專利名稱：定向儀的粘接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種x射線檢測儀器工裝設(shè)備，具體說涉及一種用于測量晶體晶向偏 差或待晶棒加工晶面的晶向位置的x射線定向儀使用的粘接裝置。
背景技術(shù)：
各種人工晶體都是通過切割成薄片使用，眾所周知，其硬度高，造成加工費(fèi)時費(fèi) 力，相對來說原材料價格也高。因此，需要在加工前測量晶體晶向偏差或待加工晶棒要加工 晶面的晶向位置，以求定向準(zhǔn)確，減少原材料的浪費(fèi)，目前，加工廠家基本都采用定向儀來 測量，測量后確定切割位置后再進(jìn)行切割。在切割之前，需要將晶體或晶棒牢靠地粘接到石 墨料板上，通過這個石墨料板固定在切割機(jī)上進(jìn)行切割。 一般晶棒是用膠粘在一個料板上 的，因?yàn)闄C(jī)床加工方式的不同，粘接的晶面有所不同，料板也有所不同。常規(guī)的粘接方法，一 種是直接在切割機(jī)床上固定的料板上粘接，這種粘接不考慮偏差角，一般用于精度要求不 高的晶片切割的情況下。但是在加工機(jī)床上的調(diào)整只有一個平面可以調(diào)整，如果碰上調(diào)整 還需要在垂直于可調(diào)整平面的平面進(jìn)行時，則需要放棄這次的粘接，重新粘料。另一種粘接 方法是在定向儀上放置料板，檢測后就在定向儀上粘接到切割料板上，這種方法的缺點(diǎn)在 于只能糾正料板平面內(nèi)的偏差角，與料板垂直平面內(nèi)的偏差角永遠(yuǎn)也無法調(diào)整。要 求高精 度切片時，僅這種偏差就能造成成品超差的情況，有時就需要重新粘料。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有定向儀使用的粘接裝置方面存在的問題，本發(fā)明提供一種既能調(diào)整料板 平面內(nèi)的偏差角，又能調(diào)整與料板垂直平面內(nèi)的偏差角，適用于不同直徑晶棒粘接和高精 度切片要求的粘接裝置。 解決上述問題采取的具體技術(shù)措施是 —種定向儀的粘接裝置，其特征在于底座(7)的下面裝有四個支腳(ll)，底座 (7)的上面裝有石墨塊導(dǎo)軌(6)，石墨塊導(dǎo)軌(6)里插入T型塊(5)，T型塊(5)上面裝有石 墨塊(4)，固定在底座(7)后上面的立板(2)上裝有粘接導(dǎo)軌(1)， T型塊(5)正面中間位 置上安裝法蘭(IO)，設(shè)置在T型塊(5)正面中間位置上的螺釘(8)的一端連接手鈕(3)，另 一端旋入設(shè)置在底座(7)正面中間位置上的螺母板(9)與法蘭(10)連接。
本發(fā)明的有益效果本裝置可以保證晶面與石墨塊端面與晶棒的軸線垂直，既能 調(diào)整料板平面內(nèi)的偏差角，又能調(diào)整與料板垂直平面內(nèi)的偏差角，適用于不同直徑晶棒粘 接和高精度切片要求，投入小，使用簡單，方便可靠，能有效地實(shí)現(xiàn)粘接各種晶棒的目的。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為圖1的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步說明。 —種定向儀的粘接裝置，如圖1、圖2所示，其特征在于底座7的下面裝有四個支 腳11，底座7的上面裝有石墨塊導(dǎo)軌6，石墨導(dǎo)軌6里插入T型塊5， T型塊5相對石墨塊 導(dǎo)軌6可以移動，T型塊5的上面裝有石墨塊4， T型塊5正面中間位置上安裝法蘭10，設(shè) 置在T型塊5正面中間位置上的螺釘8的一端連接手鈕3，另一端旋入設(shè)置在底座7上的 螺母板9與法蘭10連接。本發(fā)明是為測量晶體晶向偏差的X射線定向儀專門設(shè)計的輔助 設(shè)備，定向儀在測量晶體晶向偏差時，首先調(diào)整好晶棒的晶向位置，由定向儀的另一輔助設(shè) 備——夾緊裝置將已調(diào)整好晶向位置的晶棒夾緊，然后將調(diào)整好晶向的晶棒連同樣品臺上 的T型鑲條從定向儀的樣品臺上取下來，將T型鑲條垂直向下插入本發(fā)明中的粘接導(dǎo)軌1 里，這時，調(diào)整手鈕3，可以使T型塊5上的石墨塊4相對底座7平移，調(diào)整石墨塊4位置以 承接晶棒，立板2保證底座7垂直，也就保證了粘接導(dǎo)軌1與石墨塊4垂直，從而保證晶棒 垂直于石墨塊4下表面，為下一步檢測晶棒第一個加工面做基準(zhǔn)。當(dāng)石墨塊4正在晶棒下 方時，在石墨塊4與晶棒之間涂膠，待膠干后，將晶棒連同石墨塊4拿到定向儀的樣品臺上， 對晶棒進(jìn)行最后的檢測定向。
權(quán)利要求
一種定向儀的粘接裝置，其特征在于底座(7)的下面裝有四個支腳(11)，底座(7)的上面裝有石墨塊導(dǎo)軌(6)，石墨塊導(dǎo)軌(6)里插入T型塊(5)，T型塊(5)上面裝有石墨塊(4)，固定在底座(7)后上面的立板(2)上裝有粘接導(dǎo)軌(1)，T型塊(5)正面中間位置上安裝法蘭(10)，設(shè)置在T型塊(5)正面中間位置上的螺釘(8)的一端連接手鈕(3)，另一端旋入設(shè)置在底座(7)正面中間位置上的螺母板(9)與法蘭(10)連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于測量晶體晶向偏差或晶棒加工晶面的晶向位置的X射線定向儀使用的粘接裝置。其結(jié)構(gòu)是底座的下面裝有四個支腳，底座的上面裝有石墨塊導(dǎo)軌，石墨塊導(dǎo)軌里插入T型塊，T型塊上面裝有石墨塊，固定在底座后上面的立板上裝有粘接導(dǎo)軌，T型塊正面中間位置上安裝法蘭，設(shè)置在T型塊正面中間位置上的螺釘?shù)囊欢诉B接手鈕，另一端旋入設(shè)置在底座正面中間位置上的螺母板與法蘭連接。本裝置可以保證晶面與石墨塊端面與晶棒的軸線垂直，既能調(diào)整料板平面內(nèi)的偏差角，又能調(diào)整與料板垂直平面內(nèi)的偏差角，適用于不同直徑晶棒粘接和高精度切片要求，投入小，使用簡單，方便可靠，能有效地實(shí)現(xiàn)粘接各種晶棒的目的。
文檔編號B28D7/04GK101758565SQ20091022077
公開日2010年6月30日 申請日期2009年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月15日
發(fā)明者宋偉, 李國興, 許秋華, 隋鳳麗 申請人:丹東奧龍射線儀器有限公司