專利名稱：玻璃模制模具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃模制模具。
背景技術(shù)：
通常，存在已知的玻璃模制模具，其基體材料依次用抗擴(kuò)散膜和脫模膜涂覆。
例如，日本專利申請未審公開號2002-60239(參見實(shí)施例等)中公開了一種玻璃模制模具，其中由WC構(gòu)成的基材依次用通過濺射方法形成的含Nb、Hf和Ta抗擴(kuò)散膜、通過濺射方法形成的包括銥-鉑合金和銥-錸合金的脫模膜涂布。
然而，通常已知的玻璃模制模具具有耐用性低的問題，例如制備玻璃模制產(chǎn)品期間抗擴(kuò)散膜剝離。因此，這種玻璃模制模具具有短壽命范圍，并且發(fā)現(xiàn)難以用于實(shí)際生產(chǎn)。
此外，一旦抗擴(kuò)散膜剝離，不能防止基材的成分?jǐn)U散。結(jié)果，玻璃模制產(chǎn)品易于被基材成分污染，并且玻璃和模制模具易于相互熔合并粘附到一起，導(dǎo)致難以模制。
如上所述，由于其低耐用性，傳統(tǒng)的玻璃模制模具易于產(chǎn)生多種問題。
發(fā)明概述本發(fā)明的一個(gè)目的是克服上述問題，并提供與傳統(tǒng)的玻璃模制模具相比耐用性更優(yōu)異的玻璃模制模具。
為了實(shí)現(xiàn)該目的并根據(jù)本發(fā)明的用途，本發(fā)明玻璃模制模具包含基體、層壓在該基體表面上的金層、和層壓在金層表面上的銠層。
此處，優(yōu)選通過電鍍形成金層和/或銠層。
此外，優(yōu)選在銠層表面上進(jìn)一步層壓含銥層。含銥層優(yōu)選是銥-錸層。
此外，優(yōu)選通過電鍍形成含銥層。
同時(shí)，通過使用玻璃模制模具模制本發(fā)明的玻璃模制產(chǎn)品。
此外，本發(fā)明玻璃模制產(chǎn)品的生產(chǎn)方法包括使用玻璃模制模具模制玻璃材料的步驟。
在玻璃模制模具中，在基體的表面上經(jīng)過金層而層壓銠層。
此處，金層主要起到粘合基體和銠層的粘合層作用。此外，銠層主要起到防止基體和金層成分?jǐn)U散的抗擴(kuò)散層作用。
由于金層的存在，銠層幾乎不剝離，使得與傳統(tǒng)的相比該玻璃模制模具耐用性優(yōu)異。因此，通過使用本發(fā)明的玻璃模制模具，可以獲得壽命增加的玻璃模制模具。
此外，因?yàn)殂檶訋缀醪粍冸x，玻璃模制產(chǎn)品難以被基體成分污染。此外，可以長時(shí)間防止銠層以下的層成分?jǐn)U散，使得玻璃和模制模具難以相互熔合和粘附到一起，從而提高產(chǎn)率。
此處，當(dāng)通過電鍍形成金層和/或銠層時(shí)，根據(jù)便于平面化模制模具表面來選擇電鍍條件。因此，易于獲得低表面粗糙度的玻璃模制產(chǎn)品。
此外，當(dāng)進(jìn)一步在銠層表面上層壓含銥層時(shí)，含銥層主要起脫模層的作用。因此，容易從模制模具脫模玻璃模制產(chǎn)品。
特別是當(dāng)含銥層是銥-錸層時(shí)，易于增加耐用性。
此外，當(dāng)通過電鍍形成含銥層時(shí)，類似于上述容易獲得低表面粗糙度的玻璃模制產(chǎn)品。
同時(shí)，通過使用該玻璃模制模具進(jìn)行模制，本發(fā)明的玻璃模制產(chǎn)品制備性能優(yōu)異。
此外，玻璃模制產(chǎn)品的生產(chǎn)方法包括通過使用該玻璃模制模具模制玻璃材料的步驟，這可便于玻璃模制，并且降低由于模具壽命改變所需模制模具變化的次數(shù)；因此玻璃模制產(chǎn)品的制備性能優(yōu)異。
根據(jù)說明書或通過實(shí)踐本發(fā)明，在如下說明書中闡述的本發(fā)明其它目的和優(yōu)點(diǎn)是明顯的?？梢杂脵?quán)利要求中的玻璃模制模具獲得并實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)。
附圖簡要說明并入并構(gòu)成本說明書一部分的附圖舉例說明了本發(fā)明的實(shí)施方式，并和說明書一起用來說明本發(fā)明的目的、優(yōu)點(diǎn)和原理。附圖中，

圖1是剖面圖，展示了按照本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方式的玻璃模制模具基本結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)施例；圖2是剖面圖，展示了圖1中玻璃模制模具的另一種結(jié)構(gòu)，其中進(jìn)一步層壓了含銥層；和圖3A至3C是用于示例性說明通過汽相沉積法和電鍍法形成的金層表面粗糙狀態(tài)的差異的視圖。
優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)說明以下提供本發(fā)明玻璃模制模具的一種優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)說明。
首先，說明模制模具的結(jié)構(gòu)。如圖1所示，玻璃模制模具10包括基體12、金層14和銠層16作為基本結(jié)構(gòu)。
基體12是模制模具的主體。在基體12的表面上，通常形成將所需形狀轉(zhuǎn)換到模制材料上的轉(zhuǎn)換表面(未舉例說明)。金層14位于基體12和銠層16之間，主要具有粘合它們的功能。在金層的表面上形成銠層16，其主要具有防止下層成分?jǐn)U散的功能。
模制模具中，可以在一層、兩層或更多分離的層中形成金層。另外，當(dāng)在分離的層中形成金層時(shí)，各個(gè)層可以具有相同的成分，或可以具有不同的成分。銠層也是如此。
在模制模具中，在粘附其上/混合其中時(shí)，銠層能夠防止基體和金層成分中對可模制性具有副作用或減小模制產(chǎn)品商業(yè)價(jià)值的至少一種成分?jǐn)U散就足夠了。
該成分包括鈦、鉻、鐵、鈷、鎳、鉭、鎢等。
模制模具中，基體的材料沒有特別限定?？紤]到獲得基體和金層之間足夠的粘合力，可以有利地使用根據(jù)JIS Z 2244測量維克斯(Vickers)硬度為200至2100的材料。
至于用于基體的上述材料，具體引用的是WC基燒結(jié)碳化物、玻璃化碳黑、不銹鋼、含硅的陶瓷和其絡(luò)合物等。其中，考慮到優(yōu)異的耐用性、耐熱性等，優(yōu)選WC基燒結(jié)碳化物、陶瓷等。
模制模具中，考慮到優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度等，優(yōu)選金層純度大于2N(99％)，更優(yōu)選大于3N(99.9％)。
此外，考慮到優(yōu)異的抗擴(kuò)散效果，優(yōu)選銠層純度大于2N(99％)，更優(yōu)選大于3N(99.9％)。
在模制模具中，優(yōu)選金層的厚度具有某些限定。這是因?yàn)槿绻饘雍穸冗^分增加，就會觀察到機(jī)械強(qiáng)度傾向于降低，如果金層厚度過小，就會觀察到粘合力降低。
對于金層厚度的限定，優(yōu)選上限是0.1μm、0.05μm、0.03μm等，適用于這些優(yōu)選上限的優(yōu)選下限是0.01μm等。
此外，優(yōu)選銠層的厚度具有某些限定。這是因?yàn)槿绻檶雍穸冗^分增加，就會有模制模具上表面粗糙度發(fā)展到難以獲得具有精致表面的模制產(chǎn)品的情況，并且如果銠層厚度過分減小，就會觀察到抗擴(kuò)散效果傾向于變小。
對于銠層厚度的限定，優(yōu)選上限是1μm、0.5μm等，適用于與該優(yōu)選上限結(jié)合的優(yōu)選下限是0.2μm、0.3μm等。
在模制模具中，優(yōu)選金層的粒度具有某些限定。這是因?yàn)槿绻饘宇w粒的尺寸過分地增加，就會觀察到機(jī)械強(qiáng)度傾向于降低，同時(shí)如果金層顆粒尺寸過分地減小，它們的數(shù)量過分增加，就會觀察到層中空隙部分傾向于增加，使得層易碎。
對于金層粒度的限定，優(yōu)選上限是1000nm、500nm、100nm等，適于與該優(yōu)選上限結(jié)合的優(yōu)選下限為1nm、5nm、10nm、50nm等。
此外，優(yōu)選銠層的粒度具有某些限定。這是因?yàn)槿绻檶宇w粒的尺寸過分地增加，就會觀察到機(jī)械強(qiáng)度傾向于降低，同時(shí)如果銠層顆粒尺寸過分地減小，它們的數(shù)量過分增加，就會觀察到層中空隙部分傾向于增加，使得層易碎。
對于銠層粒度的限定，優(yōu)選上限是500nm、120nm、110nm、100nm、90nm等，適于與該優(yōu)選上限結(jié)合的優(yōu)選下限為1nm、5nm、7.5nm、10nm、12.5nm、15nm等。
上述中，公開了模制模具包含銠層作為最外層的情況。除此之外，模制模具可以進(jìn)一步包括如圖2所示在銠層16表面上的含銥層18。
含銥層主要具有促進(jìn)模制模具從玻璃模制產(chǎn)品脫模的功能。考慮到模制條件例如玻璃材料的類型和模制溫度，可以根據(jù)需要確定是否層壓含銥層。
換句話說，在某些模制條件下，層壓到銠層上在脫離模制模具方面沒有問題，并且在這種情況下，不必故意層壓含銥層。另一方面，當(dāng)例如在不低于450℃的高溫下進(jìn)行模制時(shí)，有時(shí)玻璃模制產(chǎn)品難以從模制模具脫模，在這種情況下，最好進(jìn)一步層壓含銥層。
可以在一層、兩層或更多分離的層中形成上述含銥層。當(dāng)在分離的層中形成含銥層時(shí)，各個(gè)層可以具有相同的成分，或可以具有不同的成分。
上述含銥層包含銥和/或銥合金。當(dāng)包含銥合金時(shí)，具體地引用鉑、鈀、銠、釕、錸等作為不同于銥的合金元素。可以包含這些元素的一種或更多種。
此外，含銥層可以包含不同于銥和/或銥合金的金屬和/或合金，只要它表現(xiàn)出脫模性能。至于不同于銥和/或銥合金的金屬和/或合金，具體地引用鉑、鉑合金、鈀、鈀合金等?？梢园@些的一種或更多種。
至于含銥層，考慮到優(yōu)異的脫模性能，具體舉例為銥層、銥-鉑層、銥-錸層等?？紤]到易于改善耐用性的能力，優(yōu)選銥-錸層。
此外，含銥層的厚度沒有特殊限定，可以考慮脫模性能等進(jìn)行適當(dāng)選擇。
對于含銥層的厚度，優(yōu)選上限是1μm、0.5μm等，適于與該優(yōu)選上限結(jié)合的優(yōu)選下限為0.1μm、0.2μm等。
順便說一下，模制模具可以包含類金剛石碳(DLC)層代替含銥層或與含銥層結(jié)合。
使用該模制模具進(jìn)行模制的玻璃材料沒有特別限定，并且可以是任何玻璃材料。具體舉例為需要在高溫下模制的氧化硼硅酸鹽玻璃等。
至于使用該模制模具進(jìn)行模制的玻璃模制產(chǎn)品，具體舉例為用于多種用途的，例如光學(xué)元件例如玻璃透鏡、和用于光通信領(lǐng)域的玻璃基板和玻璃元件。
此外，獲得模制產(chǎn)品可以使用該玻璃模制模具，通過多種模制方法例如壓模和注入模制對玻璃材料進(jìn)行模制處理。
下面，說明模制模具的制備方法實(shí)施例。
該制備方法包括在基體表面上層壓金層、和在金層表面上層壓銠層的步驟。
順便說一下，在基體表面上層壓金層之前，根據(jù)需要可以提供預(yù)處理例如脫脂處理、除去鈍化膜和清洗。
此處，可以用多種方法將金層和銠層層壓在基體表面上。
至于形成金層和銠層的方法，具體舉例為包括物理汽相沉積的汽相沉積法(PVD)例如濺射方法、真空沉積方法、離子電鍍方法、MBE方法和激光燒蝕法，以及化學(xué)氣相淀積(CVD)例如熱CVD和等離子體CVD，以及液相方法，包括電鍍法例如電解電鍍和化學(xué)鍍、陽極氧化涂布、涂布方法和溶膠-凝膠法。此外，可以用相同的方法，或用不同的方法形成金層和銠層。
考慮到易于平面化模制模具表面，和與汽相沉積相比的低成本，特別優(yōu)選用電鍍法形成金層和銠層。
圖3A至3C是用于舉例說明通過汽相沉積和電鍍法形成的金層表面粗糙狀態(tài)差異的視圖。圖3A中，還沒有形成金層。圖3B展示了汽相沉積形成金層的情況，圖3C展示了電鍍法形成金層的情況。
如圖3A所示，在其上形成金層14之前，基體12通常在其表面上產(chǎn)生粗糙度相對較大的部分22和粗糙度相對較小的部分24。例如，加工模制模具中產(chǎn)生的痕跡形成粗糙度相對較大的部分22。
同時(shí)，例如，由加工模制模具中顆粒脫落和基體表面上存在的孔形成粗糙度相對較小的部分24。
當(dāng)通過汽相沉積在圖3A中所示的狀態(tài)下基體12表面上形成金層14時(shí)，平面化粗糙度相對小的部分24，同時(shí)難以平面化粗糙度相對較大的部分22，如圖3B所示。
另一方面，當(dāng)用電鍍法形成金層14時(shí)，容易平面化粗糙度相對小的部分24和粗糙度相對較大的部分22，如圖3C所示。
因此，具有容易獲得具有更小表面粗糙度的模制產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)。對在金層表面上形成銠層和進(jìn)一步在銠層表面上形成含銥層的情況也是如此。
當(dāng)采用電鍍法時(shí)，根據(jù)情況可以調(diào)整電鍍條件例如電鍍液的類型、電鍍的電流密度、電鍍時(shí)間、電鍍浴溫度、和在電鍍浴期間加入用于提供平面化性能的添加劑類型和量。
例如，對于電鍍的電流密度和電鍍時(shí)間，優(yōu)選選擇相對高的電鍍電流密度和短的電鍍時(shí)間，以便不會因?yàn)殡婂兾龀鲱w粒的變粗而減小機(jī)械強(qiáng)度，雖然這取決于電鍍液的類型。
對于金層的電鍍電流密度，優(yōu)選上限是6A/dm2、5A/dm2等，適于與該優(yōu)選上限結(jié)合的優(yōu)選下限是0.1A/dm2、0.2A/dm2等。
此外，唯一重要的是根據(jù)電鍍的電流密度調(diào)整電鍍時(shí)間，它優(yōu)選在60秒內(nèi)，更優(yōu)選在30秒內(nèi)，更加優(yōu)選在10秒內(nèi)。
同時(shí)，對于銠層的電鍍電流密度，優(yōu)選上限是6A/dm2、5A/dm2等，適于與該優(yōu)選上限結(jié)合的優(yōu)選下限是0.1A/dm2、0.2A/dm2等。
此外，唯一重要的是根據(jù)電鍍的電流密度調(diào)整電鍍時(shí)間，它優(yōu)選在30分鐘內(nèi)，更優(yōu)選在2分鐘內(nèi)，更加優(yōu)選在1分鐘內(nèi)。
當(dāng)采用電鍍法形成金層和/或銠層時(shí)，可以提供退火處理等以形成電鍍層。提供退火處理可以有效地防止由于小孔等導(dǎo)致的成分?jǐn)U散。
順便說一下，根據(jù)需要該生產(chǎn)方法可以進(jìn)一步包括在銠層的表面上層壓含銥層的步驟。在這種情況下，可以通過多種與金層和銠層相同的方法，優(yōu)選通過電鍍法層壓含銥層。
實(shí)施例在下文中，將參考實(shí)施例詳細(xì)說明本發(fā)明。
1.基體的制備和為其表面提供的預(yù)處理至于基體，制備通過燒結(jié)含12wt％鈷的碳化鎢粉末來制備燒結(jié)體。此外，該基體包含1000ppm或更少的鐵、鎳和鉻作為雜質(zhì)成分。
然后，對燒結(jié)成為預(yù)定形狀的基體表面使用NaOH水溶液進(jìn)行陽極電解處理和脫脂處理，溶解表面上存在的有機(jī)雜質(zhì)。然后，在60毫升/升包含EDTA(70克/升)和過氧化氫溶液(35wt％)的溶液中浸泡該基體，以除去基體表面上存在的鈍化膜。此外，用鹽酸然后用水清洗基體表面。
2.形成粘合層2.1形成方法1使用金觸擊電鍍浴(生產(chǎn)商Electroplating Engineers of Japan Ltd.，商品名“Neutronex Strike”)，在進(jìn)行預(yù)處理的基體表面上形成由金觸擊電鍍構(gòu)成的金層，電鍍條件為電鍍電流密度3A/dm2，電鍍浴溫度50℃。
此處，實(shí)施例1、3、4和5的電鍍時(shí)間分別設(shè)定為25秒。
2.2形成方法2用濺射方法在基體的表面上形成金層。
2.3形成方法3用濺射方法在基體的表面上形成鈮層。
3.形成抗擴(kuò)散層3.1形成方法1使用包含80克/升Rh2(SO4)3和180克/升硫酸的電鍍液，在電鍍電流密度1.3A/dm2、電鍍時(shí)間2.5分鐘和電鍍浴溫度45℃的條件下，在粘合層的表面上形成由銠電鍍構(gòu)成的銠層。
4.形成脫模層4.1形成方法1使用包含8克/升(NH4)2IrCl6和0.8克/升硫酸的電鍍液，在電鍍電流密度1.0A/dm2、電鍍時(shí)間5分鐘和電鍍浴溫度50℃的條件下，在抗擴(kuò)散層的表面上形成由銥電鍍構(gòu)成的銥層。
4.2形成方法2用濺射方法在抗擴(kuò)散層的表面上形成由銥-鉑合金(銥50wt％，鉑50wt％)構(gòu)成的銥-鉑層。
4.3形成方法3用濺射方法在抗擴(kuò)散層的表面上形成由銥-錸合金(銥50wt％，錸50wt％)構(gòu)成的銥-錸層。
5.粘合層和抗擴(kuò)散層的硬度測量通過對于在銅板上形成的約1μm厚的層上進(jìn)行維克斯硬度測量(根據(jù)JIS Z2244)，測量粘合層和抗擴(kuò)散層的硬度。此處，至于硬度測試儀，使用由Nanotec Corporation生產(chǎn)的“Nano Hardness Tester NHT”。順便說一下，也測量基體的維克斯硬度(根據(jù)JIS Z 2244)，得到2040(Hv)。
6.粘合層、抗擴(kuò)散層和脫模層的厚度測量使用聚焦的離子束(FIB)系統(tǒng)(生產(chǎn)商FEI Inc.，商品名“FIB 200”)對其進(jìn)行蝕刻后，通過在SIM(掃描離子顯微鏡)下觀察粘合層、抗擴(kuò)散層和脫模層，測量其厚度。此外，隨后公開的表1中厚度代表在樣品中心部分五個(gè)隨機(jī)選定點(diǎn)測量的厚度平均值。
7.粘合層和抗擴(kuò)散層的平均粒度測量使用上述聚焦的離子束(FIB)系統(tǒng)對其進(jìn)行蝕刻后，通過在SIM下觀察粘合層和抗擴(kuò)散層，測量其平均粒度。此外，下表1中的平均粒度代表對樣品中心部分十個(gè)隨機(jī)選擇的顆粒測量的粒度平均值。
8.耐用性評估對以下公開的表1所示實(shí)施例和對比例的玻璃模制模具進(jìn)行耐用性評估。具體地說，每個(gè)循環(huán)在800℃氬氣氛中保持玻璃模制模具1小時(shí)，然后冷卻至100℃，重復(fù)該循環(huán)20次。
然后，根據(jù)JIS D0202-1988規(guī)定的柵格粘性測試(grid adhesiontest)，在玻璃模制模具的每個(gè)最外層表面上緊緊粘住粘合帶(生產(chǎn)商N(yùn)ICHIBAN CO.，LTD.，商品名“CT24”)，然后剝離掉。
此處，100個(gè)區(qū)域中剝離區(qū)域數(shù)小于50的玻璃模制模具被認(rèn)為是合格的。此外，在下表2中，“X/100”(其中X是0至100的整數(shù))是指100個(gè)區(qū)域中觀察到X個(gè)區(qū)域中功能層的剝落。
9.抗擴(kuò)散作用評估對隨后公開的表1所示實(shí)施例和對比例的玻璃模制模具進(jìn)行抗擴(kuò)散作用評估。具體地說，在氬氣氛中于800℃下保持玻璃模制模具100小時(shí)，然后冷卻到室溫。
然后，通過俄歇(Auger)能譜，檢查表面層(抗擴(kuò)散層或脫模層)上鎢、鈷、鐵、鎳、鉻或金的存在，這些物質(zhì)是具有從下層擴(kuò)散可能性的成分。此外，至于成分檢測儀，使用由ULVAC-PHI，INCORPORATED生產(chǎn)的“Scanning Auger Microscope PH1700”。
此處，其中不同于表面層成分的成分不存在或不同于表面層成分的成分存在量為15原子％或更小的玻璃模制模具被認(rèn)為是合格的，判斷為防止了下層成分的擴(kuò)散。另一方面，其中不同于表面層成分的成分存在量大于15原子％的玻璃模制模具被認(rèn)為是不合格的，判斷為觀察到下層成分的擴(kuò)散。
表1提供了對于實(shí)施例和對比例的玻璃模制模具，在基體表面上形成的每個(gè)層的成分、維克斯硬度、厚度、平均粒度等的概括。此外，表2提供了實(shí)施例和對比例玻璃模制模具的評估結(jié)果概括。此外，在表2中，耐用性和抗擴(kuò)散作用評估都被認(rèn)為是合格的玻璃模制模具被認(rèn)為是綜合評估合格。




根據(jù)表1和表2，得出以下結(jié)論；其中銠層層壓在基體表面上、其間沒有金層的對比例1的玻璃模制模具中，以及其中使用鈮層代替金層、從而耐用性顯著相當(dāng)?shù)偷膶Ρ壤?的玻璃模制模具中觀察到銠層和含銥層的剝落。
此外，其中不形成銠層的對比例3的玻璃模制模具中，沒有充分阻止下層成分的擴(kuò)散。
另一方面，在實(shí)施例玻璃模制模具中，將銠層層壓到基體表面上，且其間具有金層的情況下，由于金層的存在銠層幾乎不剝離；因此耐用性優(yōu)異。
此外，實(shí)施例玻璃模制模具中，銠層有效地阻止了下層成分的擴(kuò)散。
10.玻璃模制產(chǎn)品的制備性能評估下面，使用實(shí)施例4和實(shí)施例5的玻璃模制模具通過實(shí)際壓模玻璃材料進(jìn)行玻璃模制產(chǎn)品制備性能評估。
具體地說，將進(jìn)行評估的玻璃模制模具放在玻璃元件真空成型機(jī)(生產(chǎn)商TOSHIBA MACHINE CO.，LTD.，商品名“GMP-207HV”)中，并且通過重復(fù)在700℃下壓模玻璃材料(生產(chǎn)商OHARA INC.，商品名“Optical Glass S-BSL7”)、降溫至200℃、并取出玻璃的模制循環(huán)來制備玻璃模制產(chǎn)品。
然后，統(tǒng)計(jì)在不能正常從模制模具中取出玻璃模制產(chǎn)品之前的循環(huán)次數(shù)。
結(jié)果，實(shí)施例4玻璃模制模具的循環(huán)次數(shù)是100，實(shí)施例5玻璃模制模具的循環(huán)次數(shù)是200或更大，是實(shí)施例4的兩倍或更大。
因此，表明選擇銥-錸層作為脫模層的含銥層可以進(jìn)一步提高耐用性，特別是高溫下耐用性。
為了說明和例舉給出優(yōu)選實(shí)施方式和實(shí)施例模制模具的上述說明。但它不是用于詳盡或?qū)⒈景l(fā)明限制在確切公開的形式，根據(jù)上述教導(dǎo)可以進(jìn)行改變和變化，或可以從實(shí)踐本發(fā)明獲得。選擇和描述的實(shí)施方案是為了解釋本發(fā)明的原理和其實(shí)際應(yīng)用，從而使得本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠以多種實(shí)施方案和適于特定預(yù)期用途的多種變化利用本發(fā)明。本發(fā)明范圍由所附權(quán)利要求和其等效物限定。
權(quán)利要求
1.一種玻璃模制模具，包括基體；層壓在基體表面上的金層；和層壓在金層表面上的銠層。
2.權(quán)利要求1的玻璃模制模具，其中金層和銠層中的至少一種是通過電鍍形成的。
3.權(quán)利要求2的玻璃模制模具，進(jìn)一步包含層壓在銠層表面上的含銥層。
4.權(quán)利要求3的玻璃模制模具，其中含銥層是銥-錸層。
5.權(quán)利要求4的玻璃模制模具，其中通過電鍍形成含銥層。
6.權(quán)利要求3的玻璃模制模具，其中通過電鍍形成含銥層。
7.一種玻璃模制產(chǎn)品，其通過使用權(quán)利要求3的玻璃模制模具模制而成。
8.一種玻璃模制產(chǎn)品的制備方法，包括通過使用權(quán)利要求3的玻璃模制模具模制玻璃材料的步驟。
9.一種玻璃模制產(chǎn)品，其通過使用權(quán)利要求2的玻璃模制模具模制而成。
10.一種玻璃模制產(chǎn)品的制備方法，包括通過使用權(quán)利要求2的玻璃模制模具模制玻璃材料的步驟。
11.權(quán)利要求1的玻璃模制模具，進(jìn)一步包含層壓在銠層表面上的含銥層。
12.權(quán)利要求11的玻璃模制模具，其中含銥層是銥-錸層。
13.權(quán)利要求12的玻璃模制模具，其中通過電鍍形成含銥層。
14.一種玻璃模制產(chǎn)品，其通過使用權(quán)利要求12的玻璃模制模具模制而成。
15.一種玻璃模制產(chǎn)品的制備方法，包括通過使用權(quán)利要求12的玻璃模制模具模制玻璃材料的步驟。
16.權(quán)利要求11的玻璃模制模具，其中通過電鍍形成含銥層。
17.一種玻璃模制產(chǎn)品，其通過使用權(quán)利要求11的玻璃模制模具模制而成。
18.一種玻璃模制產(chǎn)品的制備方法，包括通過使用權(quán)利要求11的玻璃模制模具模制玻璃材料的步驟。
19.一種玻璃模制產(chǎn)品，其通過使用權(quán)利要求1的玻璃模制模具模制而成。
20.一種玻璃模制產(chǎn)品的制備方法，包括通過使用權(quán)利要求1的玻璃模制模具模制玻璃材料的步驟。
全文摘要
提供一種比傳統(tǒng)玻璃模制模具耐用性更優(yōu)異的玻璃模制模具。玻璃模制模具10包括基體12、層壓在基體12表面上的金層14、和層壓在金層14表面上的銠層16。在銠層16的表面上，可以進(jìn)一步層壓含銥的層。金層14起到粘合層的作用，銠層16起抗擴(kuò)散層的作用，含銥層起脫模層的作用。優(yōu)選通過電鍍形成金層14、銠層16和含銥層。
文檔編號C03B11/06GK101024550SQ20071000534
公開日2007年8月29日 申請日期2007年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月23日
發(fā)明者板倉弘樹, 蓑島涼 申請人:東海橡膠工業(yè)株式會社