專利名稱：工件載盤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及工件載盤，特別涉及一種適用于濺鍍工序，并具有可開
合的防鍍遮片，以遮蔽工件不需要賊4度的部位的工件載盤。
背景技術(shù)：
一般在自動化工序中，由于工序步驟繁復(fù)且耗時(shí)費(fèi)力，因此需要以自動 化機(jī)具取代人力進(jìn)行搬運(yùn)或傳送的動作，以增進(jìn)整體工序的運(yùn)作效率。
通常在搬運(yùn)或傳送的過程中會采用自動化的傳動裝置來運(yùn)送工件， 一般 而言，該傳動裝置具有設(shè)置于其兩側(cè)的導(dǎo)輪以及連結(jié)于該導(dǎo)輪的傳動齒輪或 皮帶，利用該傳動齒輪或皮帶將動力傳遞給各導(dǎo)輪、以使導(dǎo)輪旋轉(zhuǎn)，此外， 該傳動裝置配合一工件載盤來運(yùn)送工件，該承載工件的工件載盤放置于該導(dǎo) 專侖之上并由該導(dǎo)4侖旋轉(zhuǎn)而傳送，進(jìn)而將該工件載盤往工序方向移動，以4吏工 件進(jìn)入工序。
然而，隨著產(chǎn)品精密化及多樣化的程度日益提升，不僅工序需要作各式 的調(diào)整與改變，前述的工件載盤也必須依照工序的需要而開發(fā)出符合不同需 求的式樣。
就玻璃基板的濺鍍工序而言，是在該玻璃基板的表面濺鍍多層不同材質(zhì) 的薄膜，濺鍍完成后再組裝成產(chǎn)品，而該玻璃基板與其他組件的裝配位置多 位于其邊緣，所以邊緣多為承受組裝壓力的位置，若該玻璃基板的邊緣也經(jīng) 由濺鍍工序而鍍上薄膜，將會改變其邊緣的抗張強(qiáng)度及應(yīng)力，而當(dāng)其承受組 裝壓力時(shí)可能因此提高邊緣龜裂的機(jī)率，因此通常邊緣是不需要鍍上薄膜 的；但是一般常用的工件載盤為一平面載盤，其僅能夠承載該玻璃基板進(jìn)入 濺鍍工序，而缺乏邊緣防鍍的功能，因此無法確實(shí)地避免邊緣被鍍上薄膜，有待改進(jìn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
鑒于上述常用工件載盤僅能承載工件而不具備邊緣防鍍功能的缺陷，本 實(shí)用新型提供了一種工件載盤，以期解決上述問題。
本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種工件載盤，特別是一種適用于濺鍍 工序，并具有可開合的防鍍遮片，以遮蔽工件不需要濺鍍部位的工件載盤。
為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采取以下技術(shù)手段予以達(dá)成，其中本實(shí)用
新型的工件載盤系包括有
載盤主體，為一框體，其具有相互平行設(shè)置的框邊以及均布于該框邊內(nèi) 緣的多個(gè)通孔；
多個(gè)復(fù)位元件，其具有一固定塊體以及一可樞轉(zhuǎn)地連結(jié)于該固定塊體的 可動塊體，所述固定塊體設(shè)置于所述框邊上；
多個(gè)防鍍遮片，其一側(cè)邊固定于所述復(fù)位元件的可動塊體，并位于所述 載盤主體的框邊內(nèi)緣的通孔上方的位置。
通過上述結(jié)構(gòu)，如果待賊鍍工件的邊緣不需要鍍上薄膜時(shí)，即可采用本 實(shí)用新型的工件載盤，使用時(shí)配合一具有頂推桿體的頂升機(jī)構(gòu)，由該頂推桿 體穿過所述載盤主體的框邊的通孔，往上頂開所述防鍍遮片后便可將所述待 濺鍍工件放置于該載盤主體上，接著，當(dāng)該頂推桿體離開所述防鍍遮片時(shí)， 所述可動塊體則因其本身以及所述防鍍遮片的重力使得該可動塊體往下樞 轉(zhuǎn)，并且?guī)铀龇厘冋谄律w合、遮蔽所述待濺鍍工件的邊緣，此時(shí)， 該承載有待濺鍍工件的工件載盤便可在邊緣被遮蔽的情況下進(jìn)入薄膜濺鍍 制程；因此，本實(shí)用新型的工件載盤可遮蔽待濺鍍工件的邊緣，以改善常用 工件載盤缺乏邊緣防鍍功能的缺陷。


圖1為本實(shí)用新型的俯^L圖。圖2為本實(shí)用新型的側(cè)視圖。
圖3為本實(shí)用新型的前視圖。
圖4為本實(shí)用新型的局部放大圖
主要元件符號說明
1:工件載盤
11:載盤主體
111:框邊
1111:長邊
1112:短邊
112:通孔
12:復(fù)位元件
121:固定塊體
122:可動塊體
13:防鍍遮片
14:連結(jié)塊體
15:移載導(dǎo)桿
16:擋片
具體實(shí)施方式
參見圖1至圖4，本實(shí)用新型的工件載盤l，包括有
載盤主體11，為一框體，其具有相互平行設(shè)置的框邊111以及均布于
框邊111的內(nèi)緣的多個(gè)通孔112;
多個(gè)復(fù)位元件12，其具有一固定塊體121以及一可樞轉(zhuǎn)地連結(jié)于固定
塊體121的可動塊體122，固定塊體121設(shè)置于框邊111上，可動塊體122
則可通過一外力的推移往上樞轉(zhuǎn)移動，當(dāng)該外力移除時(shí)，可動塊體122便會
因其本身的重力而回復(fù)至原位；
多個(gè)防鍍遮片13，其一側(cè)邊固定于復(fù)位元件12的可動塊體122，并位于載盤主體11的框邊111內(nèi)緣的通孔112上方的位置。
在本實(shí)施例中，載盤主體11的框邊111為兩條平行設(shè)置的長邊1111以
及兩條相鄰于長邊1111并平行設(shè)置的短邊1112，各相鄰的框邊111相互連
結(jié)固定以形成框體。
此外，工件載盤1進(jìn)一步包括分別平行設(shè)置于載盤主體11的兩個(gè)相對
框邊111下方的兩個(gè)移載導(dǎo)桿15以及分別平行設(shè)置于另外兩個(gè)相對框邊111 外側(cè)的兩個(gè)擋片16，在本實(shí)施例中，移載導(dǎo)桿15通過多個(gè)連結(jié)塊體14而 設(shè)置于長邊1111的下方，擋片16則設(shè)置于短邊1112的外側(cè)。
在薄膜濺鍍的工序中，如果待濺鍍工件(圖中未示出)的邊緣不需要鍍 上薄膜，即可采用本實(shí)用新型的工件載盤1，使用時(shí)，工件載盤1配合一外 部頂升機(jī)構(gòu)(圖中未示出)，該頂升機(jī)構(gòu)具有多個(gè)頂推桿體，由該頂推桿體 穿過載盤主體11的框邊111的通孔112而頂推防鍍遮片13，防鍍遮片13 便連同復(fù)位元件12的可動塊體122往上樞轉(zhuǎn)而打開。
然后，將該待濺鍍工件以其邊緣對應(yīng)該工件載盤1的載盤本體11內(nèi)緣 的方式放置于載盤本體11,然后，該頂推桿體退離通孔112而釋放防鍍遮 片13，復(fù)位元件12的可動塊體122即因其本身的重力往下樞轉(zhuǎn)移動，使得 防鍍遮片13往下蓋合并遮蔽該待濺鍍工件的邊緣。
然后，將承載有該待濺鍍工件的工件載盤1以通過移載導(dǎo)桿15而放置 于一外部傳動機(jī)構(gòu)(圖中未示出)的導(dǎo)輪上的方式，即可輸送承載有該待賊 鍍工件的工件栽盤1進(jìn)入薄膜濺鍍工序；另外，擋片16的設(shè)置是為了防止 靶材粒子在濺鍍的過程中噴濺到該待濺鍍工件的背面，以維持該薄膜賊鍍制 程的成品率；另外，固定塊體121以及可動塊體122之間可設(shè)置一彈性元件 (圖中未示出)以使可動塊體122在無外力介入的情況下，可通過該彈性元 件的彈力往下樞轉(zhuǎn)而帶動防鍍遮片13蓋合并遮蔽該待'踐鍍工件的邊緣。
因此，通過本實(shí)用新型的工件載盤，可將待濺鍍工件不需要濺鍍的部位 以防鍍遮片遮蓋起來從而獲得防鍍功能，進(jìn)而改善常用工件載盤無法防鍍的 缺陷。綜上所述，以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的 保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改 進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種工件載盤，其特征在于，該工件載盤包括有載盤主體，為一框體，其具有相互平行設(shè)置的框邊以及均布于所述框邊內(nèi)緣的通孔；多個(gè)復(fù)位元件，其具有一固定塊體以及一可樞轉(zhuǎn)地連結(jié)于該固定塊體的可動塊體，所述固定塊體設(shè)置于所述框邊上；多個(gè)防鍍遮片，其一側(cè)邊固定于所述復(fù)位元件的可動塊體，并位于所述載盤主體的框邊內(nèi)緣的通孔上方的位置。
2、 如權(quán)利要求1所述的工件載盤，其特征在于，所述工件載盤進(jìn)一步包括 分別平行設(shè)置于所述載盤主體的兩個(gè)相對框邊下方的兩個(gè)移載導(dǎo)桿。
3、 如權(quán)利要求1所述的工件載盤，其特征在于，所述工件載盤進(jìn)一步包括 分別平行設(shè)置于所述載盤主體的兩個(gè)相對框邊外側(cè)的兩個(gè)擋片。
4、 如權(quán)利要求2所述的工件載盤，其特征在于，所述工件載盤進(jìn)一步包括 分別平行設(shè)置于所述載盤主體的另外兩個(gè)相對框邊外側(cè)的兩個(gè)擋片。
5、 如權(quán)利要求4所述的工件載盤，其特征在于，所述載盤主體的框邊為兩 條平行設(shè)置的長邊以及兩條相鄰于該長邊并平行-沒置的短邊。
6、 如權(quán)利要求5所述的工件載盤，其特征在于，所述移載導(dǎo)桿通過多個(gè)連 結(jié)塊體設(shè)置于所述長邊的下方。
7、 如權(quán)利要求6所述的工件載盤，其特征在于，所述擋片設(shè)置于所述短邊 的外側(cè)。
8、 如權(quán)利要求7所述的工件載盤，其特征在于，所述工件載盤進(jìn)一步包括 一設(shè)置于所述固定塊體以及所述可動塊體之間的彈性元件。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種工件載盤，包括有載盤主體，為一框體，其具有相互平行設(shè)置的框邊以及均布于所述框邊內(nèi)緣的多個(gè)通孔；多個(gè)復(fù)位元件，其具有一固定塊體以及一與該固定塊體連結(jié)的可動塊體，所述固定塊體設(shè)置于所述框邊上；多個(gè)防鍍遮片，其一側(cè)邊固定于所述復(fù)位元件的可動塊體，并位于所述載盤主體的框邊內(nèi)緣的通孔上方的位置；通過上述結(jié)構(gòu)，該工件載盤適用于濺鍍工序中，并通過使用防鍍遮片遮蔽工件不需要濺鍍的部位，而改善常用工件載盤無法防鍍的缺陷。
文檔編號C03B35/00GK201362740SQ20092000125
公開日2009年12月16日 申請日期2009年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月19日
發(fā)明者洪婉玲, 郭勛聰 申請人:鈺衡科技股份有限公司