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      一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具的制作方法

      文檔序號(hào):2001732閱讀:181來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種坩堝模具,特別是涉及一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具, 屬于坩堝爐技術(shù)領(lǐng)域。
      背景技術(shù)
      單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料,隨著國(guó)內(nèi)和國(guó)際市場(chǎng)對(duì)單晶硅片需 求量的快速增加,單晶硅棒的市場(chǎng)需求也呈快速增長(zhǎng)的趨勢(shì),制作單晶硅棒 所使用的坩堝的需求量也快速增加?,F(xiàn)在制作坩堝時(shí)所使用的坩堝模具,所 使用的高純度的石墨容易氧化,影響坩堝模具的使用壽命,坩堝模具只能使用 100爐左右;制作出的坩堝容易產(chǎn)生黑點(diǎn),影響產(chǎn)品的合格率。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供了一種帶環(huán)狀蓋體的 坩堝模具,防止高純度的石墨氧化,延長(zhǎng)了坩堝模具的使用壽命,制作出的坩 堝不易產(chǎn)生黑點(diǎn),提高了坩堝的合格率,降低了成本。為了實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是 一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝 模具,包括坩堝模具、石英纖維層、冷卻水套,坩堝模具由高純度的石墨組成, 坩堝模具內(nèi)壁形狀與坩堝外形相對(duì)應(yīng),石英纖維層在坩堝模具外側(cè),冷卻水套 在石英纖維層外側(cè),還包括環(huán)狀蓋體,環(huán)狀蓋體在坩堝模具上方,環(huán)狀蓋體的 外徑等于坩堝模具的外徑,環(huán)狀蓋體的內(nèi)徑等于坩堝模具的內(nèi)徑,環(huán)狀蓋體所 使用的是耐高溫合金。所述坩堝模具上端口內(nèi)側(cè)有一個(gè)環(huán)形凹臺(tái),環(huán)狀蓋體下端口內(nèi)側(cè)有一個(gè)環(huán) 形凸臺(tái),坩堝模具的環(huán)形凹臺(tái)和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺(tái)相匹配,坩堝模具的環(huán)形 凹臺(tái)和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺(tái)壓嵌配合。所述環(huán)狀蓋體的上端面與冷卻水套的上端面相齊。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是-(1 )防止高純度的石墨氧化,延長(zhǎng)了坩堝模具的使用壽命,由原來(lái)的使用100爐左右,提高到使用500爐以上。(2)制作出的坩堝不易產(chǎn)生黑點(diǎn),提高了坩堝的合格率,降低了成本;坩堝中所含黑點(diǎn)少,或不含黑點(diǎn),也就提高了用這種坩堝所熔煉拉制的 單晶硅棒的質(zhì)量。


      附圖l本實(shí)用新型剖面主視圖; 附圖2本實(shí)用新型俯視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明l坩堝模具2石英纖維層3冷卻水套4環(huán)狀蓋體具體實(shí)施方式
      以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明,但不作為對(duì)本實(shí) 用新型的限定。如圖l、 2所示, 一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具,包括柑堝模具l、石英纖維 層2、冷卻水套3,坩堝模具1由高純度的石墨組成,坩堝模具l內(nèi)壁形狀與坩 堝外形相對(duì)應(yīng),石英纖維層2在坩堝模具1外側(cè),冷卻水套3在石英纖維層2 外側(cè),還包括環(huán)狀蓋體4,環(huán)狀蓋體4在坩堝模具1上方,環(huán)狀蓋體4的外徑等 于坩堝模具1的外徑,環(huán)狀蓋體4的內(nèi)徑等于柑堝模具1的內(nèi)徑,環(huán)狀蓋體4 所使用的是耐高溫合金。坩堝模具1上端口內(nèi)側(cè)有一個(gè)環(huán)形凹臺(tái),環(huán)狀蓋體4 下端口內(nèi)側(cè)有一個(gè)環(huán)形凸臺(tái),坩堝模具1的環(huán)形凹臺(tái)和環(huán)狀蓋體4的環(huán)形凸臺(tái) 相匹配,坩堝模具1的環(huán)形凹臺(tái)和環(huán)狀蓋體4的環(huán)形凸臺(tái)壓嵌配合。所述環(huán)狀 蓋體4的上端面與冷卻水套3的上端面相齊。以上所述的實(shí)施例,只是本實(shí)用新型較優(yōu)選的具體實(shí)施方式
      的一種,本領(lǐng) 域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在 本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
      權(quán)利要求1.一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具,包括坩堝模具、石英纖維層、冷卻水套,坩堝模具內(nèi)壁形狀與坩堝外形相對(duì)應(yīng),石英纖維層在坩堝模具外側(cè),冷卻水套在石英纖維層外側(cè),其特征在于還包括環(huán)狀蓋體,環(huán)狀蓋體在坩堝模具上方,環(huán)狀蓋體的外徑等于坩堝模具的外徑,環(huán)狀蓋體的內(nèi)徑等于坩堝模具的內(nèi)徑。
      2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具,其特征在于坩堝模具 上端口內(nèi)側(cè)有一個(gè)環(huán)形凹臺(tái),環(huán)狀蓋體下端口內(nèi)側(cè)有一個(gè)環(huán)形凸臺(tái),坩堝模具 的環(huán)形凹臺(tái)和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺(tái)相匹配,坩堝模具的環(huán)形凹臺(tái)和環(huán)狀蓋體的 環(huán)形凸臺(tái)壓嵌配合。
      3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具,其特征在于環(huán)狀蓋體 的上端面與冷卻水套的上端面相齊。
      專利摘要一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具,屬于坩堝爐部件技術(shù)領(lǐng)域,包括坩堝模具、石英纖維層、冷卻水套,坩堝模具內(nèi)壁形狀與坩堝外形相對(duì)應(yīng),石英纖維層在坩堝模具外側(cè),冷卻水套在石英纖維層外側(cè),還包括環(huán)狀蓋體,環(huán)狀蓋體在坩堝模具上方,環(huán)狀蓋體的外徑等于坩堝模具的外徑,環(huán)狀蓋體的內(nèi)徑等于坩堝模具的內(nèi)徑;坩堝模具上端口內(nèi)側(cè)有一個(gè)環(huán)形凹臺(tái),環(huán)狀蓋體下端口內(nèi)側(cè)有一個(gè)環(huán)形凸臺(tái),坩堝模具的環(huán)形凹臺(tái)和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺(tái)相匹配,坩堝模具的環(huán)形凹臺(tái)和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺(tái)壓嵌配合。本實(shí)用新型的有益效果是防止高純度的石墨氧化,延長(zhǎng)了坩堝模具的使用壽命,實(shí)際使用達(dá)500爐以上;制作出的坩堝不易產(chǎn)生黑點(diǎn),提高了坩堝的合格率,降低了成本。
      文檔編號(hào)B28B7/00GK201420111SQ20092015866
      公開(kāi)日2010年3月10日 申請(qǐng)日期2009年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月10日
      發(fā)明者潔 黃, 黃乃軍 申請(qǐng)人:余姚市晶英電弧坩鍋有限公司
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