專利名稱:一種碳化硅切割機(jī)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種碳化硅切割機(jī)。其包括設(shè)置在切割機(jī)的工作柱頂端的支撐板,在支撐板的上端設(shè)有相連接的氣泵和水箱,在支撐板的下部設(shè)有出氣環(huán),出氣環(huán)的底端設(shè)有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔,出氣孔呈喇叭口狀,水箱在遠(yuǎn)離氣泵的內(nèi)腔上端通過管道連接出氣環(huán)的內(nèi)腔,水箱的內(nèi)腔底端中部設(shè)有霧化器;切割機(jī)的工作板的上部固定有進(jìn)氣環(huán),進(jìn)氣環(huán)圍繞在工作臺的外圍,進(jìn)氣環(huán)的上端開有環(huán)形開口,切割機(jī)的裝置本體上設(shè)有與負(fù)壓泵連接的負(fù)壓倉,負(fù)壓倉的另一側(cè)通過管道連接進(jìn)氣環(huán)的內(nèi)腔底端,負(fù)壓倉內(nèi)設(shè)有粉塵過濾網(wǎng)和水份過濾層。本實(shí)用新型提高了切割過程的操作面積,便于操作人員的操作,并且能夠提高操作環(huán)境的質(zhì)量,有利于操作人員的身體健康。
【專利說明】
一種碳化硅切割機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種碳化硅切割機(jī),屬于碳化硅加工技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中對碳化硅切割采用的是多線切割方式,加工時,通過高速往復(fù)運(yùn)動的鋼絲線對碳化硅晶體進(jìn)行切割。
[0003]在碳化硅切割的過程中極易出現(xiàn)灰塵和崩亂的雜質(zhì),傳統(tǒng)的切割裝置為了防止灰塵和雜質(zhì),將碳化硅切割的過程放置在封閉空間中進(jìn)行,或通過增加多個擋板,來進(jìn)行阻擋,但是這種操作方式會很大程度上影響操作人員在工作時的工作面積,這就使操作人員的操作在一定程度上受到影響,并且傳統(tǒng)的切割裝置對灰塵和雜質(zhì)的格擋效率低,嚴(yán)重影響了工作環(huán)境和操作人員的身體健康,為此,我們提出了一種帶防塵裝置的碳化硅切割機(jī)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷,本實(shí)用新型提供了一種多操作面積、方便操作人員操作并在碳化硅切割過程中能夠有效防塵的碳化硅切割機(jī)。
[0005]本實(shí)用新型是通過如下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:一種碳化硅切割機(jī),包括裝置本體,所述裝置本體的中部設(shè)有工作板,且工作板的上端中部設(shè)有工作臺,所述工作板的一端豎直設(shè)有工作柱,工作柱的頂端固定設(shè)有支撐板,其特征是:所述支撐板的上端設(shè)有氣栗和水箱,所述氣栗的輸出端通過管道連接水箱的內(nèi)腔上端,所述支撐板的下部對應(yīng)于下方的工作臺固定設(shè)有圓環(huán)狀的出氣環(huán),所述出氣環(huán)內(nèi)具有環(huán)狀的內(nèi)腔,所述出氣環(huán)的底端設(shè)有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔,所述出氣孔呈喇叭口狀,其大口端朝向出氣環(huán)的內(nèi)腔,所述水箱在遠(yuǎn)離氣栗的內(nèi)腔上端通過管道連接出氣環(huán)的內(nèi)腔,所述水箱的內(nèi)腔底端中部設(shè)有霧化器;所述工作板的上部固定有進(jìn)氣環(huán),所述進(jìn)氣環(huán)圍繞在工作臺的外圍,所述進(jìn)氣環(huán)的上端開有環(huán)形開口,所述環(huán)形開口通于進(jìn)氣環(huán)的內(nèi)腔,所述裝置本體上固定設(shè)有負(fù)壓倉,負(fù)壓倉的上端固定設(shè)有負(fù)壓栗,所述負(fù)壓栗的輸入端通過管道連接負(fù)壓倉內(nèi)腔的一側(cè),所述負(fù)壓倉內(nèi)腔的另一側(cè)通過管道貫穿工作板并連接進(jìn)氣環(huán)的內(nèi)腔底端,所述負(fù)壓倉內(nèi)依次設(shè)有粉塵過濾網(wǎng)和水份過濾層。
[0006]本實(shí)用新型使用時,在氣栗的作用下,帶壓氣體先經(jīng)過水箱,水箱內(nèi)的霧化器對經(jīng)過水箱的氣體進(jìn)行加濕,帶有一定壓力及濕度的氣體進(jìn)入出氣環(huán)內(nèi),并由各出氣孔向下噴出,帶有一定濕度的氣體可使切割過程中產(chǎn)生的灰塵及雜質(zhì)得到很好的附著和清除;同時,在負(fù)壓栗的作用下,進(jìn)氣環(huán)內(nèi)呈負(fù)壓狀態(tài),可以將灰塵吸入進(jìn)氣環(huán)內(nèi),并進(jìn)入負(fù)壓倉內(nèi)進(jìn)行過濾及除去水份。通過出氣環(huán)和進(jìn)氣環(huán)的配合作用,可使帶有濕度的氣體能夠包圍在碳化硅切割的位置,實(shí)現(xiàn)最大程度上的抑制切割過程中產(chǎn)生的灰塵和雜質(zhì),并且能夠使切割過程中產(chǎn)生的熱量得到吸收。本實(shí)用新型中出氣環(huán)的出氣孔設(shè)置為喇叭口狀可以提高氣體噴出的流速,有利于在工作臺周圍形成有效的氣體包圍氛圍。
[0007]為便于對負(fù)壓倉內(nèi)的過濾部件進(jìn)行更換,作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述粉塵過濾網(wǎng)和水份過濾層均活動連接于負(fù)壓倉的內(nèi)腔壁。
[0008]為保證過濾效果,所述粉塵過濾網(wǎng)為依次設(shè)置的2-4個。
[0009]為防止較大的雜質(zhì)進(jìn)入進(jìn)氣環(huán)內(nèi),所述環(huán)形開口上設(shè)有雜質(zhì)過濾網(wǎng)。
[0010]作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述出氣孔的小口端開口的直徑優(yōu)選為0.5-2mm。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型通過出氣環(huán)和霧化器的配合作用使噴出的氣體能夠帶有一定的濕度,使切割過程中產(chǎn)生的灰塵和雜質(zhì)得到很好的附著和清除,通過出氣環(huán)和進(jìn)氣環(huán)的配合作用,使帶有濕度的氣體能夠包圍著碳化硅切割的位置,實(shí)現(xiàn)最大程度上的抑制切割過程中產(chǎn)生的灰塵和雜質(zhì),并且能夠使切割過程中產(chǎn)生的熱量得到吸收,總的來說,本實(shí)用新型通過合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使切割過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)、灰塵以及熱量能夠得到很好的吸收,避免了大量固體擋板的設(shè)置,提高了切割過程的操作面積,便于操作人員的操作,并且能夠提高操作環(huán)境的質(zhì)量,保護(hù)了操作人員的身體健康。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖;
[0013]圖2為本實(shí)用新型中的出氣環(huán)部分的俯視圖;
[0014]圖3為本實(shí)用新型中的出氣環(huán)的截面圖;
[0015]圖4為本實(shí)用新型中的進(jìn)氣環(huán)部分的剖面圖;
[0016]圖5為本實(shí)用新型中的負(fù)壓倉的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017]圖6為本實(shí)用新型中的水箱的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中:1、裝置本體,2、工作板,3、進(jìn)氣環(huán),31、環(huán)形開口,4、工作柱,5、出氣環(huán),6、氣栗,7、水箱,71、霧化器,8、支撐板,9、工作臺,10、負(fù)壓栗,11、負(fù)壓倉,111、粉塵過濾網(wǎng),112、水份過濾層,12、控制開關(guān),13、出氣孔,14、進(jìn)氣口,15、出氣環(huán)的內(nèi)腔,16、流量調(diào)節(jié)閥。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面通過非限定性的實(shí)施例并結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明:
[0020]如附圖所示,一種碳化硅切割機(jī),包括裝置本體I,所述裝置本體I的中部設(shè)有工作板2,且工作板2的上端中部設(shè)有工作臺9,所述工作板2的一端豎直設(shè)有工作柱4,工作柱4的頂端固定設(shè)有支撐板8,所述支撐板8的上端設(shè)有氣栗6和水箱7,所述氣栗6的輸出端通過管道連接水箱7的內(nèi)腔上端。所述支撐板8的下部固定有圓環(huán)狀的出氣環(huán)5,出氣環(huán)5與下方的工作臺9相對應(yīng)。所述出氣環(huán)5內(nèi)具有環(huán)狀的內(nèi)腔15,所述出氣環(huán)5的底端設(shè)有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔13,所述出氣孔13呈喇叭口狀,其大口端朝向出氣環(huán)5的內(nèi)腔,出氣孔13的小口端開口的直徑為0.5-2mm。水箱7在遠(yuǎn)離氣栗6的內(nèi)腔上端通過管道連接出氣環(huán)5上的進(jìn)氣口 14,所述水箱7的內(nèi)腔底端中部設(shè)有霧化器71。在水箱7與出氣環(huán)5之間的連通管道上還設(shè)有流量調(diào)節(jié)閥16。所述工作板2的上部固定有進(jìn)氣環(huán)3,所述進(jìn)氣環(huán)3包圍在工作臺9的外圍,所述進(jìn)氣環(huán)3的上端開有環(huán)形開口31,所述環(huán)形開口31通于進(jìn)氣環(huán)3的內(nèi)腔,所述環(huán)形開口 31上設(shè)置有雜質(zhì)過濾網(wǎng)。所述裝置本體I上在工作板2的下方固定設(shè)有負(fù)壓倉11,負(fù)壓倉11的上端固定設(shè)有負(fù)壓栗10,所述負(fù)壓栗10的輸入端通過管道連接負(fù)壓倉11內(nèi)腔的一偵U,所述負(fù)壓倉11內(nèi)腔的另一側(cè)通過管道貫穿工作板2并連接進(jìn)氣環(huán)3的內(nèi)腔底端。所述負(fù)壓倉11內(nèi)沿氣體的流動方向依次設(shè)有粉塵過濾網(wǎng)111和水份過濾層112,其中,所述粉塵過濾網(wǎng)111和水份過濾層112均活動連接于負(fù)壓倉11的內(nèi)腔壁,以便于拆卸及更換。粉塵過濾網(wǎng)111的數(shù)量優(yōu)選為依次設(shè)置的2-4個。在裝置本體I底端支柱的側(cè)壁上設(shè)有控制開關(guān)12,所述霧化器、氣栗和負(fù)壓栗均電性連接控制開關(guān)12。
[0021 ]本實(shí)施例中的霧化器采用現(xiàn)有技術(shù),在此不再贅述。
[0022]本實(shí)用新型工作時,在氣栗6的作用下,氣體先經(jīng)過水箱7,水箱7內(nèi)的霧化器71對經(jīng)過水箱內(nèi)的氣體進(jìn)行加濕,帶有一定壓力及濕度的氣體自水箱7的另一端進(jìn)入出氣環(huán)4內(nèi),并由出氣環(huán)5上的各出氣孔13向下噴出,使得帶有一定濕度的氣體包圍在切割機(jī)的工作臺9周圍,使得切割過程中產(chǎn)生的灰塵和雜質(zhì)得到很好的附著和清除。通過調(diào)節(jié)流量調(diào)節(jié)閥16可對進(jìn)入出氣環(huán)的氣體流量進(jìn)行調(diào)節(jié),以滿足不同的氣體流速需求。與此同時,在負(fù)壓栗10的作用下,進(jìn)氣環(huán)3內(nèi)部呈現(xiàn)負(fù)壓狀態(tài),可以將工作臺周圍的粉塵吸入負(fù)壓倉內(nèi)進(jìn)行過濾及除去水份,同時配合出氣環(huán)5,使切割的操作位置得到很好的包圍,使工作臺的周圍形成一個較為封閉的操作位置,有效的防止切割的灰塵和雜質(zhì)的飛出,提高了操作環(huán)境的質(zhì)量,一定程度上保證了操作人員的身體健康。
[0023]本實(shí)用新型通過電控系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)自動化作業(yè)。
[0024]本實(shí)施例中的其他部分采用已知技術(shù),在此不再贅述。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種碳化硅切割機(jī),包括裝置本體(I),所述裝置本體(I)的中部設(shè)有工作板(2),且工作板(2)的上端中部設(shè)有工作臺(9),所述工作板(2)的一端豎直設(shè)有工作柱,工作柱的頂端固定設(shè)有支撐板(8),其特征是:所述支撐板(8)的上端設(shè)有氣栗(6)和水箱(7),所述氣栗(6)的輸出端通過管道連接水箱(7)的內(nèi)腔上端,所述支撐板(8)的下部對應(yīng)于下方的工作臺(9)固定設(shè)有圓環(huán)狀的出氣環(huán)(5),所述出氣環(huán)(5)內(nèi)具有環(huán)狀的內(nèi)腔(15),所述出氣環(huán)(5)的底端設(shè)有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔(13),所述出氣孔(13)呈喇叭口狀,其大口端朝向出氣環(huán)(5)的內(nèi)腔,所述水箱(7)在遠(yuǎn)離氣栗(6)的內(nèi)腔上端通過管道連接出氣環(huán)(5)的內(nèi)腔,所述水箱(7)的內(nèi)腔底端中部設(shè)有霧化器(71);所述工作板(2)的上部固定有進(jìn)氣環(huán)(3),所述進(jìn)氣環(huán)(3)圍繞在工作臺(9)的外圍,所述進(jìn)氣環(huán)(3)的上端開有環(huán)形開口(31),所述環(huán)形開口(31)通于進(jìn)氣環(huán)(3)的內(nèi)腔,所述裝置本體(I)上固定設(shè)有負(fù)壓倉(11),負(fù)壓倉(11)的上端固定設(shè)有負(fù)壓栗(10),所述負(fù)壓栗(10)的輸入端通過管道連接負(fù)壓倉(11)內(nèi)腔的一側(cè),所述負(fù)壓倉(11)內(nèi)腔的另一側(cè)通過管道貫穿工作板(2)并連接進(jìn)氣環(huán)(3)的內(nèi)腔底端,所述負(fù)壓倉(11)內(nèi)依次設(shè)有粉塵過濾網(wǎng)(111)和水份過濾層(112)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅切割機(jī),其特征是:所述粉塵過濾網(wǎng)(111)和水份過濾層(112)均活動連接于負(fù)壓倉(11)的內(nèi)腔壁。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅切割機(jī),其特征是:所述粉塵過濾網(wǎng)(111)為依次設(shè)置的2-4個。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的碳化硅切割機(jī),其特征是:所述環(huán)形開口(31)上設(shè)有雜質(zhì)過濾網(wǎng)。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的碳化硅切割機(jī),其特征是:所述出氣孔(13)的小口端開口的直徑為0.5-2mm。
【文檔編號】B28D7/02GK205704744SQ201620372937
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年4月28日
【發(fā)明人】宗艷民
【申請人】山東天岳晶體材料有限公司