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      高純氮化硅超細(xì)粉磨技術(shù)的制作方法

      文檔序號(hào):2018496閱讀:527來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:高純氮化硅超細(xì)粉磨技術(shù)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      新材料技術(shù)領(lǐng)域,是一項(xiàng)利用專用粉碎設(shè)備加工高純氮化硅粉體的技術(shù)。
      背景技術(shù)
      高純氮化硅粉粉磨工藝對(duì)原料純度,參與反應(yīng)燒結(jié)氣體純度,磨細(xì)工序中的雜質(zhì)摻雜量等都有極高的要求。因?yàn)樵u(píng)價(jià)氮化硅粉質(zhì)量?jī)?yōu)劣的主要技術(shù)指標(biāo)就是α相純度、顆粒細(xì)度及分布和鐵、氧、游離硅等雜質(zhì)含量。硅粉氮化法生產(chǎn)的氮化硅粉,其雜質(zhì)一部分來(lái)自原料硅及氮?dú)猓硪徊糠质窃诠に囍袚诫s的。

      發(fā)明內(nèi)容
      本技術(shù)有效的解決了在磨細(xì)過(guò)程中研磨介質(zhì)(磨襯、磨球)消耗部分對(duì)氮化硅粉體的污染問(wèn)題。本技術(shù)原理是把磨球和磨襯也都做成氮化硅的,這樣在磨細(xì)過(guò)程中就不會(huì)摻雜其他化學(xué)元素,而且氮化硅本身耐磨性也非常的好。
      本發(fā)明采用的技術(shù)方案采用無(wú)水酒精作為分散劑,防止氮化硅粉在磨細(xì)過(guò)程中被二次氧化。采用攪拌磨做磨細(xì)設(shè)備。改進(jìn)磨細(xì)設(shè)備,采用氮化硅材質(zhì)的磨襯和磨球。控制攪拌磨的使用溫度在40-50℃之間。經(jīng)過(guò)對(duì)比實(shí)驗(yàn),在此溫度范圍內(nèi),料漿容易與研磨介質(zhì)混合均勻,粉磨效率高。
      其中關(guān)鍵技術(shù)磨襯和磨球的材料選擇復(fù)合氮化硅陶瓷片,該陶瓷片采用熱壓燒結(jié),就是在氮化硅基體中加入增加耐磨性的彌散顆粒碳化鈦以及其他一些外加劑,使得材料耐磨性和韌性都非常的好。同時(shí)采用無(wú)水酒精作為分散劑,防止氮化硅粉在磨細(xì)過(guò)程中被二次氧化。
      具體實(shí)施例方式采用清華紫光方大高技術(shù)陶瓷有限公司的氮化硅粉,按照本加工工藝加工后,所得高純氮化硅超細(xì)粉技術(shù)指標(biāo)磨細(xì)24小時(shí),每磨裝料8-10公斤。
      ①結(jié)晶相純度α相=95%,游離Si≤0.5%,F(xiàn)e2O3≤0.1% CaO≤0.05%,0≤1.5%,②細(xì)度平均粒度D50≤0.35μm,
      ③粒徑分布D90=0.9μm,D99=1.6μm,④比表面積BET≥11.5m2/g清華紫光粉UC-P1粒度及分布測(cè)試結(jié)果

      經(jīng)過(guò)本技術(shù)加工處理后,清華紫光粉UC-P1粒度與日本宇部興產(chǎn)株式會(huì)社(UBE)粉相近,但是紫光粉粒度差別小且更易于膠態(tài)成型。
      權(quán)利要求
      ①采用氮化硅材質(zhì)的磨襯和磨球,磨襯和磨球的材料選擇復(fù)合氮化硅陶瓷片,其特征在于該陶瓷片采用熱壓燒結(jié)。
      全文摘要
      一項(xiàng)利用專用粉碎設(shè)備加工超細(xì)氮化硅粉體的技術(shù)。采用酒精作為磨細(xì)過(guò)程中的分散劑,防止氮化硅粉的二次氧化。采用氮化硅材質(zhì)的磨襯和磨球,用攪拌磨加工超細(xì)粉體。磨襯和磨球的材料選擇復(fù)合氮化硅陶瓷片,該陶瓷片采用熱壓燒結(jié),材料耐磨性和韌性都非常好。
      文檔編號(hào)C04B35/626GK1868965SQ20051007089
      公開(kāi)日2006年11月29日 申請(qǐng)日期2005年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月23日
      發(fā)明者張喜民, 胡京平, 石寧, 苗赫濯 申請(qǐng)人:北京清華紫光方大高技術(shù)陶瓷有限公司
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