專利名稱：固體攝像元件用覆蓋玻璃及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在收納固體攝像元件的封裝件(package)上作為透射光線的窗材而配置、且保護(hù)固體攝像元件的覆蓋玻璃(cover glass)及其制造方法。
背景技術(shù)：
作為固體攝像元件的代表性元件的CCD(Charge Coupled Device)，其開(kāi)發(fā)歷史比較早，即使光導(dǎo)攝像管(Vidicon)、氧化鉛光導(dǎo)攝像管(Plumbicon)、硒砷碲光導(dǎo)攝像管(Saticon)等攝像管(或也稱作真空管攝像元件、影像管)廣泛普及后，因其能夠以小型、耐沖擊性強(qiáng)且耗電低的方式加以利用的長(zhǎng)處也被有效活用，因此至今仍在較廣范圍的領(lǐng)域內(nèi)使用。即，該CCD與攝像管相比，靈敏度低等缺點(diǎn)被克服，進(jìn)而通過(guò)電子快門、手振動(dòng)修正、變焦功能等各種功能的實(shí)現(xiàn)，而具有取代將圖像顯示于銀鹽膠片上的照相機(jī)的性能，且通過(guò)在便攜式電話、PHS等信息終端設(shè)備中搭載數(shù)碼相機(jī)，而變得進(jìn)一步多樣化且謀求了高度的性能。另外，近年來(lái)，作為技術(shù)開(kāi)發(fā)顯著的固體攝像元件的CMOS(Complementary MetalOxide Semiconductor，也稱為互補(bǔ)型MOS)，其開(kāi)發(fā)歷史更早，由于其可實(shí)現(xiàn)小型化，且開(kāi)發(fā)了克服被稱為固定噪聲模式(Fixed Pattern Noise)的技術(shù)上的較大問(wèn)題的技術(shù)，所以得以較多運(yùn)用，是今后可能進(jìn)一步發(fā)展的元件之一。而且，作為其它的固體攝像元件，也開(kāi)發(fā)出組合了上述兩設(shè)備的特征的MOS-CCD型元件、或BBD(Bucket Brigade device)等元件，以滿足追求比以往更高的性能的市場(chǎng)的要求，從而可知與固體攝像元件相適合的技術(shù)得到顯著的發(fā)展。
作為如此的各種元件相關(guān)技術(shù)之一，作為為了構(gòu)成元件的封裝件且向元件入射光線而所必需的部件的覆蓋玻璃所要求的性能也比以往有所提高。通常，固體攝像元件收納于具有氣密結(jié)構(gòu)的封裝件的內(nèi)部，且在其前面配置具有透光性的平板玻璃制的覆蓋玻璃。該覆蓋玻璃利用各種膠粘劑而封接于氧化鋁等陶瓷材料、科瓦鐵鎳鈷合金(Fe-Ni-Co合金)等金屬材料、玻璃環(huán)氧基材等復(fù)合材料、環(huán)氧樹脂等塑料材料等多種封裝件筐體上，并被利用為透光窗。
而且，為了滿足對(duì)該覆蓋玻璃的高度期望，專利文獻(xiàn)1公開(kāi)了如下發(fā)明將具有規(guī)定組成的薄板玻璃成形品的側(cè)面形狀限定為規(guī)定形狀，由此可實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度、高化學(xué)耐久性。另外，玻璃的碎屑(chipping)是對(duì)板玻璃的強(qiáng)度造成影響的重大缺陷，因此一直以來(lái)受到關(guān)注。因此，專利文獻(xiàn)2公開(kāi)了有關(guān)防止邊緣部的碎屑的加工方法的發(fā)明。而且，專利文獻(xiàn)3、4公開(kāi)了對(duì)有可能損害CCD或CMOS的性能的微量放射性元素混入玻璃中的問(wèn)題進(jìn)行改善的對(duì)策。
專利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2004-221541號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)平6-106469號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本特開(kāi)平7-206467號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4日本特開(kāi)平6-211539號(hào)公報(bào)近年來(lái)利用固體攝像元件的領(lǐng)域?yàn)閿?shù)碼相機(jī)或便攜式電話、PDA等電子信息終端，在如此的電子設(shè)備中，其用途顯著擴(kuò)大，且其性能也較大地改善。與CCD或CMOS等固體攝像元件相關(guān)的功能的顯著進(jìn)步，帶來(lái)對(duì)各種各樣的電子設(shè)備的不斷技術(shù)革新，從而便攜式電話或PDA等多種多樣的信息設(shè)備相繼問(wèn)世。而且，這些電子設(shè)備今后也將搭載更加多樣的功能，將更進(jìn)一步發(fā)展。另一方面，若欲使這些設(shè)備搭載更加多彩的功能，則搭載于電子設(shè)備中的各種電子部件除了其功能以外也要求進(jìn)一步輕薄短小化。
由此，也要求構(gòu)成電子部件的構(gòu)件重量更輕且尺寸更小。對(duì)為了保護(hù)固體攝像元件而使用的覆蓋玻璃也同樣有輕薄短小的要求，因此僅以至今所進(jìn)行的對(duì)固體攝像元件用覆蓋玻璃的各種改善或發(fā)明，還不能夠充分滿足進(jìn)一步的性能要求。具體地，作為對(duì)固體攝像元件用的覆蓋玻璃的要求，除了輕薄短小的要求之外，還具有如下的要求使各種波長(zhǎng)的光線透射的平板玻璃表面具有用于實(shí)現(xiàn)期望的透射率的高凈化度且具有高化學(xué)耐久性，而且，即使是厚度尺寸或面積較小的覆蓋玻璃也可實(shí)現(xiàn)實(shí)際使用上并無(wú)影響的強(qiáng)度。
另外，尤其在玻璃表面成膜有薄膜的固體攝像元件用覆蓋玻璃的凈化度也存在膜周緣因成膜后的時(shí)間推移而剝落，且剝落的微細(xì)剝落物浮游而附著于覆蓋玻璃表面的問(wèn)題，從而成膜后的固體攝像元件用覆蓋玻璃的凈化度是實(shí)現(xiàn)高品位的重要課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明者們鑒于上述情況，為了使利用于固體攝像元件的窗材用途的覆蓋玻璃實(shí)現(xiàn)高性能，而提供一種施加于覆蓋玻璃表面上的薄膜不易剝離且具有高機(jī)械強(qiáng)度和穩(wěn)定的化學(xué)性能的、凈化度高的固體攝像元件用覆蓋玻璃及其制造方法。
本發(fā)明提供一種固體攝像元件用覆蓋玻璃，其在無(wú)機(jī)氧化物玻璃制的平板玻璃的板厚方向的表里兩面分別具有第一透光面及第二透光面，且在上述第一透光面上形成有薄膜，其特征在于，在位于上述平板玻璃的第一透光面上的外緣部的上述薄膜的端緣形成有凹凸，并且該凹凸從與上述第一透光面平行的面上的最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸在0.5μm至50μm的范圍內(nèi)。
在此，在位于平板玻璃的第一透光面上的外緣部的上述薄膜端緣形成有凹凸是指由本發(fā)明的無(wú)機(jī)氧化物玻璃構(gòu)成的固體攝像元件用覆蓋玻璃在使光線透射的第一透光面上被實(shí)施有組成與玻璃不同的薄膜，在位于平板玻璃的第一透光面上的外緣部的該薄膜的端緣(外周端緣)形成有沿著與第一透光面平行的面的凹凸。另外，該凹凸從與上述第一透光面平行的面上的最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸在0.5μm至50μm的范圍內(nèi)是指凹凸的最大凹陷位置即最大凹部的凹端位置(最凹陷的位置)和凹凸的最大突出位置即最大凸部的凸端位置(最突出的位置)，在突出方向(與第一透光面所對(duì)應(yīng)的外緣部(邊部)正交的方向)上間隔的尺寸在0.5μm至50μm的范圍內(nèi)。
此時(shí)，若在薄膜的端緣形成的凹凸的上述突出尺寸在0.5μm以上，則可使因施加于在固體攝像元件用覆蓋玻璃表面上實(shí)施的薄膜上的機(jī)械應(yīng)力、熱過(guò)程等而產(chǎn)生的、作用于使外周端的薄膜附著部分剝落的方向上的力不集中于一個(gè)方向而使其分散，從而容易長(zhǎng)時(shí)間維持具有牢固粘接力的薄膜被實(shí)施于玻璃表面(第一透光面)上的狀態(tài)，因此是優(yōu)選的。另一方面，若在薄膜的端緣形成的凹凸的上述突出尺寸超過(guò)50μm，則容易產(chǎn)生薄膜容易局部剝落的部位，若產(chǎn)生局部剝落，則剝落的薄膜的一部分將成為起塵的原因等，也有在固體攝像元件的組裝工序等中附著于覆蓋玻璃的透光面上從而產(chǎn)生影響之患。因此，優(yōu)選，薄膜的與平板玻璃的表面相連接的端緣的凹凸(上述突出尺寸)在50μm以下。
而且，重要的是制作形成有具有更穩(wěn)定的品位的薄膜的固體攝像元件用覆蓋玻璃，因此優(yōu)選在薄膜的端緣形成的凹凸的上述突出尺寸在0.7μm以上且45μm以下，若欲獲得更穩(wěn)定的狀態(tài)，則更優(yōu)選在0.9μm以上且40μm以下。
作為將如此的薄膜的端緣的凹凸調(diào)整至上述數(shù)值范圍內(nèi)的具體方法，可通過(guò)使用例如研磨或拋光、激光切斷、利用掩蔽(masking)而進(jìn)行的酸、堿藥品處理等化學(xué)處理、噴砂等物理性沖擊加工、利用游離磨?；蚬潭チ６M(jìn)行的切削加工等來(lái)實(shí)現(xiàn)。
作為上述薄膜的端緣的凹凸的調(diào)整方法的一例，在使用激光切斷時(shí)，可如下調(diào)整。即，使與實(shí)施有薄膜的第一透光面的里面相當(dāng)?shù)牡诙腹饷娉?，?duì)該第二透光面照射光束強(qiáng)度分布具有±5％以內(nèi)的輸出條件且光速光點(diǎn)形狀具有橢圓、大致矩形狀、直線狀、三角形狀的二氧化碳激光同時(shí)以等速度直線驅(qū)動(dòng)，由此在與光束驅(qū)動(dòng)部位相當(dāng)?shù)陌宀ＡУ牟ＡП砻嫘纬汕锌凇Ｆ浣Y(jié)果是，在玻璃的板厚方向形成規(guī)定深度的切口，新產(chǎn)生的切口的內(nèi)表面作為第一加工面而形成。接著，以通過(guò)二氧化碳激光照射而形成的切口的殘余部的外表面?zhèn)炔课?第一透光面?zhèn)炔课?為支點(diǎn)，對(duì)支點(diǎn)的兩側(cè)正下方施加彎曲應(yīng)力而按壓，由此進(jìn)行壓碎而斷裂，通過(guò)該斷裂面形成第二加工面。此時(shí)，與因按壓而產(chǎn)生的第二加工面的最末端相當(dāng)?shù)木€成為第一透光面的棱線，并通過(guò)將按壓的施加速度保持在0.1×10-3m/sec至5×10-3m/sec的范圍內(nèi)，而形成具有優(yōu)選的凹凸的棱線及具有優(yōu)選的凹凸的薄膜的端緣。通過(guò)重復(fù)如此的操作，矩形狀的小片板玻璃的周圍的形狀成為可保證規(guī)定性能的狀態(tài)。因而，作為進(jìn)行按壓的夾具，優(yōu)選是矩形狀的塑料或橡膠、金屬等。夾具的與玻璃板表面接觸的部位優(yōu)選不是凹凸面而是平滑的表面狀態(tài)，且必須在表面無(wú)附著異物等的狀態(tài)下進(jìn)行該按壓處理。
再者，上述薄膜也可以為光學(xué)性功能薄膜、化學(xué)性保護(hù)玻璃表面的薄膜、保護(hù)玻璃表面不受施加于玻璃表面上的機(jī)械性應(yīng)力等影響的薄膜等、實(shí)現(xiàn)任意功能的薄膜。
若具體例示，則可以實(shí)施紅外線反射膜(或紅外線截?cái)酁V光片)、無(wú)反射膜、導(dǎo)電膜、帶電防止膜、低通濾波器、高通濾波器、帶通濾波器、遮蔽膜、保護(hù)膜等。尤其紅外線反射膜，由于CCD的紅外域的靈敏度高，因此其可通過(guò)抑制紅外線向元件的入射而使固體攝像元件的圖像接近于肉眼觀察到的圖像，因此是優(yōu)選的。
作為上述薄膜的材質(zhì)可使用具有例如二氧化硅(SiO2)、氧化鋁(Al2O3)、氧化鋯(ZrO2)、氧化鉭(或鉭)(Ta2O5)、氧化鈮(Nb2O5)、氧化鑭(La2O3)、氧化釔(Y2O3)、氧化鎂(MgO)、氧化鉿(HfO2)、氧化鉻(Cr2O3)、氟化鎂(MgF2)、氧化鉬(MoO3)、氧化鎢(WO3)、氧化鈰(CeO2)、氧化釩(VO2)、氧化鈦鋯(ZrTiO4)、硫化鋅(ZnS)、冰晶石(Na3AlF6)、錐冰晶石(Na5Al3F14)、氟化釔(YF3)、氟化鈣(CaF2)、氟化鋁(AlF3)、氟化鋇(BaF2)、氟化鋰(LiF)、氟化鑭(LaF3)、氟化釓(GdF3)、氟化鏑(DyF3)、氟化鉛(PbF3)、氟化鍶(SrF2)、含銻氧化錫(ATO)膜、氧化銦—錫膜(ITO膜)、SiO2和Al2O3的多層膜、SiOx-TiOx系多層膜、SiO2-Ta2O5系多層膜、SiOx-LaOx-TiOx系列的多層膜、In2O3-Y2O3固溶體膜、氧化鋁固溶體膜、金屬薄膜、膠體粒子分散膜、聚甲基丙烯酸甲酯膜(PMMA膜)、聚碳酸酯膜(PC膜)、聚苯乙烯膜、甲基丙烯酸甲酯苯乙烯共聚膜、聚丙烯酸酯膜等組成的材質(zhì)。
就上述薄膜的形成方法而言，若可實(shí)現(xiàn)期望的厚度、表面精度、及期望的光學(xué)功能，則即使為任意方法，也不受特別限制而可采用各種方法。作為可采用的方法，存在例如真空蒸鍍法、濺射法、離子鍍敷法、分子束磊晶法(MBE法)、激光消融法、噴鍍法等物理氣相生長(zhǎng)法(或PVD法)?；蛞部刹捎脽酑VD法、激光CVD法、等離子體CVD法、有機(jī)金屬化學(xué)氣相生長(zhǎng)法(MOCVD)等化學(xué)氣相生長(zhǎng)法(或CVD法)、及溶膠—凝膠法、旋涂法、電鍍法等液相生長(zhǎng)法作為形成上述薄膜的方法。
其中尤其PVD法是優(yōu)選的方法，因?yàn)槠淇尚纬傻蜏厍揖o貼性良好的膜，并可對(duì)應(yīng)于各種被膜，且也適合于化合物的被膜形成。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，除了上述內(nèi)容以外，若構(gòu)成平板玻璃外周部側(cè)面的表面粗糙度的Ra值在3nm以下，并且側(cè)面和第一透光面相連接的棱線的凹凸或側(cè)面和第二透光面相連接的棱線的凹凸中的任一凹凸從與第一透光面或第二透光面中的任意對(duì)應(yīng)的一透光面平行的面上的最大凹陷位置至最大突出位置的突出尺寸在0.5μm至40μm范圍內(nèi)，則輸送性變得良好，因此是優(yōu)選的。
在此，所謂平板玻璃側(cè)面的表面粗糙度的Ra值在3nm以下是指就一片平板玻璃的側(cè)面的表面而言，由作為表示其表面粗糙度的尺度的JISB0601規(guī)定的Ra值在3nm以下。另外，所謂側(cè)面和第一透光面相連接的棱線是指作為側(cè)面和第一透光面交叉的線的棱線，所謂側(cè)面和第二透光面相連接的棱線是指作為側(cè)面和第二透光面交叉的線的棱線。進(jìn)而，所謂第一透光面或第二透光面中的任意對(duì)應(yīng)的一透光面是指就側(cè)面和第一透光面相連接的棱線的凹凸而言，第一透光面相當(dāng)于該對(duì)應(yīng)的一透光面，就側(cè)面和第二透光面相連接的棱線的凹凸而言，第二透光面相當(dāng)于該對(duì)應(yīng)的一透光面。再者，所謂從最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸的意思與已敘述的薄膜的端緣的凹凸的意思相同。
此時(shí)，若側(cè)面的表面粗糙的Ra值超過(guò)3nm，則存在對(duì)將板玻璃作為固體攝像元件封裝件而組裝后的機(jī)械性強(qiáng)度產(chǎn)生影響之患，因此不是優(yōu)選的。另外，若側(cè)面和透光面(第一透光面或第二透光面)交叉的棱線的凹凸的上述突出尺寸是小于0.5μm的值，則為了在用于輸送的收納容器內(nèi)保管并取出作為覆蓋玻璃而使用的板玻璃，或?yàn)榱诉M(jìn)行將其配置于收納固體攝像元件的封裝件的規(guī)定部位的操作，而進(jìn)行把持板玻璃側(cè)面等操作時(shí)，有時(shí)摩擦阻力小而變得難以把持板玻璃，從而板玻璃因誤操作而從把持用夾具等落下的危險(xiǎn)性變高。另一方面，若側(cè)面和透光面交叉的棱線的凹凸的上述突出尺寸大于40μm，則在固體攝像元件封裝件的組裝工序等中，從板玻璃側(cè)面的表面其一部分作為碎片而飛散，或附著于側(cè)面上的粉塵、灰塵等起塵的可能性變大，因此不是優(yōu)選的。
從以上的觀點(diǎn)考慮，就平板玻璃的側(cè)面和透光面交叉的棱線的凹凸(上述突出尺寸)，更優(yōu)選在0.8μm至35μm的范圍內(nèi)，進(jìn)一步優(yōu)選在1.0μm至30μm的范圍內(nèi)，更進(jìn)一步優(yōu)選在1.5μm至25μm的范圍內(nèi)。
另外，作為將平板玻璃的側(cè)面和透光面交叉的棱線的凹凸調(diào)整至上述數(shù)值范圍內(nèi)的具體方法，既可與上述薄膜的端緣的調(diào)整同時(shí)進(jìn)行，也可另行進(jìn)行，具體而言與上述情況相同，可通過(guò)使用研磨或拋光、激光切斷、利用掩蔽而進(jìn)行的酸、堿藥品等藥劑蝕刻的化學(xué)處理、噴砂等物理性沖擊加工、游離磨?；蚬潭チ５那懈罴庸?lái)實(shí)現(xiàn)。作為一例，當(dāng)使用激光切斷時(shí)，若如上所述通過(guò)在規(guī)定條件下對(duì)未成膜有薄膜的面的第二透光面施加按壓力，來(lái)使平板玻璃斷裂，則能夠優(yōu)選地將側(cè)面和透光面交叉的棱線的凹凸調(diào)整至上述數(shù)值范圍內(nèi)。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，除了上述內(nèi)容之外，平板玻璃的側(cè)面具備與第一透光面鄰接的第一側(cè)面、和與該第一側(cè)面部及第二透光面鄰接的第二側(cè)面部，且若由第一透光面和第一側(cè)面部形成的棱線的凹凸從與第一透光面平行的面上的最大凹陷位置至最大突出位置的突出尺寸在1.5μm至20μm的范圍內(nèi)，則平板玻璃的處理變得容易，因此是優(yōu)選的。
在此，平板玻璃的側(cè)面的第一側(cè)面部和第二側(cè)面部由因表面性狀、主要是表面粗糙度的不同而形成的邊界線區(qū)分，且該邊界線例如通過(guò)用50倍左右的倍率進(jìn)行顯微鏡觀察能夠清晰地識(shí)別，而且第一側(cè)面部在平板玻璃的整周上與第一透光面鄰接，第二側(cè)面部在平板玻璃的整周上與第一側(cè)面部及第二透光面鄰接。再者，所謂從最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸的意思與已敘述的薄膜的端緣的凹凸的意思相同。
若平板玻璃的作為形成有薄膜的第一透光面和第一側(cè)面部的邊界的棱線的凹凸的上述突出尺寸在1.5μm以上，則為了使平板玻璃移動(dòng)而使用夾具等把持了板玻璃的側(cè)面時(shí)，棱線的凹凸部通過(guò)板玻璃的把持位置而作為防滑部起作用，因此成為不易產(chǎn)生滑動(dòng)等問(wèn)題的形狀。因此，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的操作，且可形成為相對(duì)夾具接觸面具有適當(dāng)?shù)撵o摩擦系數(shù)的狀態(tài)。
另外，通過(guò)將作為第一透光面和第一側(cè)面部的邊界的棱線的凹凸的上述突出尺寸設(shè)為20μm以下，可抑制產(chǎn)生使平板玻璃的側(cè)面部的強(qiáng)度隨時(shí)間而變化的細(xì)微尺寸的裂紋或碎片、傷痕等表面缺陷，因此是優(yōu)選的。
從該觀點(diǎn)考慮，為了實(shí)現(xiàn)更為穩(wěn)定的性能，優(yōu)選平板玻璃的作為形成有薄膜的第一透光面和第一側(cè)面部的邊界的棱線的凹凸(上述突出尺寸)在1.7μm至18μm的范圍內(nèi)，更優(yōu)選平板玻璃的作為形成有薄膜的第一透光面和第一側(cè)面部的邊界的棱線的凹凸(上述突出尺寸)在1.8μm至15μm的范圍內(nèi)。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，除了上述內(nèi)容以外，若從平板玻璃的第一側(cè)面部及/或第二側(cè)面部入射且從第二透光面射出的光路，可透射10％以上的波長(zhǎng)300nm的紫外線，則可對(duì)元件入射更高強(qiáng)度的光線，因此是優(yōu)選的。
在此，所謂從平板玻璃的第一側(cè)面部及/或第二側(cè)面部入射且從第二透光面射出的光路，可透射10％以上的波長(zhǎng)300nm的紫外線是指當(dāng)向固體攝像元件用覆蓋玻璃的側(cè)面入射與紫外域的波長(zhǎng)相當(dāng)?shù)牟ㄩL(zhǎng)300nm的UV光線，且該光線從第二透光面射出時(shí)，相對(duì)入射的光線的透射率為10％以上。
通過(guò)是透射率相對(duì)在此規(guī)定的測(cè)定條件而為10％以上的平板玻璃，也可采用從平板玻璃的側(cè)面照射紫外線的技術(shù)。若是如此性狀的平板玻璃，則例如為了在組裝固體攝像元件工序中進(jìn)行在平板玻璃的第二透光面上實(shí)施的未固化的紫外線固化樹脂的固化，可利用從平板玻璃的側(cè)面入射的紫外線。
而且，作為用于將上述透射率調(diào)整至10％以上的方法，重要的是通過(guò)調(diào)整表面粗糙度來(lái)減少散射光，且為了使表面粗糙度(Ra值)在3nm以下，可采用表面研磨或切斷時(shí)使用的激光、磨削、拋光，或通過(guò)各種藥劑進(jìn)行的蝕刻等。
另外，本發(fā)面的固體攝像元件用覆蓋玻璃，除了上述內(nèi)容以外，若薄膜為光學(xué)薄膜，且膜厚在0.01μm至100μm的范圍內(nèi)，則可容易實(shí)現(xiàn)各種性能，因此是優(yōu)選的。
在此，所謂薄膜為光學(xué)薄膜且膜厚在0.01μm至100μm的范圍內(nèi)表示在固體攝像元件用覆蓋玻璃的表面實(shí)施的薄膜為具有控制各種波長(zhǎng)的光線的入射等光學(xué)功能的薄膜，且其厚度尺寸在10nm至1×105nm的范圍內(nèi)。
此時(shí)，若薄膜的厚度尺寸比0.01μm薄，則有時(shí)無(wú)法充分發(fā)揮薄膜的光學(xué)功能，因此不是優(yōu)選的。另一方面，若薄膜的厚度尺寸比100μm厚，則容易在薄膜上產(chǎn)生過(guò)剩的封接應(yīng)力、熱應(yīng)力等因膜材質(zhì)的膨脹系數(shù)而引起的應(yīng)力，難以在板玻璃表面上維持長(zhǎng)期的粘接力，從而有時(shí)產(chǎn)生如剝落或破損那樣的隨時(shí)間的劣化。因此，薄膜的厚度尺寸優(yōu)選為0.01μm至100μm。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，除了上述內(nèi)容以外，若固體攝像元件為CCD或CMOS，則可充分發(fā)揮元件的性能，因此是優(yōu)選的。
CCD是由蓄積與圖像明暗的光量成比例的電荷的受光部、和為了將蓄積的電荷集中至一處而傳送的傳送部構(gòu)成的元件，另一方面，CMOS是具有用光電二極管接受光并通過(guò)結(jié)晶管的開(kāi)關(guān)而取出光的功能的元件。而且，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，作為為了CCD或CMOS那樣的固體攝像元件而使光線透射、進(jìn)而為了保護(hù)封裝件內(nèi)的元件不受外氣影響而能夠氣密密封的覆蓋玻璃使用時(shí)，能夠較大地發(fā)揮其性能。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，除了上述內(nèi)容以外，若無(wú)機(jī)氧化物玻璃制的平板玻璃以質(zhì)量％表示時(shí)，含有55～70％的SiO2、0.5～20％的Al2O3、5～20％的B2O3、0.1～30％的RO(RO＝MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)、0～9％的ZnO、1～20％的M2O(M2O＝Li2O+Na2O+K2O)，則其除了光學(xué)性能以外也可滿足化學(xué)性能或強(qiáng)度等機(jī)械性能，因此是優(yōu)選的。
在此，所謂無(wú)機(jī)氧化物玻璃制的平板玻璃以質(zhì)量％表示時(shí)，含有55～70％的SiO2、0.5～20％的Al2O3、5～20％的B2O3、0.1～30％的RO(RO＝MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)、0～9％的ZnO、1～20％的M2O(M2O＝Li2O+Na2O+K2O)，在以氧化物換算表示而記述玻璃中含有的成分時(shí)，表示如下情況氧化硅為55～70質(zhì)量％、氧化鋁為0.5～20質(zhì)量％，氧化硼為5～20質(zhì)量％，氧化鎂、氧化鈣、氧化鋅、氧化鍶及氧化鋇的合計(jì)量為0.1～30質(zhì)量％，氧化鋅為9質(zhì)量％以下，氧化鋰、氧化鈉及氧化鉀的合計(jì)量為1～20質(zhì)量％。
SiO2是構(gòu)成玻璃的原子水平尺度的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)骨架的主要成分，若其不足55質(zhì)量％，則產(chǎn)生因玻璃表面的化學(xué)耐久性而導(dǎo)致的問(wèn)題的危險(xiǎn)性變高，因此不是優(yōu)選的。另外，若其含有量超過(guò)70質(zhì)量％，則為了使玻璃均質(zhì)地熔化以得到均質(zhì)的覆蓋玻璃，需要費(fèi)用高昂的玻璃熔融設(shè)備。
Al2O3是使玻璃的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定化的必要成分，同時(shí)其提高從無(wú)機(jī)原料熔化玻璃而形成熔融玻璃時(shí)的玻璃化反應(yīng)的初始熔融性，因此是優(yōu)選的成分之一，并且對(duì)提高玻璃化學(xué)耐久性也有效。然而，若其含有量不足0.5質(zhì)量％，則難以在熔融時(shí)的初始熔化性的提高或成形后的化學(xué)耐久性的提高上發(fā)揮顯著作用。另外，若其含有量超過(guò)20質(zhì)量％，則有時(shí)反而成為使玻璃熔融時(shí)的熔化性惡化的主要原因，或有時(shí)也容易提高玻璃的不透明性并產(chǎn)生結(jié)晶等，因此不是優(yōu)選的。
B2O3是使玻璃的熔融溫度降低且使玻璃熔融時(shí)的熔化性能提高的成分，在該玻璃組成系中通過(guò)含有5質(zhì)量％以上而發(fā)揮其效力，因此是優(yōu)選的。另一方面，若B2O3超過(guò)20質(zhì)量％，則從熔化時(shí)的熔融玻璃質(zhì)地表面的蒸發(fā)量增多，成為玻璃物品不均質(zhì)的原因，并且有時(shí)也對(duì)玻璃物品的化學(xué)耐久性產(chǎn)生影響，因此不是優(yōu)選的。
就MgO(氧化鎂)、CaO(氧化鈣)、ZnO(氧化鋅)、SrO(氧化鍶)及BaO(氧化鋇)的合計(jì)量而言，它們均是為了使玻璃的耐氣候性或熔化性、及折射率、透射率等成為期望的性能而必要的成分，若其合計(jì)量不足0.1質(zhì)量％，則通常無(wú)法充分實(shí)現(xiàn)期望的功能。另外，若其合計(jì)量超過(guò)30質(zhì)量％，則通常對(duì)玻璃的耐氣候性或熔融時(shí)的熔化性產(chǎn)生影響，因此不是優(yōu)選的。另外，就玻璃的強(qiáng)度而言，若超過(guò)30質(zhì)量％，則有時(shí)產(chǎn)生問(wèn)題，因此不是優(yōu)選的。
ZnO是為了提高成形后的玻璃表面的長(zhǎng)時(shí)間化學(xué)耐久性或提高玻璃表面的耐傷性而添加于玻璃中從而改善其性能的成分，若以質(zhì)量％表示添加了超過(guò)9％的量，則化學(xué)耐久性有時(shí)反而劣化，因此不是優(yōu)選的。
作為堿金屬元素的氧化物而表示的Li2O(氧化鋰)、Na2O(氧化鈉)及K2O(氧化鉀)的合計(jì)量是為了使玻璃具有以下功能而有用的成分為了補(bǔ)償通過(guò)薄膜加熱時(shí)的應(yīng)力調(diào)整或固體攝像元件的封裝件筐體的膨脹收縮而產(chǎn)生的熱應(yīng)力而將覆蓋玻璃的膨脹系數(shù)設(shè)在規(guī)定范圍內(nèi)，由此實(shí)現(xiàn)相對(duì)熱負(fù)荷的穩(wěn)定性能。而且，若其合計(jì)量在1質(zhì)量％以上，則可與無(wú)堿玻璃清晰地區(qū)分，在玻璃的熔融作業(yè)時(shí)不需要無(wú)堿玻璃那樣的較大勞動(dòng)力，而且可實(shí)現(xiàn)使膨脹系數(shù)較大地變動(dòng)的效果，因此是優(yōu)選的。但是，若超過(guò)20質(zhì)量％，則對(duì)玻璃的化學(xué)耐久性、尤其是玻璃表面的耐水性產(chǎn)生影響，因此不是優(yōu)選的。
另外，就本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃而言，若無(wú)機(jī)氧化物玻璃為無(wú)堿玻璃，則對(duì)實(shí)現(xiàn)構(gòu)成固體攝像元件封裝件后的高耐氣候性是優(yōu)選的。
在此，所謂無(wú)機(jī)氧化物玻璃為無(wú)堿玻璃表示本質(zhì)上不含有作為堿金屬元素成分的Li、Na、K的玻璃。在此，所謂本質(zhì)上不含有是指玻璃組成中作為堿金屬元素的Na(鈉)、K(鉀)、Li(鋰)等元素通過(guò)氧化物換算為0.1質(zhì)量％以下。即，就本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃而言，可根據(jù)其用途而采用需要的玻璃組成，且若即使玻璃物品中含有的堿成分有可能阻害與玻璃表面的長(zhǎng)期耐氣候性相關(guān)的功能，玻璃熔融作業(yè)需要?jiǎng)趧?dòng)力時(shí)，也可實(shí)現(xiàn)與其相符的實(shí)際益處，則是優(yōu)選的。而且，此時(shí)，可使用不含有堿金屬元素的組成、所謂無(wú)堿玻璃組成作為覆蓋玻璃的組成，且將本發(fā)明適用于無(wú)堿玻璃，由此可實(shí)現(xiàn)期望的功能。
作為可在如此的情況下采用的無(wú)堿玻璃的組成，在以氧化物換算表示來(lái)記述玻璃中含有的成分時(shí)，在質(zhì)量％表示下優(yōu)選，SiO2為53～61％、Al2O3為0.5～20％、B2O3為5～16％、RO為2～28％(RO＝MgO+BaO)、JO(JO＝CaO+SrO)為0.1～15％，且玻璃中的OH基含有量在50ppm～700ppm的范圍內(nèi)。
在此，就無(wú)堿玻璃的組成而言，若以質(zhì)量％表示SiO2比53％小，則有化學(xué)耐久性變低的傾向，另一方面，若超過(guò)61％且不含有堿金屬元素，則熔融玻璃的粘性高，因此容易變?yōu)椴痪|(zhì)的熔融狀態(tài)，且有時(shí)難以以廉價(jià)的制造成本成形均質(zhì)的薄板玻璃，因此不是優(yōu)選的。
另外，就無(wú)堿玻璃的組成而言，以質(zhì)量％表示使Al2O3在0.5～20％的范圍內(nèi)時(shí)，可調(diào)和耐電性等玻璃的電氣性能或化學(xué)性能，因此是優(yōu)選的。
就MgO和BaO的合計(jì)量而言，以質(zhì)量％表示使其在2～28％的范圍內(nèi)時(shí)，對(duì)成形后的耐藥品性、熱膨脹系數(shù)、及避免來(lái)自熔化時(shí)的熔融玻璃的結(jié)晶的析出是有利的。
就CaO和SrO的合計(jì)量而言，以質(zhì)量％表示使其在0.1～15％的范圍內(nèi)時(shí)，使成形后的耐藥品性、熱膨脹系數(shù)、或低溫粘性等性質(zhì)成為最優(yōu)的狀態(tài)，因此是優(yōu)選的。
B2O3是使玻璃熔化性提高的成分，在該玻璃組成系中通過(guò)以質(zhì)量％表示含有5％以上而發(fā)揮其效力，因此是優(yōu)選的。另一方面，若B2O3以質(zhì)量％表示超過(guò)16％，則熔融時(shí)的蒸發(fā)量變多且玻璃容易變得不均質(zhì)，因此不是優(yōu)選的。
就玻璃中的OH基的含有量而言，使其在50ppm～700ppm的范圍內(nèi)時(shí)，可使高溫的熔融玻璃的粘性為比玻璃的104dPa·sec適當(dāng)?shù)恼承灾?，并且就通過(guò)各種成形方法而成形的玻璃表面而言，可獲得組成均質(zhì)且具有平滑的表面狀態(tài)的玻璃成形體，因此是優(yōu)選的。
另外，就本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的組成而言，通過(guò)具有上述特征并采用高純度原料及其配備的熔融環(huán)境，來(lái)精密控制U(鈾)、Th(釷)、Ra(鐳)、Fe2O3、PbO、TiO2、MnO2、ZrO2等的含有量，尤其就影響紫外線附近的透射率的Fe2O3、PbO、TiO2、MnO2而言，優(yōu)選分別在1～100ppm的等級(jí)(order)下進(jìn)行管理。另外，就成為α射線的CCD等的軟件錯(cuò)誤(soft error)的原因的U、Th、Ra而言，可分別在0.1～10ppb的等級(jí)下進(jìn)行管理。而且，需要通過(guò)如此的管理，使固體攝像元件用覆蓋玻璃的α射線放射量為0.5c/cm2·hr以下。
另外，作為本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃所適用的固體攝像元件，就元件的功能而言，可無(wú)區(qū)別地使用如下的種類根據(jù)受光方式、傳送方式的不同而區(qū)分的行間轉(zhuǎn)移型(IT-CCD)、幀行間轉(zhuǎn)移型(FIT-CCD)、滿幀轉(zhuǎn)移型(FF-CCD)、幀間轉(zhuǎn)移型(FT-CCD)、或光導(dǎo)電膜疊層型(PSD)等。另外，就在分類為上述CMOS或其他固體攝像元件的領(lǐng)域中所使用的元件的元件收納封裝件而言，也可使用本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃。而且，尤其本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃如行間傳送型(IT-CCD)、或其所包含的漸進(jìn)掃描型CCD所述作為數(shù)碼相機(jī)或便攜式電話等使用的元件收納封裝件的覆蓋玻璃也是優(yōu)選的。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，除了上述內(nèi)容以外，若玻璃的熱膨脹系數(shù)為與固體攝像元件的熱膨脹系數(shù)比較接近的值，而且熱膨脹系數(shù)比封裝件的筐體材料小，則是優(yōu)選的。例如，若使用膨脹系數(shù)為70×10-7/℃的氧化鋁作為封裝件，則覆蓋玻璃只要比70×10-7/℃小即可，可以是具有直至30×10-7/℃的膨脹系數(shù)值的玻璃。另外，更優(yōu)選覆蓋玻璃的質(zhì)量較小，從該觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選玻璃的密度在2.8g/cm3以下。另外，優(yōu)選在板玻璃中實(shí)質(zhì)上也不存在妨害玻璃物品的均質(zhì)性的波筋或結(jié)(knot)等的情況下實(shí)現(xiàn)高均質(zhì)度。
另外，本發(fā)明提供一種固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，其特征在于，具有在耐熱性容器內(nèi)熔化玻璃原料混合物的工序；將獲得的熔融玻璃成形為板玻璃的工序；在作為該板玻璃的表里兩面之某一個(gè)面的第一透光面上形成薄膜的工序以及將形成有該薄膜的板玻璃分割為小片的板玻璃片的工序。
更具體地，所謂具有上述四個(gè)工序是指具有在鉑或陶瓷等可承受1500℃以上高溫的容器內(nèi)或槽內(nèi)，通過(guò)規(guī)定的加熱方法加熱熔融并均質(zhì)化無(wú)機(jī)原料或碎玻璃，且通過(guò)采用各種成形方法將均質(zhì)化后的熔融玻璃成形為平板玻璃的工序；然后通過(guò)各種方法在成形后的板玻璃的第一透光面上形成薄膜的工序；進(jìn)而通過(guò)使用加工裝置等將實(shí)施有薄膜的板玻璃加工為小片的板玻璃片的工序。
就在耐熱性容器內(nèi)熔化玻璃原料混合物的工序和將獲得的熔融玻璃成形為板玻璃的工序而言，若為可獲得具有作為固體攝像元件用覆蓋玻璃的規(guī)定均質(zhì)性的覆蓋玻璃，且使覆蓋玻璃在玻璃表面的精度或板玻璃的尺寸精度、及玻璃表面的凈化度等上充分具有高品位的工序，則可直接采用。
就在板玻璃的第一透光面上形成薄膜的工序而言，可以是與成形上述板玻璃的工序連續(xù)的工序，另外也可以是與其分離的工序?？傊?，為了在板玻璃的表面進(jìn)行成膜，需要注意的是，在灰塵附著于玻璃表面上等有損凈化度的環(huán)境下難以實(shí)施期望的膜。
而且，就實(shí)施有薄膜的板玻璃而言，若在通過(guò)使用加工裝置等分割為小片的板玻璃片的工序中，能夠進(jìn)行如成為具有上述期望的性狀的端面狀態(tài)那樣的分割，則割斷以外的任意加工方法均可直接采用。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，除了上述內(nèi)容以外，若將熔融玻璃成形為板玻璃的工序是使熔融玻璃向下方延伸成形而獲得板玻璃的工序，則可獲得板的厚度尺寸精度高的板玻璃，因此是優(yōu)選的。
在此，所謂使熔融玻璃成形為板玻璃的工序是使熔融玻璃向下方延伸成形而獲得板玻璃的工序是指其為使用采用了向下方延伸成形的成形方法的裝置來(lái)成形板玻璃的工序，在以期望的成形方法成形高溫狀態(tài)的熔融玻璃時(shí)，經(jīng)由輥等具有耐熱結(jié)構(gòu)的裝置對(duì)熔融玻璃施加延伸力同時(shí)使其延伸，由此以實(shí)現(xiàn)規(guī)定的表面精度、板厚，板面積的方法成形。例如，作為延伸成形方法，具體地，有通過(guò)狹槽下拉(slot down draw)成形法、溢出下拉(overflow down draw)成形法(或熔化法)、滾出(roll out)成形法、再拉(redraw)成形法等成形方法而成形的方法。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，除了上述內(nèi)容以外，若在板玻璃的表里兩面中未形成有薄膜的第二透光面上，刻設(shè)有將板玻璃分割為小片的板玻璃片的預(yù)備分割線，則可高效地進(jìn)行分割操作，因此是優(yōu)選的。
在此，所謂在板玻璃的表里兩面中未形成有薄膜的第二透光面上，刻設(shè)有將板玻璃分割為小片的板玻璃片的預(yù)備分割線是指從未形成有膜的第二透光面?zhèn)仁┘优c加工相關(guān)的能量，通過(guò)該能量開(kāi)始用于進(jìn)行板玻璃的小片化的刻傷、切斷、斷裂或割斷。
另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，除了上述內(nèi)容以外，若通過(guò)分割使得小片的板玻璃片的第一透光面及第二透光面兩者均能夠有81％～99％的部分成為圖像透光用有效面，則可使充分的圖像信息入射于固體攝像元件，因此是優(yōu)選的。
在此，所謂通過(guò)分割使得小片的板玻璃片的第一透光面及第二透光面兩者均能夠有81％～99％的部分成為圖像透光用有效面是指進(jìn)行截?cái)嗉庸?，使得在板玻璃?個(gè)透光面內(nèi)，就其各自的透光面的面積而言，能夠?qū)⑿纬烧５膱D像的光線透射于形成為封裝件后的固體攝像元件的有效面積部分在81％至99％范圍內(nèi)。1個(gè)透光面的面積是通過(guò)連結(jié)將小片的板玻璃片的一透光面包圍的4邊(或4條棱線)的交叉的頂點(diǎn)而在其內(nèi)部形成的矩形面積。在此所謂將形成正常圖像的光線透射于固體攝像元件是指使除去成為閃光或重像等的原因的漫反射光的光線透射。
此時(shí)，若小片的板玻璃片的第一透光面及第二透光面兩者均是81％以上的面積為有效面積，則可使足以將圖像形成于固體攝像元件的充分光線入射于元件，因此是優(yōu)選的。另一方面，在小片的板玻璃片的第一透光面及第二透光面兩者均是有效面比面積的99％多時(shí)，為了將該板玻璃片密封于封裝件筐體而需要涂敷膠粘劑等的板玻璃片的第二透光面的面積變得過(guò)小，因此就密封后的封裝件而言，存在其可應(yīng)對(duì)在來(lái)自各種熱處理或使用環(huán)境的化學(xué)性侵襲等負(fù)荷下的環(huán)境的可靠性降低之患，因此不是優(yōu)選的。因此，從該觀點(diǎn)考慮，更優(yōu)選分割為小片的板玻璃片的兩透光面的面積的83％至98％的范圍成為圖像透光用有效面積的大小，進(jìn)一步優(yōu)選分割為該兩透光面的面積的85％至97％的范圍成為圖像透光用有效面積的大小，尤其進(jìn)一步優(yōu)選使該兩透光面的面積的86％至95％的范圍為圖像透光用有效面積。
作為形成如此的圖像透光用有效面的方法，首先，需要充分注意小片的板玻璃片的兩透光面的凈化度。例如，需要以在無(wú)塵室等設(shè)備環(huán)境下抑制并管理起塵的環(huán)境盡可能排除如污染該板玻璃片的兩透光面那樣的主要原因，同時(shí)驅(qū)動(dòng)一系列的清洗工序或加工工序。若考慮在如此維持了板玻璃片的兩透光面的凈化度的狀態(tài)下成為映像透光用有效面，由此除去了附著物、排除了玻璃內(nèi)部缺陷及在玻璃表面產(chǎn)生的損傷，則使用處于如此狀態(tài)的板玻璃片完全沒(méi)有問(wèn)題。
另外，為確保映像透光用有效面在規(guī)定比率范圍內(nèi)，除了上述內(nèi)容以外，重要的是，對(duì)小片的板玻璃片進(jìn)行加工時(shí)的該板玻璃片的端面加工的尺寸精度和端面的加工狀態(tài)。另外，確保映像透光用有效面在規(guī)定比率范圍內(nèi)，由于板玻璃的非有效面的一部分為承擔(dān)通過(guò)上述膠粘劑等密封于收納有固體攝像元件的封裝件上的任務(wù)的部位，因此使非有效面的面積在規(guī)定范圍內(nèi)也十分重要。若該板玻璃片的端面加工的尺寸精度和端面的加工狀態(tài)不穩(wěn)定，則在使用非有效面的密封面積上產(chǎn)生偏差，其結(jié)果是，存在固體攝像元件封裝件的耐環(huán)境性能降低之患。另外，若該板玻璃片的端面加工的尺寸精度和端面的加工狀態(tài)并不是規(guī)定的端面加工的尺寸精度和端面的加工狀態(tài)，則存在因圖像透光用有效面局部破損或缺失的端面而導(dǎo)致的玻璃的碎片或附著于端面上的異物容易飛散附著，從而使圖像透光用有效面成為無(wú)效狀態(tài)之患，因此不是優(yōu)選的。因此如上所述將透光面和端面所形成的棱線的凹凸設(shè)在規(guī)定范圍內(nèi)，由此可以避免如此的問(wèn)題。
(發(fā)明效果)(1)如上所述，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃由于在無(wú)機(jī)氧化物玻璃制的平板玻璃的第一透光面上形成有薄膜，并且在位于平板玻璃的第一透光面上的外緣部的薄膜的端緣，形成有從最大凹陷位置至最大突出位置的突出尺寸在0.5μm至50μm的范圍內(nèi)的凹凸，因此為可承受熱沖擊試驗(yàn)或熱循環(huán)試驗(yàn)等各種環(huán)境試驗(yàn)的覆蓋玻璃，且覆蓋玻璃表面的薄膜不易因熱性、機(jī)械性應(yīng)力而剝落，在實(shí)際使用時(shí)的長(zhǎng)時(shí)間使用上具有高可信性、穩(wěn)定性。
(2)另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，若平板玻璃的側(cè)面的表面粗糙度(Ra值)在3nm以下，且在側(cè)面和第一透光面相連接的棱線或側(cè)面和第二透光面相連接的棱線中的任一棱線上，形成有從最大凹陷位置至最大突出位置的突出尺寸在0.5μm至40μm的范圍內(nèi)的凹凸，則可抑制在棱線或側(cè)面表面產(chǎn)生覆蓋玻璃的破損或碎片、裂紋、飛散物，可減少不良產(chǎn)生率。
(3)進(jìn)而，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，若鄰接于平板玻璃的形成有薄膜的第一透光面及與該第一透光面對(duì)置的第二透光面的側(cè)面，具備與第一透光面鄰接的第一側(cè)面部、和與該第一側(cè)面部及第二透光面鄰接的第二側(cè)面部，且在由第一透光面和第一側(cè)面部形成的棱線上，形成有從最大凹陷位置至最大突出位置的突出尺寸在1.5μm至20μm的范圍內(nèi)的凹凸，則即使搭載有覆蓋玻璃的固體攝像元件封裝件被安裝于電子設(shè)備中后，覆蓋玻璃仍可持續(xù)維持長(zhǎng)期穩(wěn)定的強(qiáng)度性能。
(4)另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，若從平板玻璃的第一側(cè)面部及/或第二側(cè)面部入射且從第二透光面射出的光路，可透射10％以上的波長(zhǎng)300nm的紫外線，則即使在通過(guò)采用紫外線固化樹脂來(lái)將覆蓋玻璃密封于固體攝像元件封裝件上時(shí)，也可通過(guò)短時(shí)間的紫外線照射來(lái)進(jìn)行具有高粘接強(qiáng)度的粘接，因此可將封裝件制造的效率充分維持在高狀態(tài)。
(5)進(jìn)而，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，若薄膜為光學(xué)薄膜，且膜厚在0.01μm至100μm的范圍內(nèi)，則能夠以在尺寸等上具有相當(dāng)優(yōu)秀的品位的狀態(tài)提供客戶所要求的具有高光學(xué)性能的覆蓋玻璃。
(6)另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，若固體攝像元件為CCD或CMOS，則具有可通過(guò)搭載于通過(guò)性高的各種設(shè)備而使CCD或CMOS的性能充分發(fā)揮的品位。
(7)進(jìn)而，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，若無(wú)機(jī)氧化物玻璃制的平板玻璃以質(zhì)量％表示時(shí)，含有55～70％的SiO2、0.5～20％的Al2O3、5～20％的B2O3、0.1～30％的RO(RO＝MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)、0～9％的ZnO、1～20％的M2O(M2O＝Li2O+Na2O+K2O)，則可形成為除了紫外域、可見(jiàn)域的透射率性能或耐水性、耐酸性等化學(xué)耐久性以外，密度也充分低的玻璃材，因此可構(gòu)成輕量的覆蓋玻璃。
(8)另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃，若無(wú)機(jī)氧化物玻璃由無(wú)堿玻璃構(gòu)成，則可使與為了保護(hù)搭載于在戶外使用的電子設(shè)備中的固體攝像元件而變得重要的耐氣候性相關(guān)的品位始終處于高狀態(tài)，且作為搭載于便攜式信息終端或便攜式電話等中的固體攝像元件用覆蓋玻璃是優(yōu)選的。
(9)本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法由于具有在耐熱性容器內(nèi)熔化玻璃原料混合物的工序；將獲得的熔融玻璃成形為板玻璃的工序；在作為該板玻璃的表里兩面之某一個(gè)面的第一透光面上形成薄膜的工序以及將形成有該薄膜的板玻璃分割為小片的板玻璃片的工序，因此可在同一條件下成膜多個(gè)板玻璃片，從而減少所制造的固體攝像元件用覆蓋玻璃的光學(xué)性能的偏差，且就膜的化學(xué)耐久性而言也減少較大的性能偏差等的產(chǎn)生。
(10)另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，若將熔融玻璃成形為板玻璃的工序?yàn)槭谷廴诓Ａ蛳路窖由斐尚味@得平板玻璃的工序，則容易使作為母材的板玻璃的波紋度等表面品位適當(dāng)，且若可高速進(jìn)行充分滿足尺寸精度要求的熔融玻璃的精密成形，則可實(shí)現(xiàn)高制造效率同時(shí)達(dá)到符合市場(chǎng)要求的適當(dāng)制造成本。
(11)進(jìn)而，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，若在平板玻璃的表里兩面中未形成有薄膜的第二透光面上刻設(shè)有將板玻璃分割為上述小片的板玻璃片的預(yù)備分割線，則可在不對(duì)膜表面或膜粘接面施加較大的力的情況下實(shí)施用于將成為母材的板玻璃分割為小片的加工，從而可抑制在小片化后的各板玻璃片的端面產(chǎn)生缺陷。
(12)另外，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，若通過(guò)分割使得小片的板玻璃片的第一透光面及第二透光面兩者均能夠有81％～99％的部分成為圖像透光用有效面，則即使元件尺寸較小時(shí)或需要較大元件時(shí)，也可制造具有與此對(duì)應(yīng)的最優(yōu)的圖像透光用有效面積的覆蓋玻璃，能夠流暢地供給與固體攝像元件的性能對(duì)應(yīng)的覆蓋玻璃。


圖1(A)是本發(fā)明的實(shí)施方式的固體攝像元件用覆蓋玻璃的整體立體圖，圖1(B)是以圖1(A)的符號(hào)B表示的部分的放大立體圖，圖1(C)同樣是以符號(hào)B表示的部分的放大俯視圖；圖2(A)是用于說(shuō)明使用了上述固體攝像元件用覆蓋玻璃的固體攝像元件的縱剖正視圖，圖2(B)同樣是用于說(shuō)明固體攝像元件的俯視圖；圖3是用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法中由厚板玻璃制造薄板玻璃的工序的概略立體圖；圖4是用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法中對(duì)第一加工后的薄板玻璃進(jìn)行第二加工的工序的概略立體圖。
圖中10—固體攝像元件用覆蓋玻璃；11a—第一透光面；11b—第二透光面；12—側(cè)面；12a—第一側(cè)面部；12b—第二側(cè)面部；20—薄膜；21—側(cè)面和透光面相連接的棱線；22—薄膜的端緣；30—膠粘劑；40—收納固體攝像元件的封裝件；50—固體攝像元件；60—厚板玻璃；70—延伸成形裝置；80a—加熱爐；80b—耐熱性輥；90—薄板玻璃；91—第一加工后的薄板玻璃；92—第一加工面；93—線狀頭；M—工作方向；P—圖像透光用有效面積；L—薄膜的端緣的凹凸尺寸；T—側(cè)面和透光面相連接的棱線的凹凸尺寸。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的固體攝像元件用覆蓋玻璃及其制造方法。
圖1(A)是本發(fā)明的實(shí)施方式的固體攝像元件用覆蓋玻璃的立體圖，圖1(B)是以圖1(A)的符號(hào)B表示的部分的放大立體圖，圖1(C)是相同部分的放大俯視圖。另外，圖2(A)是表示將上述固體攝像元件用覆蓋玻璃搭載于固體攝像元件用封裝件上的狀態(tài)的縱剖正視圖，圖2(B)是表示相同狀態(tài)的俯視圖。
該固體攝像元件用覆蓋玻璃10是使用了由無(wú)堿硼硅酸玻璃構(gòu)成的平板玻璃(小片的板玻璃片)的覆蓋玻璃，上述無(wú)堿硼硅酸玻璃以質(zhì)量％表示，具有60％的SiO2、14.7％的Al2O3、11％的B2O3、3％的RO(RO＝MgO+BaO)、11.3％的JO(JO＝CaO+SrO)、及565ppm的OH基的組成，該固體攝像元件用覆蓋玻璃10作為搭載于便攜式電子設(shè)備中的行間轉(zhuǎn)移型CCD元件的封裝件的窗材而以覆蓋玻璃用途使用。該平板玻璃的尺寸為長(zhǎng)度3mm、寬度3mm、厚度0.5mm，并且僅在透光面的一側(cè)即第一透光面11a上成膜有紅外線反射膜20。該紅外線反射膜20通過(guò)利用CVD法交替疊層40層以上的SiO2和Ta2O5使其分別具有75nm至160nm的厚度而形成，且該紅外線反射膜20具有遮斷96％以上的波長(zhǎng)750nm以上的紅外線的性能。
如圖1(A)、(B)所示，該覆蓋玻璃10的側(cè)面12由性狀不同的2個(gè)側(cè)面構(gòu)成，一側(cè)面為與第一透光面11a相連接的第一側(cè)面部12a，另一側(cè)面為與第一側(cè)面部12a及第二透光面11b鄰接的第二側(cè)面部12b。而且，該覆蓋玻璃10如圖1(C)所示，第一透光面11a和第一側(cè)面12a相連接的棱線21的凹凸的最大值T、即與第一透光面11a平行的面上的棱線21的凹凸從最大凹陷位置至最大突出位置的突出尺寸T為3.5μm，在1.5至20μm的范圍內(nèi)，另外，側(cè)面12的表面粗糙度為0.5nm。進(jìn)而，該覆蓋玻璃10中，實(shí)施于第一透光面11a上的薄膜20的與平板玻璃的表面相連接的端緣22的凹凸的最大值L、即與第一透光面11a平行的面上的薄膜20的端緣22的凹凸從最大凹陷位置至最大突出位置的突出尺寸L為2.1μm，在0.5至50μm的范圍內(nèi)。
另外，在加工該平板玻璃(小片的板玻璃片)時(shí)，采用了激光切斷作為由實(shí)施了成膜的母材薄板玻璃來(lái)獲得小片的板玻璃片的加工方法，且側(cè)面12具有與光學(xué)性鏡面接近的表面狀態(tài)。因此，如圖2(A)所示，通過(guò)從側(cè)面12入射紫外線，可使涂敷于第二透光面11b上的紫外線固化樹脂制的膠粘劑30固化。而且，若使用紫外線傳感器進(jìn)行計(jì)測(cè)，則此時(shí)的光線透射率為50％的透射率。而且，圖2(A)、(B)表示了以該順序?qū)⒐腆w攝像元件用覆蓋玻璃10封接于裝件40上的情況。在如此組裝的狀態(tài)下，若使固體攝像元件50處于驅(qū)動(dòng)狀態(tài)并進(jìn)行調(diào)查，則可判斷出由圖2(B)的斜線部表示的固體攝像元件用覆蓋玻璃10的有效透射面積P是覆蓋玻璃10的第一透光面11a及第二透光面11b的各自的面積的87％。
在此，在計(jì)測(cè)本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃10的表面粗糙度時(shí)，使用觸針式表面粗糙度測(cè)定機(jī)タリスツテプ(Tayler-Mobson社制)，對(duì)0.25mm的測(cè)定長(zhǎng)度，以計(jì)量速度0.0025mm/sec、濾波器(filter)0.33Hz、倍率20萬(wàn)倍的條件進(jìn)行測(cè)定。另外，凹凸的測(cè)定通過(guò)顯微鏡、SEM等而計(jì)測(cè)。
以下，說(shuō)明上述固體攝像元件用覆蓋玻璃10的制造方法。
首先，以下說(shuō)明形成小片的板玻璃片之前的板玻璃的制造工程。該工序是制作薄板狀的一片具有300mm左右尺寸的大板狀的母材玻璃的工序，且該工序有兩種，一種為延伸成形的方法，另一種為僅通過(guò)精密磨削研磨進(jìn)行加工的方法。在延伸成形的方法時(shí)，首先用在由耐火材料或鉑等高熔點(diǎn)金屬構(gòu)成的熔融爐中熔化后成形的板玻璃，準(zhǔn)備例如寬度850mm、厚度5mm、長(zhǎng)度3m的母材板玻璃。然后，通過(guò)具備人造皮革的旋轉(zhuǎn)研磨機(jī)(圖示省略)，對(duì)該母材板玻璃自動(dòng)供給使氧化鈰等的游離磨粒分散于水等中而得的漿料，同時(shí)實(shí)施研磨加工，直至獲得表面粗糙度以Ra值表示為1.1nm的鏡面，然后進(jìn)行清洗、干燥，從而獲得例如板厚4.5±0.5mm的厚板玻璃60。然后，將該厚板玻璃60置于如圖3所示的延伸成形裝置70中，通過(guò)保持在使玻璃粘度為105dPa·s的溫度的加熱爐80a進(jìn)行加熱，并通過(guò)安裝在下部的取出耐熱性輥80b以輸入速度的10倍的速度輸出，由此成形為薄板玻璃90，通過(guò)對(duì)該板玻璃90的兩側(cè)進(jìn)行劃線成形，而成形為薄板狀的一邊300mm的大板玻璃。
另外，在通過(guò)精密磨削研磨進(jìn)行加工的方法時(shí)，將在熔融爐中熔化且均質(zhì)化的玻璃，例如澆鑄于尺寸為800×300×300mm的鑄模(錠塊)中進(jìn)行成型，并從此處通過(guò)使用利用游離磨粒的線狀鋸等而進(jìn)行切斷，從而獲得板厚1.5mm的薄板玻璃。然后，使用如上所述的旋轉(zhuǎn)研磨加工機(jī)對(duì)該薄板玻璃實(shí)施研磨加工，由此可獲得薄板狀的大板玻璃?？赏ㄟ^(guò)如上所述的2種方法而制造的大板玻璃尺寸可在長(zhǎng)度50～600mm、寬度50～600mm、板厚0.1～50mm的范圍內(nèi)成形，并可根據(jù)需要變更。
接著，通過(guò)CVD(Chemical Vapor Deposition)對(duì)該大板玻璃的一透光面即第一透光面?zhèn)冉惶娴丿B層40層以上的上述SiO2和Ta2O5，由此獲得成膜后的薄板玻璃。
其次，將該成膜后的薄板狀的大板玻璃精細(xì)切斷的方法，例如利用激光切斷裝置而采用激光劃線。首先，使用熱加工激光切斷裝置，在薄板玻璃的一未成膜的第二透光面上，作為預(yù)備分割線以激光光束移動(dòng)速度為180±5mm/sec、或220±5mm/sec，且激光輸出為120±5W、或160±5W的條件進(jìn)行棋盤網(wǎng)狀的第一加工，直至達(dá)到板厚方向的20％的厚度。接著，如圖4示意所示，相對(duì)薄板玻璃91的第一加工面92，從其相反側(cè)的成膜后的面使金屬制的線狀頭93沿工作方向M移動(dòng)，同時(shí)以?shī)A具(省略圖示)按壓薄板玻璃91的第一加工面92側(cè)的第二透光面，由此對(duì)薄板玻璃91的第一加工面92施加應(yīng)力，并以1×10-3m/sec的按壓速度進(jìn)行壓碎。如此通過(guò)進(jìn)行第二加工的割斷，而獲得沿成為第一加工所形成的斷裂的起源的預(yù)定線分割而形成的短?hào)艩畹陌宀Ａ?。如此?jīng)過(guò)壓碎加工而形成的短?hào)艩畹陌宀ＡХ謩e利用真空鑷子(未圖示)而運(yùn)送到下一工序。然后，對(duì)短?hào)艩畹母采w玻璃再次進(jìn)行壓碎加工，由此可獲得最終的固體攝像元件用的覆蓋玻璃。此時(shí)，薄板玻璃91的第一加工面92相當(dāng)于圖1所示的覆蓋玻璃10的第二側(cè)面部12b，通過(guò)薄板玻璃91的第二加工(壓碎)而得到的割斷面相當(dāng)于覆蓋玻璃10的第一側(cè)面部12a。
接著，對(duì)通過(guò)上述的制造方法而成形的本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃進(jìn)行了性能評(píng)價(jià)試驗(yàn)。下面具體表示其結(jié)果。
首先，利用具有1000cc容積的鉑銠坩堝，將事先調(diào)合、混合而具有表1的組成的玻璃原料保持于具有攪拌功能的電熔融爐內(nèi)，并以1550℃進(jìn)行20小時(shí)熔融，然后，使熔融玻璃流出到碳鑄型中并緩慢冷卻，由此成形為如可測(cè)定各種特性那樣的適當(dāng)形狀。然后，通過(guò)以下的方法測(cè)定所獲得的各自的玻璃試料。即，按照J(rèn)IS R3502測(cè)定堿溶出量。表中記述為ND的符號(hào)表示檢測(cè)困難。另外，就密度而言，通過(guò)眾所周知的阿基米德法進(jìn)行測(cè)定。進(jìn)而，就膨脹系數(shù)而言，按照J(rèn)IS R3102，測(cè)定從30℃加熱到380℃時(shí)的線膨脹系數(shù)。


根據(jù)表1所示的測(cè)定結(jié)果，判斷出就任意的玻璃材料而言，堿溶出量、密度及線膨脹系數(shù)均滿足本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的要求。其中，本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的性能，可通過(guò)滿足這些組成及諸特性，進(jìn)而其表面性狀具有上述的高品位而實(shí)現(xiàn)。
接著，作為性能評(píng)價(jià)1，制作固體攝像元件用覆蓋玻璃(試料A～E)，并確認(rèn)側(cè)面的表面性質(zhì)狀。作為實(shí)施例的試料A～D是如下的試料制作滿足上述諸特性的母材板玻璃，進(jìn)而實(shí)施制作為薄板玻璃的加工，然后通過(guò)激光劃線(第一加工)形成側(cè)面的第一側(cè)面部，并以割斷加工(第二加工)即按壓速度2×10-3m/sec的條件通過(guò)壓碎來(lái)形成第二側(cè)面部。另一方面，作為比較例的試料E是如下的試料通過(guò)機(jī)械劃線形成側(cè)面的第一側(cè)面部，并通過(guò)壓碎形成第二側(cè)面部。然后，使用(Digital Instruments社制)原子力顯微鏡(NanoScope III Tapping Mode AFM)來(lái)測(cè)定各試料的側(cè)面的第一側(cè)面部、第二側(cè)面部的各自的表面粗糙度。在使用了原子力顯微鏡的測(cè)定中，對(duì)測(cè)定長(zhǎng)度40μm進(jìn)行10次測(cè)定，并求出其平均值。另外，棱線的凹凸或膜的外周端(端緣)的凹凸通過(guò)電子顯微鏡、立體顯微鏡(実體顕微鏡)計(jì)測(cè)。其結(jié)果表示于表2中。


根據(jù)表2可判斷出，作為本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的實(shí)施例的試料A至試料D均是如下的試料覆蓋玻璃的側(cè)面的表面粗糙度Ra在0.7nm至1.3nm的范圍內(nèi)，在3nm以下，由第一透光面和第一側(cè)面部形成的棱線的凹凸在5μm至18μm的范圍內(nèi)，充分小，進(jìn)而膜的外周端(端緣)的凹凸是7μm至27μm的值，包含于0.5μm至50μm的范圍內(nèi)。另一方面，可判斷出，作為比較例的試料E是如下的試料側(cè)面的表面粗糙度Ra有時(shí)為72.4nm，棱線的凹凸也為122μm，進(jìn)而膜的外周端(端緣)的凹凸也為178μm，是較高的值。
進(jìn)而，作為性能評(píng)價(jià)2，為了評(píng)價(jià)本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃的隨時(shí)間變化的耐氣候性，而使用高壓鍋試驗(yàn)裝置，并在120℃、1.2atm、1000小時(shí)的條件下評(píng)價(jià)是否未產(chǎn)生問(wèn)題。其結(jié)果是，實(shí)施例的試料A～D未出現(xiàn)異常，然而，判斷出作為比較例的試料E是產(chǎn)生膜剝落的試料。根據(jù)上述結(jié)果，可判斷出本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃在耐環(huán)境性能這一點(diǎn)上具有優(yōu)異的品位。
權(quán)利要求
1.一種固體攝像元件用覆蓋玻璃，其在無(wú)機(jī)氧化物玻璃制的平板玻璃的板厚方向的表里兩面分別具有第一透光面及第二透光面，且在上述第一透光面上形成有薄膜，其特征在于，在位于上述平板玻璃的第一透光面上的外緣部的上述薄膜的端緣形成有凹凸，并且該凹凸從與上述第一透光面平行的面上的最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸在0.5μm至50μm的范圍內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，構(gòu)成上述平板玻璃外周部側(cè)面的表面粗糙度的Ra值在3nm以下，并且該側(cè)面和上述第一透光面相連接的棱線的凹凸或該側(cè)面和上述第二透光面相連接的棱線的凹凸中的任一凹凸從與上述第一透光面或第二透光面中的任意對(duì)應(yīng)的一透光面平行的面上的最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸在0.5μm至40μm的范圍內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，上述平板玻璃的側(cè)面具備與上述第一透光面鄰接的第一側(cè)面部、和與該第一側(cè)面部及上述第二透光面鄰接的第二側(cè)面部，且由上述第一透光面和上述第一側(cè)面部形成的棱線的凹凸從與上述第一透光面平行的面上的最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸在1.5μm至20μm的范圍內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，從上述平板玻璃的第一側(cè)面部及/或第二側(cè)面部入射且從上述第二透光面射出的光路，可透射10％以上的波長(zhǎng)300nm的紫外線。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，上述薄膜為光學(xué)薄膜，且膜厚在0.01μm至100μm的范圍內(nèi)。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，上述固體攝像元件為CCD或CMOS。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，上述無(wú)機(jī)氧化物玻璃制的平板玻璃以質(zhì)量％表示時(shí)，含有55～70％的SiO2、0.5～20％的Al2O3、5～20％的B2O3、0.1～30％的RO(RO＝MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)、0～9％的ZnO、1～20％的M2O(M2O＝Li2O+Na2O+K2O)。
8.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃，其特征在于，上述無(wú)機(jī)氧化物玻璃為無(wú)堿玻璃。
9.一種固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，其特征在于，具有在耐熱性容器內(nèi)熔化玻璃原料混合物的工序；將獲得的熔融玻璃成形為板玻璃的工序；在作為該板玻璃的表里兩面之某一個(gè)面的第一透光面上形成薄膜的工序以及將形成有該薄膜的板玻璃分割為小片的板玻璃片的工序。
10.如權(quán)利要求9所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，其特征在于，將上述熔融玻璃成形為板玻璃的工序是使熔融玻璃向下方延伸成形而獲得板玻璃的工序。
11.如權(quán)利要求9或10所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，其特征在于，在上述板玻璃的表里兩面中未形成有薄膜的第二透光面上，刻設(shè)有將板玻璃分割為上述小片的板玻璃片的預(yù)備分割線。
12.如權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的固體攝像元件用覆蓋玻璃的制造方法，其特征在于，通過(guò)分割使得上述小片的板玻璃片的第一透光面及第二透光面兩者均能夠有81％～99％的部分成為圖像透光用有效面。
全文摘要
本發(fā)明的固體攝像元件用覆蓋玻璃10在無(wú)機(jī)氧化物玻璃制的平板玻璃的板厚方向的表里兩面分別具有第一透光面11a及第二透光面11b，且在第一透光面11a上形成有薄膜20，并且在位于平板玻璃的第一透光面11a上的外緣部的薄膜20的端緣22形成有凹凸，且該凹凸從與第一透光面11a平行的面上的最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸L在0.5μm至50μm范圍內(nèi)。另外，本發(fā)明的制造方法具有在耐熱性容器內(nèi)熔化玻璃原料混合物的工序、將獲得的熔融玻璃成形為板玻璃的工序、在板玻璃上形成薄膜的工序以及將帶有薄膜的板玻璃分割為小片的玻璃的工序。
文檔編號(hào)C03C3/076GK1993830SQ20058002670
公開(kāi)日2007年7月4日 申請(qǐng)日期2005年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月12日
發(fā)明者中堀宏亮, 大川大介, 淀川正弘 申請(qǐng)人:日本電氣硝子株式會(huì)社