玻璃基板清洗的制造方法
【專利摘要】一種玻璃基板清洗機(jī),包括用于風(fēng)干玻璃基板上下表面上的水分的上風(fēng)刀和下風(fēng)刀,所述上風(fēng)刀和所述下風(fēng)刀上分別設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,所述上風(fēng)刀上設(shè)有一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口,所述下風(fēng)刀上設(shè)有至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口,所述一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口與所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口上下相對。上述玻璃基板清洗機(jī)通過在下風(fēng)刀上設(shè)置兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口,在下風(fēng)刀內(nèi)流出的氣流量加大時(shí),可以對下風(fēng)刀內(nèi)流出的氣流進(jìn)行有效分壓,防止玻璃基板的跳動,使得玻璃基板傳送穩(wěn)定,從而避免被刮傷,同時(shí)下風(fēng)刀內(nèi)的氣流量加大可以有效將玻璃基板吹干。
【專利說明】玻璃基板清洗機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示面板的制造領(lǐng)域,尤其涉及一種具有風(fēng)干功能的玻璃基板清洗機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示面板的制造過程中,均需要對玻璃基板進(jìn)行多次清洗作業(yè),清洗后再對其進(jìn)行干燥處理。目前,大多采用上風(fēng)刀與下風(fēng)刀來對表面附著水分的玻璃基板進(jìn)行干燥處理。其中在風(fēng)干的過程中,上風(fēng)刀及下風(fēng)刀朝向玻璃基板的上下表面均設(shè)有出風(fēng)口,氣流分別從上風(fēng)刀及下風(fēng)刀的出風(fēng)口吹出,并流經(jīng)玻璃基板表面從而風(fēng)干玻璃基板上下表面的水分。圖1是現(xiàn)有的玻璃基板清洗機(jī)在風(fēng)干玻璃基板時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖1所示,玻璃基板清洗機(jī)包括上風(fēng)刀11和下風(fēng)刀12,上風(fēng)刀11和下風(fēng)刀12均分別只設(shè)有一個(gè)出風(fēng)口 110、120,并且上風(fēng)刀11和下風(fēng)刀12在對玻璃基板101進(jìn)行干燥處理時(shí),上風(fēng)刀11的出風(fēng)口 110的氣流對玻璃基板101的壓力大于下風(fēng)刀12的出風(fēng)口 120的氣流對玻璃基板101的壓力,以避免下風(fēng)刀12的出風(fēng)口 120流出的氣流將玻璃基板101吹起來,而導(dǎo)致玻璃基板101在傳送時(shí)因向上跳動被風(fēng)刀刮傷。在圖1所示結(jié)構(gòu)的玻璃基板清洗機(jī)中,當(dāng)玻璃基板101沿著水平面由左至右(圖中箭頭al所示的方向)的經(jīng)過上風(fēng)刀11與下風(fēng)刀12的中間時(shí),如圖2所示,由于出風(fēng)口 110的氣流對玻璃基板101形成的氣流壓力Fll大于出風(fēng)口 120的氣流對玻璃基板101形成的氣流壓力F12,導(dǎo)致玻璃基板101在承受氣流壓力的地方會出現(xiàn)局部下凹101a,并且上風(fēng)刀11與下風(fēng)刀12對玻璃基板101的氣流壓力F11、F12的差值越大,玻璃基板101上的局部下凹IOla越是明顯。由于玻璃基板101上的局部下凹IOla的存在,加之下風(fēng)刀12吹出的氣流在水平方向的分量是由右向左流動的(如圖1所示箭頭al的反方向),下風(fēng)刀12吹出的氣流在吹在玻璃基板101的下表面上之后將被玻璃基板101的局部下凹IOla擋住,從而導(dǎo)致玻璃基板101下表面上的位于局部下凹IOla左側(cè)的水很難被風(fēng)刀12吹出的氣流除干凈,而在玻璃基板101的下表面上形成水殘。為了將玻璃基板101下表面上的水除凈,可以增大下風(fēng)刀12的出風(fēng)口 120的氣流量,然而,當(dāng)下風(fēng)刀12的出風(fēng)口 120的氣流量加大時(shí),由于下風(fēng)刀12僅設(shè)置一個(gè)出風(fēng)口 120,下風(fēng)刀12的出風(fēng)口 120的氣流對玻璃基板101的作用力也會增大,使玻璃基板101被往上吹起,從而引起玻璃基板101在傳送時(shí)因向上跳動與風(fēng)刀碰撞被刮傷的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于,提供一種對氣流有效分壓、防止玻璃基板跳動、使玻璃基板傳送穩(wěn)定避免被刮傷并且可以將玻璃基板有效風(fēng)干的玻璃基板清洗機(jī)。
[0004]一種玻璃基板清洗機(jī),包括用于風(fēng)干玻璃基板上下表面上的水分的上風(fēng)刀和下風(fēng)刀,所述上風(fēng)刀和所述下風(fēng)刀上分別設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,所述上風(fēng)刀上設(shè)有一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口,所述下風(fēng)刀上設(shè)有至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口,所述一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口與所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口上下相對。[0005]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述下風(fēng)刀數(shù)量為一個(gè),所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口設(shè)在所述下風(fēng)刀上。
[0006]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述下風(fēng)刀內(nèi)設(shè)置有隔板,所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口由所述隔板分隔形成。
[0007]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述下風(fēng)刀的數(shù)量為至少兩個(gè),所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口分別設(shè)于所述至少兩個(gè)下風(fēng)刀上,每一個(gè)下風(fēng)刀上設(shè)置一個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口。
[0008]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述上風(fēng)刀向上傾斜且與所述玻璃基板的運(yùn)行方向之間形成第一夾角,所述下風(fēng)刀向下傾斜且與所述玻璃基板的運(yùn)行方向之間形成第二夾角,所述第一夾角與所述第二夾角關(guān)于所述玻璃基板所在的平面對稱。
[0009]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述第一夾角與所述第二夾角均為60°。
[0010]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口的開口寬度為0.02mm,每個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口的開口寬度均為0.02mm。
[0011]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口沿著所述上風(fēng)刀的長度方向設(shè)置,所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口均沿著所述下風(fēng)刀的長度方向設(shè)置。
[0012]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述玻璃基板清洗機(jī)還包括傳送待風(fēng)干的玻璃基板的傳送裝置。
[0013]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施方案中,所述傳送裝置包括多個(gè)承載與傳送所述待風(fēng)干的玻璃基板的滾輪。
[0014]本實(shí)用新型玻璃基板清洗機(jī)通過在下風(fēng)刀上設(shè)置兩個(gè)出風(fēng)口,在下風(fēng)刀內(nèi)流出的氣流量加大時(shí),可以對下風(fēng)刀內(nèi)流出的氣流進(jìn)行有效分壓,防止玻璃基板的跳動,使得玻璃基板傳送穩(wěn)定,從而避免被刮傷,同時(shí)下風(fēng)刀內(nèi)的氣流量加大可以有效將玻璃基板吹干。
[0015]上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段,而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施,并且為了讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂,以下特舉較佳實(shí)施例,并配合附圖,詳細(xì)說明如下。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1是現(xiàn)有的玻璃基板清洗機(jī)在風(fēng)干玻璃基板時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2是玻璃基板在現(xiàn)有的玻璃基板清洗機(jī)的作用下引起的局部下凹示意圖。
[0018]圖3是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的玻璃基板清洗機(jī)在風(fēng)干玻璃基板時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖4是玻璃基板在本實(shí)用新型的玻璃基板清洗機(jī)的作用下引起的局部下凹示意圖。
[0020]圖5是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的玻璃基板清洗機(jī)在風(fēng)干玻璃基板時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例,對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效,詳細(xì)說明如后。
[0022]請參考圖3,本實(shí)用新型第一實(shí)施例的玻璃基板清洗機(jī),包括傳送裝置20、上風(fēng)刀32和下風(fēng)刀34。其中,傳送裝置20用于傳送待風(fēng)干的玻璃基板100,使待風(fēng)干的玻璃基板100從上風(fēng)刀32與下風(fēng)刀34中間通過,上風(fēng)刀32與下風(fēng)刀34用于風(fēng)干待風(fēng)干的玻璃基板100的上下表面上的水分。
[0023]具體的,傳送裝置20包括多個(gè)并排設(shè)置的滾輪22,滾輪22用于承載并傳送玻璃基板100。在本實(shí)施例中,玻璃基板100在傳送裝置20上由左至右傳送(如圖3中箭頭a2所示),即玻璃基板100的運(yùn)行方向?yàn)檠刂勺笾劣业乃椒较颉?br>
[0024]上風(fēng)刀32與下風(fēng)刀34上分別設(shè)有進(jìn)風(fēng)口(圖未示出)與出風(fēng)口。待風(fēng)干的玻璃基板100從上風(fēng)刀32與下風(fēng)刀34中間通過,上風(fēng)刀32上設(shè)有一個(gè)朝向玻璃基板100的上表面的出風(fēng)口,具體為第一出風(fēng)口 320,下風(fēng)刀34上設(shè)有兩個(gè)朝向玻璃基板100下表面的出風(fēng)口,分別為第二出風(fēng)口 342與第三出風(fēng)口 344,并且第一出風(fēng)口 320與第二出風(fēng)口 342、第三出風(fēng)口 344上下相對。這樣,在利用上風(fēng)刀32與下風(fēng)刀34對玻璃基板100進(jìn)行風(fēng)干時(shí),當(dāng)上風(fēng)刀32和下風(fēng)刀34上的進(jìn)風(fēng)口內(nèi)氣流均增大時(shí),下風(fēng)刀34流出的氣流經(jīng)第二出風(fēng)口342與第三出風(fēng)口 344的有效分壓,可以防止玻璃基板100在傳送裝置20上的跳動,使得玻璃基板100傳送穩(wěn)定、不易歪曲變形,從而避免玻璃基板100被刮傷。[0025]具體的講,假設(shè)下風(fēng)刀單位時(shí)間內(nèi)流入的氣流量為m,則根據(jù)流體力學(xué)的質(zhì)量守恒定律可知,對于圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中的下風(fēng)刀12而言,單位時(shí)間流出的氣流量:
m= P ^V15IiS1
[0026]其中,P表示空氣密度,V1代表圖1所示下風(fēng)刀12流出的氣流的流速,S1代表圖1所示下風(fēng)刀12的出風(fēng)口 120的截面積;
[0027]單位時(shí)間內(nèi)從下風(fēng)刀12的出風(fēng)口 120流出的氣流量為:m=p *V2*S2
[0028]其中,V2代表本實(shí)施例中玻璃基板清洗機(jī)中下風(fēng)刀34流出的氣流的流速,S2代表本實(shí)施例中下風(fēng)刀34的兩個(gè)出風(fēng)口的總截面積,且第二出風(fēng)口 342與第三出風(fēng)口 344的截面積相等,都為S2/2。
[0029]需要說明的是,圖1所示下風(fēng)刀12的出風(fēng)口 120的截面積S1與本實(shí)施例中下風(fēng)刀34的單個(gè)出風(fēng)口的截面積相等,也就是說,S2=2Si。
[0030]因此,由上述公式可知,V1=SV2
[0031]即在單位時(shí)間流入下風(fēng)刀的氣流量相同的情況下,圖1所示下風(fēng)刀12流出的氣流的流速為本實(shí)施例中下風(fēng)刀34流出的氣流的流速的兩倍。
[0032]在正對風(fēng)刀流出的氣流運(yùn)動方向的玻璃基板表面,氣流完全受阻,氣體的流速由V變?yōu)?,其動能轉(zhuǎn)變?yōu)閴毫δ埽鶕?jù)氣流的動壓強(qiáng)(動壓強(qiáng):表示單位體積流體的動能)公式:P= P Ψ/2
[0033]其中,P表示空氣密度,V為氣體的流速。
[0034]下風(fēng)刀流出的氣流對玻璃基板的作用力F=S*P=S P V2/2,其中S為下風(fēng)刀流出的氣流在玻璃基板上的作用面積。
[0035]因此,圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中下風(fēng)刀12流出的氣流對玻璃基板的作用力FU=S3PV12/^,其中S3為圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中下風(fēng)刀12流出的氣流在玻璃基板上的作用面積。
[0036]本實(shí)施例中下風(fēng)刀34由兩個(gè)出風(fēng)口流出的氣流對玻璃基板的作用力分別為F342及F344,并且F342=F344=S4pV22/2,其中,S4為本實(shí)施例中下風(fēng)刀34任意一個(gè)出風(fēng)口流出的氣流在玻璃基板上的作用面積,并且本實(shí)施例中的下風(fēng)刀34的任意一個(gè)出風(fēng)口流出的在玻璃基板上的作用面積與圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中下風(fēng)刀12流出的氣流在玻璃基板上的作用面積可以視為相等,即S4=S3。
[0037]從而,F(xiàn)12=2(F342+F344)
[0038]即當(dāng)在圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中的下風(fēng)刀12和本實(shí)施例中的下風(fēng)刀34單位時(shí)間內(nèi)流出的氣流量相等的情況下,本實(shí)施例中的下風(fēng)刀34流出的氣流對玻璃基板100的作用力為圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中下風(fēng)刀12流出氣流對玻璃基板101的作用力的二分之一,也就是說,在單位時(shí)間內(nèi)下風(fēng)刀流出的氣流量相等的情況下,本實(shí)施例中下風(fēng)刀34流出的氣流對玻璃基板的作用力大大減少,也就是說本實(shí)施例中的下風(fēng)刀34可以對氣流進(jìn)行有效的分壓。
[0039]現(xiàn)在根據(jù)上述結(jié)論進(jìn)行反推,保持本實(shí)施例中下風(fēng)刀34流出的氣流對玻璃基板的作用力與圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中下風(fēng)刀12流出的氣流對玻璃基板的作用力相等,此時(shí)本實(shí)施例中的下風(fēng)刀34單位時(shí)間內(nèi)流出的氣流量為m22、氣流的流速為V22、下風(fēng)刀34的出風(fēng)口的總截面積為S2,圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中的下風(fēng)刀12單位時(shí)間內(nèi)流出的氣流量為mn、氣流的流速為Vn、下風(fēng)刀12的出風(fēng)口的截面積為Sp
[0040]根據(jù)公式:mn=pWJS1
[0041]m22= P *V22*S2
[0042]及S2=SS1 可以得出:Vn=2mnV22/m22,
[0043]結(jié)合公式:F12=S3P Vn2/2
[0044]F342=F344=S4 P V222/2
[0045]及F12=F342+F344,可以得出:m22=l.41mn
[0046]也就是說,在保持本實(shí)用新型中下風(fēng)刀34流出的氣流對玻璃基板的作用力與圖1所示玻璃基板清洗機(jī)中下風(fēng)刀12流出的氣流對玻璃基板的作用力相等的情況下,本實(shí)施例中下風(fēng)刀34單位時(shí)間內(nèi)流出的氣流量將增大,從而增強(qiáng)下風(fēng)刀34對玻璃基板的吹干能力。
[0047]另外本實(shí)施例中下風(fēng)刀34流出的氣體的作用力可以選擇一個(gè)接近上風(fēng)刀32對玻璃基板的作用力的值,在增強(qiáng)下風(fēng)刀34對玻璃基板的吹干能力的同時(shí),使玻璃基板的局部下凹的問題得到改善。具體如圖4所示,圖4是玻璃基板100在本實(shí)施例的玻璃基板清洗機(jī)的作用下引起的局部下凹示意圖,在本實(shí)施例中下風(fēng)刀34流出的氣體量m22稍大于1.41mn時(shí),因?yàn)楸緦?shí)施例中的下風(fēng)刀34具有的兩個(gè)出風(fēng)口(第二出風(fēng)口 342、第三出風(fēng)口 344)可以對氣流進(jìn)行有效的分壓,因此第二出風(fēng)口 342、第三出風(fēng)口 344的氣流對玻璃基板100形成的氣流壓力F342、F344并不會快速增加,即兩個(gè)出風(fēng)口 342、344的氣流對玻璃基板100形成的氣流壓力F342、F344之和仍然比上風(fēng)刀32出風(fēng)口的氣流對玻璃基板100形成的氣流壓力F32要小,但是更接近上風(fēng)刀32的出風(fēng)口的氣流對玻璃基板100形成的氣流壓力F32,因此玻璃基板100上形成的局部下凹IOOa可以得到改善,同時(shí)又可以避免玻璃基板100在傳送時(shí)因向上跳動被風(fēng)刀刮傷的問題。即本實(shí)用新型可以在避免玻璃基板100在傳送時(shí)因向上跳動被風(fēng)刀刮傷問題的同時(shí),有效改善水殘現(xiàn)象。
[0048]在本實(shí)施例中,下風(fēng)刀34內(nèi)設(shè)置有一隔板341。隔板341與下風(fēng)刀34上相對的兩側(cè)壁相連接,下風(fēng)刀34上朝向玻璃基板100的下表面的兩個(gè)出風(fēng)口(第二出風(fēng)口 342與第三出風(fēng)口 344)由隔板341分隔形成。在本實(shí)施例中,隔板341與下風(fēng)刀34 —體成型,在其它實(shí)施例中,也可以是分離式組裝形成,將隔板341通過粘結(jié)等方式固定在下風(fēng)刀34的內(nèi)偵牝在此并不做特別限定。
[0049]在本實(shí)施例中,上風(fēng)刀32向上傾斜且與玻璃基板100的運(yùn)行方向之間形成有第一夾角α,下風(fēng)刀34向下傾斜且與玻璃基板100的運(yùn)行方向之間形成有第二夾角Θ,且第一夾角α與第二夾角Θ關(guān)于玻璃基板100所在的平面對稱。
[0050]在本實(shí)施例中,第一夾角α和第二夾角Θ的度數(shù)均為60°。
[0051]在其他實(shí)施方式中,第一夾角α和第二夾角Θ也可以為30°?80°之間的任意角度,這樣設(shè)置的目的是為了有效而又平穩(wěn)地將基板表面的水吹干,而又不至于使氣流在基板表面的反射將基板表面的水又帶到風(fēng)刀的后面。
[0052]在本實(shí)施例中,朝向玻璃基板100的上表面的出風(fēng)口的開口寬度,即第一出風(fēng)口320的開口寬度為0.02mm,兩個(gè)朝向玻璃基板100的下表面的出風(fēng)口的開口寬度,即第二出風(fēng)口 342與第三出風(fēng)口 344的開口寬度均為0.02mm。在其他實(shí)施方式中,第一出風(fēng)口 320、第二出風(fēng)口 342與第三出風(fēng)口 344的開口寬度也可以為其他數(shù)值,在此并不做特別限定。
[0053]朝向玻璃基板100的上表面的出風(fēng)口,即第一出風(fēng)口 320沿著上風(fēng)刀32的長度方向設(shè)置,兩個(gè)朝向玻璃基板100的下表面的出風(fēng)口,即第二出風(fēng)口 342與第三出風(fēng)口 344均沿著下風(fēng)刀34的長度方向設(shè)置。
[0054]上述實(shí)施方式以下風(fēng)刀34上設(shè)置兩個(gè)出風(fēng)口(第二出風(fēng)口 342與第三出風(fēng)口 344)為例進(jìn)行說明,可以理解的是,在其他實(shí)施方式中,下風(fēng)刀34上還可以設(shè)有三個(gè)或三個(gè)以上的出風(fēng)口,以對下風(fēng)刀34內(nèi)流出的氣流進(jìn)行有效分壓。
[0055]圖5是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的玻璃基板清洗機(jī)在風(fēng)干玻璃基板時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型第二實(shí)施例的玻璃基板清洗機(jī)與第一實(shí)施例的玻璃基板清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)基本相同,不同之處在于,在第二實(shí)施例中,下風(fēng)刀的數(shù)量為兩個(gè),分別為下風(fēng)刀36與下風(fēng)刀38,下風(fēng)刀36上設(shè)置一個(gè)出風(fēng)口,即第二出風(fēng)口 360,下風(fēng)刀38上設(shè)置一個(gè)出風(fēng)口,即第三出風(fēng)口 380,同樣可以實(shí)現(xiàn)對下風(fēng)刀內(nèi)流出的氣流進(jìn)行有效分壓的作用,可以在保持下風(fēng)刀36,38的氣流壓力小于上風(fēng)刀32的氣流壓力的同時(shí),增大下風(fēng)刀36、38的氣流量以吹干玻璃基板上的水份,也即可以在避免玻璃基板100在傳送時(shí)因向上跳動被風(fēng)刀刮傷問題的同時(shí),有效改善水殘現(xiàn)象。
[0056]本實(shí)用新型玻璃基板清洗機(jī)通過在下風(fēng)刀上設(shè)置兩個(gè)出風(fēng)口,以對下風(fēng)刀內(nèi)流出的氣流進(jìn)行有效分壓,可以在保持下風(fēng)刀的氣流壓力小于上風(fēng)刀的氣流壓力的同時(shí),增大下風(fēng)刀的氣流量以吹干玻璃基板,有效解決現(xiàn)有技術(shù)中的玻璃基板清洗機(jī)因下風(fēng)刀內(nèi)氣流增大,下風(fēng)刀流出的氣流壓力快速增大,而導(dǎo)致的氣流將玻璃基板被往上吹起,使玻璃基板與風(fēng)刀碰撞被刮傷的問題,同時(shí),下風(fēng)刀內(nèi)流出的氣流量增加,可以增強(qiáng)下風(fēng)刀的去水能力,使玻璃基板上所附著的水分被充分除凈。
[0057]以上所述,僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并非對本實(shí)用新型作任何形式上的限制,雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上,然而并非用以限定本實(shí)用新型,任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員,在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi),當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實(shí)施例,但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案內(nèi)容,依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃基板清洗機(jī),包括用于風(fēng)干玻璃基板上下表面上的水分的上風(fēng)刀和下風(fēng)刀,所述上風(fēng)刀和所述下風(fēng)刀上分別設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,其特征在于,所述上風(fēng)刀上設(shè)有一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口,所述下風(fēng)刀上設(shè)有至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口,所述一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口與所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口上下相對。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述下風(fēng)刀數(shù)量為一個(gè),所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口設(shè)在所述下風(fēng)刀上。
3.如權(quán)利要求2所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述下風(fēng)刀內(nèi)設(shè)置有隔板,所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口由所述隔板分隔形成。
4.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述下風(fēng)刀的數(shù)量為至少兩個(gè),所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口分別設(shè)于所述至少兩個(gè)下風(fēng)刀上,每一個(gè)下風(fēng)刀上設(shè)置一個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口。
5.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述上風(fēng)刀向上傾斜且與所述玻璃基板的運(yùn)行方向之間形成第一夾角,所述下風(fēng)刀向下傾斜且與所述玻璃基板的運(yùn)行方向之間形成第二夾角,所述第一夾角與所述第二夾角關(guān)于所述玻璃基板所在的平面對稱。
6.如權(quán)利要求5所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述第一夾角與所述第二夾角均為60。。
7.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口的開口寬度為0.02mm,每個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口的開口寬度均為0.02mm。
8.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述一個(gè)朝向玻璃基板上表面的出風(fēng)口沿著所述上風(fēng)刀的長度方向設(shè)置,所述至少兩個(gè)朝向玻璃基板下表面的出風(fēng)口均沿著所述下風(fēng)刀的長度方向設(shè)置。
9.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述玻璃基板清洗機(jī)還包括傳送待風(fēng)干的玻璃基板的傳送裝置。
10.如權(quán)利要求9所述的玻璃基板清洗機(jī),其特征在于,所述傳送裝置包括多個(gè)承載與傳送所述待風(fēng)干的玻璃基板的滾輪。
【文檔編號】B08B13/00GK203711441SQ201420043694
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年1月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月23日
【發(fā)明者】陳富軍, 鄧思, 蔡小強(qiáng), 宋宏坤 申請人:昆山龍騰光電有限公司