專利名稱：一種單晶棒切斷機的冷卻供水裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種供水裝置，特別是一種單晶棒切斷機的冷卻供水裝置。
背景技術(shù)：
在單晶棒的切斷及切片過程中，為了防止溫度過高，需要對刀片和單晶棒進行冷卻?，F(xiàn) 有技術(shù)是直接用自來水進行冷卻降溫，由于自來水的壓力不穩(wěn)定，必然使得流經(jīng)刀片時的流 量發(fā)生變化，由于切割刀片厚度極薄，容易使刀片發(fā)生變形，使得切下來的單晶片端面平整度 變差，且自來水對不銹鋼切割刀片的腐蝕作用，刀片的使用壽命短。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于，提供一種單晶棒切斷機的冷卻供水裝置，以提高單晶片切割端 面的平整度，減小自來水對切割刀片的腐蝕作用，延長刀片的使用壽命。
本實用新型的技術(shù)方案 一種單晶棒切斷機的冷卻供水裝置。它包括水箱，水箱中有水 ，水箱的底部經(jīng)管道與水泵的入口連接，水泵的出口經(jīng)管道與噴頭連接，噴頭的下方設(shè)有接 水盤，接水盤經(jīng)管道與水箱連接。
上述的單晶棒切斷機的冷卻供水裝置中，所述的水為純凈水。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于增加了水泵3可以保證冷卻水的壓力穩(wěn)定，所以保證了切割溫度
的穩(wěn)定，使單晶片切割端面的平整度得到提高。另外使用純凈水進行冷卻對切割刀片的腐蝕 作用小，因此可大大延長切割刀片的使用壽命。

圖l是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖中的標(biāo)記為l-水箱，2-水，3-水泵，4-噴頭，5-接水盤，6-單晶棒，7-刀片。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的單晶棒切斷機的冷卻供水裝置作進一步的詳細說 明，但并不作為對本實用新型作任何限制的依據(jù)。
本實用新型管路如圖l所示，它包括水箱l，水箱1中有水2，水箱1的底部經(jīng)管道與水泵3 的入口連接，水泵3的出口經(jīng)管道與噴頭4連接，噴頭4對著切割單晶片6的刀片7，在切割口 的下方設(shè)有接水盤5，接水盤5經(jīng)管道與水箱1連接，所述的水采用純凈水。
3本實用新型的工作原理
由于增加了水泵3可以保證冷卻水的壓力穩(wěn)定，所以保證了切割溫度的穩(wěn)定，使單晶片 切割端面的平整度得到提高。由于將現(xiàn)有技術(shù)中使用的自來水改為純凈水，減小了自來水對 切割刀片的腐蝕作用，因此可大大延長切割刀片的使用壽命。
權(quán)利要求權(quán)利要求1一種單晶棒切斷機的冷卻供水裝置，其特征在于它包括水箱(1)，水箱(1)中有水(2)，水箱(1)的底部經(jīng)管道與水泵(3)的入口連接，水泵(3)的出口經(jīng)管道與噴頭(4)連接，噴頭(4)的下方設(shè)有接水盤(5)，接水盤(5)經(jīng)管道與水箱(1)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶棒切斷機的冷卻供水裝置，其特征在于 :所述的水(2)為純凈水。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶棒切斷機的冷卻供水裝置。它包括水箱(1)，水箱(1)中有水(2)，水箱(1)的底部經(jīng)管道與水泵(3)的入口連接，水泵(3)的出口經(jīng)管道與噴頭(4)連接，噴頭(4)的下方設(shè)有接水盤(5)，接水盤(5)經(jīng)管道與水箱(1)連接；水(2)為純凈水。本實用新型采用純凈水循環(huán)為單晶棒切斷機的冷卻供水，并增加水泵，提高了冷卻水壓力的穩(wěn)定性，可以提高單晶片切割端面的平整度，由于純凈水對切割刀片的腐蝕作用小，因此可大大延長切割刀片的使用壽命。
文檔編號B28D5/00GK201287408SQ20082030276
公開日2009年8月12日 申請日期2008年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者丁宇翔, 何紫平, 胥敬東 申請人:湖州新元泰微電子有限公司