一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法
一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法
【專利摘要】本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中采用顏料修復(fù)法時(shí)，修復(fù)后的薄膜層厚度不均勻的問(wèn)題。其中，所述薄膜圖案修復(fù)裝置包括物料供給控制器、至少一個(gè)物料瓶、至少一個(gè)修復(fù)部以及修復(fù)驅(qū)動(dòng)器。在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)下，修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，并將在物料供給控制器的控制下，從物料瓶供給至修復(fù)部的物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域。
【專利說(shuō)明】
一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶體管-液晶顯示器)作為一種平板顯示裝置，因其具有體積小、功耗低、無(wú)輻射以及制作成本相對(duì)較低等特點(diǎn)，而越來(lái)越多地被應(yīng)用于高性能顯示領(lǐng)域當(dāng)中。
[0003]TFT-LCD由對(duì)盒成型的陣列基板和彩膜基板構(gòu)成。其中，陣列基板和彩膜基板由多層堆疊而成的薄膜層圖案構(gòu)成。然而，在制作上述薄膜層圖案的過(guò)程中，會(huì)受到制作環(huán)境、制作工藝等因素的影響而產(chǎn)生構(gòu)圖缺陷。具體的，以彩膜基板為例，構(gòu)成彩膜基板的黑矩陣、彩色濾光層以及OC層(Over Coat，保護(hù)層)等可以通過(guò)涂布、曝光、顯影的方式制成。然而，在上述制備過(guò)程中，一方面，如果受到制作環(huán)境中的灰塵、油污、纖維以及生產(chǎn)原材料中的顆粒等污染物的影響，會(huì)使得形成的薄膜層中包裹有上述污染物，從而使得薄膜層圖案產(chǎn)生黑缺陷；另一方面，當(dāng)涂覆的光刻膠中混有氣泡時(shí)，會(huì)導(dǎo)致形成的薄膜層圖案，例如彩色濾光層偏薄或部分缺失，從而形成白缺陷。上述缺陷的存在會(huì)導(dǎo)致顯示面板在顯示過(guò)程中出現(xiàn)亮點(diǎn)或彩點(diǎn)，從而嚴(yán)重影響顯示效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，為了解決上述問(wèn)題，可以采用可以研磨修復(fù)法(Tape)、激光修復(fù)法(Lase Repair)以及顏料修復(fù)法(Ink Repair)對(duì)上述缺陷進(jìn)行修復(fù)。其中，最常用的為顏料修復(fù)法，具體是通過(guò)將滴管中的顏料滴涂于待修復(fù)區(qū)域，以完成對(duì)薄膜層圖案的修復(fù)。然而，上述顏料修復(fù)法是基于顏料在待修復(fù)區(qū)域內(nèi)發(fā)生主動(dòng)擴(kuò)散，來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)待修復(fù)區(qū)域的填充，因此，當(dāng)待修復(fù)區(qū)域的面積較大時(shí)容易導(dǎo)致修復(fù)后的薄膜層的厚度不均勻，產(chǎn)生色差，從而降低了修復(fù)效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中采用顏料修復(fù)法時(shí)，修復(fù)后的薄膜層厚度不均勻的問(wèn)題。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0007]本發(fā)明實(shí)施例的一方面，提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置，包括:
[0008]物料供給控制器，其輸出端連接至少一個(gè)第一壓縮氣體輸送管的一端；
[0009]至少一個(gè)物料瓶，所述物料瓶的進(jìn)氣口與所述第一壓縮氣體輸送管的另一端相連接;
[0010]至少一個(gè)修復(fù)部，所述修復(fù)部的進(jìn)料口，通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管與一個(gè)所述物料瓶的出料口相連接，用于進(jìn)行物料滴涂；
[0011]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器，與所述修復(fù)部相連接，用于驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域。
[0012]本發(fā)明實(shí)施例的另一方面，提供一種薄膜圖案修復(fù)的方法，采用如上所述的任意一種薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行薄膜圖案的修復(fù)，所述方法包括:
[0013]將修復(fù)部移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域；
[0014]物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將所述物料瓶中的物料運(yùn)送至修復(fù)部，所述修復(fù)部在待修復(fù)表面進(jìn)行物料滴涂；
[0015]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于所述待修復(fù)區(qū)域。
[0016]本發(fā)明實(shí)施例的又一方面，提供一種用于清洗如上所述的任意一種薄膜圖案修復(fù)裝置的方法，包括:
[0017]將修復(fù)部移動(dòng)至清潔槽的上方；
[0018]將至少一個(gè)物料瓶作為清洗瓶，用于承裝清洗液；
[0019]物料供給控制器向所述清洗瓶提供壓縮氣體，以將所述清洗瓶中的清洗液，通過(guò)柔性物料輸送管運(yùn)送至修復(fù)部，以對(duì)所述柔性物料輸送管和所述修復(fù)部進(jìn)行清洗。
[0020]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法。其中，所述薄膜圖案修復(fù)裝置可以包括物料供給控制器、至少一個(gè)物料瓶、至少一個(gè)修復(fù)部以及修復(fù)驅(qū)動(dòng)器。具體的，物料供給器通過(guò)第一壓縮氣體輸送管與物料瓶相連接，用于向第一壓縮氣體輸送管輸送壓縮氣體，以使得物料瓶中的物料能夠從物料瓶的出料口擠出。修復(fù)部通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管與物料瓶相連接，使得從物料瓶沖擠出的物料能夠輸送至修復(fù)部，所述修復(fù)部將輸送至修復(fù)部的物料滴涂于待修復(fù)區(qū)域。修復(fù)驅(qū)動(dòng)器與修復(fù)部相連接，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將滴涂于待修復(fù)為位置的物料均勻的涂覆于待修復(fù)區(qū)域，從而使得修復(fù)后的薄膜層厚度均一，避免了色差的產(chǎn)生，提高了修復(fù)效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0021]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1a為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種薄膜圖案修復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖1b為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種薄膜圖案修復(fù)裝置的定位；
[0024]圖1c為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于安裝修復(fù)部的支架的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖1d為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種修復(fù)部修復(fù)過(guò)程示意圖；
[0026]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種修復(fù)部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3a為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種修復(fù)部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3b為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種多孔滲透隔板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種修復(fù)部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種薄膜圖案修復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種薄膜圖案修復(fù)方法流程圖；
[0032]圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種薄膜圖案修復(fù)方法流程圖；
[0033]圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種薄膜圖案修復(fù)方法流程圖；
[0034]圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于清洗薄膜圖案修復(fù)裝置的方法流程圖。
[0035]【專利附圖】
].gif)
【附圖說(shuō)明】:
[0036]01-薄膜圖案修復(fù)裝置；02_基板；10-物料供給控制器；100-導(dǎo)軌；101、101’-氣壓閥；11-支架；12-物料瓶；120_補(bǔ)給口 ；121_清洗瓶；122_黑矩陣物料瓶；123_紅色顏料瓶；124-綠色顏料瓶；125-藍(lán)色顏料瓶；126-保護(hù)層物料瓶；13-修復(fù)部；130、130’ -工作腔；131-刷頭；132-擋板；133-多孔滲透隔板；1330-滲透孔；134-活塞;135_工作腔的側(cè)壁；14-修復(fù)驅(qū)動(dòng)器；15-遮光罩；20_第一壓縮氣體輸送管；21_柔性物料輸送管；22_第二壓縮氣體輸送管；A-待修復(fù)表面；B-待修復(fù)區(qū)域；30_轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)；31_固定板；32_第一導(dǎo)向軸；33_第二導(dǎo)向軸。
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0038]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置01，如圖1a所示，可以包括:
[0039]物料供給控制器10，其輸出端連接至少一個(gè)第一壓縮氣體輸送管20的一端；
[0040]至少一個(gè)物料瓶12，所述物料瓶的進(jìn)氣口與第一壓縮氣體輸送管20的另一端相連接；
[0041]至少一個(gè)修復(fù)部13，修復(fù)部13的進(jìn)料口，通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管21與一個(gè)物料瓶12的出料口相連接，用于進(jìn)行物料滴涂；
[0042]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14，與修復(fù)部13相連接，用于驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B。
[0043]需要說(shuō)明的是，第一、所述待修復(fù)表面A可以是指基板02，例如陣列基板或彩膜的基板上，薄膜層圖案出現(xiàn)缺陷而需要修復(fù)的表面。而待修復(fù)區(qū)域B可以是指，基板02的待修復(fù)表面A上，上述缺陷的位置。
[0044]第二、本發(fā)明對(duì)物料瓶12中承裝的物料不做限制。根據(jù)物料瓶12中物料種類的不同，所述薄膜圖案修復(fù)裝置01的作用也不同。例如，當(dāng)彩膜基板上或陣列基板上形成的彩色濾光層的圖案出現(xiàn)缺陷(白缺陷或黑缺陷)時(shí)，可以將上述多個(gè)物料瓶12承裝不同顏色的顏料，例如構(gòu)成三原色的紅色、綠色或藍(lán)色的顏料，以使得所述薄膜圖案修復(fù)裝置01能夠?qū)Σ煌伾牟噬珵V光薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)。又例如，當(dāng)陣列基板上由透明導(dǎo)電材料構(gòu)成的像素電極層的圖案出現(xiàn)上述缺陷時(shí)，可以將上述多個(gè)物料瓶12中的一個(gè)承裝上述透明導(dǎo)電材料，例如氧化銦錫、氧化銦錫等，以使得所述薄膜圖案修復(fù)裝置01能夠?qū)ο袼仉姌O層的圖案進(jìn)行修復(fù)。再或者，當(dāng)需要對(duì)所述薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行清洗時(shí)，可以將上述多個(gè)物料瓶12中的一個(gè)承裝清洗液，該清洗液可以與所述薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行薄膜圖案修復(fù)工作時(shí)，物料瓶12中承裝的物料互溶的有機(jī)溶劑。例如可以與構(gòu)成三原色的顏料互溶的由γ-丁內(nèi)酯構(gòu)成的有機(jī)溶劑，以使得所述薄膜圖案修復(fù)裝置οι能夠?qū)Τ醒b由顏料的物料瓶12以及修復(fù)部13和柔性物料輸送管21進(jìn)行清洗，以防止顏料凝固而發(fā)生物料輸送堵塞的現(xiàn)象。
[0045]當(dāng)然，上述僅僅是對(duì)所述薄膜圖案修復(fù)裝置01作用的舉例說(shuō)明，其它作用在此不再一一贅述，但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0046]此外，當(dāng)上述薄膜圖案修復(fù)裝置01用于對(duì)彩膜基板上的薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)時(shí)，上述物料瓶12的容量范圍可以為0.1ml?1.5ml。當(dāng)物料瓶12的容量小于0.1ml時(shí)，由于其能夠承裝的物料，例如顏料太少，能夠持續(xù)修復(fù)的時(shí)間將縮短，這樣一來(lái)，需要多次停機(jī)以對(duì)物料瓶12中的顏料進(jìn)行添加，從而降低了生產(chǎn)效率。當(dāng)物料瓶12的容量大于1.5ml時(shí)，由于其能夠承裝的顏料較多，在使用的過(guò)程中，未被利用的顏料容易凝固，從而造成顏料輸送管路的堵塞，以及顏料的浪費(fèi)。
[0047]第三、薄膜圖案修復(fù)裝置01在進(jìn)行修復(fù)工作之前，需要將圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行移動(dòng)，以使得修復(fù)部13的位置能夠與待修復(fù)區(qū)域B相對(duì)應(yīng)。具體的，如圖1b所示，可以將薄膜圖案修復(fù)裝置01滑動(dòng)安裝于導(dǎo)軌100上，薄膜圖案修復(fù)裝置01能夠在導(dǎo)軌100上沿第一方向X左右移動(dòng)，并且導(dǎo)軌100可以沿第二方向Y前后移動(dòng)。這樣一來(lái)，可以根據(jù)具體待修復(fù)區(qū)域B所在的坐標(biāo)(X，Y)，將圖案修復(fù)裝置01的修復(fù)部13的位置與待修復(fù)區(qū)域B相對(duì)應(yīng)。
[0048]其中，第一方向X與第二方向Y平行于所述待修復(fù)表面A，并且第一方向X與第二方向Y相互垂直。
[0049]第四、當(dāng)圖案修復(fù)裝置01移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域B所在的區(qū)域后，需要通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)。具體的，如圖1c所示，可以將修復(fù)部13可拆卸的安裝于支架11上。這樣一來(lái)，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14可以驅(qū)動(dòng)支架11進(jìn)行平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，從而帶動(dòng)支架11上的修復(fù)部13進(jìn)行動(dòng)作。
[0050]此外，當(dāng)待修復(fù)區(qū)域B的形狀如圖1d所示，具有夾角α，沿第一修復(fù)路徑0-0’(虛線箭頭所示)進(jìn)行修復(fù)時(shí)，無(wú)法對(duì)夾角α處的缺陷進(jìn)行修復(fù)，因此，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)支架11進(jìn)行平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)之前，還需要將修復(fù)部13進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得修復(fù)部沿第二修復(fù)路徑O1-O/ (實(shí)線箭頭所示)進(jìn)行修復(fù)，以完成對(duì)夾角α處的缺陷進(jìn)行修復(fù)。
[0051]具體的，可以將支架11固定于轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)30上，從而可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的具體形狀，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)30轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，將修復(fù)部13進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而調(diào)整修復(fù)部13的實(shí)際修復(fù)路徑。其中，修復(fù)部13的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍可以設(shè)定為小于等于90°。從而可以沿一個(gè)方向(順時(shí)針或逆時(shí)針)使得修復(fù)部13進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0052]此外，將轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)30通過(guò)固定板31固定在第一導(dǎo)向軸32上，第一導(dǎo)向軸32可以為磁力驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌，實(shí)現(xiàn)修復(fù)部13沿垂直于待修復(fù)表面A移動(dòng)(即沿第三方向Z移動(dòng))的升降運(yùn)動(dòng)。并且，第一導(dǎo)向軸32可以固定在第二導(dǎo)向軸33上，通過(guò)磁力驅(qū)動(dòng)，第一導(dǎo)向軸32可以沿著第一方向X或第二方向Y方向運(yùn)用，從而實(shí)現(xiàn)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)。
[0053]其中，圖案修復(fù)裝置01中的所有修復(fù)部13可以安裝于同一個(gè)支架11上，雖然支架11運(yùn)動(dòng)的時(shí)，所有修復(fù)部13都會(huì)動(dòng)作，但是可以通過(guò)物料供給控制器10，控制物料瓶12不向未進(jìn)行修復(fù)工作的修復(fù)部13提供物料，因此即使未進(jìn)行修復(fù)工作的修復(fù)部13進(jìn)行移動(dòng)，也不會(huì)對(duì)沒有缺陷的薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)。此外還可以將不同的修復(fù)部13可以安裝于不同的支架11，從而方便對(duì)每一個(gè)修復(fù)部13的移動(dòng)進(jìn)行控制。
[0054]當(dāng)然，上述僅僅是對(duì)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13進(jìn)行移動(dòng)的舉例說(shuō)明，其它驅(qū)動(dòng)方法在此不再一一贅述，但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0055]第五、由于修復(fù)部13在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的驅(qū)動(dòng)下，會(huì)平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，因此與修復(fù)部13相連接的柔性物料輸送管21可有柔性材料，例如柔性塑料構(gòu)成。這樣一來(lái)，可以防止修復(fù)部13在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，導(dǎo)致柔性物料輸送管21發(fā)生折斷。此外，柔性物料輸送管21還可以采用棕色透明塑料構(gòu)成。這樣一來(lái)，當(dāng)物料瓶中的物料為光固化材料時(shí)，棕色的柔性物料輸送管21可以防止在輸送物料的過(guò)程中，由于受到光照而使得物料發(fā)生固化，堵塞柔性物料輸送管21。并且，由于柔性物料輸送管21透明，可以方便操作人員觀察物料的輸送情況，當(dāng)柔性物料輸送管21內(nèi)出現(xiàn)氣泡時(shí)，可以將薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行停機(jī)，并對(duì)柔性物料輸送管21進(jìn)行清洗處理，從而表面了由于氣泡引起的修復(fù)后的薄膜層出現(xiàn)白缺陷的現(xiàn)象產(chǎn)生。
[0056]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置。其中，所述薄膜圖案修復(fù)裝置可以包括物料供給控制器、至少一個(gè)物料瓶、至少一個(gè)修復(fù)部以及修復(fù)驅(qū)動(dòng)器。具體的，物料供給器通過(guò)第一壓縮氣體輸送管與物料瓶相連接，用于向第一壓縮氣體輸送管輸送壓縮氣體，以使得物料瓶中的物料能夠從物料瓶的出料口擠出。修復(fù)部通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管與物料瓶相連接，使得從物料瓶沖擠出的物料能夠輸送至修復(fù)部，所述修復(fù)部將輸送至修復(fù)部的物料滴涂于待修復(fù)區(qū)域。修復(fù)驅(qū)動(dòng)器與修復(fù)部相連接，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將滴涂于待修復(fù)為位置的物料均勻的涂覆于待修復(fù)區(qū)域，從而使得修復(fù)后的薄膜層厚度均一，避免了色差的產(chǎn)生，提高了修復(fù)效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0057]顯示器件的顯示效果與PPI (Pixels Per Inch，每英寸所擁有的像素?cái)?shù)目)數(shù)值有關(guān)。PPI數(shù)值越高，即代表顯示器件能夠以越高的密度顯示圖像。因此，顯示的密度越高，擬真度就越高，畫面越細(xì)膩。然而，對(duì)于高PPI的顯示器件而言，其陣列基板或彩膜基板上的薄膜層圖案的線寬就越小，因此出現(xiàn)缺陷的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸也越小。所以需要尺寸較小的修復(fù)部13對(duì)上述尺寸較小的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行修復(fù)。然而對(duì)于低PPI的顯示器件而言，其陣列基板或彩膜基板上的薄膜層圖案的線寬就越大，因此出現(xiàn)缺陷的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸也較大。如果使用尺寸較小的修復(fù)部13，會(huì)增加修復(fù)時(shí)間，所以為了提高修復(fù)效率，需要尺寸較大的修復(fù)部13對(duì)上述尺寸較大的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行修復(fù)。然而，如果針對(duì)不同的PPI，制備不同尺寸的修復(fù)部13，會(huì)大大增加生產(chǎn)成本，并且在更換修復(fù)部13的過(guò)程中，需要對(duì)薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行停機(jī)(Down機(jī))處理，因此會(huì)延長(zhǎng)修復(fù)作業(yè)的時(shí)間，降低生產(chǎn)效率。
[0058]為了使得薄膜圖案修復(fù)裝置的修復(fù)部13能夠?qū)Σ煌琍PI的顯示器件上的薄膜圖案的缺陷進(jìn)行修復(fù)，本發(fā)明提供以下方案。
[0059]實(shí)施例一
[0060]如圖2所示，修復(fù)部13可以包括至少兩個(gè)工作腔130。修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14(圖2中未示出)通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22與工作腔130相連接，用于驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)工作腔130進(jìn)行物料滴涂。
[0061]這樣一來(lái)，可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的尺寸，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇。例如，對(duì)于高PPI的顯示器件而言，由于其內(nèi)部的薄膜層圖案的線寬較小，因此可以選擇一個(gè)或兩個(gè)工作腔130同時(shí)進(jìn)行修復(fù)工作。對(duì)于低PPI的顯示器件而言，由于其內(nèi)部的薄膜層圖案的線寬較大，因此可以選擇三個(gè)以上的工作腔130同時(shí)進(jìn)行修復(fù)工作。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)的修復(fù)部13，在無(wú)需更換修復(fù)部13的情況下，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同線寬的薄膜層圖案的修復(fù)。因此能夠減小生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。
[0062]以下通過(guò)具體的實(shí)施例對(duì)工作腔130的結(jié)構(gòu)，以及修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)工作腔130進(jìn)行修復(fù)工作的具體過(guò)程進(jìn)行舉例說(shuō)明。
[0063]實(shí)施例二
[0064]所述工作腔130內(nèi)可以設(shè)置有刷頭131，如圖3a所示，是以修復(fù)部13包括兩個(gè)工作腔130為例進(jìn)行的說(shuō)明。其中，每個(gè)工作腔130內(nèi)均設(shè)置有一個(gè)刷頭131。
[0065]每個(gè)工作腔130的進(jìn)氣口通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22與修復(fù)驅(qū)動(dòng)器相14 (圖3a中未示出)連接；其中，工作腔130的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥101。
[0066]刷頭131在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的控制下，垂直于待修復(fù)表面A移動(dòng)(即沿第三方向Z移動(dòng))。這樣一來(lái)，可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的尺寸，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇。如圖3a所示，待修復(fù)表面A上的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸較小，通過(guò)一個(gè)工作腔130即可以完成修復(fù)。
[0067]具體的，在修復(fù)的過(guò)程中，可以將右邊工作腔130’進(jìn)氣口處的氣壓閥101’打開，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向右邊的工作腔130’輸入負(fù)向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得位于右邊工作腔130’中的刷頭131’沿著第三方向Z向上移動(dòng)，遠(yuǎn)離待修復(fù)表面A，使得右邊工作腔130’中的刷頭131’進(jìn)入非工作狀態(tài)。這樣一來(lái)，當(dāng)物料瓶12中的物料通過(guò)柔性物料輸送管21運(yùn)送至修復(fù)部13時(shí)，會(huì)流入左邊的工作腔130內(nèi)，并通過(guò)位于左邊工作腔130內(nèi)的刷頭131滴涂于待修復(fù)區(qū)域B處，并在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的驅(qū)動(dòng)下，修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以使得左邊工作腔130內(nèi)的刷頭131將上述滴涂于待修復(fù)區(qū)域B處的物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B，從而完成薄膜層圖案的修復(fù)。
[0068]上述修復(fù)過(guò)程，是以毛刷131的初始位置位于工作腔130靠近待修復(fù)表面A的一側(cè)為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)毛刷131的初始位置靠近工作腔130的進(jìn)氣口時(shí)，在修復(fù)的過(guò)程中，可以將左邊工作腔130進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向左邊的工作腔130’輸入正向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得位于左邊工作腔130中的刷頭131沿著第三方向Z向下移動(dòng)，靠近待修復(fù)表面A，使得左邊工作腔130中的刷頭131進(jìn)入待工作狀態(tài)。接下來(lái)的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0069]需要說(shuō)明的是，第一、上述兩個(gè)左、右兩個(gè)工作腔130、130’可以通過(guò)擋板132隔開。以防止兩個(gè)工作腔130中的氣壓互相串通，而導(dǎo)致修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇時(shí)出錯(cuò)。
[0070]第二、為了實(shí)現(xiàn)對(duì)高PPI顯示器件中的薄膜層圖案的修復(fù)，例如對(duì)于500PPI左右的顯示器件而言，刷頭131在第一方向X或第二方向Y上的寬度范圍可以為3 μπι?5 μπι。當(dāng)刷頭131的在第一方向X或第二方向Y上的寬度小于3 μπι時(shí)，由于刷頭131的尺寸太小，對(duì)制作刷頭的工藝要求較高，制作難度較大，成本較高。當(dāng)刷頭131的在第一方向X或第二方向Y上的寬度大于5 μ m，由于刷頭131的尺寸太大，在修復(fù)過(guò)程中，會(huì)因?yàn)楸∧ば迯?fù)圖案的線寬較小而造成修復(fù)圖案覆蓋其他未出現(xiàn)缺陷的薄膜層圖案，造成薄膜成圖案的污染。綜上所述，對(duì)于500PPI左右的顯示器件而言，優(yōu)選的單個(gè)刷頭131可以修復(fù)的區(qū)域的面積范圍為9 μπι?5 μπι之間。
[0071]第三、在刷頭131在涂覆物料時(shí)，為了提高修復(fù)后薄膜層厚度的均一性，避免刷頭131在修復(fù)過(guò)程中對(duì)待修復(fù)區(qū)域B周圍的薄膜層的破壞。上述刷頭131可以由纖維簇構(gòu)成，所述纖維簇中的纖維的直徑范圍為0.1 μπι?0.3 μm，長(zhǎng)度范圍為3mm?5mm。當(dāng)纖維的直徑小于0.1 μπι時(shí)，制造纖維的難度較大，制作精度較高，生產(chǎn)成本較高。而當(dāng)纖維的直徑大于0.3 μπι時(shí)，構(gòu)成的纖維簇不夠緊密，質(zhì)地較硬容易劃傷未出現(xiàn)缺陷的薄膜層的表面。而當(dāng)纖維的長(zhǎng)度小于3mm時(shí)，構(gòu)成的纖維簇不夠柔軟，劃傷未出現(xiàn)缺陷的薄膜層的表面。當(dāng)纖維的長(zhǎng)度大于5mm時(shí)，構(gòu)成的纖維簇過(guò)于柔軟，降低了刷頭131的修復(fù)力度，延長(zhǎng)了修復(fù)時(shí)間。
[0072]因此，所述纖維簇中的纖維的優(yōu)選直徑范圍為0.1 μπι?0.3 μm，優(yōu)選長(zhǎng)度范圍為3mm?5mm。這樣一來(lái)，構(gòu)成的刷頭131的用于涂覆物料的表面纖維分布均勻、緊湊，刷頭131質(zhì)地柔軟適中，具有較強(qiáng)的吸收物料的能力。且不易產(chǎn)生纖維脫落的現(xiàn)象，提高了刷頭易清洗、耐用的性能。
[0073]第四、為了使得從柔性物料輸送管21供給制工作腔130的物料能夠均勻的被刷頭131吸收，可以在所述刷頭131遠(yuǎn)離待修復(fù)表面A的一側(cè)設(shè)置多孔滲透隔板133。所述多孔滲透隔板133上如圖3b所示，為設(shè)置有多個(gè)均勻分布的滲透孔1330，從而使得物料能夠從均勻分布的滲透孔1330透過(guò)，從而被刷頭131均勻的吸收，進(jìn)而使得通過(guò)刷頭131涂覆形成的修復(fù)薄膜層圖案的厚度均勻。
[0074]實(shí)施例三
[0075]如圖4所示，修復(fù)部13還可以包括覆蓋工作腔130入料口表面的活塞134。
[0076]活塞134位于修復(fù)部13的進(jìn)氣口處，所述修復(fù)部13的進(jìn)氣口通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22與修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14(圖4中未示出)相連接。其中，修復(fù)部13的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥101。
[0077]活塞134，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的控制下，可以平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)。這樣一來(lái)，可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的尺寸，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇。如圖4所示，待修復(fù)表面A上的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸較小，通過(guò)一個(gè)工作腔130即可以完成修復(fù)。
[0078]具體的，在修復(fù)的過(guò)程中，可以將右邊修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向修復(fù)部13輸入負(fù)向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得活塞134平行于待修復(fù)表面A向右移動(dòng)。活塞134移動(dòng)的過(guò)程中，可以將最左端的工作腔130的上端，即入料口打開，使得最左端的工作腔130處于待工作狀態(tài)。這樣一來(lái)，當(dāng)物料瓶12中的物料通過(guò)柔性物料輸送管21運(yùn)送至修復(fù)部13時(shí)，會(huì)流入左端的工作腔130內(nèi)，滴涂于待修復(fù)區(qū)域B處，并在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的驅(qū)動(dòng)下，修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以使得左端工作腔130的側(cè)壁135將上述滴涂于待修復(fù)區(qū)域B處的物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B，從而完成薄膜層圖案的修復(fù)。
[0079]上述修復(fù)過(guò)程，是以活塞134向右移動(dòng)為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)活塞134的左端預(yù)留有移動(dòng)空間時(shí)，在修復(fù)的過(guò)程中，在修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開的情況下，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向修復(fù)部13輸入正向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得活塞134平行于待修復(fù)表面A向左移動(dòng)?；钊?34移動(dòng)的過(guò)程中，可以將最右端的工作腔130’的上端，即入料口打開，使得最右端的工作腔130’處于待工作狀態(tài)。接下來(lái)的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0080]需要說(shuō)明的是，第一、工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的寬度范圍可以為ΙΟμ--?ΙΟΟμπι。相對(duì)于實(shí)施例二中的修復(fù)部13而言，雖然本實(shí)施例中工作腔130的尺寸較大的，但是相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)而言，仍然能夠滿足對(duì)高PPI顯示器件中的薄膜層圖案的修復(fù)的要求。其中，當(dāng)工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的寬度小于10 μ m時(shí)，由于工作腔130的尺寸太小，對(duì)加工精度的要求較高，因此不利于成本的降低。當(dāng)工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的寬度大于100 μ m時(shí)，由于工作腔130的尺寸太大在修復(fù)過(guò)程中，會(huì)因?yàn)楸∧ば迯?fù)圖案的線寬較小而造成修復(fù)圖案覆蓋其他未出現(xiàn)缺陷的薄膜層圖案，造成薄膜成圖案的污染。
[0081]第二、為了使得從柔性物料輸送管21供給制工作腔130的物料能夠均勻的滴涂于待修復(fù)區(qū)域B，可以在工作腔130的入料口與活塞134之間設(shè)置上述多孔滲透隔板133。與實(shí)施例二中的多孔滲透隔板133的功能相同，可以使得物料能夠從均勻分布的滲透孔1330透過(guò)，從而通過(guò)工作腔130均勻的滴涂于待修復(fù)區(qū)域B，進(jìn)而使得通過(guò)修復(fù)部13形成的修復(fù)薄膜層圖案的厚度均勻。
[0082]上述實(shí)施例二、實(shí)施例三均是以修復(fù)部包括兩個(gè)工作腔時(shí)，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14選擇其中一個(gè)工作腔130的進(jìn)行修復(fù)工作為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)修復(fù)部包括兩個(gè)以上的工作腔時(shí)，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇的方法同上所述，此處不再贅述但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0083]此外，無(wú)論對(duì)于實(shí)施例一、實(shí)施例二還是實(shí)施例三，當(dāng)物料瓶12中的物料為感光固化材料時(shí)，為了方式物料瓶中的物料受到光照后發(fā)生固化，從而堵塞物料輸送管道，因此上述薄膜圖案修復(fù)裝置01如圖5所示，還可以包括覆蓋物料瓶12的遮光罩15。上述遮光罩15可以采用黑色硬質(zhì)材料制成，并采用可拆卸方式進(jìn)行安裝，從而能夠方便對(duì)物料瓶12進(jìn)行安裝、置換和觀察。
[0084]此外，為了方便對(duì)物料瓶12中的物料進(jìn)行補(bǔ)給，可以在物料瓶12上設(shè)置有補(bǔ)給口120。
[0085]進(jìn)一步地，物料瓶12的進(jìn)氣口處，以及與相鄰兩個(gè)物料瓶12的出料口處可以設(shè)置有氣壓閥101，因此通過(guò)上述氣壓閥101，通過(guò)上述氣壓閥101對(duì)物料輸送路徑進(jìn)行控制。
[0086]具體的，當(dāng)上述薄膜圖案修復(fù)裝置01用于對(duì)彩膜基板上的薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)時(shí)，如圖5所示，薄膜圖案修復(fù)裝置01可以設(shè)置6個(gè)物料瓶，最右端的物料瓶121未連接修復(fù)部13。因此，該物料瓶121可以用來(lái)承裝清洗液。在清洗的過(guò)程中，將物料瓶121進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，其它物料瓶(122?126)進(jìn)氣口處的氣壓閥101關(guān)閉。接下來(lái)，將相鄰兩個(gè)物料瓶12的出料口處設(shè)置的所有氣壓閥101打開，這樣一來(lái)，從物料瓶121中輸出的清洗液可以流入所有與物料瓶(122?126)相連接的柔性物料輸送管21，以及修復(fù)部13。從而對(duì)整個(gè)薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行清洗。
[0087]此外，可以將物料瓶(122?126)依次承裝黑矩陣材料、紅色顏料、綠色顏料、藍(lán)色顏料、以及保護(hù)層(Over Coat，簡(jiǎn)稱OC)材料。接下來(lái)，將所有物料瓶12進(jìn)氣口處，以及相鄰兩個(gè)物料瓶12的出料口處的氣壓閥101關(guān)閉。在修復(fù)過(guò)程中，當(dāng)需要對(duì)紅色彩色濾光薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)時(shí)，可以將物料瓶123進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，使得物料供給控制器10能夠像物料瓶123中提供正向氣壓的壓縮氣體，將物料瓶123中的紅色顏料輸送至與物料瓶123相連接的修復(fù)部13中，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)紅色彩色濾光薄膜層圖案的修復(fù)。其它薄膜層圖案的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0088]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)的方法，采用如上所述的任意一種薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行薄膜圖案的修復(fù)，所述方法如圖6所示，可以包括:
[0089]SlOl、將修復(fù)部13移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域B。
[0090]S102、物料供給控制器10向物料瓶12提供壓縮氣體，以將物料瓶12中的物料運(yùn)送至修復(fù)部13，修復(fù)部13在待修復(fù)表面A進(jìn)行物料滴涂。
[0091]S103、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B。
[0092]需要說(shuō)明的是，當(dāng)待修復(fù)區(qū)域B的形狀如圖1d所示，具有夾角α，沿第一修復(fù)路徑
0-0’(虛線箭頭所示)進(jìn)行修復(fù)時(shí)，無(wú)法對(duì)夾角α處的缺陷進(jìn)行修復(fù)，因此在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)的步驟之前，上述方法還可以包括:
[0093]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)30進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使得固定于轉(zhuǎn)動(dòng)發(fā)達(dá)30上的修復(fù)部13發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得修復(fù)部沿第二修復(fù)路徑O1-O/ (實(shí)線箭頭所示)進(jìn)行修復(fù)，從而完成對(duì)夾角α處的缺陷進(jìn)行修復(fù)。
[0094]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)的方法，包括，首先，將修復(fù)部移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域，以使得修復(fù)部進(jìn)入待修復(fù)狀態(tài)。接下來(lái)，物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將物料瓶中的物料運(yùn)送至修復(fù)部，修復(fù)部在待修復(fù)表面進(jìn)行物料滴涂。最后，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域。通過(guò)修復(fù)部的移動(dòng)，可以使得修復(fù)后的薄膜層厚度均一，避免了色差的產(chǎn)生，提高了修復(fù)效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0095]顯示器件的顯示效果與PPI (Pixels Per Inch，每英寸所擁有的像素?cái)?shù)目)數(shù)值有關(guān)。PPI數(shù)值越高，即代表顯示器件能夠以越高的密度顯示圖像。因此，顯示的密度越高，擬真度就越高，畫面越細(xì)膩。然而，對(duì)于高PPI的顯示器件而言，其陣列基板或彩膜基板上的薄膜層圖案的線寬就越小，因此出現(xiàn)缺陷的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸也越小。所以需要尺寸較小的修復(fù)部13對(duì)上述尺寸較小的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行修復(fù)。然而對(duì)于低PPI的顯示器件而言，其陣列基板或彩膜基板上的薄膜層圖案的線寬就越大，因此出現(xiàn)缺陷的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸也較大。如果使用尺寸較小的修復(fù)部13，會(huì)增加修復(fù)時(shí)間，所以為了提高修復(fù)效率，需要尺寸較大的修復(fù)部13對(duì)上述尺寸較大的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行修復(fù)。然而，如果針對(duì)不同的PPI，制備不同尺寸的修復(fù)部13，會(huì)大大增加生產(chǎn)成本，并且在更換修復(fù)部13的過(guò)程中，需要對(duì)薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行停機(jī)(Down機(jī))處理，因此會(huì)延長(zhǎng)修復(fù)作業(yè)的時(shí)間，降低生產(chǎn)效率。
[0096]為了使得薄膜圖案修復(fù)裝置的修復(fù)部13能夠?qū)Σ煌琍PI的顯示器件上的薄膜圖案的缺陷進(jìn)行修復(fù)，本發(fā)明提供以下方案。
[0097]實(shí)施例四
[0098]如圖2所示，在修復(fù)部13可以包括至少兩個(gè)工作腔130的情況下，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13的方法可以包括:
[0099]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)工作腔130在待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行物料滴涂。
[0100]這樣一來(lái)，可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的尺寸，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇。例如，對(duì)于高PPI的顯示器件而言，由于其內(nèi)部的薄膜層圖案的線寬較小，因此可以選擇一個(gè)或兩個(gè)工作腔130同時(shí)進(jìn)行修復(fù)工作。對(duì)于低PPI的顯示器件而言，由于其內(nèi)部的薄膜層圖案的線寬較大，因此可以選擇三個(gè)以上的工作腔130同時(shí)進(jìn)行修復(fù)工作。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)的修復(fù)部13，在無(wú)需更換修復(fù)部13的情況下，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同線寬的薄膜層圖案的修復(fù)。因此能夠減小生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。
[0101]以下通過(guò)具體的實(shí)施例，針對(duì)不同的工作腔130結(jié)構(gòu)，對(duì)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)工作腔130進(jìn)行修復(fù)工作的具體過(guò)程進(jìn)行舉例說(shuō)明。
[0102]實(shí)施例五
[0103]當(dāng)修復(fù)部13的結(jié)構(gòu)如圖3a所示時(shí)，為了描述簡(jiǎn)單易修復(fù)部13包括兩個(gè)工作腔130為例對(duì)進(jìn)行說(shuō)明。所述修復(fù)方法如圖7所示，可以包括:
[0104]S201、打開一個(gè)工作腔130進(jìn)氣口處的氣壓閥101。
[0105]具體的，如圖3a所示，可以打開右邊工作腔130’進(jìn)氣口處的氣壓閥101’。
[0106]S202、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器向一個(gè)工作腔130提供負(fù)向氣壓的壓縮氣體，所述一個(gè)工作腔內(nèi)的刷頭遠(yuǎn)離所述待修復(fù)表面移動(dòng)。
[0107]具體的，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向右邊的工作腔130’輸入負(fù)向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得位于右邊工作腔130’中的刷頭131’沿著第三方向Z向上移動(dòng)，遠(yuǎn)離待修復(fù)表面A，使得右邊工作腔130’中的刷頭131’進(jìn)入非工作狀態(tài)。
[0108]S203、將另一個(gè)工作腔移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域。
[0109]具體的，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的驅(qū)動(dòng)下，將左邊的工作腔130移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域B。
[0110]S204、物料供給控制器10向物料瓶12提供壓縮氣體，以將物料瓶中12的物料運(yùn)送至另一個(gè)工作腔(即左邊的工作腔130)。
[0111]S205、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)另一個(gè)工作腔(即左邊的工作腔130)進(jìn)行物料滴涂。
[0112]S206、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B，從而完成薄膜層圖案的修復(fù)。
[0113]上述修復(fù)過(guò)程，是以毛刷131的初始位置位于工作腔130靠近待修復(fù)表面A的一側(cè)為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)毛刷131的初始位置靠近工作腔130的進(jìn)氣口時(shí)，在修復(fù)的過(guò)程中，可以將左邊工作腔130進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向左邊的工作腔130’輸入正向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得位于左邊工作腔130中的刷頭131沿著第三方向Z向下移動(dòng)，靠近待修復(fù)表面A，使得左邊工作腔130中的刷頭131進(jìn)入待工作狀態(tài)。接下來(lái)的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0114]實(shí)施例六
[0115]當(dāng)修復(fù)部13的結(jié)構(gòu)如圖4所示時(shí)，所述修復(fù)方法如圖8所示，可以包括:
[0116]S301、打開修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101。
[0117]具體的，可以將右邊修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開。
[0118]S302、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14向所述修復(fù)部13提供壓縮氣體，驅(qū)動(dòng)活塞134沿平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將至少一個(gè)工作腔130的入料口打開。
[0119]具體的，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向修復(fù)部13輸入負(fù)向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得活塞134平行于待修復(fù)表面A向右移動(dòng)。活塞134移動(dòng)的過(guò)程中，可以將最左端的工作腔130的上端，即入料口打開，使得最左端的工作腔130處于待工作狀態(tài)。
[0120]S303、物料供給控制器10向物料瓶12提供壓縮氣體，以將物料瓶12中的物料運(yùn)送至入料口打開的工作腔(即最左端的工作腔130)中。
[0121]S304、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)入料口打開的工作腔(即最左端的工作腔130)進(jìn)行物料滴涂。
[0122]S305、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B，從而完成薄膜層圖案的修復(fù)。
[0123]上述修復(fù)過(guò)程，是以活塞134向右移動(dòng)為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)活塞134的左端預(yù)留有移動(dòng)空間時(shí)，在修復(fù)的過(guò)程中，在修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開的情況下，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向修復(fù)部13輸入正向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為
0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得活塞134平行于待修復(fù)表面A向左移動(dòng)?；钊?34移動(dòng)的過(guò)程中，可以將最右端的工作腔130’的上端，即入料口打開，使得最右端的工作腔130’處于待工作狀態(tài)。接下來(lái)的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0124]上述實(shí)施例五、實(shí)施例六均是以修復(fù)部包括兩個(gè)工作腔時(shí)，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14選擇其中一個(gè)工作腔130的進(jìn)行修復(fù)工作為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)修復(fù)部包括兩個(gè)以上的工作腔時(shí)，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇的方法同上所述，此處不再贅述但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0125]此外，無(wú)論對(duì)于實(shí)施例四、實(shí)施例五還是實(shí)施例六，在啟動(dòng)薄膜圖案修復(fù)裝置01之前，所述修復(fù)方法還可以包括:
[0126]采用激光對(duì)待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行灰化處理。從而使得待修復(fù)區(qū)域B的形狀規(guī)則，有利于控制修復(fù)部13的移動(dòng)，以形成厚度均勻的修復(fù)后的薄膜層圖案。
[0127]此外，所述修復(fù)方法還可以包括:
[0128]對(duì)經(jīng)過(guò)修復(fù)部13涂覆后的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行紫外光固化處理。這樣一來(lái)，能夠縮短修復(fù)后薄膜層圖案固化的時(shí)間，表面未固化的修復(fù)后薄膜層圖案被工作環(huán)境中的雜質(zhì)、灰塵等二次污染。
[0129]本發(fā)明實(shí)施例提供一種用于清洗如上所述的任意一種薄膜圖案修復(fù)裝置01的方法，如圖9所示，可以包括:
[0130]S401、將修復(fù)部13移動(dòng)至清潔槽的上方。
[0131]其中，清潔槽，可以是一個(gè)通槽，或者還可以由多個(gè)矩形槽構(gòu)成。矩形槽的數(shù)量與修復(fù)部13的數(shù)量相同。這樣一來(lái)，在清洗的過(guò)程中每個(gè)修復(fù)部13可以與一個(gè)矩形槽對(duì)應(yīng)，防止不同修復(fù)部13在清洗后排除的費(fèi)液相互混合，對(duì)修復(fù)部13造成污染。
[0132]S402、將至少一個(gè)物料瓶12作為清洗瓶，用于承裝清洗液。
[0133]S403、物料供給控制器10向清洗瓶12提供壓縮氣體，以將清洗瓶12中的清洗液，通過(guò)柔性物料輸送管21運(yùn)送至修復(fù)部13，以對(duì)柔性物料輸送管21和修復(fù)部13進(jìn)行清洗。
[0134]具體的，如圖5所示，薄膜圖案修復(fù)裝置01可以設(shè)置6個(gè)物料瓶，最右端的物料瓶121未連接修復(fù)部13。因此，該物料瓶121可以用來(lái)承裝清洗液。在清洗的過(guò)程中，將物料瓶121進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，其它物料瓶(122?126)進(jìn)氣口處的氣壓閥101關(guān)閉。接下來(lái)，將相鄰兩個(gè)物料瓶12的出料口處設(shè)置的所有氣壓閥101打開，這樣一來(lái)，從物料瓶121中輸出的清洗液可以流入所有與物料瓶(122?126)相連接的柔性物料輸送管21，以及修復(fù)部13。從而對(duì)整個(gè)薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行清洗。
[0135]此外的，當(dāng)薄膜圖案修復(fù)裝置01處于非工作狀態(tài)時(shí)，可以將一定量的清洗液注入清洗槽中，并在柔性物料輸送管21中存儲(chǔ)一定量的清洗液。將將修復(fù)部13浸泡在清洗槽中，從而防止柔性物料輸送管21和修復(fù)部13中殘留的物料邊干，而堵塞物料輸入管路。
[0136]本發(fā)明實(shí)施例提供一種用于清洗薄膜圖案修復(fù)裝置的方法，將修復(fù)部移動(dòng)至清潔槽的上方；將至少一個(gè)物料瓶作為清洗瓶，用于承裝清洗液；物料供給控制器向清洗瓶提供壓縮氣體，以將清洗瓶中的清洗液，通過(guò)柔性物料輸送管運(yùn)送至修復(fù)部，以對(duì)柔性物料輸送管和所述修復(fù)部進(jìn)行清洗。這樣一來(lái)，無(wú)需提供其他清洗裝置，直接通過(guò)薄膜圖案修復(fù)裝置自身就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)修復(fù)部和柔性物料輸送管的清洗，從而提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
[0137]此外，在物料瓶12的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥101的情況下，物料供給控制器10向清洗瓶(如圖5所示的121)提供壓縮氣體的步驟之前，所述清潔方法還可以包括:
[0138]首先，打開物料瓶(如圖5所示的物料瓶122?126)的進(jìn)氣口處的氣壓閥101。
[0139]然后，物料供給控制器10向物料瓶(122?126)的進(jìn)氣口提供負(fù)向的壓縮氣體，以使得物料瓶(122?126)中的物料具有背離修復(fù)部13流動(dòng)的趨勢(shì)。從而可以防止在清洗的過(guò)程中，物料瓶(122?126)中的物料流入修復(fù)部13中，降低清洗效果。
[0140]本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解:實(shí)現(xiàn)上述方法實(shí)施例的全部或部分步驟可以通過(guò)程序指令相關(guān)的硬件來(lái)完成，前述的程序可以存儲(chǔ)于一計(jì)算機(jī)可讀取存儲(chǔ)介質(zhì)中，該程序在執(zhí)行時(shí)，執(zhí)行包括上述方法實(shí)施例的步驟；而前述的存儲(chǔ)介質(zhì)包括:ROM、RAM、磁碟或者光盤等各種可以存儲(chǔ)程序代碼的介質(zhì)。
[0141]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，包括: 物料供給控制器，其輸出端連接至少一個(gè)第一壓縮氣體輸送管的一端； 至少一個(gè)物料瓶，所述物料瓶的進(jìn)氣口與所述第一壓縮氣體輸送管的另一端相連接；至少一個(gè)修復(fù)部，所述修復(fù)部的進(jìn)料口，通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管與一個(gè)所述物料瓶的出料口相連接，用于進(jìn)行物料滴涂； 修復(fù)驅(qū)動(dòng)器，與所述修復(fù)部相連接，用于驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，還包括與所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器相連接的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)，所述修復(fù)部固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述修復(fù)部包括至少兩個(gè)工作腔； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器通過(guò)第二壓縮氣體輸送管與所述工作腔相連接，用于驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述工作腔進(jìn)行物料滴涂。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述工作腔內(nèi)設(shè)置有刷頭； 所述工作腔的進(jìn)氣口通過(guò)所述第二壓縮氣體輸送管與所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器相連接；其中，所述工作腔的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥； 所述刷頭在所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器的控制下，垂直于所述待修復(fù)表面移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述刷頭在第一方向或第二方向上的寬度范圍為3賴?5賴； 其中，所述第一方向與所述第二方向均平行于所述待修復(fù)表面，且相互垂直。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述刷頭由纖維簇構(gòu)成，所述纖維簇中的纖維的直徑范圍為0.1 VIII?0.3 VIII，長(zhǎng)度范圍為3111111?5111111。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述工作腔內(nèi)還設(shè)置有: 多孔滲透隔板，位于所述刷頭遠(yuǎn)離所述待修復(fù)表面的一側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述修復(fù)部還包括覆蓋所述工作腔入料口表面的活塞； 所述活塞位于所述修復(fù)部的進(jìn)氣口處，所述修復(fù)部的進(jìn)氣口通過(guò)第二壓縮氣體輸送管與所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器相連接；其中，所述修復(fù)部的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥； 所述活塞，在所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器的控制下，平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述工作腔在所述第一方向或所述第二方向上的寬度范圍為10 V III?100 V III。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述修復(fù)部還包括:位于所工作腔入料口與所述活塞之間的多孔滲透隔板。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，還包括:覆蓋所述物料瓶的遮光罩。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于， 所述物料瓶的進(jìn)氣口處，以及所述相鄰兩個(gè)所述物料瓶的出料口處設(shè)置有氣壓閥。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述物料瓶上設(shè)置有用于補(bǔ)給物料的補(bǔ)給口。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述物料瓶的容量范圍為0.11111 ?1.51111。
15.一種薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1-14任一項(xiàng)所述的薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行薄膜圖案的修復(fù)，所述方法包括: 將修復(fù)部移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域； 物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將所述物料瓶中的物料運(yùn)送至修復(fù)部，所述修復(fù)部在待修復(fù)表面進(jìn)行物料滴涂； 修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于所述待修復(fù)區(qū)域。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)的步驟之前，所述方法還包括: 修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使得固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)發(fā)達(dá)上的所述修復(fù)部發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在所述修復(fù)部包括至少兩個(gè)工作腔的情況下，所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部的方法包括: 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述工作腔在所述待修復(fù)區(qū)域進(jìn)行物料滴涂。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在所述修復(fù)部包括兩個(gè)工作腔，所述工作腔內(nèi)設(shè)置有刷頭，所述工作腔進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥的情況下，所述方法包括: 打開一個(gè)所述工作腔進(jìn)氣口處的所述氣壓閥； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器向所述一個(gè)工作腔提供負(fù)向氣壓的壓縮氣體，所述一個(gè)工作腔內(nèi)的所述刷頭遠(yuǎn)離所述待修復(fù)表面移動(dòng)； 將另一個(gè)所述工作腔移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域； 所述物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將所述物料瓶中的物料運(yùn)送至所述另一個(gè)工作腔； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述另一個(gè)工作腔進(jìn)行物料滴涂； 修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于所述待修復(fù)區(qū)域。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在所述修復(fù)部還包括覆蓋所述工作腔入料口表面的活塞，所述述修復(fù)部的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥的情況下，所述方法包括: 打開所述修復(fù)部進(jìn)氣口處的所述氣壓閥； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器向所述修復(fù)部提供壓縮氣體，驅(qū)動(dòng)所述活塞沿平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)，以將至少一個(gè)所述工作腔的入料口打開； 所述物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將所述物料瓶中的物料運(yùn)送至入料口打開的工作腔中； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述入料口打開的工作腔進(jìn)行物料滴涂； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于所述待修復(fù)區(qū)域。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在啟動(dòng)薄膜圖案修復(fù)裝置之前，所述方法還包括: 采用激光對(duì)所述待修復(fù)區(qū)域進(jìn)行灰化處理。
21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，還包括: 對(duì)經(jīng)過(guò)所述修復(fù)部涂覆后的所述待修復(fù)區(qū)域進(jìn)行紫外光固化處理。
22.一種用于清洗如權(quán)利要求1-14任一項(xiàng)所述的薄膜圖案修復(fù)裝置的方法，其特征在于，包括: 將修復(fù)部移動(dòng)至清潔槽的上方； 將至少一個(gè)物料瓶作為清洗瓶，用于承裝清洗液； 物料供給控制器向所述清洗瓶提供壓縮氣體，以將所述清洗瓶中的清洗液，通過(guò)柔性物料輸送管運(yùn)送至修復(fù)部，以對(duì)所述柔性物料輸送管和所述修復(fù)部進(jìn)行清洗。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的清洗薄膜圖案修復(fù)裝置的方法，其特征在于，在所述物料瓶的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥的情況下，所述物料供給控制器向清洗瓶提供壓縮氣體的步驟之前，所述方法還包括: 打開所述物料瓶的進(jìn)氣口處的氣壓閥，所述物料供給控制器向所述物料瓶的進(jìn)氣口提供負(fù)向的壓縮氣體，以使得所述物料瓶中的物料具有背離所述修復(fù)部流動(dòng)的趨勢(shì)。
【文檔編號(hào)】B08B3/04GK104492656SQ201510023988
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2015年1月16日 優(yōu)先權(quán)日:2015年1月16日
【發(fā)明者】李娟
申請(qǐng)人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
【專利摘要】本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中采用顏料修復(fù)法時(shí)，修復(fù)后的薄膜層厚度不均勻的問(wèn)題。其中，所述薄膜圖案修復(fù)裝置包括物料供給控制器、至少一個(gè)物料瓶、至少一個(gè)修復(fù)部以及修復(fù)驅(qū)動(dòng)器。在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)下，修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，并將在物料供給控制器的控制下，從物料瓶供給至修復(fù)部的物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域。
【專利說(shuō)明】
一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶體管-液晶顯示器)作為一種平板顯示裝置，因其具有體積小、功耗低、無(wú)輻射以及制作成本相對(duì)較低等特點(diǎn)，而越來(lái)越多地被應(yīng)用于高性能顯示領(lǐng)域當(dāng)中。
[0003]TFT-LCD由對(duì)盒成型的陣列基板和彩膜基板構(gòu)成。其中，陣列基板和彩膜基板由多層堆疊而成的薄膜層圖案構(gòu)成。然而，在制作上述薄膜層圖案的過(guò)程中，會(huì)受到制作環(huán)境、制作工藝等因素的影響而產(chǎn)生構(gòu)圖缺陷。具體的，以彩膜基板為例，構(gòu)成彩膜基板的黑矩陣、彩色濾光層以及OC層(Over Coat，保護(hù)層)等可以通過(guò)涂布、曝光、顯影的方式制成。然而，在上述制備過(guò)程中，一方面，如果受到制作環(huán)境中的灰塵、油污、纖維以及生產(chǎn)原材料中的顆粒等污染物的影響，會(huì)使得形成的薄膜層中包裹有上述污染物，從而使得薄膜層圖案產(chǎn)生黑缺陷；另一方面，當(dāng)涂覆的光刻膠中混有氣泡時(shí)，會(huì)導(dǎo)致形成的薄膜層圖案，例如彩色濾光層偏薄或部分缺失，從而形成白缺陷。上述缺陷的存在會(huì)導(dǎo)致顯示面板在顯示過(guò)程中出現(xiàn)亮點(diǎn)或彩點(diǎn)，從而嚴(yán)重影響顯示效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，為了解決上述問(wèn)題，可以采用可以研磨修復(fù)法(Tape)、激光修復(fù)法(Lase Repair)以及顏料修復(fù)法(Ink Repair)對(duì)上述缺陷進(jìn)行修復(fù)。其中，最常用的為顏料修復(fù)法，具體是通過(guò)將滴管中的顏料滴涂于待修復(fù)區(qū)域，以完成對(duì)薄膜層圖案的修復(fù)。然而，上述顏料修復(fù)法是基于顏料在待修復(fù)區(qū)域內(nèi)發(fā)生主動(dòng)擴(kuò)散，來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)待修復(fù)區(qū)域的填充，因此，當(dāng)待修復(fù)區(qū)域的面積較大時(shí)容易導(dǎo)致修復(fù)后的薄膜層的厚度不均勻，產(chǎn)生色差，從而降低了修復(fù)效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中采用顏料修復(fù)法時(shí)，修復(fù)后的薄膜層厚度不均勻的問(wèn)題。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0007]本發(fā)明實(shí)施例的一方面，提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置，包括:
[0008]物料供給控制器，其輸出端連接至少一個(gè)第一壓縮氣體輸送管的一端；
[0009]至少一個(gè)物料瓶，所述物料瓶的進(jìn)氣口與所述第一壓縮氣體輸送管的另一端相連接;
[0010]至少一個(gè)修復(fù)部，所述修復(fù)部的進(jìn)料口，通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管與一個(gè)所述物料瓶的出料口相連接，用于進(jìn)行物料滴涂；
[0011]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器，與所述修復(fù)部相連接，用于驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域。
[0012]本發(fā)明實(shí)施例的另一方面，提供一種薄膜圖案修復(fù)的方法，采用如上所述的任意一種薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行薄膜圖案的修復(fù)，所述方法包括:
[0013]將修復(fù)部移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域；
[0014]物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將所述物料瓶中的物料運(yùn)送至修復(fù)部，所述修復(fù)部在待修復(fù)表面進(jìn)行物料滴涂；
[0015]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于所述待修復(fù)區(qū)域。
[0016]本發(fā)明實(shí)施例的又一方面，提供一種用于清洗如上所述的任意一種薄膜圖案修復(fù)裝置的方法，包括:
[0017]將修復(fù)部移動(dòng)至清潔槽的上方；
[0018]將至少一個(gè)物料瓶作為清洗瓶，用于承裝清洗液；
[0019]物料供給控制器向所述清洗瓶提供壓縮氣體，以將所述清洗瓶中的清洗液，通過(guò)柔性物料輸送管運(yùn)送至修復(fù)部，以對(duì)所述柔性物料輸送管和所述修復(fù)部進(jìn)行清洗。
[0020]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置及其修復(fù)方法、清洗方法。其中，所述薄膜圖案修復(fù)裝置可以包括物料供給控制器、至少一個(gè)物料瓶、至少一個(gè)修復(fù)部以及修復(fù)驅(qū)動(dòng)器。具體的，物料供給器通過(guò)第一壓縮氣體輸送管與物料瓶相連接，用于向第一壓縮氣體輸送管輸送壓縮氣體，以使得物料瓶中的物料能夠從物料瓶的出料口擠出。修復(fù)部通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管與物料瓶相連接，使得從物料瓶沖擠出的物料能夠輸送至修復(fù)部，所述修復(fù)部將輸送至修復(fù)部的物料滴涂于待修復(fù)區(qū)域。修復(fù)驅(qū)動(dòng)器與修復(fù)部相連接，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將滴涂于待修復(fù)為位置的物料均勻的涂覆于待修復(fù)區(qū)域，從而使得修復(fù)后的薄膜層厚度均一，避免了色差的產(chǎn)生，提高了修復(fù)效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0021]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1a為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種薄膜圖案修復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖1b為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種薄膜圖案修復(fù)裝置的定位；
[0024]圖1c為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于安裝修復(fù)部的支架的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖1d為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種修復(fù)部修復(fù)過(guò)程示意圖；
[0026]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種修復(fù)部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3a為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種修復(fù)部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3b為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種多孔滲透隔板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種修復(fù)部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種薄膜圖案修復(fù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種薄膜圖案修復(fù)方法流程圖；
[0032]圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種薄膜圖案修復(fù)方法流程圖；
[0033]圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的又一種薄膜圖案修復(fù)方法流程圖；
[0034]圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種用于清洗薄膜圖案修復(fù)裝置的方法流程圖。
[0035]【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】:
[0036]01-薄膜圖案修復(fù)裝置；02_基板；10-物料供給控制器；100-導(dǎo)軌；101、101’-氣壓閥；11-支架；12-物料瓶；120_補(bǔ)給口 ；121_清洗瓶；122_黑矩陣物料瓶；123_紅色顏料瓶；124-綠色顏料瓶；125-藍(lán)色顏料瓶；126-保護(hù)層物料瓶；13-修復(fù)部；130、130’ -工作腔；131-刷頭；132-擋板；133-多孔滲透隔板；1330-滲透孔；134-活塞;135_工作腔的側(cè)壁；14-修復(fù)驅(qū)動(dòng)器；15-遮光罩；20_第一壓縮氣體輸送管；21_柔性物料輸送管；22_第二壓縮氣體輸送管；A-待修復(fù)表面；B-待修復(fù)區(qū)域；30_轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)；31_固定板；32_第一導(dǎo)向軸；33_第二導(dǎo)向軸。
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0038]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置01，如圖1a所示，可以包括:
[0039]物料供給控制器10，其輸出端連接至少一個(gè)第一壓縮氣體輸送管20的一端；
[0040]至少一個(gè)物料瓶12，所述物料瓶的進(jìn)氣口與第一壓縮氣體輸送管20的另一端相連接；
[0041]至少一個(gè)修復(fù)部13，修復(fù)部13的進(jìn)料口，通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管21與一個(gè)物料瓶12的出料口相連接，用于進(jìn)行物料滴涂；
[0042]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14，與修復(fù)部13相連接，用于驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B。
[0043]需要說(shuō)明的是，第一、所述待修復(fù)表面A可以是指基板02，例如陣列基板或彩膜的基板上，薄膜層圖案出現(xiàn)缺陷而需要修復(fù)的表面。而待修復(fù)區(qū)域B可以是指，基板02的待修復(fù)表面A上，上述缺陷的位置。
[0044]第二、本發(fā)明對(duì)物料瓶12中承裝的物料不做限制。根據(jù)物料瓶12中物料種類的不同，所述薄膜圖案修復(fù)裝置01的作用也不同。例如，當(dāng)彩膜基板上或陣列基板上形成的彩色濾光層的圖案出現(xiàn)缺陷(白缺陷或黑缺陷)時(shí)，可以將上述多個(gè)物料瓶12承裝不同顏色的顏料，例如構(gòu)成三原色的紅色、綠色或藍(lán)色的顏料，以使得所述薄膜圖案修復(fù)裝置01能夠?qū)Σ煌伾牟噬珵V光薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)。又例如，當(dāng)陣列基板上由透明導(dǎo)電材料構(gòu)成的像素電極層的圖案出現(xiàn)上述缺陷時(shí)，可以將上述多個(gè)物料瓶12中的一個(gè)承裝上述透明導(dǎo)電材料，例如氧化銦錫、氧化銦錫等，以使得所述薄膜圖案修復(fù)裝置01能夠?qū)ο袼仉姌O層的圖案進(jìn)行修復(fù)。再或者，當(dāng)需要對(duì)所述薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行清洗時(shí)，可以將上述多個(gè)物料瓶12中的一個(gè)承裝清洗液，該清洗液可以與所述薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行薄膜圖案修復(fù)工作時(shí)，物料瓶12中承裝的物料互溶的有機(jī)溶劑。例如可以與構(gòu)成三原色的顏料互溶的由γ-丁內(nèi)酯構(gòu)成的有機(jī)溶劑，以使得所述薄膜圖案修復(fù)裝置οι能夠?qū)Τ醒b由顏料的物料瓶12以及修復(fù)部13和柔性物料輸送管21進(jìn)行清洗，以防止顏料凝固而發(fā)生物料輸送堵塞的現(xiàn)象。
[0045]當(dāng)然，上述僅僅是對(duì)所述薄膜圖案修復(fù)裝置01作用的舉例說(shuō)明，其它作用在此不再一一贅述，但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0046]此外，當(dāng)上述薄膜圖案修復(fù)裝置01用于對(duì)彩膜基板上的薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)時(shí)，上述物料瓶12的容量范圍可以為0.1ml?1.5ml。當(dāng)物料瓶12的容量小于0.1ml時(shí)，由于其能夠承裝的物料，例如顏料太少，能夠持續(xù)修復(fù)的時(shí)間將縮短，這樣一來(lái)，需要多次停機(jī)以對(duì)物料瓶12中的顏料進(jìn)行添加，從而降低了生產(chǎn)效率。當(dāng)物料瓶12的容量大于1.5ml時(shí)，由于其能夠承裝的顏料較多，在使用的過(guò)程中，未被利用的顏料容易凝固，從而造成顏料輸送管路的堵塞，以及顏料的浪費(fèi)。
[0047]第三、薄膜圖案修復(fù)裝置01在進(jìn)行修復(fù)工作之前，需要將圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行移動(dòng)，以使得修復(fù)部13的位置能夠與待修復(fù)區(qū)域B相對(duì)應(yīng)。具體的，如圖1b所示，可以將薄膜圖案修復(fù)裝置01滑動(dòng)安裝于導(dǎo)軌100上，薄膜圖案修復(fù)裝置01能夠在導(dǎo)軌100上沿第一方向X左右移動(dòng)，并且導(dǎo)軌100可以沿第二方向Y前后移動(dòng)。這樣一來(lái)，可以根據(jù)具體待修復(fù)區(qū)域B所在的坐標(biāo)(X，Y)，將圖案修復(fù)裝置01的修復(fù)部13的位置與待修復(fù)區(qū)域B相對(duì)應(yīng)。
[0048]其中，第一方向X與第二方向Y平行于所述待修復(fù)表面A，并且第一方向X與第二方向Y相互垂直。
[0049]第四、當(dāng)圖案修復(fù)裝置01移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域B所在的區(qū)域后，需要通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)。具體的，如圖1c所示，可以將修復(fù)部13可拆卸的安裝于支架11上。這樣一來(lái)，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14可以驅(qū)動(dòng)支架11進(jìn)行平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，從而帶動(dòng)支架11上的修復(fù)部13進(jìn)行動(dòng)作。
[0050]此外，當(dāng)待修復(fù)區(qū)域B的形狀如圖1d所示，具有夾角α，沿第一修復(fù)路徑0-0’(虛線箭頭所示)進(jìn)行修復(fù)時(shí)，無(wú)法對(duì)夾角α處的缺陷進(jìn)行修復(fù)，因此，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)支架11進(jìn)行平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)之前，還需要將修復(fù)部13進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得修復(fù)部沿第二修復(fù)路徑O1-O/ (實(shí)線箭頭所示)進(jìn)行修復(fù)，以完成對(duì)夾角α處的缺陷進(jìn)行修復(fù)。
[0051]具體的，可以將支架11固定于轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)30上，從而可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的具體形狀，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)30轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，將修復(fù)部13進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而調(diào)整修復(fù)部13的實(shí)際修復(fù)路徑。其中，修復(fù)部13的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍可以設(shè)定為小于等于90°。從而可以沿一個(gè)方向(順時(shí)針或逆時(shí)針)使得修復(fù)部13進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0052]此外，將轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)30通過(guò)固定板31固定在第一導(dǎo)向軸32上，第一導(dǎo)向軸32可以為磁力驅(qū)動(dòng)導(dǎo)軌，實(shí)現(xiàn)修復(fù)部13沿垂直于待修復(fù)表面A移動(dòng)(即沿第三方向Z移動(dòng))的升降運(yùn)動(dòng)。并且，第一導(dǎo)向軸32可以固定在第二導(dǎo)向軸33上，通過(guò)磁力驅(qū)動(dòng)，第一導(dǎo)向軸32可以沿著第一方向X或第二方向Y方向運(yùn)用，從而實(shí)現(xiàn)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)。
[0053]其中，圖案修復(fù)裝置01中的所有修復(fù)部13可以安裝于同一個(gè)支架11上，雖然支架11運(yùn)動(dòng)的時(shí)，所有修復(fù)部13都會(huì)動(dòng)作，但是可以通過(guò)物料供給控制器10，控制物料瓶12不向未進(jìn)行修復(fù)工作的修復(fù)部13提供物料，因此即使未進(jìn)行修復(fù)工作的修復(fù)部13進(jìn)行移動(dòng)，也不會(huì)對(duì)沒有缺陷的薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)。此外還可以將不同的修復(fù)部13可以安裝于不同的支架11，從而方便對(duì)每一個(gè)修復(fù)部13的移動(dòng)進(jìn)行控制。
[0054]當(dāng)然，上述僅僅是對(duì)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13進(jìn)行移動(dòng)的舉例說(shuō)明，其它驅(qū)動(dòng)方法在此不再一一贅述，但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0055]第五、由于修復(fù)部13在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的驅(qū)動(dòng)下，會(huì)平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，因此與修復(fù)部13相連接的柔性物料輸送管21可有柔性材料，例如柔性塑料構(gòu)成。這樣一來(lái)，可以防止修復(fù)部13在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，導(dǎo)致柔性物料輸送管21發(fā)生折斷。此外，柔性物料輸送管21還可以采用棕色透明塑料構(gòu)成。這樣一來(lái)，當(dāng)物料瓶中的物料為光固化材料時(shí)，棕色的柔性物料輸送管21可以防止在輸送物料的過(guò)程中，由于受到光照而使得物料發(fā)生固化，堵塞柔性物料輸送管21。并且，由于柔性物料輸送管21透明，可以方便操作人員觀察物料的輸送情況，當(dāng)柔性物料輸送管21內(nèi)出現(xiàn)氣泡時(shí)，可以將薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行停機(jī)，并對(duì)柔性物料輸送管21進(jìn)行清洗處理，從而表面了由于氣泡引起的修復(fù)后的薄膜層出現(xiàn)白缺陷的現(xiàn)象產(chǎn)生。
[0056]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)裝置。其中，所述薄膜圖案修復(fù)裝置可以包括物料供給控制器、至少一個(gè)物料瓶、至少一個(gè)修復(fù)部以及修復(fù)驅(qū)動(dòng)器。具體的，物料供給器通過(guò)第一壓縮氣體輸送管與物料瓶相連接，用于向第一壓縮氣體輸送管輸送壓縮氣體，以使得物料瓶中的物料能夠從物料瓶的出料口擠出。修復(fù)部通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管與物料瓶相連接，使得從物料瓶沖擠出的物料能夠輸送至修復(fù)部，所述修復(fù)部將輸送至修復(fù)部的物料滴涂于待修復(fù)區(qū)域。修復(fù)驅(qū)動(dòng)器與修復(fù)部相連接，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將滴涂于待修復(fù)為位置的物料均勻的涂覆于待修復(fù)區(qū)域，從而使得修復(fù)后的薄膜層厚度均一，避免了色差的產(chǎn)生，提高了修復(fù)效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0057]顯示器件的顯示效果與PPI (Pixels Per Inch，每英寸所擁有的像素?cái)?shù)目)數(shù)值有關(guān)。PPI數(shù)值越高，即代表顯示器件能夠以越高的密度顯示圖像。因此，顯示的密度越高，擬真度就越高，畫面越細(xì)膩。然而，對(duì)于高PPI的顯示器件而言，其陣列基板或彩膜基板上的薄膜層圖案的線寬就越小，因此出現(xiàn)缺陷的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸也越小。所以需要尺寸較小的修復(fù)部13對(duì)上述尺寸較小的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行修復(fù)。然而對(duì)于低PPI的顯示器件而言，其陣列基板或彩膜基板上的薄膜層圖案的線寬就越大，因此出現(xiàn)缺陷的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸也較大。如果使用尺寸較小的修復(fù)部13，會(huì)增加修復(fù)時(shí)間，所以為了提高修復(fù)效率，需要尺寸較大的修復(fù)部13對(duì)上述尺寸較大的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行修復(fù)。然而，如果針對(duì)不同的PPI，制備不同尺寸的修復(fù)部13，會(huì)大大增加生產(chǎn)成本，并且在更換修復(fù)部13的過(guò)程中，需要對(duì)薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行停機(jī)(Down機(jī))處理，因此會(huì)延長(zhǎng)修復(fù)作業(yè)的時(shí)間，降低生產(chǎn)效率。
[0058]為了使得薄膜圖案修復(fù)裝置的修復(fù)部13能夠?qū)Σ煌琍PI的顯示器件上的薄膜圖案的缺陷進(jìn)行修復(fù)，本發(fā)明提供以下方案。
[0059]實(shí)施例一
[0060]如圖2所示，修復(fù)部13可以包括至少兩個(gè)工作腔130。修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14(圖2中未示出)通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22與工作腔130相連接，用于驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)工作腔130進(jìn)行物料滴涂。
[0061]這樣一來(lái)，可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的尺寸，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇。例如，對(duì)于高PPI的顯示器件而言，由于其內(nèi)部的薄膜層圖案的線寬較小，因此可以選擇一個(gè)或兩個(gè)工作腔130同時(shí)進(jìn)行修復(fù)工作。對(duì)于低PPI的顯示器件而言，由于其內(nèi)部的薄膜層圖案的線寬較大，因此可以選擇三個(gè)以上的工作腔130同時(shí)進(jìn)行修復(fù)工作。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)的修復(fù)部13，在無(wú)需更換修復(fù)部13的情況下，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同線寬的薄膜層圖案的修復(fù)。因此能夠減小生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。
[0062]以下通過(guò)具體的實(shí)施例對(duì)工作腔130的結(jié)構(gòu)，以及修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)工作腔130進(jìn)行修復(fù)工作的具體過(guò)程進(jìn)行舉例說(shuō)明。
[0063]實(shí)施例二
[0064]所述工作腔130內(nèi)可以設(shè)置有刷頭131，如圖3a所示，是以修復(fù)部13包括兩個(gè)工作腔130為例進(jìn)行的說(shuō)明。其中，每個(gè)工作腔130內(nèi)均設(shè)置有一個(gè)刷頭131。
[0065]每個(gè)工作腔130的進(jìn)氣口通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22與修復(fù)驅(qū)動(dòng)器相14 (圖3a中未示出)連接；其中，工作腔130的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥101。
[0066]刷頭131在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的控制下，垂直于待修復(fù)表面A移動(dòng)(即沿第三方向Z移動(dòng))。這樣一來(lái)，可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的尺寸，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇。如圖3a所示，待修復(fù)表面A上的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸較小，通過(guò)一個(gè)工作腔130即可以完成修復(fù)。
[0067]具體的，在修復(fù)的過(guò)程中，可以將右邊工作腔130’進(jìn)氣口處的氣壓閥101’打開，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向右邊的工作腔130’輸入負(fù)向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得位于右邊工作腔130’中的刷頭131’沿著第三方向Z向上移動(dòng)，遠(yuǎn)離待修復(fù)表面A，使得右邊工作腔130’中的刷頭131’進(jìn)入非工作狀態(tài)。這樣一來(lái)，當(dāng)物料瓶12中的物料通過(guò)柔性物料輸送管21運(yùn)送至修復(fù)部13時(shí)，會(huì)流入左邊的工作腔130內(nèi)，并通過(guò)位于左邊工作腔130內(nèi)的刷頭131滴涂于待修復(fù)區(qū)域B處，并在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的驅(qū)動(dòng)下，修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以使得左邊工作腔130內(nèi)的刷頭131將上述滴涂于待修復(fù)區(qū)域B處的物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B，從而完成薄膜層圖案的修復(fù)。
[0068]上述修復(fù)過(guò)程，是以毛刷131的初始位置位于工作腔130靠近待修復(fù)表面A的一側(cè)為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)毛刷131的初始位置靠近工作腔130的進(jìn)氣口時(shí)，在修復(fù)的過(guò)程中，可以將左邊工作腔130進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向左邊的工作腔130’輸入正向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得位于左邊工作腔130中的刷頭131沿著第三方向Z向下移動(dòng)，靠近待修復(fù)表面A，使得左邊工作腔130中的刷頭131進(jìn)入待工作狀態(tài)。接下來(lái)的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0069]需要說(shuō)明的是，第一、上述兩個(gè)左、右兩個(gè)工作腔130、130’可以通過(guò)擋板132隔開。以防止兩個(gè)工作腔130中的氣壓互相串通，而導(dǎo)致修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇時(shí)出錯(cuò)。
[0070]第二、為了實(shí)現(xiàn)對(duì)高PPI顯示器件中的薄膜層圖案的修復(fù)，例如對(duì)于500PPI左右的顯示器件而言，刷頭131在第一方向X或第二方向Y上的寬度范圍可以為3 μπι?5 μπι。當(dāng)刷頭131的在第一方向X或第二方向Y上的寬度小于3 μπι時(shí)，由于刷頭131的尺寸太小，對(duì)制作刷頭的工藝要求較高，制作難度較大，成本較高。當(dāng)刷頭131的在第一方向X或第二方向Y上的寬度大于5 μ m，由于刷頭131的尺寸太大，在修復(fù)過(guò)程中，會(huì)因?yàn)楸∧ば迯?fù)圖案的線寬較小而造成修復(fù)圖案覆蓋其他未出現(xiàn)缺陷的薄膜層圖案，造成薄膜成圖案的污染。綜上所述，對(duì)于500PPI左右的顯示器件而言，優(yōu)選的單個(gè)刷頭131可以修復(fù)的區(qū)域的面積范圍為9 μπι?5 μπι之間。
[0071]第三、在刷頭131在涂覆物料時(shí)，為了提高修復(fù)后薄膜層厚度的均一性，避免刷頭131在修復(fù)過(guò)程中對(duì)待修復(fù)區(qū)域B周圍的薄膜層的破壞。上述刷頭131可以由纖維簇構(gòu)成，所述纖維簇中的纖維的直徑范圍為0.1 μπι?0.3 μm，長(zhǎng)度范圍為3mm?5mm。當(dāng)纖維的直徑小于0.1 μπι時(shí)，制造纖維的難度較大，制作精度較高，生產(chǎn)成本較高。而當(dāng)纖維的直徑大于0.3 μπι時(shí)，構(gòu)成的纖維簇不夠緊密，質(zhì)地較硬容易劃傷未出現(xiàn)缺陷的薄膜層的表面。而當(dāng)纖維的長(zhǎng)度小于3mm時(shí)，構(gòu)成的纖維簇不夠柔軟，劃傷未出現(xiàn)缺陷的薄膜層的表面。當(dāng)纖維的長(zhǎng)度大于5mm時(shí)，構(gòu)成的纖維簇過(guò)于柔軟，降低了刷頭131的修復(fù)力度，延長(zhǎng)了修復(fù)時(shí)間。
[0072]因此，所述纖維簇中的纖維的優(yōu)選直徑范圍為0.1 μπι?0.3 μm，優(yōu)選長(zhǎng)度范圍為3mm?5mm。這樣一來(lái)，構(gòu)成的刷頭131的用于涂覆物料的表面纖維分布均勻、緊湊，刷頭131質(zhì)地柔軟適中，具有較強(qiáng)的吸收物料的能力。且不易產(chǎn)生纖維脫落的現(xiàn)象，提高了刷頭易清洗、耐用的性能。
[0073]第四、為了使得從柔性物料輸送管21供給制工作腔130的物料能夠均勻的被刷頭131吸收，可以在所述刷頭131遠(yuǎn)離待修復(fù)表面A的一側(cè)設(shè)置多孔滲透隔板133。所述多孔滲透隔板133上如圖3b所示，為設(shè)置有多個(gè)均勻分布的滲透孔1330，從而使得物料能夠從均勻分布的滲透孔1330透過(guò)，從而被刷頭131均勻的吸收，進(jìn)而使得通過(guò)刷頭131涂覆形成的修復(fù)薄膜層圖案的厚度均勻。
[0074]實(shí)施例三
[0075]如圖4所示，修復(fù)部13還可以包括覆蓋工作腔130入料口表面的活塞134。
[0076]活塞134位于修復(fù)部13的進(jìn)氣口處，所述修復(fù)部13的進(jìn)氣口通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22與修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14(圖4中未示出)相連接。其中，修復(fù)部13的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥101。
[0077]活塞134，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的控制下，可以平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)。這樣一來(lái)，可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的尺寸，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇。如圖4所示，待修復(fù)表面A上的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸較小，通過(guò)一個(gè)工作腔130即可以完成修復(fù)。
[0078]具體的，在修復(fù)的過(guò)程中，可以將右邊修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向修復(fù)部13輸入負(fù)向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得活塞134平行于待修復(fù)表面A向右移動(dòng)。活塞134移動(dòng)的過(guò)程中，可以將最左端的工作腔130的上端，即入料口打開，使得最左端的工作腔130處于待工作狀態(tài)。這樣一來(lái)，當(dāng)物料瓶12中的物料通過(guò)柔性物料輸送管21運(yùn)送至修復(fù)部13時(shí)，會(huì)流入左端的工作腔130內(nèi)，滴涂于待修復(fù)區(qū)域B處，并在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的驅(qū)動(dòng)下，修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以使得左端工作腔130的側(cè)壁135將上述滴涂于待修復(fù)區(qū)域B處的物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B，從而完成薄膜層圖案的修復(fù)。
[0079]上述修復(fù)過(guò)程，是以活塞134向右移動(dòng)為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)活塞134的左端預(yù)留有移動(dòng)空間時(shí)，在修復(fù)的過(guò)程中，在修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開的情況下，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向修復(fù)部13輸入正向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得活塞134平行于待修復(fù)表面A向左移動(dòng)?；钊?34移動(dòng)的過(guò)程中，可以將最右端的工作腔130’的上端，即入料口打開，使得最右端的工作腔130’處于待工作狀態(tài)。接下來(lái)的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0080]需要說(shuō)明的是，第一、工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的寬度范圍可以為ΙΟμ--?ΙΟΟμπι。相對(duì)于實(shí)施例二中的修復(fù)部13而言，雖然本實(shí)施例中工作腔130的尺寸較大的，但是相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)而言，仍然能夠滿足對(duì)高PPI顯示器件中的薄膜層圖案的修復(fù)的要求。其中，當(dāng)工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的寬度小于10 μ m時(shí)，由于工作腔130的尺寸太小，對(duì)加工精度的要求較高，因此不利于成本的降低。當(dāng)工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的寬度大于100 μ m時(shí)，由于工作腔130的尺寸太大在修復(fù)過(guò)程中，會(huì)因?yàn)楸∧ば迯?fù)圖案的線寬較小而造成修復(fù)圖案覆蓋其他未出現(xiàn)缺陷的薄膜層圖案，造成薄膜成圖案的污染。
[0081]第二、為了使得從柔性物料輸送管21供給制工作腔130的物料能夠均勻的滴涂于待修復(fù)區(qū)域B，可以在工作腔130的入料口與活塞134之間設(shè)置上述多孔滲透隔板133。與實(shí)施例二中的多孔滲透隔板133的功能相同，可以使得物料能夠從均勻分布的滲透孔1330透過(guò)，從而通過(guò)工作腔130均勻的滴涂于待修復(fù)區(qū)域B，進(jìn)而使得通過(guò)修復(fù)部13形成的修復(fù)薄膜層圖案的厚度均勻。
[0082]上述實(shí)施例二、實(shí)施例三均是以修復(fù)部包括兩個(gè)工作腔時(shí)，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14選擇其中一個(gè)工作腔130的進(jìn)行修復(fù)工作為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)修復(fù)部包括兩個(gè)以上的工作腔時(shí)，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇的方法同上所述，此處不再贅述但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0083]此外，無(wú)論對(duì)于實(shí)施例一、實(shí)施例二還是實(shí)施例三，當(dāng)物料瓶12中的物料為感光固化材料時(shí)，為了方式物料瓶中的物料受到光照后發(fā)生固化，從而堵塞物料輸送管道，因此上述薄膜圖案修復(fù)裝置01如圖5所示，還可以包括覆蓋物料瓶12的遮光罩15。上述遮光罩15可以采用黑色硬質(zhì)材料制成，并采用可拆卸方式進(jìn)行安裝，從而能夠方便對(duì)物料瓶12進(jìn)行安裝、置換和觀察。
[0084]此外，為了方便對(duì)物料瓶12中的物料進(jìn)行補(bǔ)給，可以在物料瓶12上設(shè)置有補(bǔ)給口120。
[0085]進(jìn)一步地，物料瓶12的進(jìn)氣口處，以及與相鄰兩個(gè)物料瓶12的出料口處可以設(shè)置有氣壓閥101，因此通過(guò)上述氣壓閥101，通過(guò)上述氣壓閥101對(duì)物料輸送路徑進(jìn)行控制。
[0086]具體的，當(dāng)上述薄膜圖案修復(fù)裝置01用于對(duì)彩膜基板上的薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)時(shí)，如圖5所示，薄膜圖案修復(fù)裝置01可以設(shè)置6個(gè)物料瓶，最右端的物料瓶121未連接修復(fù)部13。因此，該物料瓶121可以用來(lái)承裝清洗液。在清洗的過(guò)程中，將物料瓶121進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，其它物料瓶(122?126)進(jìn)氣口處的氣壓閥101關(guān)閉。接下來(lái)，將相鄰兩個(gè)物料瓶12的出料口處設(shè)置的所有氣壓閥101打開，這樣一來(lái)，從物料瓶121中輸出的清洗液可以流入所有與物料瓶(122?126)相連接的柔性物料輸送管21，以及修復(fù)部13。從而對(duì)整個(gè)薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行清洗。
[0087]此外，可以將物料瓶(122?126)依次承裝黑矩陣材料、紅色顏料、綠色顏料、藍(lán)色顏料、以及保護(hù)層(Over Coat，簡(jiǎn)稱OC)材料。接下來(lái)，將所有物料瓶12進(jìn)氣口處，以及相鄰兩個(gè)物料瓶12的出料口處的氣壓閥101關(guān)閉。在修復(fù)過(guò)程中，當(dāng)需要對(duì)紅色彩色濾光薄膜層圖案進(jìn)行修復(fù)時(shí)，可以將物料瓶123進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，使得物料供給控制器10能夠像物料瓶123中提供正向氣壓的壓縮氣體，將物料瓶123中的紅色顏料輸送至與物料瓶123相連接的修復(fù)部13中，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)紅色彩色濾光薄膜層圖案的修復(fù)。其它薄膜層圖案的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0088]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)的方法，采用如上所述的任意一種薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行薄膜圖案的修復(fù)，所述方法如圖6所示，可以包括:
[0089]SlOl、將修復(fù)部13移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域B。
[0090]S102、物料供給控制器10向物料瓶12提供壓縮氣體，以將物料瓶12中的物料運(yùn)送至修復(fù)部13，修復(fù)部13在待修復(fù)表面A進(jìn)行物料滴涂。
[0091]S103、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B。
[0092]需要說(shuō)明的是，當(dāng)待修復(fù)區(qū)域B的形狀如圖1d所示，具有夾角α，沿第一修復(fù)路徑
0-0’(虛線箭頭所示)進(jìn)行修復(fù)時(shí)，無(wú)法對(duì)夾角α處的缺陷進(jìn)行修復(fù)，因此在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)的步驟之前，上述方法還可以包括:
[0093]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)30進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使得固定于轉(zhuǎn)動(dòng)發(fā)達(dá)30上的修復(fù)部13發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得修復(fù)部沿第二修復(fù)路徑O1-O/ (實(shí)線箭頭所示)進(jìn)行修復(fù)，從而完成對(duì)夾角α處的缺陷進(jìn)行修復(fù)。
[0094]本發(fā)明實(shí)施例提供一種薄膜圖案修復(fù)的方法，包括，首先，將修復(fù)部移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域，以使得修復(fù)部進(jìn)入待修復(fù)狀態(tài)。接下來(lái)，物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將物料瓶中的物料運(yùn)送至修復(fù)部，修復(fù)部在待修復(fù)表面進(jìn)行物料滴涂。最后，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域。通過(guò)修復(fù)部的移動(dòng)，可以使得修復(fù)后的薄膜層厚度均一，避免了色差的產(chǎn)生，提高了修復(fù)效果和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0095]顯示器件的顯示效果與PPI (Pixels Per Inch，每英寸所擁有的像素?cái)?shù)目)數(shù)值有關(guān)。PPI數(shù)值越高，即代表顯示器件能夠以越高的密度顯示圖像。因此，顯示的密度越高，擬真度就越高，畫面越細(xì)膩。然而，對(duì)于高PPI的顯示器件而言，其陣列基板或彩膜基板上的薄膜層圖案的線寬就越小，因此出現(xiàn)缺陷的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸也越小。所以需要尺寸較小的修復(fù)部13對(duì)上述尺寸較小的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行修復(fù)。然而對(duì)于低PPI的顯示器件而言，其陣列基板或彩膜基板上的薄膜層圖案的線寬就越大，因此出現(xiàn)缺陷的待修復(fù)區(qū)域B的尺寸也較大。如果使用尺寸較小的修復(fù)部13，會(huì)增加修復(fù)時(shí)間，所以為了提高修復(fù)效率，需要尺寸較大的修復(fù)部13對(duì)上述尺寸較大的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行修復(fù)。然而，如果針對(duì)不同的PPI，制備不同尺寸的修復(fù)部13，會(huì)大大增加生產(chǎn)成本，并且在更換修復(fù)部13的過(guò)程中，需要對(duì)薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行停機(jī)(Down機(jī))處理，因此會(huì)延長(zhǎng)修復(fù)作業(yè)的時(shí)間，降低生產(chǎn)效率。
[0096]為了使得薄膜圖案修復(fù)裝置的修復(fù)部13能夠?qū)Σ煌琍PI的顯示器件上的薄膜圖案的缺陷進(jìn)行修復(fù)，本發(fā)明提供以下方案。
[0097]實(shí)施例四
[0098]如圖2所示，在修復(fù)部13可以包括至少兩個(gè)工作腔130的情況下，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13的方法可以包括:
[0099]修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)工作腔130在待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行物料滴涂。
[0100]這樣一來(lái)，可以根據(jù)待修復(fù)區(qū)域B的尺寸，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇。例如，對(duì)于高PPI的顯示器件而言，由于其內(nèi)部的薄膜層圖案的線寬較小，因此可以選擇一個(gè)或兩個(gè)工作腔130同時(shí)進(jìn)行修復(fù)工作。對(duì)于低PPI的顯示器件而言，由于其內(nèi)部的薄膜層圖案的線寬較大，因此可以選擇三個(gè)以上的工作腔130同時(shí)進(jìn)行修復(fù)工作。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)的修復(fù)部13，在無(wú)需更換修復(fù)部13的情況下，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同線寬的薄膜層圖案的修復(fù)。因此能夠減小生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。
[0101]以下通過(guò)具體的實(shí)施例，針對(duì)不同的工作腔130結(jié)構(gòu)，對(duì)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)工作腔130進(jìn)行修復(fù)工作的具體過(guò)程進(jìn)行舉例說(shuō)明。
[0102]實(shí)施例五
[0103]當(dāng)修復(fù)部13的結(jié)構(gòu)如圖3a所示時(shí)，為了描述簡(jiǎn)單易修復(fù)部13包括兩個(gè)工作腔130為例對(duì)進(jìn)行說(shuō)明。所述修復(fù)方法如圖7所示，可以包括:
[0104]S201、打開一個(gè)工作腔130進(jìn)氣口處的氣壓閥101。
[0105]具體的，如圖3a所示，可以打開右邊工作腔130’進(jìn)氣口處的氣壓閥101’。
[0106]S202、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器向一個(gè)工作腔130提供負(fù)向氣壓的壓縮氣體，所述一個(gè)工作腔內(nèi)的刷頭遠(yuǎn)離所述待修復(fù)表面移動(dòng)。
[0107]具體的，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向右邊的工作腔130’輸入負(fù)向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得位于右邊工作腔130’中的刷頭131’沿著第三方向Z向上移動(dòng)，遠(yuǎn)離待修復(fù)表面A，使得右邊工作腔130’中的刷頭131’進(jìn)入非工作狀態(tài)。
[0108]S203、將另一個(gè)工作腔移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域。
[0109]具體的，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14的驅(qū)動(dòng)下，將左邊的工作腔130移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域B。
[0110]S204、物料供給控制器10向物料瓶12提供壓縮氣體，以將物料瓶中12的物料運(yùn)送至另一個(gè)工作腔(即左邊的工作腔130)。
[0111]S205、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)另一個(gè)工作腔(即左邊的工作腔130)進(jìn)行物料滴涂。
[0112]S206、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B，從而完成薄膜層圖案的修復(fù)。
[0113]上述修復(fù)過(guò)程，是以毛刷131的初始位置位于工作腔130靠近待修復(fù)表面A的一側(cè)為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)毛刷131的初始位置靠近工作腔130的進(jìn)氣口時(shí)，在修復(fù)的過(guò)程中，可以將左邊工作腔130進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向左邊的工作腔130’輸入正向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得位于左邊工作腔130中的刷頭131沿著第三方向Z向下移動(dòng)，靠近待修復(fù)表面A，使得左邊工作腔130中的刷頭131進(jìn)入待工作狀態(tài)。接下來(lái)的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0114]實(shí)施例六
[0115]當(dāng)修復(fù)部13的結(jié)構(gòu)如圖4所示時(shí)，所述修復(fù)方法如圖8所示，可以包括:
[0116]S301、打開修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101。
[0117]具體的，可以將右邊修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開。
[0118]S302、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14向所述修復(fù)部13提供壓縮氣體，驅(qū)動(dòng)活塞134沿平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將至少一個(gè)工作腔130的入料口打開。
[0119]具體的，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向修復(fù)部13輸入負(fù)向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得活塞134平行于待修復(fù)表面A向右移動(dòng)。活塞134移動(dòng)的過(guò)程中，可以將最左端的工作腔130的上端，即入料口打開，使得最左端的工作腔130處于待工作狀態(tài)。
[0120]S303、物料供給控制器10向物料瓶12提供壓縮氣體，以將物料瓶12中的物料運(yùn)送至入料口打開的工作腔(即最左端的工作腔130)中。
[0121]S304、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)入料口打開的工作腔(即最左端的工作腔130)進(jìn)行物料滴涂。
[0122]S305、修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14驅(qū)動(dòng)修復(fù)部13平行于待修復(fù)表面A移動(dòng)，以將物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域B，從而完成薄膜層圖案的修復(fù)。
[0123]上述修復(fù)過(guò)程，是以活塞134向右移動(dòng)為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)活塞134的左端預(yù)留有移動(dòng)空間時(shí)，在修復(fù)的過(guò)程中，在修復(fù)部13進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開的情況下，修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14通過(guò)第二壓縮氣體輸送管22向修復(fù)部13輸入正向氣壓，例如氣壓范圍的絕對(duì)值為
0.5?2Mpa的壓縮氣體，使得活塞134平行于待修復(fù)表面A向左移動(dòng)?；钊?34移動(dòng)的過(guò)程中，可以將最右端的工作腔130’的上端，即入料口打開，使得最右端的工作腔130’處于待工作狀態(tài)。接下來(lái)的修復(fù)過(guò)程同上所述，此處不再贅述。
[0124]上述實(shí)施例五、實(shí)施例六均是以修復(fù)部包括兩個(gè)工作腔時(shí)，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14選擇其中一個(gè)工作腔130的進(jìn)行修復(fù)工作為例進(jìn)行的說(shuō)明。當(dāng)修復(fù)部包括兩個(gè)以上的工作腔時(shí)，通過(guò)修復(fù)驅(qū)動(dòng)器14對(duì)需要進(jìn)行修復(fù)工作的工作腔130的數(shù)量進(jìn)行選擇的方法同上所述，此處不再贅述但都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0125]此外，無(wú)論對(duì)于實(shí)施例四、實(shí)施例五還是實(shí)施例六，在啟動(dòng)薄膜圖案修復(fù)裝置01之前，所述修復(fù)方法還可以包括:
[0126]采用激光對(duì)待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行灰化處理。從而使得待修復(fù)區(qū)域B的形狀規(guī)則，有利于控制修復(fù)部13的移動(dòng)，以形成厚度均勻的修復(fù)后的薄膜層圖案。
[0127]此外，所述修復(fù)方法還可以包括:
[0128]對(duì)經(jīng)過(guò)修復(fù)部13涂覆后的待修復(fù)區(qū)域B進(jìn)行紫外光固化處理。這樣一來(lái)，能夠縮短修復(fù)后薄膜層圖案固化的時(shí)間，表面未固化的修復(fù)后薄膜層圖案被工作環(huán)境中的雜質(zhì)、灰塵等二次污染。
[0129]本發(fā)明實(shí)施例提供一種用于清洗如上所述的任意一種薄膜圖案修復(fù)裝置01的方法，如圖9所示，可以包括:
[0130]S401、將修復(fù)部13移動(dòng)至清潔槽的上方。
[0131]其中，清潔槽，可以是一個(gè)通槽，或者還可以由多個(gè)矩形槽構(gòu)成。矩形槽的數(shù)量與修復(fù)部13的數(shù)量相同。這樣一來(lái)，在清洗的過(guò)程中每個(gè)修復(fù)部13可以與一個(gè)矩形槽對(duì)應(yīng)，防止不同修復(fù)部13在清洗后排除的費(fèi)液相互混合，對(duì)修復(fù)部13造成污染。
[0132]S402、將至少一個(gè)物料瓶12作為清洗瓶，用于承裝清洗液。
[0133]S403、物料供給控制器10向清洗瓶12提供壓縮氣體，以將清洗瓶12中的清洗液，通過(guò)柔性物料輸送管21運(yùn)送至修復(fù)部13，以對(duì)柔性物料輸送管21和修復(fù)部13進(jìn)行清洗。
[0134]具體的，如圖5所示，薄膜圖案修復(fù)裝置01可以設(shè)置6個(gè)物料瓶，最右端的物料瓶121未連接修復(fù)部13。因此，該物料瓶121可以用來(lái)承裝清洗液。在清洗的過(guò)程中，將物料瓶121進(jìn)氣口處的氣壓閥101打開，其它物料瓶(122?126)進(jìn)氣口處的氣壓閥101關(guān)閉。接下來(lái)，將相鄰兩個(gè)物料瓶12的出料口處設(shè)置的所有氣壓閥101打開，這樣一來(lái)，從物料瓶121中輸出的清洗液可以流入所有與物料瓶(122?126)相連接的柔性物料輸送管21，以及修復(fù)部13。從而對(duì)整個(gè)薄膜圖案修復(fù)裝置01進(jìn)行清洗。
[0135]此外的，當(dāng)薄膜圖案修復(fù)裝置01處于非工作狀態(tài)時(shí)，可以將一定量的清洗液注入清洗槽中，并在柔性物料輸送管21中存儲(chǔ)一定量的清洗液。將將修復(fù)部13浸泡在清洗槽中，從而防止柔性物料輸送管21和修復(fù)部13中殘留的物料邊干，而堵塞物料輸入管路。
[0136]本發(fā)明實(shí)施例提供一種用于清洗薄膜圖案修復(fù)裝置的方法，將修復(fù)部移動(dòng)至清潔槽的上方；將至少一個(gè)物料瓶作為清洗瓶，用于承裝清洗液；物料供給控制器向清洗瓶提供壓縮氣體，以將清洗瓶中的清洗液，通過(guò)柔性物料輸送管運(yùn)送至修復(fù)部，以對(duì)柔性物料輸送管和所述修復(fù)部進(jìn)行清洗。這樣一來(lái)，無(wú)需提供其他清洗裝置，直接通過(guò)薄膜圖案修復(fù)裝置自身就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)修復(fù)部和柔性物料輸送管的清洗，從而提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
[0137]此外，在物料瓶12的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥101的情況下，物料供給控制器10向清洗瓶(如圖5所示的121)提供壓縮氣體的步驟之前，所述清潔方法還可以包括:
[0138]首先，打開物料瓶(如圖5所示的物料瓶122?126)的進(jìn)氣口處的氣壓閥101。
[0139]然后，物料供給控制器10向物料瓶(122?126)的進(jìn)氣口提供負(fù)向的壓縮氣體，以使得物料瓶(122?126)中的物料具有背離修復(fù)部13流動(dòng)的趨勢(shì)。從而可以防止在清洗的過(guò)程中，物料瓶(122?126)中的物料流入修復(fù)部13中，降低清洗效果。
[0140]本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解:實(shí)現(xiàn)上述方法實(shí)施例的全部或部分步驟可以通過(guò)程序指令相關(guān)的硬件來(lái)完成，前述的程序可以存儲(chǔ)于一計(jì)算機(jī)可讀取存儲(chǔ)介質(zhì)中，該程序在執(zhí)行時(shí)，執(zhí)行包括上述方法實(shí)施例的步驟；而前述的存儲(chǔ)介質(zhì)包括:ROM、RAM、磁碟或者光盤等各種可以存儲(chǔ)程序代碼的介質(zhì)。
[0141]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，包括: 物料供給控制器，其輸出端連接至少一個(gè)第一壓縮氣體輸送管的一端； 至少一個(gè)物料瓶，所述物料瓶的進(jìn)氣口與所述第一壓縮氣體輸送管的另一端相連接；至少一個(gè)修復(fù)部，所述修復(fù)部的進(jìn)料口，通過(guò)一個(gè)柔性物料輸送管與一個(gè)所述物料瓶的出料口相連接，用于進(jìn)行物料滴涂； 修復(fù)驅(qū)動(dòng)器，與所述修復(fù)部相連接，用于驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于待修復(fù)區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，還包括與所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器相連接的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)，所述修復(fù)部固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述修復(fù)部包括至少兩個(gè)工作腔； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器通過(guò)第二壓縮氣體輸送管與所述工作腔相連接，用于驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述工作腔進(jìn)行物料滴涂。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述工作腔內(nèi)設(shè)置有刷頭； 所述工作腔的進(jìn)氣口通過(guò)所述第二壓縮氣體輸送管與所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器相連接；其中，所述工作腔的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥； 所述刷頭在所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器的控制下，垂直于所述待修復(fù)表面移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述刷頭在第一方向或第二方向上的寬度范圍為3賴?5賴； 其中，所述第一方向與所述第二方向均平行于所述待修復(fù)表面，且相互垂直。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述刷頭由纖維簇構(gòu)成，所述纖維簇中的纖維的直徑范圍為0.1 VIII?0.3 VIII，長(zhǎng)度范圍為3111111?5111111。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述工作腔內(nèi)還設(shè)置有: 多孔滲透隔板，位于所述刷頭遠(yuǎn)離所述待修復(fù)表面的一側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述修復(fù)部還包括覆蓋所述工作腔入料口表面的活塞； 所述活塞位于所述修復(fù)部的進(jìn)氣口處，所述修復(fù)部的進(jìn)氣口通過(guò)第二壓縮氣體輸送管與所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器相連接；其中，所述修復(fù)部的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥； 所述活塞，在所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器的控制下，平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述工作腔在所述第一方向或所述第二方向上的寬度范圍為10 V III?100 V III。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述修復(fù)部還包括:位于所工作腔入料口與所述活塞之間的多孔滲透隔板。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，還包括:覆蓋所述物料瓶的遮光罩。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于， 所述物料瓶的進(jìn)氣口處，以及所述相鄰兩個(gè)所述物料瓶的出料口處設(shè)置有氣壓閥。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述物料瓶上設(shè)置有用于補(bǔ)給物料的補(bǔ)給口。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案修復(fù)裝置，其特征在于，所述物料瓶的容量范圍為0.11111 ?1.51111。
15.一種薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1-14任一項(xiàng)所述的薄膜圖案修復(fù)裝置進(jìn)行薄膜圖案的修復(fù)，所述方法包括: 將修復(fù)部移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域； 物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將所述物料瓶中的物料運(yùn)送至修復(fù)部，所述修復(fù)部在待修復(fù)表面進(jìn)行物料滴涂； 修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于所述待修復(fù)區(qū)域。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)的步驟之前，所述方法還包括: 修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使得固定于所述轉(zhuǎn)動(dòng)發(fā)達(dá)上的所述修復(fù)部發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在所述修復(fù)部包括至少兩個(gè)工作腔的情況下，所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部的方法包括: 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述工作腔在所述待修復(fù)區(qū)域進(jìn)行物料滴涂。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在所述修復(fù)部包括兩個(gè)工作腔，所述工作腔內(nèi)設(shè)置有刷頭，所述工作腔進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥的情況下，所述方法包括: 打開一個(gè)所述工作腔進(jìn)氣口處的所述氣壓閥； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器向所述一個(gè)工作腔提供負(fù)向氣壓的壓縮氣體，所述一個(gè)工作腔內(nèi)的所述刷頭遠(yuǎn)離所述待修復(fù)表面移動(dòng)； 將另一個(gè)所述工作腔移動(dòng)至待修復(fù)區(qū)域； 所述物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將所述物料瓶中的物料運(yùn)送至所述另一個(gè)工作腔； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述另一個(gè)工作腔進(jìn)行物料滴涂； 修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于所述待修復(fù)區(qū)域。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在所述修復(fù)部還包括覆蓋所述工作腔入料口表面的活塞，所述述修復(fù)部的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥的情況下，所述方法包括: 打開所述修復(fù)部進(jìn)氣口處的所述氣壓閥； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器向所述修復(fù)部提供壓縮氣體，驅(qū)動(dòng)所述活塞沿平行于所述待修復(fù)表面移動(dòng)，以將至少一個(gè)所述工作腔的入料口打開； 所述物料供給控制器向物料瓶提供壓縮氣體，以將所述物料瓶中的物料運(yùn)送至入料口打開的工作腔中； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述入料口打開的工作腔進(jìn)行物料滴涂； 所述修復(fù)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述修復(fù)部平行于待修復(fù)表面移動(dòng)，以將所述物料涂覆于所述待修復(fù)區(qū)域。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，在啟動(dòng)薄膜圖案修復(fù)裝置之前，所述方法還包括: 采用激光對(duì)所述待修復(fù)區(qū)域進(jìn)行灰化處理。
21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的薄膜圖案修復(fù)的方法，其特征在于，還包括: 對(duì)經(jīng)過(guò)所述修復(fù)部涂覆后的所述待修復(fù)區(qū)域進(jìn)行紫外光固化處理。
22.一種用于清洗如權(quán)利要求1-14任一項(xiàng)所述的薄膜圖案修復(fù)裝置的方法，其特征在于，包括: 將修復(fù)部移動(dòng)至清潔槽的上方； 將至少一個(gè)物料瓶作為清洗瓶，用于承裝清洗液； 物料供給控制器向所述清洗瓶提供壓縮氣體，以將所述清洗瓶中的清洗液，通過(guò)柔性物料輸送管運(yùn)送至修復(fù)部，以對(duì)所述柔性物料輸送管和所述修復(fù)部進(jìn)行清洗。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的清洗薄膜圖案修復(fù)裝置的方法，其特征在于，在所述物料瓶的進(jìn)氣口處設(shè)置有氣壓閥的情況下，所述物料供給控制器向清洗瓶提供壓縮氣體的步驟之前，所述方法還包括: 打開所述物料瓶的進(jìn)氣口處的氣壓閥，所述物料供給控制器向所述物料瓶的進(jìn)氣口提供負(fù)向的壓縮氣體，以使得所述物料瓶中的物料具有背離所述修復(fù)部流動(dòng)的趨勢(shì)。
【文檔編號(hào)】B08B3/04GK104492656SQ201510023988
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2015年1月16日 優(yōu)先權(quán)日:2015年1月16日
【發(fā)明者】李娟
申請(qǐng)人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
相關(guān)技術(shù)
網(wǎng)友詢問(wèn)留言
已有0條留言
- 還沒有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊！
1