專利名稱：圓切方卡具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于晶體切割加工卡具范圍，特別涉及一種晶圓切方卡具。
背景技術(shù)：
目前晶圓切方采用兩次粘接技術(shù)切割。即一次粘接切片，二次粘接才能切方。 此方法比較繁瑣，耗時(shí)較長(zhǎng)，在二次粘接前要經(jīng)過(guò)加熱去膠，會(huì)使晶體產(chǎn)生新的 應(yīng)力，降低晶體質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的采用兩次粘接技術(shù)才能切割完成切方 的不足，提供一種通過(guò)一次粘接就能夠完成切方的晶圓切方卡具。 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取以下設(shè)計(jì)方案。
尾架1固定在固定板2上，固定板2垂直于連接臂3，在連接臂3的下部由 固定螺母6通過(guò)定位條5將旋轉(zhuǎn)砣4固定在連接臂3上。 所述尾架1的旋轉(zhuǎn)范圍為0 90度旋轉(zhuǎn)。 所述旋轉(zhuǎn)砣4上粘接晶錠7。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在切割過(guò)程中不用停刀即可完成旋轉(zhuǎn)90度。能大大提 高切割效率。

圖1為晶圓切方卡具結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型提供一種通過(guò)一次粘接就能夠完成切方的晶圓切方卡具。在圖1 所示的晶圓切方卡具結(jié)構(gòu)示意圖中，尾架1固定在固定板2上，固定板2垂直于 連接臂3，在連接臂3的下部由固定螺母6通過(guò)定位條5將旋轉(zhuǎn)砣4固定在連接 臂3上。切割前先在旋轉(zhuǎn)砣4上粘接晶錠7，刀片8對(duì)準(zhǔn)接晶錠7，然后切片， 切完片，松開固定螺母6，旋轉(zhuǎn)砣4旋轉(zhuǎn)90度后固定即可切方；因此，本實(shí)用新 型提供晶圓切方卡具只通過(guò)一次粘接就能夠完成切方的切割工藝?？朔F(xiàn)有技術(shù) 的采用兩次粘接技術(shù)才能切割完成切方的不足，大大提高切割效率。
權(quán)利要求1.一種晶圓切方卡具，其特征在于，尾架(1)固定在固定板(2)上，固定板(2)垂直于連接臂(3)，在連接臂(3)的下部由固定螺母(6)通過(guò)定位條(5)將旋轉(zhuǎn)砣(4)固定在連接臂(3)上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓切方卡具，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)砣(4)的旋 轉(zhuǎn)范圍為0 90度旋轉(zhuǎn)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓切方卡具，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)砣(4)上粘 接晶錠(7)。
專利摘要本實(shí)用新型屬于晶體切割加工卡具范圍，特別涉及一種晶圓切方卡具。尾架固定在固定板上，固定板垂直連接臂，定位條固定旋轉(zhuǎn)角度，在旋轉(zhuǎn)砣上粘接晶錠。該卡具只通過(guò)一次粘接就能夠完成切方的切割工藝?？朔F(xiàn)有技術(shù)的采用兩次粘接技術(shù)才能切割完成切方的不足，大大提高切割效率。
文檔編號(hào)B28D5/00GK201061901SQ20072014928
公開日2008年5月21日 申請(qǐng)日期2007年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月24日
發(fā)明者馮德伸, 閔振東 申請(qǐng)人:北京有色金屬研究總院;北京國(guó)晶輝紅外光學(xué)科技有限公司