一種用于光罩盒的除塵裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種用于光罩盒的除塵裝置，至少包括：設(shè)有開(kāi)口和通槽的外罩；位于所述外罩底部的支撐柱；上表面固定有粘性墊并套設(shè)在所述支撐柱上的基板；所述支撐柱位于所述基板下方部分穿套有彈性部件；所述基板、支撐柱、彈性部件及粘性墊置于所述外罩內(nèi)；所述外罩的開(kāi)口垂直投影于所述粘性墊上；穿過(guò)所述通槽與所述基板連接的開(kāi)合器在所述通槽中上下移動(dòng)；所述光罩盒底座嵌入所述外罩開(kāi)口并接觸于所述粘性墊表面；所述光罩盒卡口寬度大于所述開(kāi)口寬度；所述基板上下移動(dòng)的距離大于等于所述光罩盒上下移動(dòng)的距離。所述裝置在粘性墊作用下可去除光罩盒底部的微粒，使所述光罩盒在進(jìn)入機(jī)臺(tái)的運(yùn)行過(guò)程中不污染光罩，能有效提高光罩制程的良率。
【專利說(shuō)明】一種用于光罩盒的除塵裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制備領(lǐng)域，特別是涉及一種用于光罩盒的除塵裝置。【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制程工藝中，為了使光掩膜在制程中不被污染，通常將用于轉(zhuǎn)移圖案的光掩膜放置于一種盒式裝置中，這種盒式裝置稱為光罩盒。現(xiàn)有技術(shù)的光罩盒是封閉的裝置。為了節(jié)省存放空間，在無(wú)塵室中眾多光罩盒是以一種層疊的形式摞在一起來(lái)存放。當(dāng)制程需要時(shí)，將光罩盒及其內(nèi)部的光掩膜一同放入機(jī)臺(tái)設(shè)備中，處于機(jī)臺(tái)中的光罩盒在機(jī)臺(tái)的控制下被打開(kāi)，其內(nèi)部的光掩膜被機(jī)臺(tái)自動(dòng)取出運(yùn)行。
[0003]而現(xiàn)有技術(shù)中，眾多所述光罩盒往往由于不斷的來(lái)回被搬取，其底部長(zhǎng)期會(huì)積累或沾有污染物或微粒，這些微?；蛭廴疚镎吃诠庹趾械撞窟B同光掩膜一起放入機(jī)臺(tái)運(yùn)行的過(guò)程中，將會(huì)進(jìn)一步污染光掩膜，被污染過(guò)的光掩膜在后續(xù)制程工藝中會(huì)造成產(chǎn)品合格率的下降。目前由于上述問(wèn)題導(dǎo)致的半導(dǎo)體制程良率的下降還沒(méi)有較有效的解決辦法。因此有必要提出一種用于光罩盒的除塵裝置。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于光罩盒的除塵裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于光罩盒底部的污染物或微粒在光掩膜制作過(guò)程中給所述光掩膜帶來(lái)污染以及進(jìn)一步影響半導(dǎo)體制程良率的問(wèn)題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種用于光罩盒的除塵裝置，所述用于光罩盒的除塵裝置至少包括:
[0006]上表面設(shè)有開(kāi)口且側(cè)壁設(shè)有至少一個(gè)通槽的外罩；
[0007]位于所述外罩底部的至少三個(gè)支撐柱；
[0008]上表面固定有粘性墊并套設(shè)在所述支撐柱上上下滑動(dòng)的基板；
[0009]所述支撐柱位于所述基板下方部分穿套有彈性部件；
[0010]所述基板、支撐柱、彈性部件及粘性墊均置于所述外罩內(nèi)部；
[0011]所述外罩上表面的開(kāi)口的垂直投影位于所述粘性墊上表面；
[0012]穿過(guò)所述通槽并伸出所述外罩并與所述基板連接的開(kāi)合器；所述開(kāi)合器在所述通槽中上下移動(dòng)；
[0013]卡持于所述開(kāi)口的光罩盒；所述光罩盒具有底座及位于底座上方的卡口，其底座嵌入所述外罩的開(kāi)口并與所述粘性墊表面接觸；所述卡口縱截面的寬度大于所述開(kāi)口縱截面的寬度；所述基板上下移動(dòng)的距離大于等于所述光罩盒上下移動(dòng)的距離。
[0014]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述支撐柱圍繞所述基板中心呈均勻分布。
[0015]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述支撐柱為四個(gè)。
[0016]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述粘性墊的材料為防靜電膠帶。
[0017]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述穿套于所述支撐柱的彈性部件底部固定于所述支撐柱底部。
[0018]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述支撐柱底部固定于所述外罩底部。
[0019]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述外罩的開(kāi)口垂直投影位于所述粘性墊表面的中部。
[0020]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述彈性部件為彈簧，所述彈簧的自由長(zhǎng)度均相等。
[0021]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述彈性部件的彈性系數(shù)均相等。
[0022]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述通槽及穿過(guò)該通槽的開(kāi)合器分別有兩個(gè)。
[0023]作為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的一種優(yōu)選方案，所述兩個(gè)通槽關(guān)于所述外罩中心呈對(duì)稱分布。
[0024]如上所述，本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置，具有以下有益效果:通過(guò)將內(nèi)部放置有光掩膜的光罩盒置于一種除塵裝置中，并將所述光罩盒底部的微?；蛭廴疚镎尺B在所述粘性墊上表面，可以有效地去除所述光罩盒底面的微粒以及污染物，可有效提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的制程良率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1為本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖2為本實(shí)用新型的裝置外罩包含通槽部分的剖面示意圖。
[0027]圖3為圖1去掉光罩盒的剖面示意圖。
[0028]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0029]10 基板
[0030]11 支撐柱
[0031]12 粘性墊
[0032]13 彈簧
[0033]14 外罩
[0034]15 開(kāi)合器
[0035]16 光罩盒
[0036]17 通槽
[0037]18 開(kāi)口
【具體實(shí)施方式】
[0038]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0039]請(qǐng)參閱圖1?圖2。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0040]如圖1所示，表示的是本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的剖面示意圖，所述外罩14的上表面設(shè)有開(kāi)口，且其側(cè)壁設(shè)有至少一個(gè)通槽，本實(shí)施例中，所述外罩14側(cè)壁的通槽為兩個(gè)，且該兩個(gè)通槽關(guān)于所述外罩的中心呈對(duì)稱分布。
[0041]如圖1所示，位于所述外罩14內(nèi)的底部設(shè)有支撐柱11，所述支撐柱11的個(gè)數(shù)至少有三個(gè)，所述支撐柱11的作用是平穩(wěn)地支撐所述基板10，因此，本實(shí)施例中優(yōu)選地將所述支撐柱的個(gè)數(shù)設(shè)為四個(gè)。并且所述四個(gè)支撐柱的分布為圍繞所述基板的中心呈均勻分布。在所述四個(gè)支撐柱上套設(shè)的基板10其上表面固定有粘性墊12，所述粘性墊12具有粘連微小顆粒的作用，本實(shí)施例中，所述粘性墊12的材料為防靜電的膠帶。如果將所述光罩盒放置于其上表面，在將所述光罩盒拿走時(shí)，所述光罩盒底部的微粒會(huì)被粘走，所述粘性墊對(duì)所述光罩盒起到潔凈除塵的作用。所述基板雖然是套設(shè)在所述支撐柱上，但其可以沿著所述支撐柱上下滑動(dòng)。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，將所述支撐柱11的下端固定在所述外罩14的底部。
[0042]本實(shí)施例的目的是為了使得所述支撐柱既可以支撐所述基板，又可以使得所述基板沿著所述支撐柱上下滑動(dòng)，為了達(dá)到這兩個(gè)目的，在所述支撐柱位于所述基板的下方部分穿套具有彈性的部件，即稱之為彈性部件，本實(shí)施例中，所述彈性部件為彈簧13。為了使得所述彈簧13的能夠平穩(wěn)的支撐所述基板，因此，本實(shí)施例中分別穿套在所述四個(gè)支撐柱上的每個(gè)彈簧的自由長(zhǎng)度均相等，同時(shí)所述四個(gè)彈簧的彈性系數(shù)均相等。
[0043]為了使得所述基板能夠較平穩(wěn)的沿所述支撐柱上下滑動(dòng)，因此，本實(shí)施例中將所述四個(gè)支撐柱的下端同時(shí)固定在所述外罩內(nèi)的底部；同時(shí)，由于所述彈簧13的作用是支撐所述基板并可以在所述支撐柱上自由滑動(dòng)，作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述彈簧的底端固定于所述支撐柱的底端，使其上端部分沿著所述支撐柱伸縮。
[0044]所述外罩14的作用是存放和保護(hù)所述基板、支撐柱、彈性部件以及粘性墊，因此，本實(shí)施例中，所述基板、支撐柱、彈性部件以及粘性墊均置于所述外罩14的內(nèi)部；所述外罩14的上表面具有開(kāi)口，圖3表示的是圖1去掉所述光罩盒的剖面示意圖，所述外罩上表面開(kāi)口 18的作用是將所述光罩盒嵌入所述開(kāi)口 18，并使得所述光罩盒能夠用所述粘性墊將其底部的微粒以及污染物粘連，因此所述光罩盒的底部必須與所述粘性墊接觸，因此，本實(shí)施例中，所述外罩14的上表面開(kāi)口 18的垂直投影位于所述粘性墊的上表面。同時(shí)，作為本實(shí)施例的一種優(yōu)選方案，所述外罩14的上表面的開(kāi)口 18位于所述粘性墊表面的中部位置。
[0045]為使所述基板在外力的作用下上下移動(dòng)，因此，所述外罩14的側(cè)壁具有至少一個(gè)通槽17，穿過(guò)所述通槽17并伸出所述外罩14的開(kāi)合器15與所述基板連接，如圖2所示，表示的是本實(shí)用新型的裝置外罩包含通槽部分的剖面示意圖，如圖2所示，伸出所述裝置外罩14側(cè)壁的開(kāi)合器15穿過(guò)所述通槽17，所述開(kāi)合器15在外力的作用下在所述通槽17中上下移動(dòng)，同時(shí)，帶動(dòng)所述基板壓縮所述彈簧，使得所述基板實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng)。本實(shí)施例中，由于所述通槽17的個(gè)數(shù)有兩個(gè)，并且所述兩個(gè)通槽關(guān)于所述外罩的中心呈對(duì)稱分布。因此與所述通槽對(duì)應(yīng)的開(kāi)合器的個(gè)數(shù)亦有兩個(gè)。
[0046]本實(shí)用新型的用于光罩盒的除塵裝置的作用是將所述光罩盒通過(guò)所述裝置外罩14的開(kāi)口放置于所述粘性墊12的上表面，當(dāng)需要將所述光罩盒拿走時(shí)，所述光罩盒需要與所述粘性墊脫離，因此所述基板需要向下移動(dòng)，這就需要作用外力在所述開(kāi)合器上，比如，通過(guò)人工作用所述開(kāi)合器，再通過(guò)所述開(kāi)合器壓縮彈簧來(lái)實(shí)現(xiàn)該目的。而在這個(gè)過(guò)程中，所述光罩盒脫離了所述粘性墊以后，還會(huì)停留所述外罩的開(kāi)口處的位置，不會(huì)隨著所述粘性墊一起下降而最終粘在一起，因此，要想最終脫離所述粘性墊，必須使所述光罩盒最終卡在所述外罩的開(kāi)口處。因此，本實(shí)施例中，所述光罩盒卡口縱截面的寬度小于所述外罩開(kāi)口的縱截面的寬度，即圖1中的裝置剖面圖亦即該裝置的縱截面圖，LI表示的是所述光罩盒卡口縱截面的寬度，圖3中，L2表示的是所述外罩的開(kāi)口縱截面的寬度；所述光罩盒的底座嵌入所述外罩開(kāi)口并與所述粘性墊的表面接觸。以上兩個(gè)條件的限制使得所述光罩盒卡持于所述外罩的開(kāi)口處，這使得所述光罩盒不能從所述外罩的開(kāi)口處落入所述外罩內(nèi)部。同時(shí)在外力作用下的開(kāi)合器使得所述基板與所述光罩盒能夠?qū)崿F(xiàn)脫離的條件為:所述基板上下移動(dòng)的距離要大于或等于所述光罩盒上下移動(dòng)的距離。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，為了達(dá)到較為理想的脫離效果，所述基板上下移動(dòng)的距離大于所述光罩盒上下移動(dòng)的距離。
[0047]當(dāng)所述光罩盒連同置于其內(nèi)部的光掩膜一起存儲(chǔ)時(shí)，將所述光罩盒通過(guò)嵌入所述用于光罩盒的除塵裝置的外罩上表面開(kāi)口處并置于所述粘性墊上；當(dāng)所述光罩盒和其內(nèi)部的光掩膜需要放入機(jī)臺(tái)運(yùn)行時(shí)，對(duì)位于所述裝置外罩側(cè)壁的開(kāi)合器施加外力，在外力作用下，所述開(kāi)合器將作用于與其連接的基板，由于所述彈簧通過(guò)所述支撐柱支撐所述基板，在外力的作用下，所述基板向下運(yùn)行，所述彈簧被壓縮，位于所述基板上表面的粘性墊會(huì)跟隨所述基板一起向下運(yùn)動(dòng)。又由于所述光罩盒卡持于所述外罩的開(kāi)口處，并且所述基板上下移動(dòng)的距離大于所述光罩上下移動(dòng)的距離。因此，當(dāng)所述粘性墊向下運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，所述光罩盒與所述粘性墊脫離，在彈簧尚未恢復(fù)至原狀的情況下，由人工將所述與粘性墊脫離的光罩盒拿走。因此，與所述粘性墊接觸后的所述光罩盒底部被除塵。所述光罩盒底部的微粒以及污染物被所述粘性墊帶走。因此所述光罩盒在被送入機(jī)臺(tái)中運(yùn)行的過(guò)程中，將會(huì)大大減少污染物以及微粒來(lái)污染所述光掩膜，進(jìn)而不會(huì)影響所述光掩膜的正常生產(chǎn)，亦大大提聞了光掩I旲廣品的生廣的良品率。
[0048]綜上所述，本實(shí)用新型用于光罩的除塵裝置，通過(guò)將內(nèi)部放置有光掩膜的光罩盒放入用于光罩的所述除塵裝置中，并將所述光罩盒底部的微?；蛭廴疚镎吃谒稣承詨|上表面，可以有效地去除所述光罩盒底面的微粒以及污染物，可有效提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的制程良率。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0049]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于，所述用于光罩盒的除塵裝置至少包括: 上表面設(shè)有開(kāi)口且側(cè)壁設(shè)有至少一個(gè)通槽的外罩； 位于所述外罩底部的至少三個(gè)支撐柱； 上表面固定有粘性墊并套設(shè)在所述支撐柱上上下滑動(dòng)的基板； 所述支撐柱位于所述基板下方部分穿套有彈性部件； 所述基板、支撐柱、彈性部件及粘性墊均置于所述外罩內(nèi)部； 所述外罩上表面的開(kāi)口的垂直投影位于所述粘性墊上表面； 穿過(guò)所述通槽并伸出所述外罩并與所述基板連接的開(kāi)合器；所述開(kāi)合器在所述通槽中上下移動(dòng)； 卡持于所述開(kāi)口的光罩盒；所述光罩盒具有底座及位于底座上方的卡口，其底座嵌入所述外罩的開(kāi)口并與所述粘性墊表面接觸；所述卡口縱截面的寬度大于所述開(kāi)口縱截面的寬度；所述基板上下移動(dòng)的距離大于等于所述光罩盒上下移動(dòng)的距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述支撐柱圍繞所述基板中心呈均勻分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述支撐柱為四個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述粘性墊的材料為防靜電膠帶。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述穿套于所述支撐柱的彈性部件底部固定于所述支撐柱底部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述支撐柱底部固定于所述外罩底部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述外罩的開(kāi)口垂直投影位于所述粘性墊表面的中部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述彈性部件為彈簧，所述彈簧的自由長(zhǎng)度均相等。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述彈簧的彈性系數(shù)均相等。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述通槽及穿過(guò)該通槽的開(kāi)合器有兩個(gè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于光罩盒的除塵裝置，其特征在于:所述兩個(gè)通槽關(guān)于所述外罩中心呈對(duì)稱分布。
【文檔編號(hào)】B08B7/00GK203695527SQ201420059997
【公開(kāi)日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2014年2月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月8日
【發(fā)明者】李傳 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司