專利名稱：高純石英管真空封結(jié)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及石英制品加工領(lǐng)域，具體是一種晶體生長用高純石英管真空封結(jié)裝置。
技術(shù)背景半導(dǎo)體(如碲鋅鎘、碲鎘汞)單晶體的制備的主要方法之一是高溫熔體生長。由于生長 溫度高、熱導(dǎo)率低、蒸汽壓高等生長條件，所用坩堝需要密閉，而且要耐高溫、耐高壓。高 純石英玻璃管是這種坩堝的理想材料。但是高純石英玻璃管的軟化點(diǎn)為140(T1500。C或更高。 高質(zhì)量的坩堝燒結(jié)十分困難?，F(xiàn)有的石英管封結(jié)工藝，多是單噴槍燒結(jié)，缺乏專用裝置，依 靠操作者的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行封結(jié)，效率低下，封接的可靠性也較低。熟練技工的培養(yǎng)耗時(shí)長、費(fèi)用 高。大直徑、厚壁石英玻璃管的封接更是困難重重。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種能克服上述缺陷、操作簡便易于掌握、可靠性與封接效率高、 還可適應(yīng)于不同長度不同直徑的石英管的高純石英管真空封結(jié)裝置。其技術(shù)方案為包括噴槍，其特征在于噴槍有三條，增設(shè)上端敞口的箱體狀支架、噴槍固定板、多根 導(dǎo)軌、管托和托架；其中多根導(dǎo)軌水平貫穿固定在箱體狀支架相向的兩側(cè)壁上；托架的底部 套裝在位于下方的導(dǎo)軌上，其頂部通過螺紋套筒與管托固定連接；噴槍固定板套裝在多根導(dǎo) 軌上可沿導(dǎo)軌滑動，其對應(yīng)于導(dǎo)軌的位置設(shè)有定位螺釘；三條噴槍呈輻射狀安裝在噴槍固定 板上，其噴頭呈正三角形，正三角形的中心對應(yīng)于欲封接石英管的軸心；固定有導(dǎo)軌的箱體 狀支架相向的兩側(cè)壁上和噴槍固定板上均設(shè)有安裝石英管的通孔，通孔內(nèi)鑲嵌電木圈。所述的高純石英管真空封結(jié)裝置，在噴槍固定板的通孔處、且在噴槍固定板遠(yuǎn)離噴槍的 一側(cè)設(shè)有固定石英管的固定管卡，用于控制石英管的轉(zhuǎn)動。所述的高純石英管真空封結(jié)裝置，托架的上端為螺桿，通過螺紋套筒與下方帶有螺桿的 管托連接，轉(zhuǎn)動套筒即可調(diào)節(jié)管托的高度。所述的高純石英管真空封結(jié)裝置，噴槍設(shè)有帶孔的且緊貼噴槍固定板的固定翼，噴槍周 定板對應(yīng)于固定翼設(shè)有使三噴槍構(gòu)成的正三角同比例縮放的一組固定孔，每組固定孔中相鄰厘米或者數(shù)厘米，以適應(yīng)于不同直徑的石英管封結(jié)。 本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)1、 采用三個等角度輻射狀安置的噴槍加熱，管壁升溫快而均勻，提高了封結(jié)速度和可靠 性。大直徑厚壁玻璃管也能進(jìn)行有效的封結(jié)。2、 在安裝石英管的通孔內(nèi)鑲嵌不同內(nèi)徑的電木圈，調(diào)節(jié)托架軸向位置與管托的高度，調(diào) 節(jié)噴槍位置，可以實(shí)現(xiàn)對不同直徑、不同長度的石英管的封結(jié)。3、 采用箱體狀支架，并配以導(dǎo)軌和噴槍固定板固定噴槍等，噴槍無需人工手持，操作簡 便，易于掌握，降低了勞動強(qiáng)度。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1所示實(shí)施例的A-A剖視圖。圖中1、箱體狀支架2、導(dǎo)軌 3、電木圈 4、管托 5、噴槍6、定位螺釘 7、 固定孔8、固定翼9、真空抽氣接口 10、噴槍供氣管 11、橡膠塞 12、固定管卡 13、噴槍固定板 14、通孔 15、螺紋套筒16、托架具體實(shí)施方式
在圖1 2所示的實(shí)施例中箱體狀支架l上端敞口，四根導(dǎo)軌2通過螺栓水平貫穿固定 在箱體狀支架l相向的兩側(cè)壁上，且四根導(dǎo)軌2的橫截面構(gòu)成正方形；噴槍固定板13套裝在 四根導(dǎo)軌2上并可以沿著導(dǎo)軌滑動，其對應(yīng)于位于導(dǎo)軌2的位置設(shè)有定位螺釘6;三條噴槍5 呈輻射狀安裝在噴槍固定板13上，其噴頭呈正三角形，正三角形的中心對應(yīng)于欲封接石英管 的軸心；托架16的底部套裝在位于下方的兩導(dǎo)軌2上可沿導(dǎo)軌2滑動，托架16的上端為螺 桿，通過螺紋套筒15與下方帶有螺桿的管托4連接，轉(zhuǎn)動螺紋套筒15即可調(diào)節(jié)管托4的高 度；固定有導(dǎo)軌2的箱體狀支架1相向的兩側(cè)壁上和噴槍固定板13上均設(shè)有安裝石英管的通 孔14，通孔14內(nèi)鑲嵌電木圈3。在噴槍固定板13的通孔14處、且在噴槍固定板13遠(yuǎn)離噴 槍5的一側(cè)設(shè)有固定石英管的固定管卡12。噴槍5設(shè)有帶孔的且緊貼噴槍固定板13的固定 翼8，噴槍固定板13對應(yīng)于固定翼8設(shè)有使三噴槍5構(gòu)成的正三角同比例縮放的一組固定孔 7，每組固定孔7中相鄰固定孔7的間距為1厘米，這樣可以調(diào)節(jié)三噴槍5構(gòu)成的正三角的大 小，以適應(yīng)不同直徑的石英管。權(quán)利要求
1、一種高純石英管真空封結(jié)裝置，包括噴槍(5)，其特征在于噴槍(5)有三條，增設(shè)上端敞口的箱體狀支架(1)、噴槍固定板(13)、多根導(dǎo)軌(2)、管托(4)和托架(16)，其中多根導(dǎo)軌(2)通過螺栓水平貫穿固定在箱體狀支架(1)相向的兩側(cè)壁上；噴槍固定板(13)套裝在多根導(dǎo)軌(2)上可沿導(dǎo)軌(2)滑動，其對應(yīng)于導(dǎo)軌(2)的位置設(shè)有定位螺釘(6)；三條噴槍(5)呈輻射狀安裝在噴槍固定板(13)上，其噴頭呈正三角形，噴頭指向正三角形的中心，亦即欲封接石英管的軸心；托架(16)的底部套裝在位于下方的導(dǎo)軌(2)上，其頂部螺桿通過螺紋套筒(15)與管托(4)連接；固定有導(dǎo)軌(2)的箱體狀支架(1)相向的兩側(cè)壁上和噴槍固定板(13)上均設(shè)有安裝石英管的通孔(14)，通孔(14)內(nèi)鑲嵌電木圈(3)。
2、 如權(quán)利要求l所述的高純石英管真空封結(jié)裝置，其特征在于托架(16)的上端為螺 桿，通過螺紋套筒(15)與下方帶有螺桿的管托(4)連接。
3、 如權(quán)利要求1所述的高純石英管真空封結(jié)裝置，其特征在于噴槍(5)設(shè)有帶孔的 且緊貼噴槍固定板(13)的固定翼(8),噴槍固定板(13)對應(yīng)于固定翼(8)設(shè)有使三噴槍(5)構(gòu)成的正三角同比例縮放的一組固定孔(7)。
4、 如權(quán)利要求1所述的高純石英管真空封結(jié)裝置，其特征在于在噴槍固定板(13)的 通孔處、且在噴槍固定板(13)遠(yuǎn)離噴槍(5)的一側(cè)設(shè)有固定石英管的固定管卡(12)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種高純石英管真空封結(jié)裝置，包括噴槍，其特征在于噴槍有三條，增設(shè)上端敞口的箱體狀支架、噴槍固定板、多根導(dǎo)軌、管托和托架；其中多根導(dǎo)軌水平貫穿固定在箱體狀支架相向的兩側(cè)壁上；托架的底部套裝在位于下方的導(dǎo)軌上，其頂部通過螺紋套筒與管托固定連接；噴槍固定板套裝在多根導(dǎo)軌上可沿導(dǎo)軌滑動，其對應(yīng)于導(dǎo)軌的位置設(shè)有定位螺釘；三條噴槍呈輻射狀安裝在噴槍固定板上，其噴頭呈正三角形，正三角形的中心對應(yīng)于欲封接石英管的軸心；固定有導(dǎo)軌的箱體狀支架相向的兩側(cè)壁上和噴槍固定板上均設(shè)有安裝石英管的通孔，通孔內(nèi)鑲嵌電木圈。本發(fā)明操作簡便，加熱均勻，封結(jié)速度快，可適應(yīng)于不同長度、不同直徑的石英管的真空封結(jié)。
文檔編號C03B20/00GK101250022SQ200810015428
公開日2008年8月27日 申請日期2008年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月20日
發(fā)明者劉俊成, 濤 沈, 王友林, 翟慎秋 申請人:山東理工大學(xué)