專利名稱：涂漿裝置及涂漿方法
技術領域：
本發(fā)明涉及在平面面板的制造過程中用于在基板上涂漿或滴下液晶的涂漿裝置 及涂漿方法。
背景技術：
作為以往的涂漿裝置，提出有這樣的涂漿裝置，S卩，在支承臺設有保持著被描繪漿 料圖案的基板的基板保持機構，另外，在支承臺上設有能夠在Y軸方向移動多個涂敷頭的2 個涂敷頭支承機構，固定這些涂敷頭支承機構中的一方，在支承臺上使另一方在X軸方向 移動，在這些涂敷頭部朝Y軸方向移動和涂敷頭支承機構朝X軸方向移動的同時，由涂敷頭 部在基板上涂敷漿料，這樣，在基板上描繪規(guī)定的漿料圖案(例如參照專利文獻1)。[專利文獻1]日本專利第3793727號公報

發(fā)明內容
在LCD (液晶顯示裝置)等平面面板的領域中，用于形成該面板的玻璃基板的尺寸 的大型化急速發(fā)展，隨之，用于制作該面板的涂漿裝置也大型化，對于對搭載玻璃基板的臺 進行驅動、使涂敷頭部的噴嘴上下移動來描繪漿料圖案的方式來說，已難以實現(xiàn)省空間化。因此，記載于上述專利文獻1的涂漿裝置采用這樣的方式，即，將能夠在X軸方向 移動的涂敷頭支承機構形成為跨過基板的結構的門形架(門形構架)的結構，使該門形架 的一方能夠在X軸方向移動，同時，在該門形架的橫梁使多個涂敷頭部能夠在Y軸方向移 動，一邊改變涂敷頭部與基板的相對位置關系，一邊從涂敷頭部的噴嘴將漿料涂敷在基板 上，從而在基板上描繪漿料圖案，這樣，實現(xiàn)裝置的小型化。然而，隨著玻璃基板的大型化，如在繼續(xù)采用該方式的情況下使涂漿裝置大型化， 則超過輸送該涂漿裝置的輸送車輛的寬度限度，產生運輸困難這樣的問題。本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供一種在運輸裝置時能夠使裝置小型化、順 利地進行裝置的運輸的涂漿裝置及涂漿方法。本發(fā)明的另一目的在于提供一種在工作時也實施防塵對策，并且不降低涂敷精 度，能夠減小設置空間的涂漿裝置及涂漿方法。為了達到上述目的，本發(fā)明的涂漿裝置在支承臺上設置門形架，在該門形架能夠 移動地設置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設置于支承臺上的基板載置臺上載置基 板，門形架相對于該基板移動，從噴嘴排出口將漿料排出在基板上；其中在支承臺上的基 板載置臺的外側設置門形架的移動機構，在移動機構設置了能夠裝拆地安裝門形架的門形 架安裝裝置。另外，本發(fā)明的涂漿裝置在支承臺上設置門形架，在該門形架能夠移動地設置從 噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設置于支承臺上的基板載置臺上載置基板，門形架相對 于該基板移動，從噴嘴排出口將漿料排出在基板上；其中在支承臺上的比基板載置臺處 于更下側的位置設置門形架的移動機構，在移動機構設置了能夠裝拆地安裝門形架的門形架安裝裝置。另外，在本發(fā)明的涂漿裝置中，門形架安裝裝置設置在比基板載置臺更低的位置。為了達到上述目的，在本發(fā)明的涂漿方法中，涂漿裝置在支承臺上設置門形架，在 該門形架能夠移動地設置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設置于支承臺上的基板載置 臺上載置基板，門形架相對于該基板移動，從噴嘴排出口將漿料排出在基板上；其中在支 承臺上的基板載置臺的外側設置門形架的移動機構，使門形架移動，在移動機構能夠將門 形架從移動機構拆卸或將門形架安裝到移動機構。另外，在本發(fā)明的涂漿方法中，涂漿裝置在支承臺上設置門形架，在該門形架能夠 移動地設置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設置于支承臺上的基板載置臺上載置基 板，門形架相對于該基板移動，從噴嘴排出口將漿料排出在基板上；其中在支承臺上的比 基板載置臺處于更下側的位置設置門形架的移動機構，使門形架移動，在移動機構能夠將 門形架從移動機構拆卸或將門形架安裝到移動機構。另外，在本發(fā)明的涂漿方法中，門形架的移動機構設置在比基板載置臺更低的位置。按照本發(fā)明，能夠處理大型的基板，而且，在運輸時，能夠由簡單的分解作業(yè)使之 小型化到不超過輸送車的限制寬度的程度，能夠沒有障礙地進行其運輸。另外，不降低設置裝置之際的裝置組裝所要求的裝置各部分的精度，運輸裝置之 際的裝置分解、組裝、調整等作業(yè)也變少，裝置向交貨目的地的運送、交貨變得容易。另外，由于支承門形架使其移動的移動機構比設置的基板處于更下方，所以，由該 移動機構的滑動產生的灰塵等不會影響到基板。從以上情況可以得知，按照本發(fā)明，能夠確保裝置的輸送的順利化、安全化，能夠 在工作時進行高質量的漿料的涂敷、液晶的滴下。


圖1為表示本發(fā)明的涂漿裝置及方法的第1實施方式的立體圖。圖2為表示圖1的涂敷頭部的一具體例的立體圖。圖3為表示圖1所示第1實施方式的主控制系統(tǒng)的一具體例的框圖。圖4為表示圖1所示第1實施方式的副控制系統(tǒng)的一具體例的框圖。圖5為表示圖1所示第1實施方式的整體動作的一具體例的流程圖。圖6為表示從支承臺拆下了圖1所示涂漿裝置的門形架的狀態(tài)的一具體例的立體 圖。圖7為放大地表示圖6中的“F部”即門形架與支承臺的連接機構的立體圖。圖8為表示用于從圖6所示狀態(tài)成為圖1所示狀態(tài)的作業(yè)的流程的一具體例的流 程圖。圖9為表示用于從圖1所示狀態(tài)成為圖6所示狀態(tài)的作業(yè)的流程的一具體例的流 程圖。圖10為表示從基座拆下了圖1所示涂漿裝置的門形架的狀態(tài)的另一具體例的立 體圖。圖11為放大地表示圖10中的門形架與支承臺的連接機構的立體圖。
圖12為從大體Y軸方向觀看本發(fā)明的涂漿裝置及方法的第2實施方式的立體圖。
具體實施例方式本發(fā)明為具有由橫梁構成的門形構架(門形架)的構成，該門形構架具有涂敷頭 的Y軸方向移動機構，該涂敷頭的Y軸方向移動機構對具有噴嘴的1個或多個涂敷頭部進 行直動導向。
隨著由玻璃基板逐年大型化而導致的涂漿裝置大型化，在將組裝、調整了的裝置 就這樣從制造地向安裝地等進行陸上運輸時，由道路、輸送車輛的寬度等的限制產生障礙。 另外，由于門形架在比玻璃基板更處于上側的位置移動的結構較多，所以，隨著該移動，由 門形架的支承部的滑動產生的灰塵落下到玻璃基板的表面，存在使成為產品的涂敷了漿料 或滴下了液晶的玻璃基板的質量劣化的問題。因此，本發(fā)明形成為能夠在門形架的支承部和其移動機構的連接部將門形架與支 承臺分開的結構，這樣，在涂漿裝置的陸上運輸之際，從支承臺將門形架分開后對其進行運 輸，在安裝地，將門形架組合在支承臺，形成為能夠簡化組裝作業(yè)地使用的狀態(tài)。另外，與在支承臺上的門形架的移動相關的滑動部在支承臺的邊部配置在比載置 玻璃基板的臺更處于下側的位置，這樣，在抑制了裝置的設置面積增加的同時，使得在向下 流動的空調環(huán)境下發(fā)生于門形架的滑動部的灰塵難以落下到成為產品的玻璃基板。下面，根據

本發(fā)明的實施方式。圖1為在大體X軸方向觀看本發(fā)明的涂漿裝置及方法的第1實施方式的立體圖， 符號1為支承臺，符號la、lb為支承臺側面，符號2a、2b為門形架(門形構架)，符號3a、3b 為橫梁，符號4a、4b為橫梁側支承構件，符號5a、5b為支承臺側支承構件，符號6a、6b為X 軸方向移動機構，符號7為磁鐵板，符號8為基板保持機構，符號9為涂敷頭設置面，符號10 為涂敷頭部，符號11為包含線性軌的Y軸方向移動機構，符號12為Z軸伺服馬達，符號13 為Z軸移動臺支承托架，符號14為Z軸移動臺。在圖1中，為了避免該附圖變得煩雜，僅在圖上出現(xiàn)的部分標注符號，此外的部分 省略符號。另外，該第1實施方式涉及在基板面上描繪漿料圖案(密封材料圖案)的涂漿 裝置及方法，當然也能夠適用于使液晶滴下到基板上的滴下裝置。在圖1中，在支承臺1上設有基板保持機構8，輸送來的圖中未表示的玻璃基板搭 載于該基板保持機構8。該基板保持機構8能夠使搭載的基板在X、Y軸方向移動或轉動(θ 軸方向的移動)，這樣，基板的位置、姿勢受到微調。在支承臺1上的該基板保持機構8的兩側的下側，沿支承臺1的兩側的邊部設置 X軸方向移動機構6a、6b，支承臺1的該兩側的邊部沿著X軸方向。這些X軸方向移動機構 6a、6b分別在這里例如形成線性馬達，其磁鐵板7沿X軸方向設置。在這些X軸方向移動機 構6a、6b上載置、支承了 2個門形架2a、2b，它們由這些X軸方向移動機構6a、6b能夠在X 軸方向移動。相對于使用的最大寬度的基板，為了盡可能地減小支承臺1的Y軸方向的寬 度(以下稱橫向寬度)、盡可能地小型化，使分別設置在該橫向寬度方向的相向的邊的磁鐵 板7接近支承臺1的X軸方向的側面(即支承臺側面)la、lb地設置。在這里，說明圖上的前面?zhèn)鹊拈T形架2b。該門形架2b由在與X軸方向垂直的Y軸 方向長的橫梁3b和設于該橫梁3b的兩端部并支承該橫梁3b的支腳狀的2個橫梁側支承構件4a、4b構成，這些橫梁側支承構件4a、4b分別安裝在能夠移動地設于X軸方向移動機 構6a、6b的支承臺側支承構件(滑動件)5a、5b。門形架2b的橫梁3b比支承臺1的Y軸方向的寬度長，因此，橫梁3b的兩端部從支 承臺1的平行于X軸的兩側的側面即支承臺側面la、lb突出，因此，設于該橫梁3b的兩端 部的下面的橫梁側支承構件4a、4b也分別從支承臺1的該兩側的支承臺側面la、lb突出。 這樣，門形架2b形成為橫梁3b用橫梁側支承構件4a、4b和支承臺側支承構件5a、5b將基 板保持機構8抱入那樣的形狀。另一方的門形架2a也構成與門形架2b的以上構成同樣的結構。在門形架2a、2b的橫梁3a、3b的相互面對的涂敷頭設置面9上分別設置多個涂敷 頭部10。在圖1中，相向側的門形架2a的涂敷頭設置面9朝正面?zhèn)鹊乇硎?，所以，以下關于 門形架2a說明其涂敷頭設置面9。在門形架2a的涂敷頭設置面9，沿其面的縱向(即Y軸方向)設置Y軸方向移動 機構11，在該Y軸方向移動機構11安裝有多個涂敷頭部10 (在這里，僅對1個涂敷頭部10 標注符號)。在這些涂敷頭部10分別設有與Y軸方向移動機構11 一起構成的Y軸方向移 動機構的線性馬達，該線性馬達使這些涂敷頭部10沿Y軸方向移動機構11在Y軸方向移 動。在以下的說明中，該X軸方向移動機構也作為Y軸方向移動機構11說明。在各個涂敷頭部10的基座，在其背面?zhèn)?涂敷頭設置面9側)如上述那樣設置作 為Y軸方向移動機構11的線性馬達，在其表面?zhèn)仍O置了具有Z軸伺服馬達12的Z軸移動 臺支承托架13，設有由該Z軸伺服馬達12使涂敷頭部10上下移動的Z軸移動臺14。在該 Z軸移動臺14，如后述那樣，安裝有設置了漿料收容筒(注射器)、噴嘴的噴嘴支承件、測距 儀、具有照明光源的鏡筒和圖像識別攝像機等。以上的構成對前面?zhèn)鹊拈T形架2b的涂敷頭設置面也同樣。另外，按照該構成，由 Y軸方向移動機構11沿Y軸方向在載置于基板保持機構8的基板上驅動各涂敷頭部10，另 外，由X軸方向移動機構6a、6b沿X軸方向驅動門形架2a、2b，這樣，各涂敷頭部10同樣在 X軸方向受到驅動，在該基板上同時描繪多個同一形狀的漿料圖案。圖2為放大地表示圖1的涂敷頭部10的一具體例的要部的立體圖，符號15為漿 料收容筒，符號16為噴嘴支承件，符號17為噴嘴，符號18為測距儀，符號19為基板。在該圖中，設置了漿料收容筒15、噴嘴17的噴嘴支承件16及測距儀18設在Z軸 移動臺14(圖1)。測距儀18按非接觸式的三角測距法測量從噴嘴17的前端部到搭載于基板保持機 構8(圖1)的基板19的表面(上面)的距離。即，在測距儀18的箱體內設置發(fā)光元件，從 該發(fā)光元件放射的激光在基板19上的測量點S反射，相應于同樣設置在箱體內的受光元件 的受光位置進行測量。另外，在基板19上的激光的測量點S和噴嘴17的正下位置，在基板 19上偏移微小的距離AX及A Y，但該微小距離程度的偏移處在基板19的表面凹凸差為能 夠忽視的范圍，所以，在測距儀18的測量結果與從噴嘴17的前端部到基板19的表面(上 面)的距離間基本上不存在差。因此，根據該測距儀18的測量結果控制Z軸移動臺14，從 而能夠相應于基板19的表面凹凸(起伏)將從噴嘴17的前端部到基板19的表面(上面) 的距離(間隔)維持一定。這樣，將從噴嘴17的前端部到基板19的表面(上面)的距離(間隔)維持一定，而且，將從噴嘴17排出的單位時間的漿料量維持一定，從而使涂敷描繪在基板19上的漿料
圖案的寬度、厚度變得一樣。雖然未在圖中表示，但實際上具有能夠照明的光源的鏡筒和圖像識別攝像機除了用于各涂敷噴嘴17的平行調整、間隔調整外，還為了基板19的對位、漿料圖案的形狀識別 等，與基板相向地設置。返回到圖1，在該實施方式中，具有控制以上各部的控制部。即，在支承臺1的內 部，設置對驅動各機構的線性馬達和使臺移動的伺服馬達進行控制的主控制部。在該主控 制部，通過電纜連接副控制部。副控制部對驅動Z軸移動臺14的Z軸伺服馬達12進行控 制。圖3為表示該主控制部的構成和其控制的一具體例的框圖，符號20a為主控制部， 符號20aa為微機，符號20ab為馬達控制器，符號20ac為圖像處理裝置，符號20ad為外部 接口，符號20ae為數據通信總線，符號20b為副控制部，符號21為USB (通用串行總線)存 儲器，符號22為硬盤，符號23為監(jiān)視器，符號24為鍵盤，符號25為調節(jié)器，符號26為閥單 元，符號27a為涂敷頭部移動用Y軸線性馬達用驅動器，符號27b為門形架移動用X軸線性 馬達用驅動器，符號27c為臺旋轉用θ軸馬達用驅動器，符號28為圖像識別攝像機，符號 29為通信電纜。在該圖中，主控制部20a內裝微機20aa、馬達控制器20ab、圖像處理裝置20ac、及 外部接口 20ad，該馬達控制器20ab控制對Y軸方向移動機構11進行驅動的涂敷頭部移動 用Y軸線性馬達用驅動器(以下簡稱為Y軸驅動器)27a、對X軸方向移動機構6a、6b進行 驅動的門形架移動用X軸線性馬達用驅動器(以下簡稱為X軸驅動器)27b、在θ軸方向對 搭載了基板的基板保持機構8(圖1)進行驅動的臺旋轉用θ軸馬達用驅動器(以下簡稱 為θ軸驅動器)27c，該圖像處理裝置20ac對由圖像識別攝像機28獲得的圖像信號進行 處理，該外部接口 20ad與副控制部20b、控制涂敷頭部10的漿料涂敷動作的調節(jié)器25、閥 單元26進行通信，這些微機20aa、馬達控制器20ab、圖像處理裝置20ac、外部接口 20ad通 過數據通信總線20ae相互連接。在這里，副控制部20b通過通信電纜29連接在該外部接 20acL另外，在主控制部20a連接USB存儲器21、作為外部存儲裝置的硬盤22、監(jiān)視器 23、鍵盤24等。從鍵盤24輸入的數據等由監(jiān)視器23顯示，同時，存儲保管在硬盤22、USB 存儲器21等存儲介質。在微機20aa中，雖然未在圖中表示，但實際上具有主運算部，存儲用于進行后述 的涂敷描繪的處理程序的ROM，存儲在主運算部的處理結果、來自外部接20ad、馬達控制器 20ab的輸入數據的RAM，與外部接口 20ad、馬達控制器20ab進行數據交換的輸入輸出部等。這些由Y軸驅動器27a驅動的作為各涂敷頭部10的Y軸方向移動機構11的線性 馬達、由X軸驅動器27b驅動的作為門形架2a、2b的X軸方向移動機構6a、6b的線性馬達 設有用于檢測各涂敷頭部10、門形架2a、2b的位置檢測用的直尺的編碼器，將其檢測結果 分別供給到Y軸驅動器27a、X軸驅動器27b，進行涂敷頭部10的X軸方向、Y軸方向的位置 控制。另外，同樣，在由θ軸驅動器27c驅動的基板保持機構8(圖1)中內裝檢測該基板 的旋轉量的編碼器，將其檢測結果供給到θ軸驅動器27c，進行基板的朝向的控制。圖4為表示圖3的副控制部20b的一具體例的框圖，符號20ba為微機，符號20bb為馬達控制器，符號20bc為外部接口，符號20bd為數據通信總線，符號27d為Z軸馬達用 驅動器，在與上述附圖對應的部分標注相同符號，省略重復的說明。在該圖中，副控制部20b內裝微機20ba、馬達控制器20bb、進行由測距儀18獲得 的高度數據的輸入、與主控制部20a的信號傳送的外部接口 20bc，它們通過數據通信總線 20bd相互連接。另外，在微機20ba，雖然未在圖中表示，但實際上具有主運算部，存儲用于 進行涂敷描繪時噴嘴17(圖2)離開基板19的表面的高度控制的處理程序的ROM，存儲主 運算部的處理結果、來自外部接20bc及馬達控制器20bb的輸入數據的RAM，與外部接口 20bc、馬達控制器20bb進行數據交換的輸入輸出部等。由馬達控制器20bb控制的Z軸馬 達用驅動器27d對各涂敷頭部10設置，對其Z軸伺服馬達12進行驅動，在這些Z軸伺服馬 達12內安裝有檢測其旋轉量的編碼器，其檢測結果返回到Z軸馬達用驅動器27d，進行噴嘴 17的高度位置控制。根據主控制部20a和副控制部20b的聯(lián)合的控制，各馬達(線性馬達、Z軸伺服馬 達、e軸伺服馬達)根據從鍵盤24(圖3)輸入、存儲在微機20aa的RAM的數據進行移動、 旋轉，使保持于基板保持機構8(圖1)的基板19 (圖2)在X軸方向移動任意的距離，而且， 通過上下移動噴嘴17(圖2)的Z軸移動臺14，由設于橫梁2a、2b的涂敷頭部10的Y軸方 向移動機構11使受到支承的噴嘴17在Y軸方向移動任意的距離，在其移動過程中，在漿料 收容筒15繼續(xù)地加施加設定的氣壓，從噴嘴17的前端部的排出口排出漿料，在基板19描 繪所期望的漿料圖案。在噴嘴17朝Y軸方向水平移動的過程中，測距儀18測量噴嘴17與基板19的表 面間的間隔，將其時常維持為一定間隔地通過Z軸移動臺14的上下移動來控制噴嘴17。圖5為表示圖1所示實施方式的整體動作的流程圖。在該圖中，如在圖1所示涂漿裝置接通電源(步驟S100)，則首先實施裝置的初始 設定(步驟S101)。在該初始設定工序中，在圖1中，驅動Y軸方向移動機構11、X軸方向 移動機構6a、6b的線性馬達、Z軸移動臺14，從而使基板保持機構8在Y軸方向移動，定位 在規(guī)定的基準位置，另外，使其漿料排出口處于開始漿料涂敷的位置(即漿料涂敷開始點) 地將噴嘴17(圖2)的位置設定在規(guī)定的原點位置，同時，進一步設定漿料圖案數據、基板位 置數據、漿料排出結束位置數據。該數據的輸入從鍵盤24(圖3)進行，輸入的數據如上述那樣存儲在內裝于微機 20aa(圖 3)的 RAM。如該初始設定工序(步驟S101)結束，則接下來將基板19搭載于基板保持機構 8 (圖1)使其受到保持(步驟S102)。接著，進行基板預備定位處理(步驟S103)。在該處理中，由圖像識別攝像機對搭 載于基板保持機構8的基板19的定位用標記進行攝影，通過圖像處理從該圖像信號求出定 位用標記的重心位置，檢測基板19在0軸方向的傾斜，與其相應地驅動Y軸驅動器27a、X 軸驅動器27b、0軸驅動器27c (圖3)，使涂敷頭部10在X、Y軸方向移動，另外，修正0軸 方向的傾斜。由以上步驟，結束基板預備定位處理(步驟S103)。然后，進行漿料圖案描繪處理(步驟S104)。在該處理中，首先，使噴嘴17的排出口 移動到基板19的涂敷開始位置，精密地對噴嘴位置進行定位。然后，使Z軸驅動器27d(圖 4)動作，將各噴嘴17的高度設定為漿料圖案描繪高度。根據噴嘴的初始移動距離數據使各
8噴嘴17下降與初始移動距離相當的量。在接下來的動作中，由測距儀18測定基板19的表 面高度，確認噴嘴17的前端是否被設定為描繪漿料圖案的高度，在未能設定為描繪高度的 場合，使噴嘴17下降微小距離，反復進行上述基板19的表面測量和噴嘴17下降微小距離 的動作，將噴嘴17的前端設定為漿料圖案的涂敷描繪高度。
如以上的處理結束，則接下來根據存儲在微機20aa(圖3)的RAM的漿料圖案數據 和θ軸方向的傾斜的修正，驅動Y軸方向移動機構11、X軸方向移動機構6a、6b的線性馬 達，這樣，在噴嘴17的漿料排出口面對基板19的狀態(tài)下，相應于該漿料圖案數據，分別在X、 Y軸方向相對于基板19移動噴嘴17，同時，在各漿料收容筒15(圖2)按設定了的壓力施加 氣壓，開始從噴嘴17的漿料排出口排出漿料。這樣，開始漿料圖案在基板19的涂敷。然后，與此同時，如前面說明的那樣，副控制部20b的微機20ba從測距儀18獲取 噴嘴17的漿料排出口與基板19的表面之間的間隔的實測數據，測定基板19的表面的起 伏，相應于該測定值驅動各個Z軸伺服馬達12，從而將從基板19的表面離開的噴嘴17的設 定高度維持為一定。這樣，能夠按所期望的涂敷量涂敷漿料圖案。如以上那樣，進行漿料圖案的描繪，對噴嘴17的漿料排出口是否處于基板19上的 由上述漿料圖案數據決定的描繪圖案的終端進行判斷，如不處于該終端，則再次返回到基 板表面起伏的測定處理，以下，反復進行上述涂敷描繪，在形成的漿料圖案到達該描繪圖案 的終端之前繼續(xù)進行。然后，如到達該描繪圖案終端，則驅動Z軸伺服馬達12，使噴嘴17上升，該漿料圖 案描繪工序(步驟S104)結束。然后，前進到基板排出處置(步驟S105)，從圖1所示的基板保持機構8解除基板 19，排出到裝置外。然后，判定是否以上的整個工序相對于成為對象的所有基板19進行完畢(步驟 S106)，在將相同漿料圖案形成在多片基板的場合，從基板搭載處理(步驟S102)反復進行， 如對全部基板結束了這一連串的處理，則作業(yè)全部結束(步驟S107)。返回到圖1，設于門形 架2a、2b的涂敷頭設置面9的Y軸方向移動機構11超過多個涂敷頭部10在基板上描繪漿 料圖案所需的范圍在Y軸方向延伸。這樣，涂敷頭部10能夠移動到從基板上脫離的位置。 在這樣的從基板脫離了的場所進行各涂敷頭部10的維修、安裝、拆卸等作業(yè)。因此，各門形架2a、2b的橫梁3a、3b變得比支承臺1的橫向寬度長，它們的兩端部 從支承臺1的支承臺側面la、lb突出。另外，為了更穩(wěn)定地支承該長度的橫梁2a、2b，橫梁 側支承構件4a、4b設在橫梁2a、2b的前端部，分別安裝在支承臺側支承構件5a、5b。這樣， 特別是橫梁側支承構件4a、4b也從支承臺1的支承臺側面la、lb突出?？墒?，例如，隨著液晶面板的大型化，用于漿料圖案的描繪的基板也大面積化，為 了提高這樣的面板的制造效率，同時在一片基板描繪多個漿料圖案，因此，使用該基板的涂 漿裝置大型化，其支承臺也大型化，但如支承臺過于大型化，其橫向寬度變得過大，則在例 如運送涂漿裝置時，導致不能搭載于搬運車輛等問題。為此，對支承臺1的橫向寬度施加了 限制。然而，即使這樣在支承臺的橫向寬度施加限制、由此能夠將支承臺搭載在搬運車 輛上，即使為了能夠使用大面積的基板而使支承臺的橫向寬度為能夠使用該基板的最大程 度限制的橫向寬度，也如圖1所示那樣，門形架2a、2b的橫梁3a、3b的兩側的前端部、橫梁側支承構件4a、4b從支承臺1的支承臺側面la、lb突出，超過支承臺1的橫向寬度的限制 值，產生同樣的問題。在該實施方式中，為了消除該問題，形成為支承臺側支承構件5a、5b和橫梁側支 承構件4a、4b由連接螺栓結合的構成，通過拆卸該連接螺栓，支承臺側支承構件5a、5b和橫 梁側支承構件4a、4b能夠分離，能夠從支承臺1拆下門形架2b。另一方的門形架2a也為同 樣的構成。圖6為表示從支承臺1拆下了圖1所示涂漿裝置的門形架2a、2b的狀態(tài)的一具體 例的立體圖，符號7a、7b為直動導向件，符號30a、30b為滑動件，符號31a、31b為L形配件， 與圖1對應的部分標注相同符號，省略重復的說明。在該圖中，X軸方向移動機構6a包括相互平行地設置的磁鐵板7和直動導向件 7a,以及配置在這些磁鐵板7和直動導向件7a上、能夠沿這些磁鐵板7和直動導向件7a移 動的滑動件30a，由磁鐵板7和設于滑動件30a的圖中未表示的部件形成線性馬達。另外， X軸方向移動機構6b也包括相互平行地設置的磁鐵板7和直動導向件7b，以及配置在這些 磁鐵板7和直動導向件7b上、能夠沿這些磁鐵板7和直動導向件7b移動的滑動件30b，由 磁鐵板7和設于滑動件30b的圖中未表示的部件形成線性馬達。這些滑動件30a、30b相當 于圖1中的支承臺側支承構件5a、5b，其上面構成平坦面。另一方面，在設于門形架2b的橫梁側支承構件4a、4b，分別在其前端部一體地設 置L形配件31a、31b，這些L形配件31a、31b的下面構成為平坦面。通過將這些L形配件 31a、31b的下面固定在相應的滑動件30a、30b的上面，從而如圖1所示那樣，成為門形架2b 安裝在支承臺側支承構件5a、5b的狀態(tài)，因此成為門形架2b安裝在支承臺1的狀態(tài)，成為 能夠在基板涂敷漿料圖案的狀態(tài)。另外，如圖5所示，解除L形配件31a、31b的下面和滑動 件30a、30b的上面的固定，從而能夠將門形架2b提升，從支承臺1拆下。如上述那樣，門形架2b的橫梁3b的兩端部、橫梁側支承構件4a、4b從支承臺1的 支承臺側面la、lb突出，橫梁側支承構件4a、4b的兩端面構成為相互面對的垂直面，在該垂 直的端面安裝L形配件31a、31b的垂直的安裝面。為此，這些L形配件31a、31b從橫梁側 支承構件4a、4b的前端部在水平方向相互面對地配置，這樣，即使橫梁側支承構件4a、4b從 支承臺1的支承臺側面la、lb突出，也能夠分別同時地使L形配件31a的平坦的下面面對 設于磁鐵板7和直動導向件7a上的、支承臺1上的滑動件30a的平坦的上面，使L形配件 31b的平坦的下面面對設于磁鐵板7和直動導向件7b上的支承臺1上的滑動件30b的平坦 的上面。這樣，能夠如上述那樣將門形架2b安裝在滑動件30a、30b，或將其拆下。這樣，滑動件30a、30b的上面部構成門形架2b的連接部。另一方的門形架2a也成為同樣的構成。如以上那樣，在該具體例中，使得能夠從支承臺1分離門形架2a、2b，但在該分解 前的狀態(tài)下，在從上面觀看該涂漿裝置的場合，如設作為門形架2a、2b的長度的裝置短邊 的尺寸為A，則現(xiàn)在的大型基樣玻璃基板的尺寸約為超過2m見方，在將其圍住的門形架為 一體的場合，裝置的寬度A超過3. 5m，擴大到4m左右。為此，在利用一般公路輸送裝置時， 發(fā)生不能在輸送車輛內部收容該裝置的問題。作為其對策，通常討論從支承臺1將基板保 持機構8也包含在內地分割裝置的結構，在該場合，如拆卸或安裝基板保持機構8，則此時 裝置的組裝精度下降，另外，涂敷位置精度也劣化。
然而，在該具體例的構成的場合，形成為僅限于門形架2a、2b能夠分解的結構，這 樣，作為裝置，能夠小型化到支承臺1的橫向寬度的尺寸B。另外，作為門形架2a、2b，可以 為更小的短邊的寬度C，所以，分解后的裝置的最大尺寸能夠為B，即使用于超大型的基樣 玻璃基板，也能夠抑制為超過3m—些的程度的寬度。結果，利用一般公路的裝置輸送也能 沒有問題地得到解決。圖7為放大地表示圖6中的“F”部即門形架2b與支承臺1的連接機構的立體圖， 表示從支承臺1拆下了門形架2b的狀態(tài)，符號7b為導軌，符號30b 1為載置面，符號31bl 為抵接面，符號31b2為上面，符號32、33為螺栓孔，符號34a、34b為肋，符號35為連接螺栓。 在與上述圖對應的部分標注相同符號，省略重復的說明。在該圖中，設于支承臺1(圖6)側的支承臺側支承構件5b由滑動件30b構成，該滑 動件30b具有與磁鐵板7 —起構成X軸方向移動機構6b的線性馬達，能夠沿磁鐵板7和平 行于其設置的導軌7b移動。該滑動件30b的平坦的上面成為載置面30bl。該滑動件30b 不從支承臺1的支承臺側面Ib突出地設置。另一方面，門形架2b的橫梁側支承構件4b的前端部的L形配件31b的垂直部分 一體化在橫梁側支承構件4b，其水平部分為結合在滑動件30b的載置面30bl的部分。為 此，該L形配件31b的下面成為抵接在滑動件30b的載置面30bl的抵接面31bl，在其上面 31b2設置用于加強該L形配件31b的肋34a，在該肋34a的兩側各設置多個(在這里為3 個)貫通到抵接面31bl的螺栓孔32。相對于此，在滑動件30b的載置面30bl也在分別對 應于L形配件31b的螺栓孔32的位置設有在內部切出螺紋的螺栓孔33。在橫梁側支承構 件4b設有用于對其進行加強的肋34b。因此，將L形配件31b載置在滑動件30b的載置面30bl上，相對于滑動件30b對 L形配件31b進行位置調整，從而能夠使L形配件31b的螺栓孔32分別與滑動件30b上的 相應的螺紋孔33 —致，在該狀態(tài)下從螺栓孔32分別插入連接螺栓35，從而能夠將L形配件 31b固定在滑動件30b，門形架2b的橫梁側支承構件4b安裝在支承臺側支承構件5b。該構成對門形架2b的橫梁側支承構件4a及支承臺側支承構件5a也同樣，通過分 別安裝這些橫梁側支承構件4a、4b和支承臺側支承構件5a、5b，能夠移動地在支承臺1安裝 門形架2b。另外，以上的情況對另一方的門形架2a也同樣，同樣，門形架2a也能夠移動地 安裝在支承臺1。因此，如圖1所示那樣，當處于門形架2a、2b安裝在支承臺1的狀態(tài)時，通過從橫 梁側支承構件4a、4b及支承臺側支承構件5a、5b將連接螺栓35拆下，在圖7中，能夠從滑 動件30b分離L形配件31b，這樣，能夠從支承臺1拆卸門形架2a、2b。圖8為表示用于從圖6所示狀態(tài)成為圖1所示狀態(tài)的作業(yè)的流程的一具體例的流 程圖。以下以門形架2b為例進行說明，但對門形架2a也同樣。在該圖中，首先，將由提升用夾具提升了的門形架2b送入到支承臺1的連接部即 滑動件30b的上方(步驟S200)。然后，使門形架2b下降，使橫梁側支承構件4b的前端部 的L形配件31b的抵接面31bl抵接在滑動件30b的載置面30bl，成為L形配件31b載置在 該載置面30bl的狀態(tài)(步驟S201)。然后，使L形配件31b的螺栓孔32與滑動件30b的 載置面30bl的螺栓孔33 —致，將連接螺栓35從螺栓孔32插入并將其擰入，從而將L形配 件31b固定在滑動件30b。這樣，門形架2b固定在支承臺1的支承臺側支承構件5b，門形架2b安裝在支承臺1 (步驟S202)。此后，從門形架2b拆下提升用夾具(步驟S203)，進行在門形架2b與支承臺1的 連接部的配線及配管的連接(步驟S204)，一連串的組裝作業(yè)結束。圖9為表示用于從圖1所示狀態(tài)成為圖6所示狀態(tài)的作業(yè)的流程的一具體例的流 程圖。在以下說明中，以門形架2b為例進行說明，但對門形架2a也同樣。在該圖中，首先，拆下門形架2b與支承臺1的連接部的配線及配管的連接(步驟 S300)，將提升用夾具安裝在門形架2b (步驟S301)。然后，如在圖7中說明的那樣，從L形 配件31b及滑動件30b拆下連接螺栓35(步驟S302)，由提升用夾具將門形架2b提升(步 驟S303)，使其移動到別的場所(步驟S304)。這樣，門形架2b從支承臺1分離。如以上那樣，能夠由比較簡單的作業(yè)將門形架2a、2b安裝在支承臺1或從支承臺 1將其拆下。圖10為表示從支承臺1拆下了圖1所示涂漿裝置的門形架2a、2b的狀態(tài)的另一 具體例的立體圖，在與圖6對應的部分標注同一符號，省略重復的說明。圖6及圖7所示具體例在水平面連接門形架2b的橫梁側支承構件4a、4b和支承 臺側支承構件5a、5b，該具體例如圖10所示那樣，在垂直面對其進行連接。在圖10中，橫梁側支承構件4a、4b的前端面構成垂直面，作為支承臺側支承構件 5a、5b的滑動件30a、30b的抵接面也構成垂直面。使橫梁側支承構件4a、4b的前端面抵接 在滑動件30a、30b的抵接面，由連接螺栓對其進行連接，從而將門形架2b安裝在支承臺1。圖11為放大地表示圖10中的門形架2b與支承臺1的連接機構的立體圖，表示將 門形架2b從支承臺1分離的狀態(tài)，符號31b3為頂面，符號36、37為抵接面，符號38為突出 部，符號39為螺栓孔，在與圖7對應的部分標注同一符號，省略重復的說明。在該圖中，支承臺側支承構件5b成為在圖7所示滑動件30b上一體地搭載圖7所 示L形配件31b的構成，該L形配件31b的垂直部的外面構成抵接面36。該抵接面36在支 承臺1的側面lb按不從該處突出的程度靠近配置。另一方面，橫梁側支承構件4b的前端形成平坦的垂直面，該垂直面構成抵接面 37，在該抵接面的上邊設置臺階部，形成突出部38。然后，在該抵接面37設置多個貫通到其 相反側的面的螺栓孔39。使橫梁側支承構件4b的抵接面37抵接在支承臺側支承構件5b側的L形配件31b 的抵接面36，從而將橫梁側支承構件4b安裝在支承臺側支承構件5b，在該狀態(tài)下，橫梁側 支承構件4b的前端的抵接面37與突出部38間的臺階部抵接在支承臺側支承構件5b側的 L形配件31b的頂面31b3，突出部38載置在該頂面31b3，這樣，橫梁側支承構件4b的抵接 面37相對于L形配件31b的抵接面36進行上下方向的定位。另外，在L形配件31b的抵接面36，雖然圖中未表示，但實際上設有與橫梁側支承 構件4b的抵接面37處的螺栓孔39分別對應的螺栓孔，在這些螺栓孔切有螺紋。因此，在L形配件31b的抵接面36，如上述那樣，抵接橫梁側支承構件4b的抵接面 37，以在該抵接面37處的螺栓孔39分別與設于L形配件31b的抵接面36的螺栓孔一致的 方式調整橫梁側支承構件4b的抵接面37的位置，然后，從橫梁側支承構件4b側通過抵接 面37的螺栓孔39將連接螺栓插入到L形配件31b的抵接面36的螺栓孔、再擰入，從而將 橫梁側支承構件4b的抵接面37固定在L形配件31b的抵接面36，因而固定在支承臺側支承構件5b。然后，同樣，橫梁側支承構件4a也固定在支承臺側支承構件5a，從而能夠移動 地將門形架2b安裝在支承臺1。按照該構成，拆下對橫梁側支承構件4a和支承臺側支承構件5a進行固定的連接 螺栓，從而能夠簡單地從支承臺1拆下門形架2b。以上，為涉及門形架2b的內容，但對另一方的門形架2a也同樣。該具體例也能夠獲得與圖6、圖7所示具體例同樣的效果。圖12為從大體X軸方向觀看本發(fā)明的涂漿裝置及方法的第2實施方式的立體圖， 符號40a、40b為X軸方向移動機構設置面，在與圖1對應的部分標注同一符號，省略重復的 說明。在圖12中，與圖1同樣，該圖為了避免煩雜，僅對出現(xiàn)在圖上的部分標注符號，此 外的部分省略符號。另外，該第2實施方式涉及在基板面上描繪漿料圖案(密封材料圖案) 的涂漿裝置及方法，但當然也能夠適用于在基板上滴下液晶的滴下裝置。在圖12中，在支承臺1的左右的側面la、lb側，相對于這些側面la、lb設置凹下 了臺階D的平坦的垂直面的X軸方向移動機構設置面40a、40b，在這些X軸方向移動機構設 置面40a、40b設置X軸方向的X軸方向移動機構6a、6b。在這里，該臺階D按X軸方向移 動機構6a、6b的支承臺側支承構件5a、5b (但是，支承臺側支承構件5b未圖示)不從側面 la、lb突出的程度設定。支承臺側支承構件5a例如與圖7所示滑動件30b等同，其抵接面構成垂直面。另 外，作為門形架2b的橫梁側支承構件4a的前端面的抵接面也構成垂直面，橫梁側支承構件 4a的抵接面抵接在支承臺側支承構件5a的抵接面，用連接螺栓緊固，從而將門形架2b的橫 梁側支承構件4a固定在支承臺側支承構件5a，門形架2b設置在支承臺1。另外，通過拆卸 該連接螺栓，將門形架2b從支承臺1分離，能夠將涂漿裝置分離成門形架2b和支承臺1。以上內容對于另一方的門形架2a也同樣。另外，門形架2a、2b在支承臺1的安裝作業(yè)與前面圖8所示作業(yè)相同，門形架2a、 2b從支承臺1的拆卸作業(yè)也與前面圖9所示作業(yè)同樣。另外，該第2實施方式的在基板的 涂漿動作也與圖5所示第1實施方式同樣。如以上那樣，在該第2實施方式中，能夠將門形架2a、2b從支承臺1拆下或安裝在 支承臺1，所以，能夠獲得與前面的第1實施方式同樣的效果，但由于將用于使門形架2a、2b 移動的X軸方向移動機構6a、6b設在支承臺1的側面la、lb，所以，與圖1所示第1實施方 式相比，不需要用于設置在支承臺1的上面的X軸方向移動機構6a、6b的空間，所以，能夠 使支承臺1的橫向寬度B2(圖12)比在圖6所示第1實施方式下的支承臺1的橫向寬度B1 狹小，能夠相應地使裝置小型化。
權利要求
一種涂漿裝置，在支承臺上設置門形架，在該門形架能夠移動地設置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設置于該支承臺上的基板載置臺上載置基板，該門形架相對于該基板移動，從該噴嘴排出口將漿料排出到基板上；其特征在于在該支承臺上的基板載置臺的外側設置該門形架的移動機構，在該移動機構設置了能夠裝拆地安裝該門形架的門形架安裝裝置。
2.一種涂漿裝置，在支承臺上設置門形架，在該門形架能夠移動地設置從噴嘴排出口 排出漿料的涂敷頭，在設置于該支承臺上的基板載置臺上載置基板，該門形架相對于該基 板移動，從該噴嘴排出口將漿料排出到基板上；其特征在于在該支承臺上的比該基板載置臺處于更下側的位置設置該門形架的移動機構，在該移動機構設置了能夠裝拆地安裝該門形架的門形架安裝裝置。
3.根據權利要求1所述的涂漿裝置，其特征在于上述門形架安裝裝置設置在比上述 基板載置臺更低的位置。
4.一種涂漿方法，其特征在于涂漿裝置在支承臺上設置門形架，在該門形架能夠移 動地設置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設置于該支承臺上的基板載置臺上載置基 板，該門形架相對于該基板移動，從該噴嘴排出口將漿料排出到基板上；在該支承臺上的基板載置臺的外側設置該門形架的移動機構，使該門形架移動，在該移動機構，能夠將該門形架從該移動機構拆卸或將該門形架安裝到該移動機構。
5.一種涂漿方法，其特征在于涂漿裝置在支承臺上設置門形架，在該門形架能夠移 動地設置從噴嘴排出口排出漿料的涂敷頭，在設置于該支承臺上的基板載置臺上載置基 板，該門形架相對于該基板移動，從該噴嘴排出口將漿料排出到基板上；在該支承臺上的比該基板載置臺處于更下側的位置設置該門形架的移動機構，使該門 形架移動，在該移動機構，能夠將該門形架從該移動機構拆卸或將該門形架安裝到該移動機構。
6.根據權利要求4所述的涂漿方法，其特征在于上述門形架的移動機構設置在比上 述基板載置臺更低的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供涂漿裝置及涂漿方法。在裝置的運輸時，能夠將裝置小型化，能夠順利地進行裝置的運輸。在支承臺(1)的上面設有載置基板的基板保持機構(8)，在其兩側設置X軸方向移動機構(6a、6b)，分別設置沿其磁鐵板(7)和導軌(7a、7b)移動的作為支承臺側支承構件(5a、5b)的滑動件(30a、30b)。另外，在門形架(2b)的橫梁(3b)的各個前端部，設置橫梁側支承構件(4a、4b)，這些前端部的L形配件(31a、31b)分別設置在滑動件(30a、30b)的上面、由連接螺栓固定，這樣，門形架(2b)能夠移動地安裝在支承臺(1)。另外，通過拆下該連接螺栓，能夠從支承臺(1)分離門形架(2b)。另一方的門形架(2a)也同樣。
文檔編號C03C17/00GK101875535SQ20101012618
公開日2010年11月3日 申請日期2010年2月24日 優(yōu)先權日2009年4月28日
發(fā)明者小菅忠男, 渡邊健, 片田一哉, 近藤弓人 申請人:株式會社日立工業(yè)設備技術