專利名稱：生產(chǎn)多孔玻璃灰體的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及生產(chǎn)多孔玻璃灰體的方法和設(shè)備。在這種方法中，借助玻璃顆粒合成燃燒器合成的玻璃顆粒一層接一層地沉積在起始棒上，同時(shí)使起始棒和燃燒器相對往復(fù)移動。
簡單來說，這里假定起始棒固定，而燃燒器往復(fù)移動。在上述方法中，如果多個(gè)燃燒器以均勻間隔布置而構(gòu)成的燃燒器陣列往復(fù)移動一個(gè)相鄰燃燒器之間的距離(下文稱為燃燒器間隔)，那么，每個(gè)燃燒器在相應(yīng)于起始棒表面的燃燒器間隔的區(qū)域上沉積玻璃顆粒，以便形成大型多孔玻璃灰體。這種方法的優(yōu)點(diǎn)在于玻璃顆粒的沉積速率高，可生產(chǎn)大型多孔玻璃灰體。但是，這種方法的問題是，在燃燒器往復(fù)移動的返回位置上，由于下述兩個(gè)原因，玻璃顆粒的沉積量增加，因而多孔玻璃灰體的外徑增加。第一個(gè)原因是，由相鄰燃燒器沉積的玻璃顆粒在燃燒器的返回位置上存在，因而在返回位置上沉積雙倍的玻璃顆粒。第二個(gè)原因是，由于燃燒器陣列的傳動在返回位置一次停止，因而燃燒器在返回位置上比它們在以穩(wěn)定速率移動的部位停留更長的時(shí)間。
為了解決在燃燒器返回位置上引起的上述問題，有人曾提出一種方法，在該方法中，通過改變往復(fù)移動中在向前的路徑和向右的路徑上傳遞距離來移動返回位置(參閱日本專利未審定出版物第平-3-228845號)。采用這種方法，在燃燒器和起始棒之間相對的往復(fù)移動中的返回位置分散在多孔玻璃灰體的整個(gè)長度上，以便平均玻璃顆粒的沉積量，使多孔玻璃灰體的外徑均勻一致。
順便講到，當(dāng)起始棒長度(尺寸)增加時(shí)，灰體重量顯著增加，引起起始棒水平受到支承的臥式設(shè)備中起始棒耐用度的問題，因而需要起始棒垂向受到支承的立式設(shè)備。
采用立式設(shè)備時(shí)，在燃燒器中產(chǎn)生的熱量向上流動并積蓄在反應(yīng)容器的上部，使含有整個(gè)灰體的氣氛溫度在灰體長度方向上被改變。這會引起被沉積的玻璃顆粒的密度在灰體長度方向上發(fā)生變化。如果玻璃顆粒的密度在灰體長度方向上發(fā)生變化，那么，灰體的外徑沿長度方向是不同的，這會引起玻璃顆粒沉積效率不同，進(jìn)而引起灰體外徑差的增加。用這種方式生產(chǎn)的灰體拉制的光學(xué)纖維具有與特性有關(guān)的問題。
在日本專利未審定出版物第平4-260618號中公開了一種采用多個(gè)燃燒器生產(chǎn)多孔玻璃灰體的方法，在這種方法中，在多孔玻璃灰體的整個(gè)長度上產(chǎn)生均勻的空氣流。在燃燒器陣列和多孔玻璃灰體設(shè)置得使其在垂直方向上取向的情形中。一個(gè)高輸出端加熱器設(shè)置在灰體底部上的一個(gè)區(qū)域中，以便減小熱梯度沿多孔玻璃灰體的作用，在水平方向上空氣流的大小必須選擇(或增加)得可減小灰體外徑由于沿灰體長度的空氣對流引起的不均勻性。
但是，采用這種方法的設(shè)備的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。由于反應(yīng)容器內(nèi)部為強(qiáng)酸性氣氛，因而加熱器的構(gòu)件昂貴，不沉積在灰體上的玻璃顆粒沉積在加熱器上，然后由于加熱器的熱量而玻璃化，導(dǎo)致難于從加熱器清除玻璃顆粒的保養(yǎng)問題。由于這種結(jié)構(gòu)有設(shè)備保養(yǎng)上的一些麻煩，因而即使采用較高的灰體合成速率，為生產(chǎn)下一個(gè)灰體所需要的準(zhǔn)備時(shí)間較長，因而導(dǎo)致相應(yīng)于較高合成速度來說，生產(chǎn)灰體的效果減小。
按照本發(fā)明，一種多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，將多個(gè)玻璃顆粒合成燃燒器布置得能夠?qū)χ桓v向支承在反應(yīng)容器內(nèi)的轉(zhuǎn)動起始棒，當(dāng)使所述起始棒和燃燒器平行且相對地往復(fù)移動時(shí)，使燃燒器合成的玻璃顆粒沉積在所述起始棒的表面上，通過一個(gè)或多個(gè)通氣孔向起始棒或已沉積在起始棒上的玻璃顆粒供應(yīng)氣體。當(dāng)燃燒器放置在反應(yīng)容器內(nèi)時(shí)，一個(gè)或多個(gè)通氣孔在一個(gè)或多個(gè)燃燒器附近處于反應(yīng)容器上。
在這種多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法中，可以通過通氣孔沿起始棒的長度方向供應(yīng)不同流動速率的氣體的方法，或者，可以通過通氣孔沿起始棒的長度方向供應(yīng)不同溫度的氣體的方法。
另外，在這種多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法中，當(dāng)燃燒器放置在反應(yīng)容器中時(shí)，每個(gè)通氣孔可以設(shè)置在每個(gè)燃燒器和反應(yīng)容器之間。
按照本發(fā)明，一種多孔玻璃灰體生產(chǎn)設(shè)備包括多個(gè)玻璃顆粒合成燃燒器和一個(gè)反應(yīng)容器。所述多個(gè)玻璃顆粒合成燃燒器對著一根轉(zhuǎn)動的起始棒布置。當(dāng)燃燒器和起始棒平行地且相對地轉(zhuǎn)動時(shí)，每個(gè)燃燒器將玻璃顆粒施加在起始棒的表面上。起始棒縱向地支承在反應(yīng)容器內(nèi)。反應(yīng)容器具有一個(gè)或多個(gè)通氣孔，當(dāng)燃燒器放置在反應(yīng)容器中時(shí)，所述通氣孔在一個(gè)或多個(gè)燃燒器附近。
按照本發(fā)明，在一個(gè)或多個(gè)放置在反應(yīng)容器內(nèi)的燃燒器的附近，一個(gè)或多個(gè)通氣孔設(shè)置在反應(yīng)容器上，不同流動速率和/或溫度的氣體通過一個(gè)或多個(gè)通氣孔供應(yīng)在灰體的整個(gè)長度上，因而圍繞多孔玻璃灰體的氣氛溫度可以被控制±15℃內(nèi)的幾乎均勻的狀態(tài)，其中灰體的容積密度處于公差內(nèi)。
圖6的示意圖表示適于采用按照本發(fā)明的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法的燃燒器結(jié)構(gòu)的另一個(gè)實(shí)例；圖7的示意圖表示按照本發(fā)明的通氣孔的另一個(gè)實(shí)例。
按照本發(fā)明的一個(gè)多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法基本描述如下。多個(gè)玻璃顆粒合成燃燒器4以幾乎均勻的間隔布置在一個(gè)反應(yīng)容器2中，該反應(yīng)容器設(shè)有排出管3，所述排出管對著縱向受到支承的起始棒，由燃燒器合成的玻璃顆粒一層接一層地沉積在起始棒1的表面上，同時(shí)使起始棒1和燃燒器4平行地且相對地往復(fù)移動，從而產(chǎn)生多孔玻璃灰體5。順便講到，在

圖1和2所示的實(shí)施例中，起始棒在豎直方向上往復(fù)移動。
在這些實(shí)施例中，六個(gè)燃燒器4以下述狀態(tài)設(shè)置在反應(yīng)容器2內(nèi)燃燒器4的頂部通過一個(gè)設(shè)置在反應(yīng)容器2上的開口伸入反應(yīng)容器2內(nèi)。在每個(gè)燃燒器4和反應(yīng)容器2之間(即，在每個(gè)燃燒器4和反應(yīng)容器的相應(yīng)開口之間)有一個(gè)間隙，形成包圍每個(gè)燃燒器4的一個(gè)通氣孔6。不同流動速率和/或溫度的氣體通過通氣孔6供應(yīng)，形成向著多孔玻璃灰體5的氣流，圍繞多孔玻璃灰體5的氣氛溫度幾乎均勻地控制在±15℃內(nèi)，而灰體的容積密度則落在公差內(nèi)。如圖7所示，通氣孔可以是當(dāng)燃燒器放置在反應(yīng)容器內(nèi)時(shí)處于燃燒器附近的開口6’、6’。兩個(gè)開口6’、6’呈矩形，但是，開口的數(shù)目和形狀并不局限于這個(gè)實(shí)施例。另外，在本發(fā)明中，當(dāng)燃燒器放在反應(yīng)容器內(nèi)時(shí)，一個(gè)或多個(gè)通氣孔在一個(gè)或多個(gè)燃燒器附近設(shè)置在反應(yīng)容器上。因此，本發(fā)明并不局限于如圖1-4A或圖7所示的、設(shè)置在每個(gè)燃燒器4附近的通氣孔6或成對的通氣孔6’、6’。通氣孔6或一對通氣孔6’、6’可以只設(shè)置在預(yù)定的燃燒器4附近；或者，矩形通氣孔6’的相鄰縱向側(cè)的長度可以在多個(gè)燃燒器4上延伸。
供應(yīng)的氣體最好是通過一個(gè)能夠收集0.3μm或更大的灰塵達(dá)99.97％或99.97％以上，以便防止異物附著在灰體5上。更具體來說，一個(gè)圍繞燃燒器的空氣容器最好具有級別100(class100)的氣氛。這就要求氣體不與玻璃顆粒反應(yīng)，且對燃燒器產(chǎn)生火焰無化學(xué)影響。氣體的實(shí)例包括空氣或惰性氣體。
在圖1所示的實(shí)施例中的供氣方法是，耐熱纖維制成的罩7設(shè)置在反應(yīng)容器2外面，覆蓋著通氣孔6和整個(gè)燃燒器4的陣列，以形成一個(gè)空氣容器8，清潔的氣體從一個(gè)清潔氣體發(fā)生器送入反應(yīng)容器2內(nèi)。罩7以一個(gè)間隙10放置而不與反應(yīng)容器2接觸，因而清潔氣體的供應(yīng)量受到調(diào)節(jié)至下述程度，即，清潔氣體從間隙10漏出以防止外部空氣進(jìn)入罩7。設(shè)置間隙10的原因在于，如果反應(yīng)容器2和罩7接觸，那么，在沉積過程中耐熱纖維制成的罩7就有變劣或受損的危險(xiǎn)，從而產(chǎn)生灰塵，存在灰塵附著灰體5的可能性。
為防止外部空氣進(jìn)入反應(yīng)容器2，則最好沒有間隙10。圖2表示一個(gè)沒有間隙10的設(shè)備的實(shí)施例。一個(gè)包圍通氣孔6和整個(gè)燃燒器4陣列的框架11安裝在反應(yīng)容器2外面，與反應(yīng)容器2沒有間隙，罩7無間隙地放在這個(gè)框架11上，形成空氣容器8。圖3表示這種方式的空氣容器8的一個(gè)實(shí)例。這里，框架11是由高耐熱材料如金屬制成的，為改善散熱設(shè)有翼片13。
在圖1和2中，供應(yīng)的氣流由箭頭表示。
具有不同流動速度或溫度或兩者的氣體是通過每個(gè)通氣孔6供應(yīng)的。通常，由于通氣孔位于反應(yīng)容器上部，流動速率增加，溫度下降。
對于氣流速率調(diào)節(jié)裝置沒有特別的限制，一個(gè)實(shí)例表示在圖4A-4C中。圖4A是從垂直于燃燒器的方向看去的調(diào)節(jié)裝置的剖視圖，圖4B是從上方看去的剖視圖。在這個(gè)實(shí)例中，一金屬調(diào)節(jié)板14具有兩個(gè)部分和在其中心的一個(gè)直徑大于燃燒器4直徑的孔。金屬調(diào)節(jié)板14安裝得覆蓋一部分通氣孔6，使燃燒器4夾置在兩個(gè)部分之間。通氣孔6的數(shù)值孔徑是通過控制調(diào)節(jié)板14的兩個(gè)部分之間的間隙來調(diào)節(jié)的，如圖4B所示。這種調(diào)節(jié)板適用于空氣容器8如圖1和2所示那樣設(shè)置的情形。
作為另一種氣體流動速率調(diào)節(jié)裝置，可為每個(gè)通氣孔設(shè)置一根空氣供應(yīng)管以調(diào)節(jié)供氣量。順便講到，在使用空氣供應(yīng)管的情形中，設(shè)備比設(shè)置空氣容器的方法復(fù)雜。
對于調(diào)節(jié)供應(yīng)氣體的溫度的裝置沒有特別的限制。但是，共同的是為每個(gè)通氣孔設(shè)置空氣供應(yīng)管，冷卻裝置或加熱裝置是分開或組合安裝的。
通過通氣孔供應(yīng)的氣體的流動速率或溫度受到控制，在灰體容積密度在公差內(nèi)的情況下使圍繞多孔玻璃灰體5的氣氛溫度幾乎均衡在±15℃。例如，作為每個(gè)通氣孔的流動速率或溫度的設(shè)定方法，多孔玻璃灰體的上、下端之間溫度差和通過通氣孔的氣體的流動速率或溫度之間的關(guān)系是事先依靠經(jīng)驗(yàn)取得的，灰體上、下端的溫度被測量，從而采用上述取得的關(guān)系來設(shè)定氣體的流動速率或溫度。
另外，每個(gè)燃燒器合成的玻璃顆粒沉積的部位，可以選擇性地為每個(gè)燃燒器設(shè)置溫度測量裝置來測量沉積表面的溫度(例如采用圖1和2的實(shí)例中采用輻射溫度計(jì)12)，通過通氣孔供應(yīng)的氣體的流動速率或溫度受到控制，該每個(gè)沉積表面的溫度幾乎保持恒定，從而能夠?qū)崿F(xiàn)精確控制。
玻璃顆粒合成燃燒器最好采用高方向性的燃燒器，例如，具有吹出助燃?xì)怏w或惰性氣體的孔的燃燒器，在使用區(qū)域吹出氣體的流動速率為8m/秒，或更高。采用這種燃燒器時(shí)，吹出助燃?xì)怏w或惰性氣體的孔的氣體流動速率最好為8米/秒或更高。
因此，可以減小火焰中由于通過通氣孔供應(yīng)的氣流而產(chǎn)生的紊流，產(chǎn)生玻璃顆粒沉積量穩(wěn)定的效果。
例如，高方向性燃燒器是圖5所示的燃燒器，這種燃燒器具有氣體孔19，氣體孔具有小的開口，用于在中心封閉多根管17、18。在圖5中，燃燒器具有用于單獨(dú)吹出原料氣體，或吹出原料氣體和可燃?xì)怏w如H2的原料氣體孔17、用于吹出惰性氣體如Ar或N2的惰性氣體孔18、21、用于吹出可燃?xì)怏w如H2或烴類氣體如甲烷氣體的可燃?xì)饪?9和用于吹出助燃?xì)怏w如O2的助燃?xì)怏w孔20、22。
另外，可以采用圖6所示結(jié)構(gòu)的多管燃燒器。在圖6中。燃燒器具有原料氣體孔23、可燃?xì)怏w孔24、27、惰性氣體孔25、28、助燃?xì)怏w孔26、29和風(fēng)檔(導(dǎo)向器)30。
在如圖5所示的那種燃燒器中，(除助燃?xì)怏w孔20以外的)每個(gè)孔的氣體流動速率為大約1至40米/秒，而助燃?xì)怏w孔20的氣體流動速率為大約10至40米/秒。在如圖6所示的那種燃燒器中，助燃?xì)怏w孔26或29的氣體流動速率為8米/秒或更高。在另一種沒有畫出的燃燒器中，助燃?xì)怏w孔或惰性氣體孔，特別是在最外側(cè)的助燃?xì)怏w孔的氣體流動速率最好為8米/秒或更高。
通過圍繞燃燒器的通氣孔調(diào)節(jié)供應(yīng)氣體的流動速率或溫度，使圍繞多孔玻璃灰體的氣氛溫度保持幾乎均勻一致，從而達(dá)到使灰體的容積密度均勻的效果，并使灰體外徑的變化受到抑制。另外的一種效果是，在玻璃顆粒沉積過程中不沉積在灰體上的玻璃顆粒更有效地從反應(yīng)容器排出。因此，減少了清潔的麻煩，縮短了調(diào)整時(shí)間。
一般來說，未沉積在包括起始棒或已沉積在起始棒上的玻璃顆粒層上的玻璃顆粒是通過設(shè)置在反應(yīng)容器中的排放管排出的。但是也可能沉積在反應(yīng)容器的壁面上。沉積在壁面上的玻璃顆粒層是借助其死重量剝落的，再次沉積在灰體上，并集結(jié)和玻璃化，導(dǎo)致在灰體中形成氣泡。特別是對于沉積在反應(yīng)容器上部的玻璃顆粒來說更有上述可能性。采用按照本發(fā)明的方法時(shí)，通過通氣孔的氣流在通氣孔附近變得稍許紊亂，但在其趨近灰體時(shí)則浮在燃燒器的火焰上，從而形成平順的氣流。這種氣流順利吸入排放管，因而不沉積在灰體上的玻璃顆粒更容易排放。因此，減少了玻璃顆粒從反應(yīng)容器壁面剝落后再次沉積的危險(xiǎn)。[實(shí)例]采用如圖1所示的那樣的設(shè)備進(jìn)行多孔玻璃灰體生產(chǎn)試驗(yàn)。在這個(gè)試驗(yàn)中，設(shè)置了四個(gè)燃燒器，間隙10調(diào)至5mm。所采用的燃燒器4是如圖5所示的多孔燃燒器，其外徑為60mm。用于將燃燒器4安裝在反應(yīng)容器內(nèi)的開口的直徑為75mm，圍繞燃燒器4形成間隙而作為通氣孔。[實(shí)例1]四個(gè)對著起始棒(直徑36mm，長度1500mm)的燃燒器以200mm的間隔布置。玻璃顆粒沉積在II正圍繞軸線轉(zhuǎn)動且正往復(fù)移動的起始棒1上。四個(gè)通氣孔6的直徑為75mm。在沉積過程中，從清潔氣體發(fā)生器9向空氣容器8供應(yīng)常溫下的清潔氣體(采用激光顆粒計(jì)數(shù)器通過檢查散射光的強(qiáng)度測量直徑為0.5μm或更大的灰塵的數(shù)目)，從清潔氣體發(fā)生器9吹出的清潔氣體的平均流動速率為20m3/分。
因此，所獲得的多孔玻璃灰體5的形狀在600mm長的有效部分的頂部具有235mm的外徑，而在底部具有260mm的外徑。清潔氣體在灰體5的整個(gè)長度上均勻地供應(yīng)，從而能夠減小灰體長度方向上的溫度差，使灰體能夠用作預(yù)制坯。[實(shí)例2]多孔玻璃灰體5是在與實(shí)例1相同的條件下生產(chǎn)的，只是采用如圖4A-4C所示的金屬調(diào)節(jié)板14調(diào)節(jié)了圍繞燃燒器4的通氣孔6的尺寸。通氣孔6的尺寸，按照離開上部的順序，外徑大致為75mm，73mm和65mm。因此，在600mm長的有效部分的頂部燃燒器4的外徑為252mm，而在底部為260mm，因而觀察到了外徑的均勻化效果。可以確定的是，借助灰體外徑的上述差別可以保證光學(xué)纖維的特性。[實(shí)例3]在實(shí)例1的方法中，按照下述方式生產(chǎn)多孔玻璃灰體5，即，采用輻射溫度計(jì)12通過圍繞每個(gè)燃燒器的通氣孔6測量沉積表面的溫度，使用調(diào)節(jié)板14精細(xì)調(diào)節(jié)了通氣孔6的尺寸，因而沉積表面溫度可達(dá)700℃。因此，多孔玻璃灰體5的外徑在600mm長的有效部分的頂部為258mm，而在底部為260mm，因而獲得了均勻一致的灰體。[實(shí)例4]反應(yīng)容器2、燃燒器4和通氣孔6在結(jié)構(gòu)上與實(shí)例1相同，但是未設(shè)空氣容器。向每個(gè)通氣孔6供應(yīng)清潔氣體。在供應(yīng)的清潔氣體的溫度為30℃，每個(gè)燃燒器的清潔氣體的供應(yīng)量為4m3/分的條件下沉積玻璃顆粒。因此，觀察到在有效部分頂部沉積表面的溫度為720℃，而在底部為690℃，溫度差為大約30℃。在灰體的整個(gè)長度上供應(yīng)一致溫度的清潔氣體，因而可以減小在灰體長度方向上的溫度差，在灰體的整個(gè)長度上沉積表面的溫度可在±15℃內(nèi)。[實(shí)例5]在與實(shí)例4相同的條件下生產(chǎn)多孔玻璃灰體5，只是所供應(yīng)的清潔氣體的溫度按照從頂部的順序?yàn)?0℃、60℃、90℃和120℃。因此，灰體5的外徑在600mm長的有效部分的頂部為257mm，在底部分258mm，因而獲得了均勻一致的灰體5。在沉積過程中，沉積表面的溫度均勻，在有效部分頂部為720℃，在底部為716℃。[實(shí)例6]除了通氣孔的形狀和用于將燃燒器安裝在反應(yīng)器內(nèi)的開口的直徑以外，在與實(shí)例2相同的條件下生產(chǎn)多孔玻璃灰體。用于將燃燒器安裝在反應(yīng)容器內(nèi)的開口的直徑為60mm。具有矩形形狀的兩個(gè)通氣孔6’、6’如圖7所示以下述狀態(tài)圍繞燃燒器4設(shè)置燃燒器4夾置在通氣孔6’、6’之間，使每個(gè)矩形通孔6’的相鄰縱向側(cè)和燃燒器的安裝開口之間的最短距離為10cm。矩形通氣孔6’橫向側(cè)的長度從長部通氣孔順序?yàn)?3mm，11mm，9mm，4mm，而矩形通氣孔6’的縱向側(cè)的長度對全部通氣孔6’來說都是60mm。結(jié)果，灰體5的外徑在有效部分的頂部為258mm，而在底部為262mm，因而獲得均勻一致的灰體。
權(quán)利要求
1.一種多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，將多個(gè)玻璃顆粒合成燃燒器布置得能夠?qū)χ桓v向支承在反應(yīng)容器內(nèi)的轉(zhuǎn)動起始棒，當(dāng)使所述起始棒和燃燒器平行且相對地往復(fù)移動時(shí)，使燃燒器合成的玻璃顆粒沉積在所述起始棒的表面上，所述方法包括通過一個(gè)或多個(gè)通氣孔向起始棒或已沉積在起始棒上的玻璃顆粒供應(yīng)氣體。當(dāng)燃燒器放置在反應(yīng)容器內(nèi)時(shí)，一個(gè)或多個(gè)通氣孔在一個(gè)或多個(gè)燃燒器附近處于反應(yīng)容器上。
2.如權(quán)利要求1所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于通過通氣孔供應(yīng)在起始棒的長度方向上不同流動速率的氣體。
3.如權(quán)利要求1所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于通過通氣孔供應(yīng)在起始棒的長度方向上不同溫度的氣體。
4.如權(quán)利要求1所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于當(dāng)燃燒器放置在反應(yīng)容器內(nèi)時(shí)，每個(gè)通氣孔設(shè)置在每個(gè)燃燒器和反應(yīng)容器之間。
5.如權(quán)利要求2所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于為每個(gè)通氣孔改變準(zhǔn)備通過通氣孔供應(yīng)的氣體的溫度。
6.如權(quán)利要求1所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于通過固定燃燒器及使起始棒往復(fù)移動來形成所述的往復(fù)移動，一個(gè)空氣容器設(shè)置在反應(yīng)容器外面，氣體被送入空氣容器，然后通過通氣孔向起始棒或已沉積在起始棒上的玻璃顆粒供應(yīng)。
7.如權(quán)利要求6所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于所述空氣容器具有一個(gè)包圍整個(gè)燃燒器陣列的框架和一個(gè)放置在框架上以覆蓋整個(gè)燃燒器陣列的罩。
8.如權(quán)利要求1所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于還包括為每個(gè)燃燒器測量每個(gè)燃燒器合成的玻璃顆粒沉積的沉積表面的溫度，其中通過通氣孔供應(yīng)的氣體的流動速率受到調(diào)節(jié)，使每個(gè)沉積表面的溫度可保證幾乎均勻一致。
9.如權(quán)利要求2所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于通過通氣孔供應(yīng)的氣體的流動速率是通過控制通氣孔的數(shù)值孔徑而受到調(diào)節(jié)的。
10.如權(quán)利要求2所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于通過通氣孔供應(yīng)的氣體的流動速率是通過控制送入通氣孔的氣體的流動速率而受到調(diào)節(jié)的。
11.如權(quán)利要求1所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法，其特征在于玻璃顆粒合成燃燒器具有至少一個(gè)用于以8米/秒或更高的流動速率吹出助燃?xì)怏w或惰性氣體的孔。
12.一種多孔玻璃灰體生產(chǎn)設(shè)備，包括多個(gè)布置得能夠?qū)χ桓D(zhuǎn)動的起始棒的玻璃顆粒合成燃燒器，當(dāng)燃燒器和起如棒平行且相對地往復(fù)移動時(shí)，燃燒器將玻璃顆粒施加在轉(zhuǎn)動的起始棒表面上；以及一個(gè)反應(yīng)容器，起始棒縱向支承在其中，當(dāng)燃燒器放置在該反應(yīng)容器中時(shí)，該反應(yīng)容器具有在一個(gè)或多個(gè)燃燒器附近的一個(gè)或多個(gè)通氣孔。
13.如權(quán)利要求12所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于每個(gè)通氣孔包括一個(gè)圍繞著放置在反應(yīng)容器內(nèi)的燃燒器的開口。
14.如權(quán)利要求12所述的多孔玻璃灰體生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于還包括一個(gè)氣體供應(yīng)部分，該氣體供應(yīng)部分通過通氣孔向起始棒或已沉積在起始棒上的玻璃顆粒供應(yīng)氣體。
全文摘要
本發(fā)明涉及多孔玻璃灰體生產(chǎn)方法及設(shè)備。通氣孔設(shè)置在放置在反應(yīng)容器內(nèi)的燃燒器附近的反應(yīng)容器上。在灰體的長度方向上，不同流動速率和/或溫度的氣體通過通氣孔向灰體供應(yīng)。
文檔編號C03B37/014GK1406889SQ02127800
公開日2003年4月2日 申請日期2002年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月9日
發(fā)明者大石敏弘, 中村元宣, 山崎卓 申請人:住友電氣工業(yè)株式會社