30:熒光檢測(cè)部；31:激發(fā)光源部；32:發(fā)光元件；33:激發(fā)部框架；34:集光透鏡；41:受光部；42:噪聲屏蔽；43:放大電路；44:受光元件；45:受光部框架；46:菲涅耳透鏡；50:清掃部；51:刷；51a:彎曲部；51b:端部；51p:自由端；51q:支撐端；52:刷座部;52a、52b:側(cè)壁；52c:載置面；52d:上表面；52e:第I突出部；52f:第3突出部；53:刷按壓板；53a:固定位置；54:刷毛；55:編入部；55a、55b:第I外表面；55c:第2外表面；56:卡合部；57:臺(tái)階部；58:間隙；59:定位部；60:移動(dòng)機(jī)構(gòu)部；61:電機(jī)支架；62:旋轉(zhuǎn)電機(jī)；64:旋轉(zhuǎn)基座；66:旋轉(zhuǎn)中心軸；67:中心部；68:基板支撐部；71:捕集基板；76:加熱器；91:捕集/加熱位置；92:檢測(cè)位置；93:刷新位置;120、531:開(kāi)口部;511、512:長(zhǎng)條體;521a、521a、521b:第 2 突出部;551a、551b、551c:粘接劑涂布區(qū)域。
【權(quán)利要求】
1.一種捕集部件清掃工具，其清掃粒子檢測(cè)裝置的捕集部件，其特征在于， 具備:刷部，其具有刷毛和將上述刷毛的根編入保持的編入部；以及 座部，其具有載置上述編入部的載置面和粘接上述刷部的固定部， 上述編入部包括2個(gè)第1外表面，上述2個(gè)第1外表面位于上述載置面的兩端并且與上述刷毛延伸的方向平行地延伸， 將包括上述2個(gè)第1外表面兩者中的至少一部分的區(qū)域利用粘接劑粘接于上述固定部，由此使上述刷部固定于上述座部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的捕集部件清掃工具， 上述座部包括:粘接部，其包含上述載置面；以及第1突出部，其從上述載置面突出并與上述刷毛接觸， 在上述粘接部和上述第1突出部之間形成有臺(tái)階。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的捕集部件清掃工具， 在上述第1突出部和上述編入部之間形成有間隙。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任一項(xiàng)所述的捕集部件清掃工具， 上述編入部還包括第2外表面，上述第2外表面與上述刷毛所突出的外表面相對(duì)， 上述2個(gè)第1外表面以及上述第2外表面粘接于上述固定部。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至權(quán)利要求4中的任一項(xiàng)所述的捕集部件清掃工具， 還具備按壓板，上述按壓板以與上述粘接部和上述第1突出部相對(duì)的方式設(shè)置，與上述座部一起夾著上述刷部。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至權(quán)利要求5中的任一項(xiàng)所述的捕集部件清掃工具， 上述座部還包括第2突出部，上述第2突出部在上述第1突出部的兩端比第1突出部進(jìn)一步向上述刷毛側(cè)突出， 上述第2突出部與上述按壓板接觸。
7.一種粒子檢測(cè)裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求6中的任一項(xiàng)所述的捕集部件清掃工具。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粒子檢測(cè)裝置， 構(gòu)成為在對(duì)上述捕集部件進(jìn)行加熱后利用上述刷部清掃上述捕集部件。
9.一種捕集部件清掃工具的制造方法，上述捕集部件清掃工具對(duì)粒子檢測(cè)裝置的捕集部件進(jìn)行清掃，上述捕集部件清掃工具的制造方法的特征在于，具備如下工序: 準(zhǔn)備刷的長(zhǎng)條體，上述刷的長(zhǎng)條體具有刷毛和將上述刷毛的根編入保持的編入部；以在與上述長(zhǎng)條體延伸的方向正交的方向形成截?cái)嗝娴姆绞綄⑸鲜鲩L(zhǎng)條體截?cái)鄟?lái)形成刷部； 將上述刷部載置于座部； 對(duì)上述刷部中的上述截?cái)嗝娴闹辽僖徊糠滞坎颊辰觿?；以? 通過(guò)使上述粘接劑固化而將上述截?cái)嗝媾c上述座部粘接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的捕集部件清掃工具的制造方法， 還具備設(shè)置與上述座部一起夾著上述刷毛的一部分的按壓板的工序。
【文檔編號(hào)】A46B3/08GK104364633SQ201380031152
【公開(kāi)日】2015年2月18日 申請(qǐng)日期:2013年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月29日
【發(fā)明者】加茂友規(guī), 藤田英明, 藤岡一志, 奧野大樹(shù) 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社