專利名稱：由石英玻璃制造空心圓筒體的方法、由此制成的空心圓筒體和光學(xué)元件及實(shí)施該方法的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及由石英玻璃制造空心圓筒體的方法，它包括在形成一有筒形內(nèi)孔的多孔坯體的情況下將SiO2顆粒淀積在一縱長(zhǎng)的且繞其縱軸線旋轉(zhuǎn)的載體上；使一個(gè)通過(guò)一懸掛裝置垂直懸掛于一爐子中的坯體玻璃化，懸掛裝置掛在一設(shè)置在坯體內(nèi)孔的上部區(qū)域內(nèi)的縮孔部位上。
此外，本發(fā)明涉及由石英玻璃管和由石英玻璃制成的光學(xué)元件，它包括導(dǎo)光結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)由一系列有不同折射率的石英玻璃層同軸構(gòu)成。
本發(fā)明還涉及實(shí)施本方法的裝置，它有一個(gè)可繞其縱軸線旋轉(zhuǎn)的且基本上呈圓筒形的載體，在載體的圓筒形圓周面上積淀SiO2顆粒并形成一有內(nèi)孔的多孔坯體，它還有一個(gè)嵌入內(nèi)孔中的并用來(lái)在玻璃化步驟中保持坯體處于垂直定位的懸掛裝置。
背景技術(shù)：
光纖預(yù)制坯的制造通常通過(guò)呈多孔的二氧化硅煙塵坯體形式的中間產(chǎn)品來(lái)實(shí)現(xiàn)(以下也稱為“坯體”或“煙塵圓筒體”)。煙塵圓筒體的進(jìn)一步處理包括一個(gè)玻璃化步驟，其中煙塵圓筒體懸掛在一個(gè)玻璃化爐中被加熱并由此經(jīng)玻璃化而形成一個(gè)致密的石英玻璃管。為了在玻璃化步驟中保持該煙塵圓筒體，提出了許多措施。
在US-A 4252251所述的方法中，保持裝置由鉑絲做成，該鉑絲穿過(guò)在煙塵體的上部區(qū)域中的一個(gè)徑向通孔，煙塵體被懸掛在其上。
在DE-A1 2906070中提出了一種保持裝置，其中將一石英玻璃管從上面插入筒狀內(nèi)孔中，該石英玻璃管在它的被指定用于插入煙塵體中的下端頭上具有突峰狀加厚部。為了將石英玻璃管固定在內(nèi)孔中，使上述加厚部旋轉(zhuǎn)90°，從而它埋入柔軟的煙塵物質(zhì)中。
上述方法帶來(lái)擾人的磨損，特別在大體積的重型煙塵體情況下無(wú)法保證可靠操作。
最后，在US-A 4362545中公開了一種保持裝置，其中一個(gè)套管在SiO2顆粒淀積過(guò)程中在其部分長(zhǎng)度范圍內(nèi)牢固地埋入煙塵體一端中。為此，載體延伸穿過(guò)該套管，其中它的幾何形狀利用夾在套管和載體之間空隙中的墊塊被固定住。套管和載體例如是用氧化鋁、石墨或石英玻璃制成的。在淀積過(guò)程中，載體和套管的一部分都埋入到逐漸形成的坯體中。淀積完成之后，將載體撤走，坯體可以垂直懸掛地保持在埋入的套管上，以便進(jìn)行進(jìn)一步處理。由于載體(旋轉(zhuǎn))在運(yùn)動(dòng)時(shí)出現(xiàn)間隙，可能造成以下結(jié)果，即載體和套管之間的空隙快速?gòu)堥_或者未被所淀積的SiO2物質(zhì)覆蓋，致使套管未埋在或不充分地埋在坯體中。因此，需要仔細(xì)確定套管和載體的尺寸，即需要準(zhǔn)確保持尺寸允許誤差和復(fù)雜的校準(zhǔn)，這使得已知保持裝置的制造和使用變困難了，尤其是保持裝置由石英玻璃制成時(shí)。
EP-A 701975公開了開頭所述類型的方法和裝置。在這里，提出一種燒結(jié)有圓筒形內(nèi)孔的煙塵圓筒體的方法，其中該顆粒圓筒體垂直豎立在支承腿上地被送至一加熱區(qū)并在該加熱區(qū)內(nèi)分段燒結(jié)。在此，一由多孔石墨構(gòu)成的支撐管穿過(guò)煙塵圓筒體的內(nèi)孔，在進(jìn)行玻璃化時(shí)，煙塵圓筒體熱縮裝配到該支撐管上。這種已知方法的一個(gè)特點(diǎn)在于在燒結(jié)時(shí)，煙塵圓筒體是自懸掛的。這是通過(guò)下述措施實(shí)現(xiàn)的，即在圓筒形內(nèi)孔的上部擰入一個(gè)其內(nèi)徑逐漸縮小的環(huán)繞支撐環(huán)，該支撐環(huán)因煙塵圓筒體的縱向收縮而在燒結(jié)過(guò)程中套在支撐管上端上。在這里，煙塵圓筒體離開支腿，從而煙塵圓筒體處于垂直懸掛狀態(tài)地進(jìn)一步進(jìn)行燒結(jié)。
由于支撐環(huán)固定在煙塵圓筒體內(nèi)孔中，可能出現(xiàn)不希望的磨損。來(lái)自支撐管石墨的雜質(zhì)可能進(jìn)入煙塵圓筒體中，特別是通過(guò)支撐環(huán)和煙塵圓筒體的內(nèi)孔之間的直接接觸。
在已知的煙塵圓筒體的玻璃化完成之后，這些圓筒體被用于制造光學(xué)預(yù)制件。它們眾所周知地有一光導(dǎo)結(jié)構(gòu)，該光導(dǎo)結(jié)構(gòu)由一系列折射率不同的石英玻璃層同軸層疊而成的。從光學(xué)預(yù)制件中拉拔出光纖。光纖的光衰減受到預(yù)制件的石英玻璃的雜質(zhì)含量且特別是光導(dǎo)區(qū)域中的雜質(zhì)的嚴(yán)重影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是如此改進(jìn)開頭所述的方法，即在進(jìn)行玻璃化時(shí)，即便使很重的坯體，也可以不要復(fù)雜的保持裝置地安全且沒有污染內(nèi)孔危險(xiǎn)被保持著，同時(shí)提出一種適用于此目的的保持裝置。本發(fā)明的另一個(gè)任務(wù)是提出一種由石英玻璃做成的并有高純度內(nèi)孔的空心圓筒體，提供一由石英玻璃制成的光學(xué)元件，它的特點(diǎn)是雜質(zhì)含量極低。
根據(jù)本發(fā)明，與方法有關(guān)地基于上述方法來(lái)如此完成該任務(wù)，即，縮孔部位在SiO2顆粒淀積時(shí)通過(guò)內(nèi)孔的成形而產(chǎn)生，為實(shí)現(xiàn)玻璃化，使用一個(gè)支撐在上述縮孔部位上的并且其它部位不接觸地伸入內(nèi)孔中的懸掛裝置。
根據(jù)本發(fā)明，內(nèi)孔縮孔部位已經(jīng)在淀積過(guò)程中通過(guò)內(nèi)孔的成形而產(chǎn)生。因此，避免了為固定保持件而事后加工多孔坯體和進(jìn)而避免了隨之而來(lái)的磨損。由于內(nèi)孔縮孔部位是在內(nèi)孔成型時(shí)產(chǎn)生的，所以不需要埋置保持件(如以上關(guān)于現(xiàn)有技術(shù)所述地)。以下還將論證這一點(diǎn)。
在內(nèi)孔形成時(shí)產(chǎn)生的縮孔部位的用途在坯體玻璃化時(shí)作為懸掛裝置的支座。懸掛裝置只有為了進(jìn)行玻璃化才插入內(nèi)孔中。在這里，懸掛裝置如此伸入內(nèi)孔中，即事先(在淀積過(guò)程中)已產(chǎn)生的縮孔部位支撐在該懸掛裝置上。由此一來(lái)，保證了坯體的可靠定位，而不需要將一個(gè)保持件埋在坯體中或?qū)⒅潭ㄔ谂黧w上。
也消除了坯體受污染的危險(xiǎn)，這是因?yàn)閮?nèi)孔縮孔部位由同類型的物質(zhì)形成。
除了在懸掛裝置區(qū)域內(nèi)與縮孔部位接觸外，懸掛裝置在進(jìn)行玻璃化時(shí)不接觸地伸入內(nèi)孔。這樣，在玻璃化后出現(xiàn)一個(gè)無(wú)需工具形成的內(nèi)孔。這種無(wú)工具成形導(dǎo)致具有平滑無(wú)損傷的內(nèi)表面的高質(zhì)量?jī)?nèi)壁，所形成的內(nèi)壁的特點(diǎn)就是雜質(zhì)含量低。
縮孔部位最好通過(guò)下述措施產(chǎn)生，即在淀積SiO2顆粒時(shí)使用一載體，該載體從其長(zhǎng)度上看在一縮小區(qū)內(nèi)有一個(gè)外直徑縮小部，其中SiO2顆粒的淀積也包括在縮小區(qū)內(nèi)的淀積?？s小區(qū)內(nèi)的外直徑減小造成坯體內(nèi)孔縮窄。外直徑減小是指載體外直徑總體縮小或分段縮小。外直徑縮小與載體縱軸線有關(guān)地是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的、對(duì)稱的或不對(duì)稱的。例如，它可以存在于載體外周面的一個(gè)單側(cè)扁平部上。唯一重要的是，避免了側(cè)凹，這些側(cè)凹會(huì)妨礙在淀積過(guò)程后抽出載體。設(shè)置一個(gè)或多個(gè)縮小區(qū)。SiO2顆粒也淀積在縮小區(qū)上，所以，所形成的坯體至少覆蓋著載體外直徑的縮小部。
已被證明特別有利的是，外直徑縮小部被設(shè)計(jì)成與載體縱軸線有關(guān)地是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。這種外直徑縮小部造成內(nèi)孔旋轉(zhuǎn)對(duì)稱且徑向環(huán)繞地收縮，從而可保證穩(wěn)定的保持。
外直徑這樣縮小是特別適當(dāng)?shù)?，即這種縮小包括一個(gè)環(huán)繞凸緣。在這種情況下，內(nèi)孔的縮孔部位具有一相應(yīng)的徑向環(huán)繞的凸緣。通過(guò)這種簡(jiǎn)單方式，可實(shí)現(xiàn)坯體的確定而穩(wěn)靠的保持。
根據(jù)一個(gè)特別優(yōu)選的方法變型方案，懸掛裝置從上面伸入內(nèi)孔，從而它卡住縮孔部位的底面。由于懸掛裝置從上嵌入內(nèi)孔中，所以一個(gè)在內(nèi)孔里的保持裝置就多余了，如在上述類型方法中的“支撐管”。因此，可盡可能避免內(nèi)孔內(nèi)的污染和內(nèi)孔壁與外來(lái)物質(zhì)接觸。在最簡(jiǎn)單的情況下，內(nèi)孔有一梯階狀縮孔部，其中懸掛裝置(近似于線卷軸)具有一支腿，支腿外直徑小于內(nèi)孔的內(nèi)徑，但大于在縮孔部位區(qū)域里的內(nèi)徑，而且該支腿與一支桿相連，該支桿的外直徑小于縮孔部位的內(nèi)徑。
本發(fā)明方法的另一個(gè)改進(jìn)方案是如此實(shí)現(xiàn)的，即懸掛裝置的至少一部分由石英玻璃制成。最好是，懸掛裝置的緊靠坯體的那些部分由石英玻璃制成。
還已被證明有利的是，懸掛裝置在玻璃化時(shí)與坯體熔合。因此，可實(shí)現(xiàn)緊密的且特別牢固的連接，以保證對(duì)坯體的安全可靠的操作。
與空心圓筒體相關(guān)地，根據(jù)本發(fā)明，如此完成該任務(wù)，即圓筒體在玻璃化后具有一個(gè)無(wú)工具成形的筒狀內(nèi)孔。
空心圓筒體的筒狀內(nèi)孔是在按上述方法進(jìn)行玻璃化時(shí)獲得其形狀的。根據(jù)本發(fā)明，內(nèi)孔是通過(guò)無(wú)工具的成形獲得的。無(wú)工具成形意味著，在進(jìn)行玻璃化時(shí)，避免了內(nèi)孔壁接觸一安置在內(nèi)孔中的部件(如一個(gè)支桿)，從而形成一個(gè)高質(zhì)量的且有平滑無(wú)損傷的內(nèi)表面的內(nèi)孔壁，此外，它的特點(diǎn)是雜質(zhì)含量低。
由于筒狀內(nèi)孔無(wú)損傷和無(wú)雜質(zhì)，所以，如此獲得的空心圓筒體適于制造所謂的“基材管”。該基材管用于制造光學(xué)預(yù)制件，所用方法是將芯材內(nèi)淀積在基材管內(nèi)壁上(“MCVD-法”或“PCVD-法”，MCVD-法是“改進(jìn)的化學(xué)汽相淀積法”，PCVD-法是等離子化學(xué)汽相淀積法)。但空心圓筒體也成所謂的“套管”形狀，它適于套在芯棒上，以便涂上附加的外表物質(zhì)。
與光學(xué)元件有關(guān)地，根據(jù)本發(fā)明，如此完成該任務(wù)，即各石英玻璃層的至少一部分是用本發(fā)明的空心圓筒體制成的。
光學(xué)元件是指所謂的芯棒即光學(xué)預(yù)制件或光纖。由于光學(xué)元件的石英玻璃層的至少一部分是用本發(fā)明提出石英玻璃管制成的，所以其特點(diǎn)是其雜質(zhì)含量極低。因此，由本發(fā)明的預(yù)制件拉制出的或使用本發(fā)明芯棒而獲得的光纖顯示出很小的光衰減。
與裝置有關(guān)地，根據(jù)本發(fā)明，基于上述裝置來(lái)如此完成該任務(wù)，即載體在一個(gè)第一局部長(zhǎng)度上有一個(gè)較大的第一外直徑并在一個(gè)第二局部長(zhǎng)度上有一個(gè)較小的第二外直徑；懸掛裝置包括一個(gè)縱長(zhǎng)的并與一加厚部相連的把手，其中圍繞把手外橫截面的包絡(luò)圓的直徑(從縱向看)小于上述第二外直徑；圍繞加厚部的外橫截面的包絡(luò)圓的直徑(從縱向看)小于上述第一外直徑并大于上述第二外直徑。
本發(fā)明的裝置是通過(guò)相互協(xié)調(diào)地形成兩個(gè)獨(dú)立部件即一方面是載體且另一方面是懸掛裝置而獲得的，其中SiO2顆粒被淀積在載體上并形成一坯體，懸掛裝置在進(jìn)行玻璃化時(shí)嵌入坯體內(nèi)孔。坯體通過(guò)載體外輪廓獲得一內(nèi)孔，內(nèi)孔在一個(gè)第一局部長(zhǎng)度上有一個(gè)較大的直徑并在一個(gè)第二局部長(zhǎng)度上有一個(gè)較小的直徑；從較大直徑到較小直徑的過(guò)渡區(qū)被稱為“縮孔部位”，如以上結(jié)合本發(fā)明方法所詳細(xì)介紹的那樣。上述縮孔部位也作為懸掛裝置的支點(diǎn)。為此，懸掛裝置有一個(gè)把手，該把手穿過(guò)內(nèi)孔的較細(xì)的那一段并與一個(gè)加厚部相連，該加厚部盡管也穿過(guò)內(nèi)孔的較粗的那一段，但沒有穿過(guò)內(nèi)孔的較細(xì)的那一段。利用該懸掛裝置，可以使坯體保持垂直取向，其中懸掛裝置的加厚部卡在內(nèi)孔縮孔部位的底面上。無(wú)論是懸掛裝置還是載體，都是簡(jiǎn)單地構(gòu)成的。
下述做法已證明是特別有利的載體在第一局部長(zhǎng)度和第二局部長(zhǎng)度之間以及懸掛裝置在把手和加厚部之間各有一個(gè)環(huán)繞凸緣。這樣的凸緣可以特別簡(jiǎn)單地制成并保證了在玻璃化時(shí)可重復(fù)地使坯體保持垂直取向中。


以下，參照實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)說(shuō)明。附圖所示為圖1表示在采用階梯狀載體管時(shí)的多孔坯體的淀積工序。
圖2表示坯體的玻璃化工序。
具體實(shí)施例方式
圖1示意表示采用一階梯狀載體管3時(shí)的多孔坯體1的淀積工序。在這里，坯體1的制取是如此實(shí)現(xiàn)的，即采用已知的火焰水解法并利用一個(gè)或多個(gè)沿著正在形成的坯體1的表面移動(dòng)的淀積燃燒器(圖1中未示出)，將SiO2顆粒淀積在繞其縱軸繞2旋轉(zhuǎn)的載體管3的外表面上。
載體管3有一較大的第一縱向段4和一個(gè)較小的第二縱向段5。載體管3的縱向段4的外直徑60mm以一個(gè)環(huán)繞階梯部6的形式縮小到載體管3縱向段5的外直徑54mm。
在淀積過(guò)程結(jié)束后，如此取出載體管3，即它沿縱向段4方向被從坯體1中拉出。如此產(chǎn)生的坯體1有一內(nèi)孔7，內(nèi)孔基本上有60mm內(nèi)徑，但該內(nèi)徑在縱向段5b(見圖2)區(qū)域里在10cm長(zhǎng)度上縮小6mm。在圖2中，用參考標(biāo)記6b表示坯體1內(nèi)孔中由階梯部6產(chǎn)生的環(huán)繞凸緣。
圖2示意表示坯體1的玻璃化工序。為此，在上述淀積過(guò)程后得到的有階梯狀內(nèi)孔7的坯體1垂直取向地在一玻璃化爐中被分區(qū)(從上部開始)加熱。在此，坯體1用一懸掛裝置8保持著，該懸掛裝置由一石英玻璃棒9做成，該石英玻璃棒同心地與一圓形石英玻璃板10焊接。石英玻璃板10的外直徑約為59mm；石英玻璃棒9的外直徑約為30mm。
懸掛裝置8從下方插入坯體1中并一直向上拉，直到抵靠在凸緣6b上。石英玻璃棒9的長(zhǎng)度為50mm，所以它穿過(guò)整個(gè)縱向段5b并從坯體1上端11伸出。由于石英玻璃板10卡住凸緣6b，所以坯體1可利用懸掛裝置8被牢靠地保持著。在內(nèi)孔7成形時(shí)產(chǎn)生的凸緣6b在坯體1玻璃化過(guò)程中用作懸掛裝置8的支座。
通過(guò)玻璃化，由坯體1獲得一個(gè)石英玻璃空心圓筒。在玻璃化過(guò)程中，懸掛裝置8的一部分(石英玻璃板10和石英玻璃棒9的一部分)同坯體1相熔合，從而保證坯體1和懸掛裝置8之間的牢固緊密的連接。由于懸掛裝置8絕不機(jī)械接觸到內(nèi)孔7的筒面，所以在玻璃化完成之后，可獲得表面質(zhì)量高的無(wú)工具成形的內(nèi)壁。
由于凸緣6b是在內(nèi)孔7成形時(shí)產(chǎn)生的，所以事后固定一保持件是多余的，由此避免了磨損及帶入臟物。只有在淀積過(guò)程完成后，才將懸掛裝置8嵌入內(nèi)孔7，其中它同已先產(chǎn)生的凸緣6b配合作用。因此，象在現(xiàn)有技術(shù)中那樣將一保持件埋到坯體中是多余的。
除圖1所示的帶有階梯部6的載體3之外，在另一個(gè)實(shí)施例中設(shè)置一個(gè)過(guò)渡區(qū)，在該過(guò)渡區(qū)中，載體管3外直徑從外直徑為60mm的縱向段4呈錐形地縮小到外直徑為54mm的縱向段5。相應(yīng)地，利用上述載體形成的坯體有一個(gè)內(nèi)錐面。為了在進(jìn)行玻璃化時(shí)保持坯體，從下面引入一個(gè)保持件，該保持件有一個(gè)對(duì)應(yīng)于上述內(nèi)錐面的外錐面。在此情況下，在玻璃化過(guò)程中，也避免了懸掛裝置同內(nèi)孔筒面接觸，從而在玻璃化后獲得了一個(gè)表面質(zhì)量高的無(wú)工具成形的內(nèi)壁。
如此制得的石英玻璃空心筒體適用于作為“套管”地給一個(gè)芯棒鑲上石英玻璃殼材，或者它被進(jìn)一步加工成所謂的“基材管”，以便用在按所謂的MCVD-法(改良的化學(xué)汽相淀積法)生產(chǎn)光波導(dǎo)用光學(xué)預(yù)制坯中。用本發(fā)明的石英玻璃空心筒體制成的預(yù)制坯和光纖的特征在于光衰減極小。
權(quán)利要求
1.由石英玻璃制造空心筒體的方法，它包括在一個(gè)縱長(zhǎng)的且繞其縱軸線旋轉(zhuǎn)的載體上淀積SiO2顆粒并形成一個(gè)有筒形內(nèi)孔的多孔坯體；使通過(guò)一懸掛裝置垂直懸掛在一玻璃化爐中的坯體玻璃化，該懸掛裝置掛在一個(gè)設(shè)置在坯體內(nèi)孔的上部區(qū)域里的縮孔部位上，其特征在于縮孔部位(6b)是在SiO2顆粒淀積時(shí)通過(guò)內(nèi)孔(7)的形成而產(chǎn)生的，為進(jìn)行玻璃化，使用一個(gè)支撐在縮孔部位(6b)上且其它部分不接觸地伸入內(nèi)孔(7)中的懸掛裝置(8；9；10)。
2.按權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于縮孔部位(6)是這樣產(chǎn)生的，即在進(jìn)行SiO2顆粒淀積過(guò)程中插入一個(gè)載體(3)，該載體從其長(zhǎng)度上看在一個(gè)縮小區(qū)域(6)內(nèi)具有減小的外直徑，其中SiO2顆粒的淀積也包括在該縮小區(qū)域(6)中的淀積。
3.按權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于所述外直徑減小部被設(shè)計(jì)成關(guān)于載體(3)縱軸線(2)是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的。
4.按權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于所述外直徑減小部包括一個(gè)環(huán)繞的凸緣(6)。
5.按權(quán)利要求1-4之一所述的方法，其特征在于懸掛裝置(8；9；10)從上部(11)伸入內(nèi)孔(7)，從而它卡在縮孔部位(6b)的底面上。
6.按權(quán)利要求1-5之一所述的方法，其特征在于懸掛裝置(8；9；10)的至少一部分是用石英玻璃制成的。
7.按權(quán)利要求1-6之一所述的方法，其特征在于在進(jìn)行玻璃化時(shí)，懸掛裝置(8；9；10)同坯體(1)熔合。
8.按照如權(quán)利要求1-7所述方法制得的空心圓筒體，其特征在于該空心圓筒體在玻璃化后具有一個(gè)不用工具成形的筒形內(nèi)孔(7)。
9.由石英玻璃制成的光學(xué)元件，它包括一個(gè)光導(dǎo)結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)由折射率不同的多個(gè)石英玻璃層同軸層疊而成的，其特征在于石英玻璃層中的至少一部分通過(guò)一如權(quán)利要求8所述的空心圓筒體制成的。
10.實(shí)施如權(quán)利要求1-7之一所述方法的裝置，它有一個(gè)可繞其縱軸線旋轉(zhuǎn)的且基本呈圓筒形的載體，在該載體的筒形外周面上淀積SiO2顆粒并形成一個(gè)具有一內(nèi)孔的多孔坯體，該裝置還有一個(gè)嵌入上述內(nèi)孔中的并用于在玻璃化過(guò)程中使上述坯體保持垂直取向的懸掛裝置，其特征在于，載體(3)在一個(gè)第一局部長(zhǎng)度(4)上有一個(gè)較大的第一外直徑并在一個(gè)第二局部長(zhǎng)度(5)上有一個(gè)較小的第二外直徑；懸掛裝置(8)包括一個(gè)與一加厚部(10)相連的細(xì)長(zhǎng)把手(9)，其中圍繞把手(9)的外橫截面的包絡(luò)圓的直徑(從縱向看)小于上述第二外直徑，而圍繞加厚部(10)的外橫截面的包絡(luò)圍的直徑(從縱向看)小于上述第一外直徑而大于上述第二外直徑。
11.按權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于載體(3)在第一局部長(zhǎng)度(4)和第二局部長(zhǎng)度(5)之間有一個(gè)環(huán)繞凸緣(6)，懸掛裝置(8)在把手(9)和加厚部(10)之間有一個(gè)環(huán)繞凸緣(6)。
全文摘要
在已知的石英玻璃管生產(chǎn)方法中，在一個(gè)縱長(zhǎng)的且繞其縱軸線旋轉(zhuǎn)的載體上淀積SiO
文檔編號(hào)C03B19/14GK1483005SQ01821190
公開日2004年3月17日 申請(qǐng)日期2001年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月22日
發(fā)明者G·科圖拉, K·魯佩爾特, G 科圖拉, 宥 申請(qǐng)人:赫羅伊斯·坦尼沃有限公司, 赫羅伊斯 坦尼沃有限公司