專利名稱：一種多線切割機(jī)的制作方法
一種多線切割機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種將硅單晶錠切割加工成硅片的多線切割機(jī)，尤其涉及一種
DS265型多線切割機(jī)。背景技術(shù)：
現(xiàn)有DS265型硅單晶錠多線切割機(jī)結(jié)構(gòu)，包括機(jī)殼，以及設(shè)置在機(jī)殼內(nèi)的 切割室、排線裝置和傳動(dòng)裝置等。切割室的上方設(shè)有工件臺(tái)，工件臺(tái)下方設(shè)置 導(dǎo)輪、固定軸承、活動(dòng)軸承，導(dǎo)輪分為主導(dǎo)輪、從導(dǎo)輪，切割線從主導(dǎo)輪的內(nèi) 側(cè)進(jìn)線，環(huán)繞從導(dǎo)輪后從主導(dǎo)輪的外側(cè)出線，形成一網(wǎng)狀切割面。在工件臺(tái)與 網(wǎng)狀切割面之間的切割室內(nèi)壁上設(shè)有沙漿噴嘴。作業(yè)時(shí)，工件安裝在與工件臺(tái) 連接的工件夾具上，工件夾具可攜帶著工件相對(duì)網(wǎng)狀切割面升降，沙漿噴嘴噴 出切割液，均勻布在網(wǎng)狀切割面上，切割液包裹切割線對(duì)工件即硅單晶錠進(jìn)行 切割。切割后，切割液下落到置放在切割室底部的漿液箱內(nèi)，通過(guò)沙漿泵沙漿 液循環(huán)使用?，F(xiàn)有DS265多線切割機(jī)盡管在切割室的底部漿液箱內(nèi)設(shè)有過(guò)濾網(wǎng)， 但是，由于該過(guò)濾網(wǎng)與切割工件相距一定高度，從切割面掉下的破碎硅片，受 漿液沖擊、機(jī)體碰撞會(huì)進(jìn)一步破碎，更細(xì)小的破碎硅片會(huì)穿越過(guò)濾網(wǎng)再次進(jìn)入 工作循環(huán)、流動(dòng)使用，從而存在過(guò)濾網(wǎng)過(guò)濾不凈、破碎硅片進(jìn)入工作循環(huán)影響 硅片產(chǎn)品質(zhì)量，致使產(chǎn)品合格率低，同時(shí)，破碎硅片也容易造成切割線跳線、 斷線，影響切割機(jī)正常工作。

發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，本發(fā)明旨在提供一種結(jié)構(gòu)新型的多線切割 機(jī)，該切割機(jī)作業(yè)時(shí)，切割過(guò)程中產(chǎn)生的碎硅片能夠及時(shí)得到過(guò)濾，從而消除 影響切割機(jī)正常工作的不利因素。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案，這種多線切割機(jī)的結(jié)構(gòu)包 括機(jī)殼，機(jī)殼內(nèi)設(shè)有切割室，切割室左側(cè)設(shè)有排線裝置，切割室的上方設(shè)置工 件臺(tái)，工件臺(tái)下方設(shè)有導(dǎo)輪、固定軸承、活動(dòng)軸承，導(dǎo)輪分為主導(dǎo)輪、從導(dǎo)輪， 切割線從主導(dǎo)輪的內(nèi)側(cè)進(jìn)線，環(huán)繞從導(dǎo)輪后從主導(dǎo)輪的外側(cè)出線，形成一網(wǎng)狀 切割面，其特征是在所述網(wǎng)狀切割面的正下方設(shè)置了一活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)。
如上所述的一種多線切割機(jī)，其特征是活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)的網(wǎng)面與主導(dǎo)輪、從 導(dǎo)輪的下平面相距5—10厘米。
如上所述的切割機(jī)，其特征是活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)的網(wǎng)面與網(wǎng)狀切割面為平行設(shè)置。
有益效果在主導(dǎo)輪和從導(dǎo)輪的下方增設(shè)一活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)后，從切割面掉下 的碎硅片能夠及時(shí)擱置在過(guò)濾網(wǎng)上，因此，可有效防止碎硅片受漿液沖擊、機(jī) 體碰撞會(huì)進(jìn)一步破碎，從而穿越過(guò)濾網(wǎng)再次循環(huán)、流動(dòng)使用的現(xiàn)象發(fā)生，過(guò)濾 效果好。


圖1為本發(fā)明所涉及的一種多線切割機(jī)的局部結(jié)構(gòu)，目卩打開機(jī)體后切割 室的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中過(guò)濾網(wǎng)l，主導(dǎo)輪2，切割室壁3，從導(dǎo)輪4，切割線5，網(wǎng)狀切割面 6，切割室7。
具體實(shí)施方式
參見圖l。由切割室壁3所圍成的切割室內(nèi)，主導(dǎo)輪2、從導(dǎo)輪4經(jīng)固定 軸承、活動(dòng)軸承等部件，設(shè)置定位。切割線5環(huán)繞主導(dǎo)輪2、從導(dǎo)輪4后，在兩 輪的間隙處形成網(wǎng)狀切割面6。工件安裝在與工件臺(tái)連接的工件夾具上，工件夾 具可攜帶著工件相對(duì)網(wǎng)狀切割面6升降，沙槳噴嘴噴出切割液，均勻布在網(wǎng)狀 切割面上，切割液包裹切割線對(duì)工件即硅單晶錠進(jìn)行切割。
本發(fā)明的創(chuàng)新點(diǎn)僅在主導(dǎo)輪2、從導(dǎo)輪4的下方設(shè)置了一張過(guò)濾網(wǎng)1，該網(wǎng) 的網(wǎng)目大小以確保切割液能正常流動(dòng)即可。過(guò)濾網(wǎng)1為抽拉式、平行設(shè)置，利 用工作間隙可以及時(shí)清理過(guò)濾物，為達(dá)到更好的過(guò)濾效果，過(guò)濾網(wǎng)1的網(wǎng)面與 兩只導(dǎo)輪的下平面應(yīng)盡量靠近設(shè)置， 一般以相距5 — 10厘米為好。
權(quán)利要求
1、一種多線切割機(jī)，包括機(jī)殼，機(jī)殼內(nèi)設(shè)有切割室(7)，切割室(7)左側(cè)設(shè)有排線裝置，切割室(7)的上方設(shè)置工件臺(tái)，工件臺(tái)下方設(shè)有導(dǎo)輪、固定軸承、活動(dòng)軸承，導(dǎo)輪分為主導(dǎo)輪(2)、從導(dǎo)輪(4)，切割線(5)從主導(dǎo)輪(2)的內(nèi)側(cè)進(jìn)線，環(huán)繞從導(dǎo)輪(4)后從主導(dǎo)輪(2)的外側(cè)出線，形成一網(wǎng)狀切割面(6)，其特征是在所述網(wǎng)狀切割面(6)的正下方設(shè)置了一活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)(1)。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種多線切割機(jī)，其特征是活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)(1) 的網(wǎng)面與主導(dǎo)輪(2)、從導(dǎo)輪(4)的下平面相距5 —IO厘米。
3、 如權(quán)利要求1所述的一種多線切割機(jī)，其特征是活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)(1) 的網(wǎng)面與網(wǎng)狀切割面(6)為平行設(shè)置。
全文摘要
一種多線切割機(jī)，包括機(jī)殼，機(jī)殼內(nèi)設(shè)有切割室，切割室左側(cè)設(shè)有排線裝置，切割室的上方設(shè)置工件臺(tái)，工件臺(tái)下方設(shè)有導(dǎo)輪、固定軸承、活動(dòng)軸承，導(dǎo)輪分為主導(dǎo)輪、從導(dǎo)輪，切割線從主導(dǎo)輪的內(nèi)側(cè)進(jìn)線，環(huán)繞從導(dǎo)輪后從主導(dǎo)輪的外側(cè)出線，形成一網(wǎng)狀切割面，其特征是在所述網(wǎng)狀切割面的正下方設(shè)置了一活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)。所述過(guò)濾網(wǎng)的網(wǎng)面與導(dǎo)輪下平面相距5-10厘米。與現(xiàn)有技術(shù)相比，在靠近網(wǎng)狀切割面處增設(shè)一活動(dòng)式過(guò)濾網(wǎng)后，從切割面掉下的碎硅片能夠及時(shí)擱置在過(guò)濾網(wǎng)上，進(jìn)行過(guò)濾，因此，可有效防止碎硅片受漿液沖擊、機(jī)體碰撞進(jìn)一步破碎，從而穿越過(guò)濾網(wǎng)再次進(jìn)入工作循環(huán)，過(guò)濾效果好。
文檔編號(hào)B28D5/04GK101391463SQ200810121580
公開日2009年3月25日 申請(qǐng)日期2008年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月14日
發(fā)明者陸昌忠 申請(qǐng)人:浙江華友電子有限公司