專利名稱：大屏幕薄膜晶體管模組減薄液及其生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種化工產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝，特別是用于加工玻璃的減薄液的 生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
技術(shù)背景當(dāng)前大屏幕薄膜晶體管(TFT)模組加工企業(yè)生產(chǎn)中所使用的減薄液主 要以大顆粒稀土氧化物粉做減薄摩擦劑，總體減薄速率低，分散穩(wěn)定性差， 容易導(dǎo)致嚴(yán)重的表面劃傷，還存在平化減薄效率低等缺陷。長(zhǎng)時(shí)間減薄往往 大大降低減薄效率，造成減薄機(jī)的迅速磨損，生產(chǎn)效率低，以及大量的耗材 消費(fèi)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明目的在于發(fā)明一種分散穩(wěn)定性好、平化減薄效率高、不損傷減薄 機(jī)的大屏幕薄膜晶體管(TFT)模組減薄液。本發(fā)明的有效成份為稀土氧化物、分子量小于500的非離子性水溶性有 機(jī)聚合物、分子量小于200的多聚硅酸鹽和有機(jī)酸，減薄液的pH值為5 8。本發(fā)明產(chǎn)品懸浮性強(qiáng)，不宜沉積，分散穩(wěn)定性好，在對(duì)大屏幕薄膜晶體 管(TFT)模組加工時(shí)，減薄效果穩(wěn)定，表面缺陷低，減薄無(wú)劃痕，可有效 提高平化減薄效率，減薄效率可達(dá)699納米/分鐘，且不易造成對(duì)減薄機(jī)的 損傷。本發(fā)明的第二個(gè)目的還在于為上述大屏幕薄膜晶體管(TFT)模組減薄 液提供一種可行的生產(chǎn)方法。 包括以下步驟1) 將稀土氧化物顆粒分散在水中，制成稀土氧化物懸浮液；2) 將多聚硅酸鹽加入懸浮液中，制成稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液；3) 調(diào)整稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液的pH為5 8;4) 將稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液升溫至20 9(TC，保溫0.1 6小時(shí)后降溫至10 25°C，加入非離子性水溶性有機(jī)聚合物以及有機(jī)酸，再 調(diào)節(jié)稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液的pH值至5 8;其中，稀土氧 化物與加入的非離子性水溶性有機(jī)聚合物的質(zhì)量比為1 : 0.002 0.2，稀土氧 化物與加入的有機(jī)酸的質(zhì)量比為1 : 0.002 0.2 。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單、易于操作，方便生產(chǎn)，生產(chǎn)效率高，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。 本發(fā)明中，稀土氧化物占減薄液總重量的0.001% 50%，非離子性水溶 性有機(jī)聚合物占減薄液的總重量的0.001% 50%多聚硅酸鹽占減薄液的總 重量的0.01% 50%，有機(jī)酸占減薄液的總重量的0.001% 20%。 步驟l)中稀土氧化物與水的質(zhì)量比為1 : 3 30。 步驟2)中稀土氧化物與多聚硅酸鹽的質(zhì)量比為1 : 0.1 20 。 另，上述生產(chǎn)方法中，步驟4)后，可再向稀土氧化物、多聚硅酸鹽的 混合懸浮液加入添加劑，所述添加劑為有機(jī)磷酸鹽或有機(jī)胺或醇胺或聚環(huán)乙 氧烷或聚丙烯酸或聚氨酯或無(wú)機(jī)可溶性硅鋁酸鹽，加入述添加劑的目的是改 進(jìn)減薄液的流變性，能制成懸浮性更高的減薄液。稀土氧化物與所述添加劑的質(zhì)量比為1 : 0.001 0.1。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例一 1、制備方法稱取750克稀土氧化物，加入4517克水中，室溫下攪拌均勻，制成稀 土氧化物懸浮液。向稀土氧化物懸浮液加入500克摩爾比2.1的多聚硅酸 鹽(如水玻璃Na20.nSi02或K20.nSi02)，攪勻，制成稀土氧化物、多聚硅酸 鹽混合懸浮液。采用磷酸調(diào)節(jié)pH值至8。將稀土氧化物、多聚硅酸鹽混合懸浮液溫度升至20 90°C，保溫0.1 6 小時(shí)后降溫至10 25 °C，再采用磷酸將pH調(diào)到8。為了制成懸浮性能更高的減薄液，還可再向pH:8的稀土氧化物、多聚硅酸鹽混合懸浮液加入200克，400克，500克的非離子性水溶性有機(jī)聚合 物，如有機(jī)磷酸酯或有機(jī)胺或醇胺或聚環(huán)乙氧烷或聚丙烯酸或聚氨酯。再加 入草酸或其他的有機(jī)酸100克，并把pH值調(diào)到7。2、應(yīng)用實(shí)例將所制樣品在Logitech CDP單面減薄機(jī)上減薄。下壓lpsi，下盤以及 載盤轉(zhuǎn)速50RPM，減薄液流速100ml/分鐘。該系列減薄液減薄速率分別 為450， 720， 655，納米/分鐘，玻璃表面無(wú)劃痕，減薄機(jī)無(wú)損傷。實(shí)施例二1、 制備方法稱取350克稀土氧化物，加入3984克水中，室溫下攪拌均勻，制成稀 土氧化物懸浮液。向稀土氧化物懸浮液加入666克摩爾比2.1的硅酸鉀， 進(jìn)一步攪勻，制成稀土氧化物、硅酸鉀混合懸浮液。再用鹽酸調(diào)整pH為8 12。將稀土氧化物、硅酸鉀混合懸浮液的溫度升至60。C，保溫2小時(shí)±0.2 小時(shí)后再降溫至g。C，加入300克的非離子性水溶性有機(jī)聚合物，如有機(jī) 磷酸酯或有機(jī)胺或醇胺或聚環(huán)乙氧烷或聚丙烯酸或聚氨酯。再加入鄰苯二甲 酸10， 30， 50克，以及l(fā)克辛烷聚環(huán)氧乙烷磷酸酯。用鹽酸調(diào)pH值到7。2、 應(yīng)用實(shí)例將所制樣品在Logitech CDP單面減薄機(jī)上減薄。下壓lpsi，下盤以及 載盤轉(zhuǎn)速50RPM，減薄液流速100ml/分鐘。該減薄液減薄速率為526， 821， 649納米/分鐘，玻璃表面無(wú)劃痕，減薄機(jī)無(wú)損傷。實(shí)施例三1、制備方法A:稱取O.IO克稀土氧化物，加入4933克水中，室溫下攪拌均勻，制 成稀土氧化物懸浮液。向稀土氧化物懸浮液加入100克摩爾比2.1的硅酸 鉀，進(jìn)一步攪勻，制成稀土氧化物、硅酸鉀混合懸浮液。再用鹽酸調(diào)整pH為8。將稀土氧化物、硅酸鉀混合懸浮液的溫度升至60。C，保溫2小時(shí)±0.2 小時(shí)后再降溫至21。C，再采用鹽酸調(diào)pH值到8。B:稱取2500克稀土氧化物，加入1167克水中，室溫下攪拌均勻，制 成稀土氧化物懸浮液。向稀土氧化物懸浮液加入1333克摩爾比2.1的硅酸 鉀，進(jìn)一步攪勻，制成稀土氧化物、硅酸鉀混合懸浮液。再用鹽酸調(diào)整pH 12。將稀土氧化物、硅酸鉀混合懸浮液的溫度升至60。C，保溫2小時(shí)士0.2 小時(shí)后再降溫至^。C，再采用鹽酸調(diào)pH值到5。 稱取200克以上合成 的懸浮液，加入1800克水，攪拌均勻，再加入200克的添加劑，如有機(jī)磷 酸鹽或有機(jī)胺或醇胺或聚環(huán)乙氧烷或聚丙烯酸或聚氨酯或無(wú)機(jī)可溶性硅鋁酸 鹽。再加入對(duì)氨基苯甲酸30克，以及1克辛垸聚環(huán)氧乙烷磷酸酯。用鹽酸 調(diào)pH值到5。C:稱取350克稀土氧化物，加入2850克水中，室溫下攪拌均勻，制成 稀土氧化物懸浮液。向稀土氧化物懸浮液加入2500克摩爾比2.1的硅酸 鉀，進(jìn)一步攪勻，制成稀土氧化物、硅酸鉀混合懸浮液。再用鹽酸調(diào)整pH 為8 12。將稀土氧化物、硅酸鉀混合懸浮液的溫度升至60。C，保溫2小時(shí)±0.2 小時(shí)后再降溫至^。C,再采用鹽酸調(diào)pH值到6.再加入檸檬酸30克，以 及1克癸烷聚環(huán)氧乙垸磷酸酯。用鹽酸調(diào)pH值到6。2、應(yīng)用實(shí)例將所制樣品在Logitech CDP單面減薄機(jī)上減薄。下壓lpsi，下盤以及 載盤轉(zhuǎn)速50RPM，減薄液流速100ml/分鐘。該系列減薄液減薄速率分別 為為A:411， B:935 (加入氨基苯甲酸以及辛垸聚環(huán)氧乙烷磷酸酯的拋光 液拋光速率大大提高)，C: 823納米/分鐘(加入檸檬酸，癸垸聚環(huán)氧乙烷 磷酸酯的拋光液拋光速率提高，并且表面粗糙度降低，表面亮度增強(qiáng))，玻璃 表面無(wú)劃痕，減薄機(jī)無(wú)損傷。
權(quán)利要求
1、大屏幕薄膜晶體管模組減薄液，其特征在于有效成份為稀土氧化物、分子量小于500的非離子性水溶性有機(jī)聚合物、分子量小于200的多聚硅酸鹽和有機(jī)酸，減薄液的pH值為5～8。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述大屏幕薄膜晶體管模組減薄液，其特征在于稀土 氧化物占減薄液總重量的0.001% 50%，非離子性水溶性有機(jī)聚合物占減薄 液的總重量的0.001% 50%多聚硅酸鹽占減薄液的總重量的0.01% 50%， 有機(jī)酸占減薄液的總重量的0.001% 20%。
3、 一種如權(quán)利要求1所述大屏幕薄膜晶體管模組減薄液的生產(chǎn)方法，其 特征在于包括以下步驟1) 將稀土氧化物顆粒分散在水中，制成稀土氧化物懸浮液；2) 將多聚硅酸鹽加入懸浮液中，制成稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合 懸浮液；3) 調(diào)整稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液的pH為5 8;4) 將稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液升溫至20 9(TC，保溫0.1 6小時(shí)后降溫至10 25。C，加入非離子性水溶性有機(jī)聚合物以及有機(jī)酸，再 調(diào)節(jié)稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液的pH值至5 8;其中，稀土氧 化物與加入的非離子性水溶性有機(jī)聚合物的質(zhì)量比為1 : 0.002 0.2，稀土氧 化物與加入的有機(jī)酸的質(zhì)量比為1 : 0.002 0.2 。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述大屏幕薄膜晶體管模組減薄液的生產(chǎn)方法，其特 征在于步驟l)中稀土氧化物與水的質(zhì)量比為1 : 3 30。
5、 根據(jù)權(quán)利要求3所述大屏幕薄膜晶體管模組減薄液的生產(chǎn)方法，其特 征在于步驟2)中稀土氧化物與多聚硅酸鹽的質(zhì)量比為1 : 0.1 20 。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3或4或5所述大屏幕薄膜晶體管模組減薄液的生產(chǎn)方 法，其特征在于步驟4)后，再向稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液加 入添加劑，所述添加劑為有機(jī)磷酸鹽或有機(jī)胺或醇胺或聚環(huán)乙氧垸或聚丙烯 酸或聚氨酯或無(wú)機(jī)可溶性硅鋁酸鹽。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述大屏幕薄膜晶體管模組減薄液的生產(chǎn)方法，其特 征在于稀土氧化物與所述添加劑的質(zhì)量比為1 : 0.001 0.1。
全文摘要
大屏幕薄膜晶體管模組減薄液及其生產(chǎn)方法，涉及一種化工產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝，特別是用于加工玻璃的減薄液的生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。將多聚硅酸鹽加入稀土氧化物懸浮液中，調(diào)整稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液的pH為5～8；將稀土氧化物、多聚硅酸鹽的混合懸浮液升溫至20～90℃，經(jīng)保溫后降溫至10～25℃，再加入非離子性水溶性有機(jī)聚合物以及有機(jī)酸，調(diào)節(jié)混合懸浮液的pH值至5～8。本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單、易于操作，產(chǎn)品懸浮性強(qiáng)，不宜沉積，分散穩(wěn)定性好，在對(duì)大屏幕薄膜晶體管模組加工時(shí)，減薄效果穩(wěn)定，表面缺陷低，減薄無(wú)劃痕，可有效提高平化減薄效率，減薄效率可達(dá)699納米/分鐘，且不易造成對(duì)減薄機(jī)的損傷。
文檔編號(hào)C03C15/00GK101239785SQ200810020778
公開(kāi)日2008年8月13日 申請(qǐng)日期2008年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月26日
發(fā)明者韜 孫 申請(qǐng)人:韜 孫