一種過濾器清洗器的制造方法
【專利摘要】一種過濾器清洗器，用于清洗單晶硅生產(chǎn)過程中吸附在過濾器過濾網(wǎng)上的有毒物質(zhì)。本實(shí)用新型所述的清洗器主要是由清洗筒（1）、上蓋（2）、固定螺栓（3）、清洗管（4）、固定架（5）、出水孔（6）、托盤（7）、排水孔（8）、支架（9）、可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)（10）、進(jìn)水閥門（11）、壓空進(jìn)氣閥門（12）構(gòu)成。清洗管（4）上設(shè)計有50~100個出水孔（6），過濾器（15）可放在托盤（7）上在可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)（10）帶動下隨托盤（7）旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型采取在清洗筒（1）內(nèi)封閉式清洗有毒氧化物，可有效防止氧化物污染硅單晶生產(chǎn)所需的高純環(huán)境，避免高毒氧化物對人身的健康危害，有效的解決了現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問題。
【專利說明】一種過濾器清洗器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于直拉法硅單晶生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，主要涉及一種過濾器清洗器。

【背景技術(shù)】
[0002]切克勞斯基(Czochralski)法娃單晶生長技術(shù)是當(dāng)今制作單晶娃的主要方法之一，這種方法采用氣氛拉晶，即以真空泵提供一定的真空度，氬氣作為保護(hù)氣體，采用共熔法或投入法進(jìn)行摻雜，控制單晶電阻率。
[0003]型號和電阻率是硅單晶的兩大重要特性，少量的摻雜元素?fù)饺牍柚锌梢燥@著地改變硅的導(dǎo)電性能。一般情況下，摻入的雜質(zhì)越多，硅的電阻率就越低。這也是硅單晶能得以廣泛使用的原因。硅的導(dǎo)電類型分為空穴導(dǎo)電和電子導(dǎo)電，分別稱為P型半導(dǎo)體硅和N型半導(dǎo)體硅。P型硅一般是摻入了硼(B)等三價元素，而N型硅則是摻入了磷(P)、銻(Sb )、砷(As)等五價元素。當(dāng)要求硅單晶的電阻率需要達(dá)到很低的值時，就要向硅中摻入很多雜質(zhì)元素，如重?fù)缴椤⒅負(fù)戒R等。這些摻雜元素在硅中熔化后都具有一定的蒸發(fā)性，砷、銻揮蒸發(fā)性最強(qiáng)，磷次之，硼最難蒸發(fā)，如砷的蒸發(fā)系數(shù)為1.0X10—2克.cm—2.秒―1。這些摻雜元素蒸發(fā)出液面以后會在單晶爐內(nèi)發(fā)生不完全氧化，生成摻雜元素的氧化物，這些摻雜元素及其氧化物中有一些屬于高毒物質(zhì)，如砷及砷的氧化物、銻及銻的氧化物。單晶拉制過程中產(chǎn)生的這些氧化物在真空泵作用下通過排氣管道進(jìn)入過濾罐內(nèi)，經(jīng)過過濾器過濾后大部分的氧化物被過濾在過濾網(wǎng)上，為保證單晶拉制的順利，每爐拉制完成后都要徹底清洗過濾器。
[0004]目前清洗過濾器的方法是在單晶拉制完成后，員工佩戴口罩或防毒面具打開過濾罐的放氣閥，充至一個大氣壓后打開過濾罐的上蓋取出過濾器，將過濾器拿到清洗池中用水槍進(jìn)行沖洗，沖洗干凈后的過濾器放到晾曬架上晾干。該清掃方法存在的缺點(diǎn)是在清洗過程中部分高毒的氧化物會附著在員工衣服及暴露的皮膚上，危害員工身體健康；部分高毒的氧化物會散落到周邊環(huán)境中，污染高純環(huán)境，影響產(chǎn)品質(zhì)量；清洗后的過濾器晾曬時間較長，不利于生產(chǎn)的順暢進(jìn)行，生產(chǎn)效率低等問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問題，本實(shí)用新型設(shè)計并公開了一種過濾器清洗器，通過使用本實(shí)用新型所述的過濾器清洗器可以避免高毒氧化物對人身健康的危害，避免對高純環(huán)境造成污染，同時保證產(chǎn)品質(zhì)量，提高生產(chǎn)效率。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型所采取的具體技術(shù)方案是:一種過濾器清洗器，主要是由清洗筒、上蓋、固定螺栓、清洗管、固定架、出水孔、托盤、排水孔、支架、可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)、進(jìn)水閥門、壓空進(jìn)氣閥門構(gòu)成；其中，清洗筒內(nèi)壁上裝有帶出水孔的清洗管，清洗管與清洗筒外部的進(jìn)水閥門和壓空進(jìn)氣閥門聯(lián)接，進(jìn)水壓力0.15^0.2MPa，壓空壓力0.3^0.5MPa ；清洗筒內(nèi)裝有兩個固定架，可轉(zhuǎn)動托盤裝在固定架的底部；清洗筒頂部設(shè)有可活動的上蓋，上蓋采用固定螺栓固定在清洗筒上；清洗筒的底部由支架支撐固定，底部的一側(cè)設(shè)有排水口，可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在清洗筒底下中心位置控制托盤旋轉(zhuǎn)。所述的一種過濾器清洗器，其中清洗管上出水孔直徑為2mm?5mm,出水孔與出水孔的間距為1mm?30mm。所述的一種過濾器清洗器，其中可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)有快速擋、慢速擋。
[0007]本實(shí)用新型所述的一種過濾器清洗器，操作簡單，清洗徹底，安全高效，避免了高毒氧化物對員工的健康危害，同時解決了現(xiàn)有清洗方法中所存在的污染硅單晶生產(chǎn)所需的高純環(huán)境問題，提高了產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)效率。
[0008]【專利附圖】

【附圖說明】:
[0009]圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2是本實(shí)用新型與過濾器安裝示意圖。
[0011]圖中:1、清洗筒；2、上蓋；3、固定螺栓；4、清洗管；5、固定架；6、出水孔；7、托盤；
8、排水孔；9、支架；10、可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)；11、進(jìn)水閥門；12、壓空進(jìn)氣閥門；13、提手；14、固定孔；15、過濾器。

【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】如下:
[0013]如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型所述的一種過濾器清洗器主要是由清洗筒1、上蓋2、固定螺栓3、清洗管4、固定架5、出水孔6、托盤7、排水孔8、支架9、可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)10、進(jìn)水閥門11、壓空進(jìn)氣閥門12構(gòu)成；其中清洗筒I內(nèi)壁上裝有清洗管4，清洗管4與清洗筒I外部的進(jìn)水閥門11和壓空進(jìn)氣閥門12聯(lián)接，清洗管4上設(shè)計有50?100個直徑為2mm?5mm的出水孔6，出水孔6之間的間距為1mm?30mm ;清洗筒I內(nèi)部裝有兩個固定架5，可旋轉(zhuǎn)托盤7裝在固定架5的底部；清洗筒I頂部設(shè)有可活動的上蓋2，上蓋2用固定螺栓3固定在清洗筒I上，清洗筒I的底部由支架9支撐固定，清洗筒I底部的一側(cè)設(shè)有排水口 8?？烧{(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)10安裝在清洗筒I底下中心位置，用以控制托盤7旋轉(zhuǎn)，可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)10設(shè)計有慢速擋和快速擋。清洗過濾器15時，松開清洗筒I上的固定螺栓3，將上蓋2打開，雙手抓住過濾器15上的兩個提手13，將過濾器15上支撐板邊緣兩個固定孔14對準(zhǔn)清洗筒I內(nèi)的兩個固定架5，將過濾器15放到托盤7上，關(guān)閉上蓋2并用固定螺栓3固定。打開可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)10并調(diào)到慢速擋，過濾器15隨托盤7 —起旋轉(zhuǎn)，打開進(jìn)水閥門11，水經(jīng)過清洗管4上的出水孔6噴射到過濾器15上。水和氧化物在重力作用下流到清洗筒I底部并從排水口 8排出進(jìn)入污水管道，由污水處理站統(tǒng)一處理。5分鐘后關(guān)閉進(jìn)水閥門11，將可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)10調(diào)節(jié)到快速擋，這時過濾器15隨托盤7高速旋轉(zhuǎn)，在離心力作用下將過濾器15上大部分的水分甩干。5分鐘后打開壓空進(jìn)氣閥門12并將可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)10調(diào)節(jié)到慢速擋，利用壓空將過濾器15上的水吹干，5分鐘后關(guān)閉可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)10和壓空進(jìn)氣閥門12，清洗結(jié)束，將過濾器15從清洗筒中取出。
【權(quán)利要求】
1.一種過濾器清洗器，其特征是:所述的一種過濾器清洗器主要是由清洗筒(I)、上蓋(2)、固定螺栓(3)、清洗管(4)、固定架(5)、出水孔(6)、托盤(7)、排水孔(8)、支架(9)、可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)(10)、進(jìn)水閥門(11)、壓空進(jìn)氣閥門(12)構(gòu)成；其中清洗筒(I)內(nèi)壁上裝有清洗管(4)，清洗管(4)上設(shè)置有出水孔(6)，清洗管(4)與進(jìn)水閥門(11)和壓空進(jìn)氣閥門(12)聯(lián)接；清洗筒(I)內(nèi)裝有兩個固定架(5)，可旋轉(zhuǎn)的托盤(7)安裝在固定架(5)的底部；上蓋(2 )用固定螺栓(3 )安裝在清洗筒(I)頂上；清洗筒(I)底部由支架(9 )支撐固定，清洗筒(I)底部一側(cè)設(shè)有排水口( 8 );控制托盤(7 )旋轉(zhuǎn)的可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)(10 )安裝在清洗筒(I)底下中心位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種過濾器清洗器，其特征是:進(jìn)水閥門(11)和壓空進(jìn)氣閥門(12)的進(jìn)水壓力0.15?0.2MPa，壓空壓力0.3?0.5MPa。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種過濾器清洗器，其特征是:出水孔(6)的直徑尺寸為2mm?5mm,出水孔(6)之間的間隔距離為10 mm?30mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種過濾器清洗器，其特征是:可調(diào)旋轉(zhuǎn)電機(jī)(10)設(shè)有慢速擋和快速擋。
【文檔編號】B08B3/02GK203936060SQ201420268780
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月26日
【發(fā)明者】王新, 李京濤 申請人:洛陽單晶硅有限責(zé)任公司